JP2005345302A - 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 - Google Patents
回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005345302A JP2005345302A JP2004166110A JP2004166110A JP2005345302A JP 2005345302 A JP2005345302 A JP 2005345302A JP 2004166110 A JP2004166110 A JP 2004166110A JP 2004166110 A JP2004166110 A JP 2004166110A JP 2005345302 A JP2005345302 A JP 2005345302A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- bias magnet
- sensor chip
- magnet
- rotation detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
【解決手段】回転検出装置は、磁気抵抗素子MRE1〜MRE4を有するセンサチップ10a及び信号処理チップ10bと、上記磁気抵抗素子MRE1〜MRE4にバイアス磁界を付与するバイアス磁石18とがリードフレーム16の表裏にそれぞれ組み付けられた状態でモールド部材13により一体に樹脂モールドされて構成されている。上記リードフレーム16の中央部には上記バイアス磁石18よりも小さい四角形状の孔17が形成されており、この孔17を介して上記バイアス磁石18の一部がリードフレーム16の上記センサチップ10aが組み付けられる面に露出している。
【選択図】 図1
Description
同回転検出装置の製造に際してはまず、図8(a)に示されるように、予め所定の形状に形成されたリードフレーム12の片面側に上記センサチップ10aおよび処理回路チップ10bを例えば接着剤により組み付ける。なお、これらセンサチップ10a及び処理回路チップ10bは、リードフレーム12に形成されたチップマウントに組み付けられる。次に、図8(b)に示されるように、上記センサチップ10aと処理回路チップ10b、および処理回路チップ10bと上記端子15a及び15bとをそれぞれ配線14a及び14bにより電気的に接続する(ワイヤボンディング)。そして、図8(c)に示されるように、上記リードフレーム12のうち、上記センサチップ10aおよび処理回路チップ10bが組み付けられたチップ組付け面12aと反対側の面に形成されたマウント部に、上記バイアス磁石11を例えば接着剤により組み付ける。その後、上記センサチップ10a、処理回路チップ10b、およびバイアス磁石11が組み付けられたリードフレーム12を先の図6に例示した態様でモールド部材13により一体に樹脂モールドする。これによって、上述した回転検出装置が製造される。
(イ)前記バイアス磁石が、前記リードフレームに形成された孔を介して、その一部が前記センサチップの組み付けられる面に露出される態様。
あるいは請求項3に記載の発明によるように、
(ロ)前記バイアス磁石が、前記リードフレームに形成された切り欠きを介して、その一部が前記センサチップの組み付けられる面に露出される態様。
等々を採用することができる。これらいずれの態様であれ、バイアス磁石の上記露出される面を基準としたセンサチップの高い精度での組み付けが可能となる。
また、これら請求項7あるいは請求項8に記載の回転検出装置の製造方法において、請求項9に記載の発明によるように、前記バイアス磁石の前記露出される面に基準位置を示すアライメントマークを形成する工程をさらに備えるとともに、前記リードフレームへの前記センサチップの組み付けは、この形成されたアライメントマークを基準として行われることとすれば、単にバイアス磁石の露出する面(もしくはその一部)を基準として上記センサチップを組み付ける場合に比べてその基準となる位置の認識性を高めることができ、より精度良く上記センサチップをリードフレームに組み付けることができるようになる。
こうした回転検出装置の製造にあたってはまず、バイアス磁石18を上記リードフレーム16に一体に形成する。すなわち、図2(a)に示すように、上記バイアス磁石18の形状に対応したキャビティ21を上型20aと下型20bとの間に有するバイアス磁石成形用金型20に上記リードフレーム16をセットする。この際、上記キャビティ21に、バイアス磁石18との接合部分となる上記孔17を対応させて上記リードフレーム16をバイアス磁石成形用金型20にセットする。そして、磁石材料、例えばフェライト磁石粉、ネオジム磁石粉等の磁石粉末とナイロン系樹脂、ゴム等を混合したものをキャビティ21内に流し込み、これを固化させる。これにより、図2(b)及び(c)に示すように、上記リードフレーム16の孔17を介してチップ組付け面16aに露出するかたちでバイアス磁石18が成形される。
(1)バイアス磁石18がリードフレーム16に一体形成され、そのバイアス磁石18の一部が上記孔17を介してチップ組付け面16aに露出する構成とした。この構成によれば、上記バイアス磁石18は、リードフレーム16に対して基本的に公差のない状態で組み付けられることとなる。そして、このようにしてリードフレーム16との公差が基本的に排除された上記バイアス磁石18の一部を基準として上述のごとく上記センサチップ10aが組み付けられるため、それらバイアス磁石18とセンサチップ10aとの間の位置的な公差が最小限に抑えられるかたちでセンサチップ10aがリードフレーム16に組み付けられるようになる。したがって、センサチップ10aが有する上記磁気抵抗素子MRE1〜MRE4と上記バイアス磁石18との位置関係も自ずと高い精度にて設定されることとなり、上記磁気抵抗素子MRE1〜MRE4に対する磁気ベクトルの開き角度のずれ等も好適に抑制されるようになる。また、上記バイアス磁石18がリードフレーム16に形成された孔17を介して上記チップ組付け面16aに露出するため、リードフレーム16の厚さ分だけ従来の回転検出装置に比べてバイアス磁石18をセンサチップ10aに近づけることが可能となる。このため、従来の回転検出装置に比べてより小型のバイアス磁石18で必要な磁力を確保することができるようにもなる。すなわち、回転検出装置としてのさらなる小型化を図ることができるようにもなる。
・上記実施の形態では、上記バイアス磁石18の角部18bを基準としてセンサチップ10aをリードフレーム16に組み付けることとしたが、バイアス磁石18の露出面18aに基準位置を示すアライメントマークを設け、そのアライメントマークを基準としてセンサチップ10aをリードフレーム16に組み付けるようにしてもよい。これにより、単に磁石の露出面を基準としてセンサチップを組み付ける場合に比べて、その組み付け精度を大幅に向上させることができるようになる。なお、上記アライメントマークとしては、例えば図3(a)、(b)にそれぞれ示すように、上記センサチップ10aと対向する辺側の両端部近傍に各々設けた矩形状の凹部30やL字状の凹部31などを採用することができる。さらに、これらアライメントマークとしては、凹部を形成するものに限らず凸部を形成するものを採用することもできる。特に、画像認識に基づいて上記センサチップ10aの組み付けを行う場合、これら凹部からなるアライメントマークであれ、凸部からなるアライメントマークであれ、その十分な認識性を確保することができる。なお、これらアライメントマークは、上記バイアス磁石18の露出面18aに対応する上記バイアス磁石成形用金型20の上型20aに予め上記形状に対応する凸部、あるいは凹部を設けておくことにより、上記バイアス磁石18の上記リードフレーム16への一体形成と同時に形成することができる。
