JP2005353830A - エッチング装置 - Google Patents
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Abstract
エッチストップを発生させることなくテーパ加工を行うことのできるエッチング装置を提供する。
【解決手段】
処理室10と、処理室内に配置した試料台8と、処理室内に処理ガスを供給するガス供給管11並びに該ガス供給管を介して処理室に供給するガス流量を制御するマスフローコントローラ12を備えたエッチング処理装置において、前記処理ガスは臭素ガスまたは塩素ガスおよび酸素ガスからなる混合ガスであり、前記マスフローコントローラは、処理ガスの導入開始の時点からウエハバイアス電圧が印加されるまでは、混合ガス中に占める酸素ガスの割合を、ポリシリコン層を順テーパ状にエッチングするに要する割合以下となるように制御する 。
【選択図】 図1
Description
(a)CF4ガスによりケミカルドライエッチングを行う。この方法はFラジカルによって等方性エッチングを行うことにより、テーパを付与するものである。
(2)レジストから生成するスパッタ生成物の量を増加させてテーパを付与する方法
この方法は、ECR(Electron Cyclotron Resonance)を用いたエッチング装置において、ウエハバイアス電位を増大させてレジストに入射するイオンエネルギーを増大させることよりレジストからのスパッタ生成物のポリシリコン側壁への側壁保護膜としての付着量を増大させ、これによりテーパ形状を得るものである。
この方法では、上記(1)、(2)の方法における問題点を解決し、ポリシリコンを任意の形状に良好にエッチングすることができる。例えば、サイドエッチングのない順テーパ状のエッチングが可能であり、また、下地材料である例えば下地SiO2との選択比の高いエッチングが可能である。しかし、処理ガスとしての酸素流量増加に伴い、被エッチング膜であるポリシリコンのエッチングが停止する(進行しない)状況(エッチングストップと呼ばれる)が発生することがある(特許文献1参照)。
HBrガス流量:100ccm
O2ガス流量:8ccm
圧力:0.6Pa
マイクロ波パワー:800w
ウエハバイアス:55w
これにより、ポリシリコンのエッチング形状は、約76°の順テーパ形状が得られた。
(エッチング条件1に対して、さらにテーパ角の小さな(θの小さい)テーパ形状を得るためにO2ガス流量を8ccmから10ccmに変更した。)
HBrガス流量:100ccm
O2ガス流量:10ccm
圧力:0.6Pa
マイクロ波パワー:800w
ウエハバイアス:55w
この条件ではエッチングストップが発生し、上記テーパ角度の要求を満たすことができなかった。
(下記前処理条件でエッチング処理を実行した後、プラズマ放電を継続した状態で前記エッチング条件2の処理を行った。)
前処理条件
エッチング時間:1秒
HBrガス流量:100ccm
O2ガス流量:3ccm
圧力:0.6Pa
マイクロ波パワー:800w
ウエハバイアス:0
これにより、ポリシリコンのエッチング形状は、エッチングストップが発生することなく、約72°の順テーパ形状が得られた。
このように、前処理としての、処理ガスの導入開始時点からウエハバイアス電圧が印加されるまでの混合ガス中に占める酸素ガスの割合を略3%(3/103)以下に制限することによりエッチングストップを発生させることなくテーパ加工を行うことができる。
2 導波管
3 石英版
4 ソレノイドコイル
5 プラズマ
6 ウエハ
7 静電吸着電源
8 試料台
9 高周波電源
10 処理室
11 ガス供給管
12 マスフローコントローラ
13 制御装置
101 フォトレジスト
102 ポリシリコン
103 下地(SiO2膜)
104 側壁保護膜
Claims (4)
- 処理室と、処理室内に配置した試料台と、処理室内に処理ガスを供給するガス供給管並びに該ガス供給管を介して処理室に供給するガス流量を制御するマスフローコントローラを備えたエッチング処理装置において、
前記処理ガスは臭素ガスまたは塩素ガスおよび酸素ガスからなる混合ガスであり、前記マスフローコントローラは、処理ガスの導入開始の時点からウエハバイアス電圧が印加されるまでは、混合ガス中に占める酸素ガスの割合を、ポリシリコン層を順テーパ状にエッチングするに要する割合未満となるように制御することを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
処理ガスの導入開始時点からウエハバイアス電圧が印加されるまでの、混合ガス中に占める酸素ガスの割合は略3%以下であることを特徴とするエッチング装置。 - 下地層としてのSiO層上にポリシリコン層およびフォトレジスト層を順次積層した試料を処理室内に配置した試料台に載置し、処理室内に生成した処理ガスのプラズマを利用して、フォトレジスト層をマスクとしてポリシリコン層を順テーパ状にエッチングするエッチング方法であって、
処理ガスとして臭素ガスまたは塩素ガスと酸素ガスの混合ガスを用い、エッチング開始に際しては、処理ガスの導入開始の時点からウエハバイアス電圧を印加するまでは、混合ガス中に占める酸素ガスの割合を、ポリシリコン層を順テーパ状にエッチングするに要する割合未満とすることを特徴とするエッチング方法。 - 請求項1記載のエッチング方法において、
処理ガスの導入開始時点からウエハバイアス電圧が印加されるまでの、混合ガス中に占める酸素ガスの割合は略3%以下であることを特徴とするエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004172723A JP4473051B2 (ja) | 2004-06-10 | 2004-06-10 | エッチング装置及びエッチング方法 |
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JP2004172723A JP4473051B2 (ja) | 2004-06-10 | 2004-06-10 | エッチング装置及びエッチング方法 |
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JP2005353830A true JP2005353830A (ja) | 2005-12-22 |
JP4473051B2 JP4473051B2 (ja) | 2010-06-02 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4473051B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10366893B2 (en) | 2014-12-08 | 2019-07-30 | Fuji Electric Co., Ltd. | Process for making silicon carbide semiconductor device |
-
2004
- 2004-06-10 JP JP2004172723A patent/JP4473051B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10366893B2 (en) | 2014-12-08 | 2019-07-30 | Fuji Electric Co., Ltd. | Process for making silicon carbide semiconductor device |
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