KR20040089641A - 제조 공정을 위한 구성 문서와 공정 콘텍스트의 조합 - Google Patents

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KR20040089641A
KR20040089641A KR10-2004-7012850A KR20047012850A KR20040089641A KR 20040089641 A KR20040089641 A KR 20040089641A KR 20047012850 A KR20047012850 A KR 20047012850A KR 20040089641 A KR20040089641 A KR 20040089641A
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호보스바리알.
시유롱
브라운러셀씨.
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어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 제조 공정을 수행하는 것과 관련된 정보(구성 문서)를 이 정보가 이용되는 콘텍스트로부터 분리하는 방법을 제공한다. 공정 콘텍스트는 정의될 수 있고, 콘텍스트가 없는 구성 문서를 생성하기 위해 구성 문서로부터 콘텍스트 특정 정보가 제거될 수 있다. 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간에서 독립적으로 정해진다. 이러한 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서들 모두에 대해 독립적이기 때문에, 다른 공정 콘텍스트들 또는 구성 문서들에 영향을 주지 않으면서 독립적으로 리뷰 및 승인될 수 있다.

Description

제조 공정을 위한 구성 문서와 공정 콘텍스트의 조합{ASSOCIATION OF PROCESS CONTEXT WITH CONFIGURATION DOCUMENT FOR MANUFACTURING PROCESS}
기술이 진보함에 따라, 제조 시스템들은 더욱 복잡해지고 있다. 예를 들어, 오늘날 가장 복잡한 제조 공정은 집적 회로의 제조일 것이다. 이러한 복잡성을 야기시키는 요인들로는 끊임없는 디바이스 소형화, 공정의 복잡성, 제품의 다양성 및 변화하는 기술들이 있다. 이에 따라, 반도체 제조 공정의 관리가 복잡해지게 되고, 완전하게 패키지되고 집적된 전자 구성 요소를 제조하기 위해서는 실리콘 웨이퍼 상에서 수행될 수천개의 단계들을 계획해야 한다.
대부분의 공장들에서는, 제품의 흐름 및 장비의 용도를 제어하는 단일 시스템을 갖는 것이 바람직하다. 본원에서 이러한 시스템은 공장 시스템(factory system)이라 한다. 이러한 공장 시스템은 제품을 제조하기 위해 공장의 다양한 제조 툴들에 의해 수행될 동작들의 루트(route)를 제어함으로써 제품의 제조 공정을 관리한다. 서로 다른 제조 툴들이 각 동작에 이용될 수 있고, 다수의 제조 툴들이 함께 동작하여 단일 동작을 수행할 수 있으며, 그리고 하나의 툴이 단일 동작의 1개 이상의 단계에서 이용될 수 있다.
다양한 타입의 정보가 공장에서 수행되는 제조 동작들에 관련된다. 종종, 제조 공정을 수행하기 위한 정보는 문서들 또는 파일들로서 유지될 수 있는바, 이들은 본원에서 구성 문서(configuration document)들이라 한다. 예를 들어, 한 타입의 구성 문서는 특정한 반도체 칩의 제조시 웨이퍼에 특정층을 생성하기 위한 제조 공정들을 특정하는 사양 문서(specification document)이다. 전형적으로, 이러한 사양 문서는 장비 인터페이스에 의해 읽혀지는 파일로서, 제조 툴을 제어하는 전용 컴퓨터 시스템 상에서 동작하는 소프트웨어 애플리케이션이다. 단일 동작에 다양한 툴들이 필요할 수 있기 때문에, 각 툴에 대한 장비 인터페이스는 사양 문서의 동일한 카피를 액세스해야 한다.
