JP2005518106A - 磁気抵抗型スピンバルブセンサ及び磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
磁気抵抗型スピンバルブセンサは、磁性材料からなる第1の層と、第1の層上に設けられ磁性材料からなる第2の層と、第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する。
Description
本発明は、磁気抵抗型スピンバルブセンサ及び磁気記憶装置に係り、特に出力を向上するための構造を有する磁気抵抗型スピンバルブセンサと、そのような磁気抵抗効果型スピンバルブセンサを用いる磁気記憶装置に関する。
典型的な磁気抵抗効果型スピンバルブセンサは、ベース層、第1の(ピン)磁性層、スペーサ層及び第2の磁性(フリー)層がこの順序で積層された構造を有する。磁気抵抗効果型スピンバルブセンサの出力を増大させることで、高記録密度の磁気記録媒体から情報を読むことができる。
磁気抵抗効果型スピンバルブセンサのジャイアント磁気抵抗(GMR)は、S. S. P.
Parkin,"Origin of Enhanced Magnetoresistance of Magnetic Multilayers:
Spin-Dependent Scattering from Magnetic Interface States", Phys. Rev.
Lett., vol.71(10), pp.1641-1644 (1993)、B. Dieny et al., "Giant
magnetoresistance in soft ferromagnetic multilayers", Phys. Rev. B.,
vol.43(1), pp.1297-1300 (1991)、J. Barnas et al., "Novel magnetoresistance
effect in layered magnetic structures: Theory and experiment", Phys. Rev.
B., vol.42(13), pp.8110-8120 (1990)、及びB. Dieny, "Classical theory of giant
magnetoresistance in spin-valve multilayers: influence of thicknesses, number
of periods, bulk and interfacial spin-dependent scattering", J. Phys.:
Condens. Matter, vol.5, pp.8009-8021 (1992)からも理解できるように、界面、バルク及びスピンに依存する不純物散乱の組み合わせに起因する。
Parkin,"Origin of Enhanced Magnetoresistance of Magnetic Multilayers:
Spin-Dependent Scattering from Magnetic Interface States", Phys. Rev.
Lett., vol.71(10), pp.1641-1644 (1993)、B. Dieny et al., "Giant
magnetoresistance in soft ferromagnetic multilayers", Phys. Rev. B.,
vol.43(1), pp.1297-1300 (1991)、J. Barnas et al., "Novel magnetoresistance
effect in layered magnetic structures: Theory and experiment", Phys. Rev.
B., vol.42(13), pp.8110-8120 (1990)、及びB. Dieny, "Classical theory of giant
magnetoresistance in spin-valve multilayers: influence of thicknesses, number
of periods, bulk and interfacial spin-dependent scattering", J. Phys.:
Condens. Matter, vol.5, pp.8009-8021 (1992)からも理解できるように、界面、バルク及びスピンに依存する不純物散乱の組み合わせに起因する。
磁気抵抗効果型スピンバルブセンサのフリー層又はピン層に更なる磁性界面を形成することで、磁気抵抗特性を向上することができる。又、磁気抵抗効果型スピンバルブセンサのGMRは、フリー層の膜厚を減少させることで増加できることが知られている。これは、磁束密度と膜厚の積、即ち、tBs値がフリー層の膜厚の減少に応じて減少するからである。ここで、tはフリー層の膜厚を示し、Bsはフリー層の磁束密度を示す。
