JP2005354101A - 窒化物半導体材料を用いたヘテロ接合電界効果型トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
GaN系ヘテロ接合電界効果型トランジスタにおいて、ヘテロ接合に接するバリアーを薄いAlN層とGaN層からなる多層構造とする。この電界効果型トランジスタの構造では、GaN層とバリアーからなるヘテロ接合界面をチャンネルとし、チャンネルに接するバリアーが薄いAlN層とGaN層からなる多層構造とする。これにより、ゲートリーク電流を低減し、移動度を高め、トランジスタ性能の向上を図る。
【選択図】 図1
Description
M. Asif Khan, A.Bhattarai, J. N. Kuznia and D. T. Olson, "High electron mobili1y transistor based on a GaN-AlxGa1-xN heterojunction" Appl. Phys. Lett. 63(9), pp. 1214-1215, 1993. Y. -F. Wu, B. P.Keller, S. Keller, D. Kapolnek, P. Denbaars, and U, K, Mishra "Very high breakdown voltage and Largetransconductance realized on GaN heterojunction field effect transistors" Appl. Phys. Lett. 69(10), pp. 1438, 1996. Jinwook Burm,William J. Schaff, Lester F. Eastman, Hiroshi Amano and Isamu Akasaki, "75A GaN channel modulation doped field effect transistors ", Appl. Phys. Lett. 68(20), pp. 2894-2851,1996. G. Hanington, Y.M. Hsin, Q. Z. Liu, P. M. Asbeck, S. S. Lau, M. Asif Khan, J. W. Yang and Q.Chen, "P/He ion implantisolation technology for AlGaN/GaN HFETs", Electron. Lett., vol.34, No. 2, pp. 193-195, 1998. S. J. Cai, Y. S.Tang, R. Li, Y. Y. Wei, L. Wong, Y. L. Chen, K. L. Wang, Mary Chen, Y. F. Zhao,R. D. Schrimpf, J. C. Keay, and K. F. Galloway, "Annealing Behavior of a Proton Irradiated AlxGa1-xN/GaN HighElectron Mobility Transistor Grown by MBE", IEEE Electron Device Lett.vol. 47, No. 2, pp. 304-307, 2000. M. Asif Khan, X.Hu, G. Sumin, A. Lunev, J. Yang, R. Gaska, and M. S. Shur, "AlGaN/GaN Metal Oxide Semiconductor HeterostructureField Effect Transistor", IEEE ElectronDevice Lett., vol. 19, No. 2, pp. 63-65, 2000. Y. -F. Wu, B. P.Keller, P. Fini, S. Keller, T. J. Jenkins, L. T. Kehias, S. P. Denbaars, U, K,Mishra, "High Al-Content AlGaN/GaN MODFETs for Ultrahigh Performance",IEEE Electron Device Lett3., vol. 19, No. 2, pp. 50-53, 1998. I. P.Smorchkova, S. Keller, S. Heikman, C. R. Elsass, B. Heying, P. Fini, J. S.Speck, and U. K. Mishra, "Two-dimensionalelectron-gas AlN/GaNhetrostructures with with extremely thin AlN barriers", Appl. Phys.Lett., 77, No. 24, pp. 3998-4000, 2000. Hiroji Kawai,Masaki Hara, Fumihiko Nakamura, Tsunenori Asatsuma, Toshimasa Kobayashi, SyunjiImanaga, "An AlN/GaN insulated gate hetrostructure field effect transistor with regrownn+GaN source and draincontact", Jounal of CrystalGrowth, vol. 189/190 pp. 738-741, 1998. L. shen, S.Heikman, B. Moran, R. Coffie, N. -Q. Zhang, D. Buttari, I. P. Smorchkava, S.Keller, S. P. Denbaars, and U. K. Mishara ,"AlGaN/AlN/GaN high-power microwave HEMT", IEEE Electron Device Lett., vol. 22, No. 10, pp. 457-459, 2001.
2…バッファー層、
3…GaN層、
4…AlGaN層、
5…ドレイン電極、
6…ゲート電極、
7…ソース電極、
11…基板、
12…バッファー層、
13…GaN層、
14…AlN/GaN多層膜、
15…AlGaN層、
16…ドレイン電極、
17…ゲート電極、
18…ソース電極、
21…基板、
22…バッファー層、
23…GaN層、
24…AlN/GaN多層膜、
25…AlGaN層、
26…ドレイン電極、
27…ゲート電極、
28…ソース電極、
31…基板、
32…バッファー層、
33…GaN層、
34…AlN/GaN多層膜、
35…AlGaN層、
36…ドレイン電極、
37…ゲート電極、
38…ソース電極、
39…イオン注入領域、
41…基板、
42…バッファー層、
43…GaN層、
44…AlN/GaN多層膜、
45…AlGaN層、
46…ドレイン電極、
47…ゲート電極、
48…ソース電極、
Claims (5)
- 窒化物半導体を用いた電界効果型トランジスタであって、
窒化ガリウム層とバリアーのヘテロ接合近くに形成されるチャンネルに接するバリアーの部分が限界膜厚以下の厚さの窒化アルミニウム層と限界膜厚以下の厚さの窒化ガリウム層とを相互に重ねた多層構造であり、
前記多層構造における窒化ガリウム層の厚さは量子順位が形成されない薄さである
ことを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 請求項1に記載の電界効果型トランジスタにおいて、
ゲート電極部分については、バリアーが限界膜厚以下の厚さの窒化アルミニウム層と限界膜厚以下の厚さの窒化ガリウム層と重ねた多層構造のみとし、前記多層構造における窒化ガリウム層の厚さは量子順位が形成されない薄さである
ことを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 請求項1に記載の電界効果型トランジスタにおいて、
ドレイン電極部分およびソース電極部分のバリアーが除去されており、
ドレイン電極とソース電極がバリアー直下の窒化ガリウム層上部に直接形成されている
ことを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 窒化物半導体を用いた電界効果型トランジスタであって、
窒化ガリウム層とバリアーのヘテロ接合近くに形成されるチャンネルに接するバリアーの部分が限界膜厚以下の厚さの窒化アルミニウム層と限界膜厚以下の厚さの窒化ガリウム層とを重ねた多層構造であり、
前記多層構造における窒化ガリウム層の厚さは量子順位が形成されない薄さである電界効果型トランジスタにおいて、
バリアー内部の窒化アルミニウム層とその直上の窒化ガリウム層との界面に、シリコン(Si)、スズ(Sn)、ゲルマニウム(Ge)、カーボン(C)のいずれかのn型のドーピングがデルタドープされており、
ゲート電極部分については、バリアーが限界膜厚以下の厚さの窒化アルミニウム層と限界膜厚以下の厚さの窒化ガリウム層と重ねた多層構造のみとし、前記多層構造における窒化ガリウム層の厚さは量子順位が形成されない薄さである
ことを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 請求項4に記載の電界効果型トランジスタにおいて、
ドレイン電極部分およびソース電極部分のバリアーが除去されており、
ドレイン電極とソース電極がバリアー直下の窒化ガリウム層上部に直接形成されている
ことを特徴とする電界効果型トランジスタ。
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