반도체 공장에서는, 단일 툴의 동작에 대해 단 몇 초를 낭비하게 되더라도, 상당한 비용을 초래한다. 따라서, 사양 문서들 및 레시피(recipe)와 같은 구성 문서들에 대한 변경이 회피되며, 전형적으로 매우 소수의 사람들 만이 이러한 변경을 행할 수 있는 권한을 갖는다. 이러한 변경들이 이루어져야만 할 때, 이들은 엄격하게 테스트되고 광범위한 승인 단계를 거치는데, 이는 단일 변경의 종속 효과(cascading effect)때문이다. 전형적인 반도체 제조 설비에서, 상기 사양 문서는 동작에 필요한 각 제조 툴에 대한 레시피를 포함한다. 이 레시피는 툴로 하여금 실리콘 웨이퍼 상에서 특정 동작을 수행하게 하는 명령들의 세트이다. 예로서, 에칭 제조 공정시, 에쳐 제조 툴(etcher manufacturing tool)은 웨이퍼로부터 실리콘을 에칭한다. 에쳐의 특정한 동작에 대한 레시피에 의해, 이 에쳐는 특정한 패턴의 웨이퍼로부터 특정 두께의 실리콘을 제거한다. 서로 다른 제품들을 제조할 때 또는 특정 제품의 제조에 있어서 서로 다른 단계들에는, 서로 다른 레시피들이 적용될 수 있다. 전형적으로, 사양 문서는 에칭 제조 공정이 이용될 수 있는 가능한 각 콘텍스트에 대해 정의된 개별적인 레시피를 포함함으로써, 레시피 정보를 다수회 복사(duplicate)한다.
대안적인 구현은 공장의 특정 툴들에서의 어떤 동작들이 레시피를 이용하는 지에 대한 정보를 포함하는 단일 레시피 문서를 제공하는 것이다.
상기 설명한 전형적인 구현들의 문제는, 제품의 제조가 변경되거나 또는 어떠한 툴이 새로운 동작 또는 다른 동작들에 관련될 때에 발생한다. 예를 들어, 특정 칩의 특정 층을 에칭하기 위한 레시피가 변경한다고 가정하자. 상기 설명한 제 1 구현에서는, 관련된 동작, 즉 오늘날의 24 ×7 공장 환경에서 받아들일 수 없는 시간 소모적이고 에러가 발생하기 쉬운 공정을 수행하는 공장의 각 제조 툴에 대한 사양 문서들을 수정할 필요가 있다.
제 2 구현에서는, 레시피를 이용하는 동작이 변경될 때 마다(이는 서로 다른 동작들을 수행하기 위해 툴들이 부가되고 스위치되는 것과 같이 빈번하다), 레시피 문서를 변경할 필요가 있다.
제조 공정을 수행하는 것과 관련된 정보를 이 정보가 이용될 콘텍스트로부터 분리하는 방법이 필요하다. 다수의 툴들 및 동작들에 영향을 주지 않으면서 콘텍스트 그리고/또는 구성 문서에 대한 변경이 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 바람직하게는, 이러한 변경은 광범위한 관리 리뷰(review) 및 승인 과정을 필요로 하지 않으면서 이루어질 수 있다.
본 발명은 일반적으로 공장 시스템에 관한 것으로서, 특히 제조 공정에 대한 변경을 간단하고 효율적으로 수행하는 것에 관한 것이다.
첨부 도면들을 참조함으로써, 본 발명이 보다 잘 이해될 것이며, 본 발명의 많은 목적들, 특징들 및 장점들이 당업자에게 명확해질 것이다.
도 1은 제조 공정을 수행하는 명령들을 갖는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간에 독립적인 콘텍스트/구성 조합을 생성하는 공정의 흐름도이다.
도 2는 본 발명을 이용하는 제조 공정의 흐름도이다.
도 3은 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간의 콘텍스트/구성 조합의 블록도이다.
서로 다른 도면들에서, 유사하거나 동일한 것들에는 동일한 참조 부호가 부여되었다.
본 발명은 제조 공정을 수행하는 것과 관련된 정보(이는 구성 문서라 칭한다)를 이 정보가 이용되는 콘텍스트로부터 분리하는 방법을 제공한다. 공정 콘텍스트는 정의될 수 있고, 콘텍스트가 없는(context-free) 구성 문서를 생성하기 위해 구성 문서로부터 콘텍스트 특정 정보가 제거될 수 있다. 콘텍스트/구성 조합(context/configuration association)은 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간에서 독립적으로 정해진다. 이러한 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서들 모두에 대해 독립적이기 때문에, 다른 공정 콘텍스트들 또는 구성 문서들에 영향을 주지 않으면서 독립적으로 리뷰 및 승인될 수 있다.