S. S. P. Parkin,"Origin ofEnhanced Magnetoresistance of Magnetic Multilayers: Spin-Dependent Scatteringfrom Magnetic Interface States", Phys. Rev. Lett., vol.71(10),pp.1641-1644 (1993) B. Dieny et al., "Giantmagnetoresistance in soft ferromagnetic multilayers", Phys. Rev. B.,vol.43(1), pp.1297-1300 (1991) J. Barnas et al., "Novelmagnetoresistance effect in layered magnetic structures: Theory andexperiment", Phys. Rev. B., vol.42(13), pp.8110-8120 (1990) B. Dieny, "Classical theoryof giant magnetoresistance in spin-valve multilayers: influence of thicknesses,number of periods, bulk and interfacial spin-dependent scattering", J.Phys.: Condens. Matter, vol.5, pp.8009-8021 (1992) W. F. Egelhoff, Jr. et al.,"Specular electron scattering in metallic thin films", J. Vac. Sci.Technol. B, vol.17(4), pp.1702-1707 (1999)
S. S. P. Parkin,"Origin ofEnhanced Magnetoresistance of Magnetic Multilayers: Spin-Dependent Scatteringfrom Magnetic Interface States", Phys. Rev. Lett., vol.71(10),pp.1641-1644 (1993) B. Dieny et al., "Giantmagnetoresistance in soft ferromagnetic multilayers", Phys. Rev. B.,vol.43(1), pp.1297-1300 (1991) J. Barnas et al., "Novelmagnetoresistance effect in layered magnetic structures: Theory andexperiment", Phys. Rev. B., vol.42(13), pp.8110-8120 (1990) B. Dieny, "Classical theoryof giant magnetoresistance in spin-valve multilayers: influence of thicknesses,number of periods, bulk and interfacial spin-dependent scattering", J.Phys.: Condens. Matter, vol.5, pp.8009-8021 (1992) W. F. Egelhoff, Jr. et al.,"Specular electron scattering in metallic thin films", J. Vac. Sci.Technol. B, vol.17(4), pp.1702-1707 (1999)
しかし、フリー層の膜厚を減少させると、ピン層とフリー層の間で小さな保磁力及び小さな層間結合磁界を維持するのは難しくなる。この結果、磁気抵抗効果型スピンバルブセンサの熱安定性が低下し、ノイズが発生してしまう。このため、熱安定性の向上とノイズ発生の抑制を両立するのは難しいという問題があった。
本発明は、上記の問題を解決し得る磁気抵抗型スピンバルブセンサ及び磁気記憶装置を提供することを概括的目的とする。
本発明のより具体的な目的は、磁性材料からなる第1の層と、該第1の層上に設けられ磁性材料からなる第2の層と、該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する磁気抵抗型スピンバルブセンサを提供することにある。本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサによれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
本発明の他の目的は、磁性材料からなる第1の層と、該第1の層上に設けられ非磁性材料からなる第2の層と、該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する磁気抵抗型スピンバルブセンサを提供することにある。本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサによれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
更に本発明の目的は、フリー層を構成する磁性材料からなる磁性層と、該磁性層上に設けられた第1の鏡面散乱層と、該第1の鏡面散乱層上に設けられた第1の保護層と、該第1の保護層上に設けられた第2の鏡面散乱層と、該第2の鏡面散乱層上に設けられた第2の保護層とを備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサを提供することにある。本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサによれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
