JP2005347666A - SiC半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si単結晶基板2上にアモルファスを含む厚さ3〜20nmの第1SiC層3及び多数のβ−SiC成長核からなる厚さ10〜50nmの第2SiC層4を順に介在して厚さ1μm以上のβ−SiC単結晶薄膜5が形成されている。
【選択図】 図1
Description
このSiC半導体によれば、結晶性に優れた高品質のものが得られる、というものである。
又、SiC/Si界面へ空隙を残したり、多数の欠陥を発生させることにより、SiC on Siデバイスとしての使用を困難にしている。
Si単結晶基板の表面に凹凸が生じるのは、1200℃までのSi単結晶基板の加熱過程において、Si単結晶基板の表面がH2O(水蒸気)やO2(酸素ガス)等の不純物ガスにより800℃付近からエッチングされ、エッチピットが生成されることによるものである。
第1SiC層の厚さは、5〜15μmがより好ましい。
第2SiC層の厚さは、15〜30nmがより好ましい。
β−SiC単結晶薄膜の厚さは、5μm以上がより好ましい。
β−SiC単結晶薄膜の厚さは、いくら厚くてもよいが、300μmを超えると実用的でない。
又、Si単結晶基板には、第1SiC層の成長前に、水素アニーリングにより表面クリーニングを施すことが望ましい。
第1SiC層の成長温度は、600〜680℃がより好ましい。
第1SiC層の成長原料としては、SiH3CH3(MMS:モノメチルシラン)、その他が用いられる。
第2SiC層の成長温度は、800〜900℃がより好ましい。
第2SiC層の成長原料としては、SiH3CH3、その他が用いられる。
β−SiC単結晶薄膜の成長温度は、成長表面マイグレーション(移動)を考慮しなるべく高温であることが好ましいが、1400℃を超えると、Si単結晶基板が軟化する。
β−SiC単結晶薄膜の成長用原料としては、SiH4(モノシラン)及びC3H8(プロパン)、その他が用いられる。
なお、第1、第2SiC層3,4の成長は、ガス供給量を、H2:12slm、SiH3CH3:2sccmとして25Torrの圧力雰囲気下で行った。
又、低温からSiC形成したことにより、界面からの不純物の混入も少なく、成長させたβ−SiC単結晶薄膜5の結晶性も良好であった。
なお、SiC(200)ピークに対するFWHM(Full Width at Half Maximum:半値全幅)は、0.1°であった。
この際の成長は、ガス供給量を、H2:12slm、SiH3CH3:2sccmとして25Torrの圧力雰囲気下で行った。
なお、中間SiC単結晶層の成長時間を延長してその厚さを15nmとした場合、SiC(200)ピークに対するFWHMが0.8°となり結晶性が低下した。逆に成長時間を短縮して厚さを5nmとした場合には、エッチピットが増加した。
この際の成長は、ガス供給量を、H2:12slm、SiH3CH3:2sccmとして25Torrの圧力雰囲気下で行った。
なお、中間SiC単結晶層の厚さを10nmとした場合、FWHMが低下し、結晶性は向上したが、エッチピット数が増加した。
又、昇温速度を80℃/minと遅くした場合、エッチピット数は減少したが、FWHMが1.1°となり、結晶性が低下した。
2 SiC単結晶基板
3 第1SiC層
4 第2SiC層
5 β−SiC単結晶薄膜
Claims (2)
- Si単結晶基板上にアモルファスを含む厚さ3〜20nmの第1SiC層及び多数のβ−SiC成長核からなる厚さ10〜50nmの第2SiC層を順に介在して厚さ1μm以上のβ−SiC単結晶薄膜が形成されていることを特徴とするSiC半導体。
- Si単結晶基板上にCVD法により第1SiC層を成長温度500〜700℃で3〜20nmの厚さに成長させた後、第1SiC層上にCVD法により第2SiC層を成長温度780〜950℃で10〜50nmの厚さに成長させ、しかる後に、第2SiC層上にCVD法によりβ−SiC単結晶薄膜を成長温度1100℃以上で1μm以上の厚さに成長させることを特徴とするSiC半導体の製造方法。
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