・上記実施の形態では、磁気抵抗素子MRE1〜MRE4を有するセンサチップ10a、及びそのセンサチップ10aからの信号を処理する処理回路チップ10bの2つのチップを有する回転検出装置について示したが、これらが1チップで構成される回転検出装置についても本発明は同様に適用することができる。
Claims (10)
- 磁気抵抗素子を有するセンサチップと、前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を付与するバイアス磁石とがリードフレームの表裏にそれぞれ組み付けられた状態で一体に樹脂モールドされてなり、前記センサチップの近傍にてロータが回転するときに前記バイアス磁界と協働して生じる磁気ベクトルの変化を前記磁気抵抗素子の抵抗値変化として感知して前記ロータの回転態様を検出する回転検出装置において、
前記バイアス磁石は、その一部が前記リードフレームの前記センサチップが組み付けられる面に露出される態様で、同リードフレームと一体に形成されてなる
ことを特徴とする回転検出装置。 - 前記バイアス磁石は、前記リードフレームに形成された孔を介して、その一部が前記センサチップの組み付けられる面に露出されてなる
請求項1に記載の回転検出装置。 - 前記バイアス磁石は、前記リードフレームに形成された切り欠きを介して、その一部が前記センサチップの組み付けられる面に露出されてなる
請求項1に記載の回転検出装置。 - 前記リードフレームの前記センサチップが組み付けられる面に露出される前記バイアス磁石の露出面には基準位置を示すアライメントマークが形成されてなる
請求項1〜3のいずれか一項に記載の回転検出装置。 - 前記アライメントマークが、前記バイアス磁石の露出面の前記センサチップと対向する辺の両端近傍に設けられた凹部及び凸部のいずれかからなる
請求項4に記載の回転検出装置。 - 磁気抵抗素子を有するセンサチップと、前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を付与するバイアス磁石とがリードフレームの表裏にそれぞれ組み付けられた状態で一体に樹脂モールドされてなり、前記センサチップの近傍にてロータが回転するときに前記バイアス磁界と協働して生じる磁気ベクトルの変化を前記磁気抵抗素子の抵抗値変化として感知して前記ロータの回転態様を検出する回転検出装置の製造方法であって、
前記バイアス磁石を、その一部が前記リードフレームの前記センサチップが組み付けられる面に露出される態様で同リードフレームと一体形成する工程と、前記バイアス磁石の前記露出された面を基準として前記リードフレームに前記センサチップを組み付ける工程とを備える
ことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 - 前記バイアス磁石の前記リードフレームへの一体形成が、バイアス磁石成形用の金型間に同バイアス磁石との接合部分に孔を有するリードフレームを介在させた状態で磁石材料を流し込み、これを固化させることで行われる
請求項6に記載の回転検出装置の製造方法。 - 前記バイアス磁石の前記リードフレームへの一体形成が、バイアス磁石成形用の金型間に同バイアス磁石との接合部分に切り欠きを有するリードフレームを介在させた状態で磁石材料を流し込み、これを固化させることで行われる
請求項6に記載の回転検出装置の製造方法。 - 請求項7または請求項8に記載の回転検出装置の製造方法において、
前記バイアス磁石の前記露出される面に基準位置を示すアライメントマークを形成する工程をさらに備え、前記リードフレームへの前記センサチップの組み付けは、この形成されたアライメントマークを基準として行われる
ことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 - 前記アライメントマークの形成は、前記バイアス磁石の前記露出される面に対応する金型に予め形成された凸部及び凹部のいずれかを通じて、前記バイアス磁石の前記リードフレームへの一体形成と同時に行われる
請求項9に記載の回転検出装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004166110A JP4274051B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004166110A JP4274051B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005345302A true JP2005345302A (ja) | 2005-12-15 |
JP4274051B2 JP4274051B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=35497824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004166110A Expired - Fee Related JP4274051B2 (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4274051B2 (ja) |
Cited By (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012511152A (ja) * | 2008-12-05 | 2012-05-17 | アレグロ・マイクロシステムズ・インコーポレーテッド | 磁場センサおよび磁場センサを製造する方法 |
US9411025B2 (en) | 2013-04-26 | 2016-08-09 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet |
US9494660B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-11-15 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9620705B2 (en) | 2012-01-16 | 2017-04-11 | Allegro Microsystems, Llc | Methods and apparatus for magnetic sensor having non-conductive die paddle |
US9666788B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-05-30 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9720054B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element |
US9719806B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a movement of a ferromagnetic target object |
US9810519B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as tooth detectors |