本発明の他の目的は、金属材料からなるスペーサ層と、該スペーサ層上に設けられフリー層を構成するアモルファス材料からなる磁性層と、該磁性層上に設けられた鏡面散乱層とを備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサを提供することにある。本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサによれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
本発明の他の目的は、磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、磁性材料からなる第1の層と、該第1の層上に設けられ磁性材料又は非磁性材料からなる第2の層と、該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する磁気記憶装置を提供することにある。本発明になる磁気記憶装置によれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
更に本発明の他の目的は、磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、フリー層を構成する磁性材料からなる磁性層と、該磁性層上に設けられた第1の鏡面散乱層と、該第1の鏡面散乱層上に設けられた第1の保護層と、該第1の保護層上に設けられた第2の鏡面散乱層と、該第2の鏡面散乱層上に設けられた第2の保護層とを備えた磁気記憶装置を提供することにある。本発明になる磁気記憶装置によれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
本発明の他の目的は、磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、金属材料からなるスペーサ層と、該スペーサ層上に設けられフリー層を構成するアモルファス材料からなる磁性層と、該磁性層上に設けられた鏡面散乱層とを備えた磁気記憶装置を提供することにある。本発明になる磁気記憶装置によれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる。
本発明の他の目的及び特長は、以下に図面と共に述べる説明より明らかとなろう。
本発明によれば、ノイズの発生を抑制しつつ、MR特性及び熱安定性の両方を向上させることができる磁気抵抗型スピンバルブセンサ及び磁気記憶装置を実現できる。
以下に、本発明の実施例を説明する。
本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第1実施例を、図1と共に説明する。図1は、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第1実施例の要部を示す断面図である。図1に示す磁気抵抗型スピンバルブセンサは、基板1、下地層2、反強磁性層3、第1の磁性層4、スペーサ層5及び第2の磁性層6からなる。
下地層2は、例えばTa層と、Ta層上に形成されたNiFe層を含む多層構造を有する。又、反強磁性層3は、例えばPdPtMnからなり、ピニング層を構成する。
第1の磁性層4は、Co合金等の磁性材料からなり、単層構造を有しても、後述する第2の磁性層6の場合のように多層構造を有しても良い。第1の磁性層4は、磁気抵抗型スピンバルブセンサのピン層を構成する。スペーサ層5は、Cu等の非磁性材料からなる。
第2の磁性層6は、図2又は図3に示す多層構造を有し、磁気抵抗型スピンバルブセンサのフリー層を構成する。
図2に示す第2の磁性層6は、第1の層6−1、第2の層6−2及び第3の層6−3からなる。第1、第2及び第3の層6−1,6−2,6−3の各々は、Ni,Co,Fe,B,CoFe,CoFeB,NiFe、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料で構成されている。又、第1、第2及び第3の層6−1,6−2,6−3の各々の膜厚は、0より大きく20Åより小さい値を有する。第1の変形例では、図2に示す多層構造が規則的に、即ち、スペーサ層5上に複数回繰り返し設けられている。
他方、図3に示す第2の磁性層6は、第1の層6−11、第2の層6−12及び第3の層6−13からなる。第1及び第3の層6−11,6−13の各々は、Ni,Co,Fe,B,CoFe,CoFeB,NiFe、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料で構成されている。又、第1及び第3の層6−11,6−13の各々の膜厚は、0より大きく20Åより小さい値を有する。更に、第2の層6−12は、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された非磁性材料で構成されている。第2の変形例では、図3に示す多層構造が規則的に、即ち、スペーサ層5上に複数回繰り返し設けられている。
図4は、多層構造を有する第2の磁性層6の面積抵抗変化ΔRを示す図であり、図5は、第1の磁性層4と第2の磁性層6間の層間結合磁界Hinを示す図である。図4及び図5は、第1の層6−1がCoFeBからなり膜厚t1を有し、第2の層6−2がNiFeからなり膜厚tを有し、第3の層6−3がCoFeBからなり膜厚t1を有し、t1+t+t1=50Åの場合を示す。
図4中、左側の縦軸は面積抵抗変化ΔR、右側の縦軸は反強磁性層3と第1の磁性層4間の層間結合磁界Hex、横軸は第2の層6−2の膜厚tを示す。又、記号「●」は面積抵抗変化ΔRを示し、記号「□」は層間結合磁界Hexを示す。