본 발명의 한 형태는, 제조 공정을 위한 콘텍스트가 없는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간에 콘텍스트/구성 조합을 특정하는 단계 및 제조 공정에 대한 변경을 수행하기 위해 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 단계를 포함하는 방법이다. 이 방법은 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하기 이전에 상기 콘텍스트/구성 조합을 승인하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 다른 형태는, 제조 공정을 위한 콘텍스트가 없는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간에 콘텍스트/구성 조합을 특정하는 조합 모듈 및 제조 공정에 대한 변경을 수행하기 위해 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 활성화 모듈을 포함하는 장치이다. 이 장치는 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하기 이전에 상기 콘텍스트/구성 조합을 승인하는 승인 모듈을 더 포함한다.
상기 설명은 요약이기 때문에, 상세한 내용들은 생략한 채로 본 발명을 단순화하고 일반화하였다. 당업자라면 이러한 요약은 단지 예시적인 것으로서 어떤 식으로든 한정적이지 않다는 것을 알 수 있을 것이다. 청구범위에 의해서만 규정되는 본 발명의 다른 양상들, 특징들 및 장점들은 하기의 비 한정적인 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이하, 본 발명을 예시적으로 설명하는 상세한 설명이 제공되는바, 이는 본 발명을 한정하지 않는다. 상세한 설명 다음에 오는 청구범위에 의해 규정되는 본 발명의 범위 내에서 많은 변형들이 이루어질 수 있다.
하기의 상세한 설명에서는, 예시의 목적으로, 본 발명을 완전하게 이해할 수있도록 많은 세부 사항들이 특정되어 설명된다. 하지만, 당업자에게 있어서 본 발명이 이러한 특정한 세부 사항들 없이도 실행될 수 있음을 자명하다.
명세서에서 "일 실시예"라고 언급한 것은, 이 실시예와 관련하여 설명되는 특정한 특징, 구조 또는 특성이 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함된다는 것을 의미한다. 명세서의 많은 부분에서 언급하는 "일 실시예에서"라는 구가 반드시 동일한 실시예를 설명하는 것은 아니며, 그렇다고 해서 다른 실시예들과 서로 배타적인 개별적인 실시예 또는 대안적인 실시예를 설명하는 것도 아니다. 또한, 다양한 특징들이 설명되는바, 이러한 특징들은 일부 실시예들에 대해서만 나타날 뿐 다른 실시예들에 대해서는 나타나지 않는다. 유사하게, 다양한 요건들이 설명되는바, 이러한 요건들은 일부 실시예들에 대한 요건일 뿐 다른 실시예들에 대한 요건은 아니다.
본 발명은 제조 공정을 수행하는 것과 관련된 정보(이는 구성 문서라 한다)를 이 정보가 이용되는 콘텍스트로부터 분리하는 방법을 제공한다. 제조 공정의 특정한 시점에서 특정한 툴에 의해 수행될 동작은, 툴의 타입, 제조되는 제품, 제품을 제조하는 데에 필요한 동작들의 루트 및 지금까지 완료된 동작들과 같은 몇 개의 변수들에 의해 결정된다. 집합적으로, 이러한 변수들 및 그 값들은 제조 공정을 수행하기 위한 공정 콘텍스트로서 본원에서는 1이라 한다.
공정 콘텍스트는 정의될 수 있고, 콘텍스트 특정 정보는 콘텍스트가 없는 구성 문서를 생성하기 위해 구성 문서로부터 제거될 수 있다. 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간에 독립적으로 정해질 수 있다. 이러한 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 문서 모두와 독립적이기 때문에, 다른 공정 콘텍스트들 또는 구성 문서들에 영향을 주지 않으면서 독립적으로 리뷰 및 승인될 수 있다.
도 1은 제조 공정을 수행하기 위한 명령들을 포함하는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간의 독립적인 콘텍스트/구성 조합을 생성하여 이용하는 방법의 흐름도이다. 선택적인 단계(110)에서, 공정 콘텍스트가 정의된다. 이러한 공정 콘텍스트는 변수들의 세트 및 충족되어야만 하는 변수들에 대한 값들로서 정의될 수 있다. 이러한 공정 콘텍스트는, 정의에 따라 모든 변수값들이 충족될 때 참(true)이 된다. 단일의 공정 콘텍스트 정의를 갖게 되면, 다양한 구성 문서들에 다수의 공정 콘텍스트 스트링(string)들을 유지할 필요가 없게 된다. 일단 공정 콘텍스트가 정의되면, 이는 서로 다른 다수의 구성 문서들과 조합될 수 있다.