US9812588B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US9823090B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-11-21 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a movement of a target object |
US9823092B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-11-21 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor providing a movement detector |
US10012518B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-07-03 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a proximity of an object |
US10041810B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-08-07 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as movement detectors |
US10145908B2 (en) | 2013-07-19 | 2018-12-04 | Allegro Microsystems, Llc | Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field |
US10234513B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US10260905B2 (en) | 2016-06-08 | 2019-04-16 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors to cancel offset variations |
US10310028B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-06-04 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor |
US10324141B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-06-18 | Allegro Microsystems, Llc | Packages for coil actuated position sensors |
US10495699B2 (en) | 2013-07-19 | 2019-12-03 | Allegro Microsystems, Llc | Methods and apparatus for magnetic sensor having an integrated coil or magnet to detect a non-ferromagnetic target |
US10641842B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-05-05 | Allegro Microsystems, Llc | Targets for coil actuated position sensors |
US10712403B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-07-14 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element |
US10823586B2 (en) | 2018-12-26 | 2020-11-03 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor having unequally spaced magnetic field sensing elements |
US10837943B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-11-17 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor with error calculation |
US10866117B2 (en) | 2018-03-01 | 2020-12-15 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field influence during rotation movement of magnetic target |
US10921391B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-02-16 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor with spacer |
US10955306B2 (en) | 2019-04-22 | 2021-03-23 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor and deformable substrate |
US10991644B2 (en) | 2019-08-22 | 2021-04-27 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a low profile |
US10996289B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-05-04 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated position sensor with reflected magnetic field |
US11061084B2 (en) | 2019-03-07 | 2021-07-13 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor and deflectable substrate |
US11237020B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-02-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor having two rows of magnetic field sensing elements for measuring an angle of rotation of a magnet |
US11255700B2 (en) | 2018-08-06 | 2022-02-22 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor |
US11262422B2 (en) | 2020-05-08 | 2022-03-01 | Allegro Microsystems, Llc | Stray-field-immune coil-activated position sensor |