図5中、左側の縦軸は第1の磁性層4と第2の磁性層6間の層間結合磁界Hinを示し、右側の縦軸は第2の磁性層6の保磁力Hcを示し、横軸は第2の層6−2の膜厚tを示す。又、記号「●」は層間結合磁界Hinを示し、記号「□」は保磁力Hcを示す。
この場合、t=22.5Åでt1=5Åのときに面積抵抗変化ΔRが最適値となることがわかる。
図6は、比較用に、単層構造のフリー層を有する磁気抵抗型スピンバルブセンサの面積抵抗変化ΔRを示す図である。この比較用の磁気抵抗型スピンバルブセンサは、下地層を構成する膜厚が50ÅのTa層及び膜厚が20ÅのNiFe層と、反強磁性層を構成する膜厚が16ÅのPdPtMn層と、ピン層を構成する膜厚が15ÅのCoFeB層、膜厚が7.5ÅのRu層及び膜厚が25ÅのCoFeB層と、スペーサ層を構成する膜厚が30ÅのCu層と、膜厚がtÅのCoFeBフリー層と、キャップ層を構成する膜厚が50ÅのTa層とからなる。
図4及び図5を図6と比較すればわかるように、本実施例によれば、面積抵抗変化ΔRが0.87Ωから1.00Ωに改善される。つまり、単層構造を有するフリー層の場合、総面積抵抗変化ΔRは、一般的にはフリー層の膜厚が減少するに従い増加するが、多層構造のフリー層、即ち、第1、第2及び第3の層6−1,6−2,6−3からなる第2の磁性層6を備える本実施例では、これとは逆の現象が観測された。
図7は、多層構造を有する第2の磁性層6の面積抵抗変化ΔRを示す図であり、図8は、第1の磁性層4と第2の磁性層6間の層間結合磁界Hinを示す図である。図7及び図8は、第1の層6−1がCoFeBからなり膜厚tを有し、第2の層6−2がNiFeからなり60Åの膜厚を有し、第3の層6−3がCoFeBからなり膜厚tを有する場合を示す。
図7中、左側の縦軸は面積抵抗変化ΔR、右側の縦軸は層間結合磁界Hex、横軸は第1及び第3の層6−1,6−3の膜厚tを示す。又、記号「●」は面積抵抗変化ΔRを示し、記号「□」は層間結合磁界Hexを示す。
図8中、左側の縦軸は層間結合磁界Hinを示し、右側の縦軸は第2の磁性層6の保磁力Hcを示し、横軸は第1及び第3の層6−1,6−3の膜厚tを示す。又、記号「●」は層間結合磁界Hinを示し、記号「□」は保磁力Hcを示す。
図7及び図8を図6と比較すればわかるように、本実施例によれば、t=12Å、即ち、第2の磁性層6の合計膜厚が30Åの場合、面積抵抗変化ΔRが0.94Ωから1.25Ωに改善される。
次に、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例を、図9と共に説明する。図9は、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例の要部を示す断面図である。図9中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。図9に示す磁気抵抗型スピンバルブセンサは、鏡面散乱層7及び金属キャップ層8を更に有する。第2の磁性層6は、図2又は図3に示す多層構造を有しても良い。
鏡面散乱層7は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2及びこれらの合金からなるグループから選択された材料で構成されている。鏡面散乱層7の膜厚は、0より大きく30Åより小さい値を有する。金属キャップ層8は、例えばCuからなり、磁気抵抗型スピンバルブセンサの保護層を構成する。
図10は、磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例と、単層構造及び2層構造を有するフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサの面積抵抗変化ΔRを示す図である。図10中、縦軸は面積抵抗変化ΔRを示し、横軸は磁束密度と膜厚の積tBsを示す。ここで、tは第2の磁性層6(即ち、フリー層)の膜厚を示し、Bsは第2の磁性層6(即ち、フリー層)の磁束密度を示す。
図11は、磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例と、単層構造及び2層構造を有するフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサの層間結合磁界Hinを示す図である。図11中、縦軸は第1及び第2の磁性層4,6(即ち、ピン層とフリー層)間の層間結合磁界Hinを示し、横軸は磁束密度と膜厚の積tBsを示す。
図12は、磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例と、単層構造及び2層構造を有するフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサの保磁力Hcを示す図である。図12中、縦軸は保磁力Hcを示し、横軸は磁束密度と膜厚の積tBsを示す。
図13は、磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例と、単層構造及び2層構造を有するフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサにおける層間結合磁界Hexを示す図である。図13中、縦軸は層間結合磁界Hexを示し、横軸は磁束密度と膜厚の積tBsを示す。