전형적인 제조 환경에서는, 다수의 공정 콘텍스트들이 이미 정의되어 있기 때문에, 사용자가 공정 콘텍스트를 정의할 필요가 없다. 본 발명의 실시예는 또한 공정 콘텍스트를 정의하는 모듈 및 공정 콘텍스트 정의에 대한 승인을 얻기 위한 모듈을 포함한다.
선택적인 단계(120)에서, 제조 공정을 수행하는 데에 이용되는 명령들을 포함하는 콘텍스트가 없는 구성 문서가 설정된다. 콘텍스트 정보가 구성 문서들로부터 제거되어 콘텍스트가 없는 구성 문서들을 생성함으로써, 구성 문서들 자체 및 이들의 유지를 상당히 단순화한다. 전형적인 제조 환경에서는, 다수의 구성 문서들이 이미 정의되어 있기 때문에, 사용자가 콘텍스트가 없는 구성 문서를 설정할 필요가 없다. 본 발명의 실시예는 또한 콘텍스트가 없는 구성 문서를 설정하기 위한 모듈 및 콘텍스트가 없는 구성 문서의 승인을 얻기 위한 모듈을 포함한다.
공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간에 콘텍스트/구성 조합을 생성하는 단계(130)에서, 공정 콘텍스트는 이 공정 콘텍스트가 참일 때 제조 공정에 의해 수행될 명령들을 제공하는 콘텍스트가 없는 구성 문서와 조합된다. 이러한 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서로부터 독립적인 엔티티(entity)이기 때문에, 독립적으로 실행 및 승인될 수 있다. 본 발명의 범위는 또한 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간의 콘텍스트/구성 조합을 비활성화(deactivate)하여, 필요할 때에 제조 공정의 변경들이 쉽게 이루어질 수 있게 하는 단계를 포함한다.
단계(140)에서는, 제조 공정을 변경하기 위해 콘텍스트/구성 조합이 활성화될 수 있다. 예를 들어, 콘텍스트/구성 조합이 활성화되면, 공정 콘텍스트가 참일 때 콘텍스트가 없는 구성 문서의 명령들을 이용하여 제조 공정이 수행된다. 또한, 이러한 활성화는 관리자에 의해 독립적으로 승인될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 사용자 인터페이스를 포함하는바, 이는 공정 콘텍스트들을 정의하고, 콘텍스트가 없는 구성 문서들을 설정하며, 그리고 공정 콘텍스트들과 콘텍스트가 없는 구성 문서들 간의 콘텍스트/구성 조합들을 특정한다. 사용자 인터페이스를 액세스하는 어떠한 사용자라도 콘텍스트가 없는 구성 문서 그리고/또는 공정 콘텍스트 및 콘텍스트/구성 조합을 생성할 수 있다. 이 사용자 인터페이스는 콘텍스트/구성 조합을 사인오프 모드(signoff mode) 또는 승인 모드로 보낼 수있는 능력을 갖는다. 사인오프 모드에서, 콘텍스트/구성 조합은 이러한 콘텍스트/구성 조합의 승인을 담당하는 1명 이상의 사람들로부터 승인을 얻을 때 까지 활성화되지 않는다. 콘텍스트/구성 조합이 승인되면, 이 콘텍스트/구성 조합이 활성화되어 제조 공정을 수행하는 데에 이용된다. 이 콘텍스트/구성 조합을 생성한 사람(author)은 콘텍스트/구성 조합이 활성화되었음을 통지받을 수 있다.