図10〜図13において、記号「●」は、CoFeの第1の層、NiFeの第2の層及びCoFeの第3の層からなる多層構造を有する第2実施例の第2の磁性層6の特性を示す。記号「■」は、CoFe層及びNiFe層からなる2層構造を有するフリー層の特性を示し、記号「◆」は、CoFe層からなる単層構造を有するフリー層の特性を示す。各磁気抵抗型スピンバルブセンサは、説明の便宜上、50ÅのTa層及び16ÅのNiFe層で構成された下地層2と、150ÅのPdPtMn層で構成された反強磁性層3と、15ÅのCoFe層、9.5ÅのRu層及び10ÅのCoFeB層で構成された第1の磁性層(ピン層)4と、20ÅのCu層で構成されたスペーサ層5と、7ÅのCu層で構成された鏡面散乱層7と、30ÅのCoO層で構成されたキャップ層8とを備えるものとする。
図14は、磁気抵抗型スピンバルブセンサの第2実施例と、単層構造及び2層構造を有するフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサにおける磁束密度と膜厚の積tBsを示す図である。図14は、多層構造(3層構造)、2層構造及び単層構造のフリー層を構成する各層の対応する膜厚を、tBs値に対して示す。
図10からもわかるように、第2実施例の面積抵抗変化ΔRは、2層構造のフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサと比較すると、第2の磁性層6(フリー層)の膜厚が減少しても小さな値まで減少することがない。図11及び図12からもわかるように、第2実施例の層間結合磁界Hin及び保磁力Hcは、単層構造のフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサの層間結合磁界Hin及び保磁力Hcよりも高い。又、図13からもわかるように、第2実施例の層間結合磁界Hexは、2層構造のフリー層を備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサの層間結合磁界Hexよりも高い。従って、多層構造(3層構造)を有する第2の磁性層6(フリー層)は、磁気抵抗型スピンバルブセンサに用いてその軟磁性特性を活用するのに適していることが確認された。
次に、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第3実施例を、図15と共に説明する。図15は、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第3実施例の要部を示す断面図である。図15中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。図15に示す磁気抵抗型スピンバルブセンサは、第1の鏡面散乱層7−1、第2の保護層8−1、第2の鏡面散乱層7−2及び第2の保護層8−2が第2の磁性層6上にこの順序で積層された構成を有する。第2の磁性層6は、単層構造を有しても、2層構造を有しても、図2又は図3に示す如き多層構造(3層構造)を有しても良い。
第1及び第2の鏡面散乱層7−1,7−2の各々は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2及びこれらの合金からなるグループから選択された材料で構成されている。例えば、第1の鏡面散乱層7−1の膜厚は0より大きく30Åより小さく、第2の鏡面散乱層7−2の膜厚は0より大きく30Åより小さい。
第1及び第2の保護層8−1,8−2の各々は、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料で構成されている。例えば、第1の保護層8−1の膜厚は0より大きく20Åより小さく、第2の保護層8−2の膜厚は0より大きく200Åより小さい。
磁気抵抗型スピンバルブセンサに酸化物キャップ層を設けることで、MR出力を増大させることが可能なことは、W. F. Egelhoff, Jr. et al., "Specular electron scattering in
metallic thin films", J. Vac. Sci. Technol. B, vol.17(4), pp.1702-1707
(1999)より知られている。しかし、従来の酸化物キャップ層は、酸化物キャップ層と磁性層との間の界面での鏡面散乱が少ない。更に、従来の酸化物キャップ層を有する磁気抵抗型スピンバルブセンサは、高保磁力及び高層間結合磁界といった硬磁性特性を有する。
metallic thin films", J. Vac. Sci. Technol. B, vol.17(4), pp.1702-1707
(1999)より知られている。しかし、従来の酸化物キャップ層は、酸化物キャップ層と磁性層との間の界面での鏡面散乱が少ない。更に、従来の酸化物キャップ層を有する磁気抵抗型スピンバルブセンサは、高保磁力及び高層間結合磁界といった硬磁性特性を有する。
本実施例は、2層鏡面散乱キャッピングを用いることで、MR出力を更に増大させる。第1の鏡面散乱層7−1は、ピンホールを有するか、或いは、薄く連続している。第2の鏡面散乱層7−2及び第2の保護層8−2は、例えばAl2O3からなり磁気抵抗型スピンバルブセンサのギャップとして機能する単一の厚膜鏡面散乱キャップ層に置き換えられても良い。この単一の厚膜鏡面散乱キャップ層は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料で構成されており、膜厚は例えば0より大きく200Åより小さい。第1及び第2の鏡面散乱層7−1,7−2に酸化物を用いた場合、図16からもわかるように、単一鏡面散乱キャッピングの場合と比較すると、2層鏡面散乱キャッピングによりMR出力が約20%増大することが確認された。このようなMR出力の増大は、薄い第1の鏡面散乱層7−1を通過又は貫通し、第2の保護層(又は、単一の鏡面散乱キャップ層)により反射され、そしてGMRが発生する磁気抵抗型スピンバルブセンサのコアに戻される電子によるものと考えられ、これにより大きなGMRを発生させることができる。