도 2는 본 발명을 이용하는 제조 공정의 흐름도이다. 본 발명은 특정한 공정 콘텍스트가 참이 될 때 까지 "대기 상태(wait state)"에서 동작하는 것으로 간주될 수 있다. 결정 단계(210)에서, 공정 콘텍스트가 참인지의 여부를 결정한다. 공정 콘텍스트가 참이 아니면, 공정 콘텍스트가 참이 될 때 까지 결정 단계(210)가 반복된다. 공정 콘텍스트가 참이면, 이 공정 콘텍스트에 대해 콘텍스트/구성 조합이 존재하는 지의 여부를 결정하는 단계(215)로 진행된다. 이 단계(215)에서, 어떠한 콘텍스트/구성 조합도 존재하지 않으면, 제조 공정을 수행하는 단계(230)로 진행되어 제조 공정이 수행된다. 단계(215)에서, 콘텍스트/구성 조합이 존재하면, 공정 콘텍스트와 조합된 콘텍스트가 없는 구성 문서를 얻는 단계(220)로 진행된다. 이러한 공정 콘텍스트와 조합된 콘텍스트가 없는 구성 문서는 제조 공정에 관련된 명령들을 포함한다.
단계(230)에서는, 제조 공정이 수행된다. 콘텍스트/구성 조합이 존재하면, 공정 콘텍스트와 조합된 콘텍스트가 없는 구성 문서로부터의 명령들이 제조 공정을 수행하는 데에 이용된다.
예를 들어, 제품(C)에 대한 제조 공정의 단계(D)에서 이 제품(C)을 제조할때 제조 툴(B)에 의해 동작(A)를 수행하는 데에 소정의 레시피가 이용된다고 가정하자. 공정 콘텍스트는, 동작이 A이고, 툴이 B이고, 제품이 C이고 그리고 단계가 D일 때 참이 되는 것으로서 정의될 수 있다. 레시피는 공정 콘텍스트와 조합된 콘텍스트가 없는 구성 문서로서 설정될 수 있다. 제조 공정 동안, 공정 콘텍스트가 참이 되면, 레시피를 포함하는 콘텍스트가 없는 구성 문서가 읽혀지고, 이 레시피는 동작(A), 툴(B), 제품(C) 및 단계(D)에 대한 제조 공정을 수행하는 데에 이용된다.
도 3은 콘텍스트가 없는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간의 콘텍스트/구성 조합의 블록도이다. 공정 콘텍스트(310)는 제조 공정이 수행되는 콘텍스트의 정의를 포함한다. 예를 들어, 동작, 툴, 제품 및 단계와 같은 변수들, 및 이들의 값들이 공정 콘텍스트를 제공한다. 당업자라면 공정 콘텍스트(310)가 특정한 형태가 될 필요가 없고, 데이터베이스 기록 또는 필드값, 메모리의 1개 이상의 변수들의 값들, 파일, 또는 공정 콘텍스트의 지속적인 유효성을 제공할 수 있는 다른 가능한 형태들에 대응한다는 것을 알 수 있을 것이다.
콘텍스트가 없는 구성 문서(330)는 제조 공정의 특정 동작을 수행하기 위한 툴에 대한 레시피와 같은 명령들을 포함한다. 다른 타입의 콘텍스트가 없는 구성 문서들이 또한 제조 공정과 조합될 수 있지만, 본 발명은 제조 공정을 수행하기 위한 레시피의 콘텍스트에서 설명된다. 이러한 다른 타입의 문서들은 레시피와 같은 특정 세트의 명령들이 특정 세트의 동작들에 이용됨을 나타내는 공정 제어 방법; 제조 공정에 관련된 데이터를 수집하기 위한 데이터 수집 계획; 오퍼레이터가 제조 공정을 수행하기 전에 요구되는, 오퍼레이터의 증명을 보여주는 증명 문서와; 그리고 제조 공정들에 관련된 다른 유사한 타입의 문서들을 포함한다. 당업자라면 콘텍스트가 없는 구성 문서(330)가 특정한 형태가 될 필요가 없고, 데이터베이스 기록 또는 필드값, 메모리의 1개 이상의 변수들의 값들, 파일, 또는 콘텍스트가 없는 구성 문서의 지속적인 유효성을 제공할 수 있는 다른 가능한 형태들에 대응한다는 것을 알 수 있을 것이다.
콘텍스트/구성 조합(320)은 공정 콘텍스트(310)와 콘텍스트가 없는 구성 문서(330) 간의 콘텍스트/구성 조합을 제공한다. 이 예에서, 콘텍스트/구성 조합은 콘텍스트 레퍼런스(320a) 및 구성 레퍼런스(320b)의 형태를 갖는다. 콘텍스트/구성 조합 자체는 공정 콘텍스트(310) 및 콘텍스트가 없는 구성 문서(330)와 독립적이며, 이러한 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트(310) 및 콘텍스트가 없는 구성 문서(330)에 대한 레퍼런스들을 포함하는바, 이들은 공정 콘텍스트(310) 및 콘텍스트가 없는 구성 문서(330)의 내용과 대비된다. 당업자라면 콘텍스트/구성 조합(320)이 특정한 형태가 될 필요가 없고, 데이터베이스 기록 또는 필드값들, 메모리의 1개 이상의 변수들의 값들, 파일, 또는 콘텍스트/구성 조합의 지속적인 유효성을 제공하는 다른 가능한 형태들에 대응한다는 것을 알 수 있을 것이다.
본 발명의 범위는 또한 콘텍스트/구성 조합에 대한 유효한 시간 주기를 지정하는 것을 포함한다. 유효한 시간 주기 동안, 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간의 콘텍스트/구성 조합을 이용하여 제조 공정이 수행된다. 이러한 유효한 시간 주기 이외에서, 콘텍스트/구성 조합은 제조 공정에 어떠한 영향도 미치지 않기 때문에, 콘텍스트/구성 조합이 존재하지 않는 것과 같다. 유효한 시간 주기가시작될 때 다른 콘텍스트/구성 조합이 현재 영향을 미치고 있으면, 새롭게 유효해진 콘텍스트/구성 조합이 영향을 미칠 때 이전의 콘텍스트/구성 조합은 비활성화된 다음 보관(archive)된다.
본 발명은 단일 공정 콘텍스트에 관련하여 설명되지만, 당업자라면 많은 공정 콘텍스트들이 정의되고 동시에 참이 되는 것으로 결정될 수 있다는 것을 쉽게 알 수 있을 것이다. 또한, 단일 공정 콘텍스트는 다수의 콘텍스트가 없는 공정 문서들과 조합될 수 있고, 단일의 콘텍스트가 없는 구성 문서는 다수의 공정 콘텍스트들과 조합될 수 있다.
당업자라면 도면과 관련하여 상기 설명된 방법이 장치 또는 컴퓨터 시스템을 이용하여 자동화될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 이러한 장치 또는 컴퓨터 시스템은 공정 콘텍스트와 이 공정 콘텍스트가 참일 때 이용될 정보를 포함하는 콘텍스트가 없는 구성 문서 간의 콘텍스트/구성 조합을 생성하기 위한 콘텍스트/구성 조합 모듈을 포함할 수 있다. 이러한 장치 또는 컴퓨터 시스템은 콘텍스트 구성 조합을 활성화하기 위한 활성화 모듈을 더 포함한다. 이러한 장치 또는 컴퓨터 시스템은 콘텍스트/구성 조합을 승인하기 위한 승인 모듈을 더 포함한다.
본 발명은 많은 장점들을 갖는다. 본 발명은 동작을 위한 콘텍스트가 없는 구성 문서가 자신이 이용될 공정 콘텍스트로부터 개별적으로 특정될 수 있게 한다. 또한, 공정 콘텍스트와 콘텍스트가 없는 구성 문서 간의 콘텍스트/구성 조합은 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서와 독립적으로 존재한다. 공정 콘텍스트로부터 콘텍스트가 없는 구성 문서를 분리하게 되면, 콘텍스트가 없는 구성 문서또는 공정 콘텍스트에 대한 어떠한 복사도 필요없기 때문에, 이 둘 모두의 유지를 상당히 단순화한다.