図16は、単一鏡面散乱キャッピングを備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサ及び本実施例のように2層鏡面散乱キャッピングを備えた磁気抵抗型スピンバルブセンサのマイナーループ特性を示す図である。より具体的には、図16は、GMR、表面抵抗変化ΔR、抵抗R、層間結合磁界Hin及びフリー層構造を、ケースC1,C2,C3及びC4について示す。「フリー層構造」の行において、CoFe8/NiFe6/CoFe15は、フリー層(第2の磁性層6)が、膜厚が8ÅでCoFeの第1の層、膜厚が6ÅでNiFeの第2の層及び膜厚が15ÅでCoFeの第3の層からなることを示す。同様に、CoFe8/NiFe6/CoFe10は、フリー層(第2の磁性層6)が、膜厚が8ÅでCoFeの第1の層、膜厚が6ÅでNiFeの第2の層及び膜厚が10ÅでCoFeの第3の層からなることを示す。更に、CoFe10/NiFe18は、フリー層(第2の磁性層6)が、膜厚が10ÅでCoFeの層及び膜厚が18ÅでNiFeの層からなることを示す。
ケースC1の場合、CoFe8/NiFe6/CoFe15のフリー層(第2の磁性層6)上に酸化物薄膜が第1の鏡面散乱層7−1として設けられ、Cu層が第1の保護層8−1として設けられ、Al2O3層が第2の鏡面散乱層7−2及び第2の保護層8−2の代わりに設けられる単一の鏡面散乱キャップ層として設けられる。ケースC2の場合、CoFe8/NiFe6/CoFe15のフリー層(第2の磁性層6)上に酸化物薄膜が第1の鏡面散乱層7−1として設けられ、Cu層が第1の保護層8−1として設けられ、Ta層が第2の鏡面散乱層7−2及び第2の保護層8−2の代わりに設けられる単一の鏡面散乱キャップ層として設けられる。このように、ケースC1及びケースC2では、本実施例の2層鏡面散乱キャッピングが用いられる。
他方、ケースC3の場合、CoFe8/NiFe6/CoFe10のフリー層(第2の磁性層6)上にCu層が第1の鏡面散乱層7−1として設けられ、Al2O3層が第1のキャッピング層8−1として設けられる。ケースC4の場合、CoFe10/NiFe18のフリー層(第2の磁性層6)上にCu層が第1の鏡面散乱層7−1として設けられ、Ta層が第1のキャッピング層8−1として設けられる。このように、ケースC3及びケースC4では、本実施例の単層鏡面散乱キャッピングが用いられ、第2の鏡面散乱層7−2及び第2の保護層8−2又は単一の鏡面散乱キャップ層はこれらのケースC3及びC4の場合は設けられない。
図16からもわかるように、本実施例におけるケースC1及びケースC2の場合、ケースC3及びケースC4の場合と比較すると大きなGMRを得ることができる。
次に、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第4実施例を、図17と共に説明する。図17は、本発明になる磁気抵抗型スピンバルブセンサの第4実施例の要部を示す断面図である。図17中、図1と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。図17に示す磁気抵抗型スピンバルブセンサは、アモルファス材料からなり膜厚が0より大きく50Åより小さい第2の磁性層6と、第2の磁性層6上に設けられた鏡面散乱層7とを有する。第2の磁性層6のアモルファス材料は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2,B,Ta,Ru,Ni、Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb,Si,Sn,V,W、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択される。
図18は、本実施例で得られるセンサ出力のシミュレーション結果を示す図である。図18に示す磁気抵抗型スピンバルブセンサのセンサ出力は、他のパラメータは固定したまま、第2の磁性層6におけるスピンの交換安定性Aを1/10に減少させた状態で求めた。図18からもわかるように、交換安定性Aが減少するにつれてセンサ出力は増加し、交換安定性Aは第2の磁性層6のアモルファス状態及びこの第2の磁性層6上に設けられた鏡面散乱層7により減少することが確認された。交換安定性Aが低いと、有効読み取りトラック幅が減少するにつれてセンサ出力が比較的大きくなる。周知の如く、高記録密度を実現するためには、読み取りトラック幅を小さくする必要がある。
従って、従来の磁気抵抗型スピンバルブセンサにおいてアモルファスなフリー層を用いると、従来の磁気抵抗型スピンバルブセンサにおいて結晶質のフリー層を用いた場合と比較するとMR特性が低下するが、本実施例によれば、アモルファスなフリー層を用いても、アモルファスなフリー層上に鏡面散乱層が設けられるので、MR特性を大幅に向上させることができる。
次に、本発明になる磁気記憶装置の一実施例を、図19及び図20と共に説明する。図19は、磁気記憶装置の本実施例の要部を示す断面図であり、図20は、磁気記憶装置の本実施例の要部を示す平面図である。
図19及び図20に示すように、磁気記憶装置はハウジング113内に設けられたモータ114、ハブ116、複数の磁気記録媒体116、複数の記録再生ヘッド117、複数のサスペンション118、複数のアーム119及びアクチュエータ装置120からなる。磁気記録媒体116は、モータ114により回転されるハブ115に取り付けられている。記録再生ヘッド117は、再生ヘッドと、インダクティブヘッド等の記録ヘッドから構成されている。各記録再生ヘッド117は、対応するアーム119の先端にサスペンション118を介して取り付けられている。アーム119は、アクチュエータ装置120により移動される。このような磁気記憶装置の基本構成自体は周知であり、本明細書ではその詳細な説明は省略する。
磁気記憶装置の本実施例は、記録再生ヘッド117の再生ヘッドに特徴がある。再生ヘッドは、図1〜図18と共に説明した磁気抵抗効果型スピンバルブセンサの第1〜第4実施例のいずれの構造を有するものであっても良い。磁気記録媒体116の数は3つに限定されるものではなく、2つであっても、4以上であっても良い。このため、設けられる記録再生ヘッド117の数に応じて、1又は複数の磁気抵抗効果型スピンバルブセンサを設ければ良い。
磁気記憶装置の基本構成は、図19及び図20に示すものに限定されない。又、本発明で用いられる磁気記録媒体は磁気ディスクに限定されるものではない。
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは、言うまでもない。
Claims (28)
- 磁性材料からなる第1の層と、
該第1の層上に設けられ磁性材料からなる第2の層と、
該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、
該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する、磁気抵抗型スピンバルブセンサ。 - 磁性材料からなる第1の層と、
該第1の層上に設けられ非磁性材料からなる第2の層と、
該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、
該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する、磁気抵抗型スピンバルブセンサ。 - 該第3の層上に設けられた鏡面散乱層を更に備えた、請求項1記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1、第2及び第3の層の各々は、アモルファス材料からなる、請求項3記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第3の層上に設けられた鏡面散乱層を更に備えた、請求項2記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1及び第3の層の各々は、アモルファス材料からなる、請求項5記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該アモルファス材料は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2,B,Ta,Ru,Ni、Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb,Si,Sn,V,W、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択される、請求項4又は6記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該多層構造は、0より大きく50Åより小さい膜厚を有する、請求項4又は6記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1、第2及び第3の層の各々は、Ni,Co,Fe,B,CoFe,CoFeB,NiF、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料からなる、請求項1記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1、第2及び第3の層の各々は、0より大きく20Åより小さい膜厚を有する、請求項9記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該非磁性材料は、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択される、請求項2記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第2の層は、0より大きく20Åより小さい膜厚を有する、請求項11記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該鏡面散乱層は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2及びこれらの合金からなるグループから選択された材料からなる、請求項3又は5記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該鏡面散乱層は、0より大きく30Åより小さい膜厚を有する、請求項13記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第3の層上に設けられた第1の鏡面散乱層と、
該第1の鏡面散乱層上に設けられた第1の保護層と、