공정 콘텍스트, 콘텍스트가 없는 구성 문서 및 콘텍스트/구성 조합을 개별적으로 특정함으로써, 변형 제어(version control) 및 검색과 같은 문서 관리 특징들이 각 사양을 관리하는 데에 이용될 수 있다. 콘텍스트/구성 조합, 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서의 변형들은 변경 추적(change tracking)이 가능하도록 유지될 수 있다. 사인오프 절차들이 콘텍스트/구성 조합, 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서 각각에 대해 실행될 수 있다. 이러한 콘텍스트/구성 조합, 공정 콘텍스트 및 콘텍스트가 없는 구성 문서들은 어떠한 사용자에 의해 사용자 인터페이스를 통해 생성될 수 있지만, 필요한 관리 승인을 얻을 때 까지 제조에 배치되지 않는다. 공정 콘텍스트들은 단지 한번 특정되고, 적용할 수 있는 많은 콘텍스트가 없는 구성 문서들과 조합될 수 있다.
일 실시예에서, 콘텍스트/구성 조합은, 관리 승인을 위한 빌트인 사인오프 절차들, 유효 시간(time-of-effect) 추적 특징들 및 검색 성능을 갖는 변형된 객체(object)로서 실행된다. 다른 실시예들에서, 공정 콘텍스트 그리고/또는 콘텍스트가 없는 구성 문서는 변형된 객체들과 유사하게 실행될 수 있다.
다른 실시예들
본 발명은 1개 이상의 컴퓨터 시스템들에서 동작하는 소프트웨어 애플리케이션들의 콘텍스트에서 설명되었다. 그러나, 당업자라면 본 발명이 다양한 형태의 프로그램 제품으로서 분산(distribute)될 수 있고, 이러한 분산을 실제로 실행하는데에 이용되는 매체(medium)들을 갖는 신호의 특정 타입에 상관없이 균일하게 적용된다는 것을 알 수 있을 것이다. 매체들을 갖는 신호의 예로는 플로피 디스크 및 CD-ROM과 같은 기록가능 매체, 및 디지털 및 아날로그 통신 링크들과 같은 전송 매체 뿐 아니라, 미래에 개발되는 매체 저장 및 분산 시스템이 있다.
또한, 상기 상세한 설명은 블록도, 흐름도 및 예를 이용하여 본 발명의 다양한 실시예들에 대해 설명했다. 당업자라면 각각의 블록도의 구성 요소, 흐름도의 단계 및 예들을 이용하여 도시되는 동작 그리고/또는 요소가 개별적으로 그리고/또는 집합적으로 실행될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다.

Claims (16)

  1. 제조 공정을 위한 콘텍스트가 없는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간의 콘텍스트/구성 조합을 특정하는 단계와; 그리고
    상기 제조 공정에 대한 변경을 실행하기 위해 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 단계 이전에, 상기 콘텍스트/구성 조합을 승인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 변경은 상기 공정 콘텍스트가 참일 때 상기 콘텍스트가 없는 구성 문서에 따라 상기 제조 공정을 수행하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정 콘텍스트는 제품을 제조하기 위한 동작들의 루트의 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정 콘텍스트는 제조 툴의 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘텍스트가 없는 문서는 상기 제조 공정을 수행하기 위한 사양 문서를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘텍스트가 없는 구성 문서는 상기 제조 공정을 수행하기 위한 명령들을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘텍스트가 없는 구성 문서는 상기 제조 공정을 수행하기 위한 레시피를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제조 공정은 반도체 제조 공정이고;
    상기 콘텍스트가 없는 구성 문서는 상기 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 레시피에 대응하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 단계는 제 1 콘텍스트/구성 조합을 제거하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    제 1 승인을 얻을 때 상기 제 1 콘텍스트/구성 조합을 비활성화하는 단계와; 그리고
    상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하기 전에 제 2 승인을 얻는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제조 공정을 위한 콘텍스트가 없는 구성 문서와 공정 콘텍스트 간의 콘텍스트/구성 조합을 특정하는 조합 모듈과; 그리고
    상기 제조 공정에 대한 변경을 실행하기 위해 상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하는 활성화 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 콘텍스트/구성 조합을 활성화하기 이전에 상기 콘텍스트/구성 조합을 승인하는 승인 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 공정 콘텍스트가 참일 때 상기 콘텍스트가 없는 구성 문서에 따라 상기제조 공정을 수행하는 수행 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 공정 콘텍스트를 정의하고 상기 콘텍스트가 없는 구성 문서를 설정하는사용자 인터페이스 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 공정 콘텍스트와 상기 콘텍스트가 없는 구성 문서를 조합하는 사용자 인터페이스 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
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