該第1の保護層上に設けられた第2の鏡面散乱層と、
該第2の鏡面散乱層上に設けられた第2の保護層とを更に備えた、請求項1又は2記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。 - 該第1及び第2の鏡面散乱層の少なくとも一方は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2及びこれらの合金からなるグループから選択された材料からなる、請求項15記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1の保護層は、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料からなる、請求項15記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1の保護層は、0より大きく20Åより小さい膜厚を有する、請求項17記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第2の鏡面散乱層及び該第2の保護層は、単一の鏡面散乱キャップ層で構成され、該単一の鏡面散乱キャップ層は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2,B,Ta,Ru,Ni、Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料からなる、請求項15記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該単一の鏡面散乱キャップ層は、0より大きく200Åより小さい膜厚を有する、請求項19記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- フリー層を構成する磁性材料からなる磁性層と、
該磁性層上に設けられた第1の鏡面散乱層と、
該第1の鏡面散乱層上に設けられた第1の保護層と、
該第1の保護層上に設けられた第2の鏡面散乱層と、
該第2の鏡面散乱層上に設けられた第2の保護層とを備えた、磁気抵抗型スピンバルブセンサ。 - 該第1及び第2の鏡面散乱層の少なくとも一方は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2及びこれらの合金からなるグループから選択された材料からなる、請求項21記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第1の保護層は、B,Ta,Ru,Ni,Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料からなる、請求項21又は22記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 該第2の鏡面散乱層及び該第2の保護層は、単一の鏡面散乱キャップ層で構成され、該単一の鏡面散乱キャップ層は、CoO,Co3O4,Co2O3,Cu2O,CuO,Al2O3,NiO,FeO,Fe2O3,Fe3O4,MnO,TiO2,SiO2,B,Ta,Ru,Ni、Fe,Pd,Pt,Mn,Cu,Co,Ti,C,Cr,Zn,Y,Zr,Nb,Mo,Rh,Ag,Au,Hf,W,Re,Os,Ir,Nb、これらの合金、及びこれらの酸化物からなるグループから選択された材料からなる、請求項21〜23のいずれか1項記載の磁気抵抗型スピンバルブセンサ。
- 金属材料からなるスペーサ層と、
該スペーサ層上に設けられフリー層を構成するアモルファス材料からなる磁性層と、
該磁性層上に設けられた鏡面散乱層とを備えた、磁気抵抗型スピンバルブセンサ。 - 磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、
該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、
該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、
磁性材料からなる第1の層と、
該第1の層上に設けられ磁性材料又は非磁性材料からなる第2の層と、
該第2の層上に設けられ磁性材料からなる第3の層とを備え、
該第1、第2及び第3の層は、多層構造のフリー層を構成する、磁気記憶装置。 - 磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、
該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、
該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、
フリー層を構成する磁性材料からなる磁性層と、
該磁性層上に設けられた第1の鏡面散乱層と、
該第1の鏡面散乱層上に設けられた第1の保護層と、
該第1の保護層上に設けられた第2の鏡面散乱層と、
該第2の鏡面散乱層上に設けられた第2の保護層とを備えた、磁気記憶装置。 - 磁気記録媒体から情報を読む磁気記憶装置であって、
該磁気記録媒体から情報を読む磁気抵抗型スピンバルブセンサを備え、
該磁気抵抗型スピンバルブセンサは、
金属材料からなるスペーサ層と、
該スペーサ層上に設けられフリー層を構成するアモルファス材料からなる磁性層と、
該磁性層上に設けられた鏡面散乱層とを備えた、磁気記憶装置。
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