US11280637B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-03-22 | Allegro Microsystems, Llc | High performance magnetic angle sensor |
US11428755B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-08-30 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated sensor with sensitivity detection |
US11493361B2 (en) | 2021-02-26 | 2022-11-08 | Allegro Microsystems, Llc | Stray field immune coil-activated sensor |
US11578997B1 (en) | 2021-08-24 | 2023-02-14 | Allegro Microsystems, Llc | Angle sensor using eddy currents |
-
2004
- 2004-06-03 JP JP2004166110A patent/JP4274051B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (57)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012511152A (ja) * | 2008-12-05 | 2012-05-17 | アレグロ・マイクロシステムズ・インコーポレーテッド | 磁場センサおよび磁場センサを製造する方法 |
US10333055B2 (en) | 2012-01-16 | 2019-06-25 | Allegro Microsystems, Llc | Methods for magnetic sensor having non-conductive die paddle |
US9620705B2 (en) | 2012-01-16 | 2017-04-11 | Allegro Microsystems, Llc | Methods and apparatus for magnetic sensor having non-conductive die paddle |
US9494660B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-11-15 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9666788B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-05-30 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US10916665B2 (en) | 2012-03-20 | 2021-02-09 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an integrated coil |
US10230006B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-12 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an electromagnetic suppressor |
US9812588B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US11444209B2 (en) | 2012-03-20 | 2022-09-13 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an integrated coil enclosed with a semiconductor die by a mold material |
US11677032B2 (en) | 2012-03-20 | 2023-06-13 | Allegro Microsystems, Llc | Sensor integrated circuit with integrated coil and element in central region of mold material |
US11828819B2 (en) | 2012-03-20 | 2023-11-28 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US11961920B2 (en) | 2012-03-20 | 2024-04-16 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package with magnet having a channel |
US10234513B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US9411025B2 (en) | 2013-04-26 | 2016-08-09 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet |
US9810519B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as tooth detectors |
US10670672B2 (en) | 2013-07-19 | 2020-06-02 | Allegro Microsystems, Llc | Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field |
US10254103B2 (en) | 2013-07-19 | 2019-04-09 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as tooth detectors |
US12061246B2 (en) | 2013-07-19 | 2024-08-13 | Allegro Microsystems, Llc | Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field |
US10145908B2 (en) | 2013-07-19 | 2018-12-04 | Allegro Microsystems, Llc | Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field |
US11313924B2 (en) | 2013-07-19 | 2022-04-26 | Allegro Microsystems, Llc | Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field |
US10495699B2 (en) | 2013-07-19 | 2019-12-03 | Allegro Microsystems, Llc | Methods and apparatus for magnetic sensor having an integrated coil or magnet to detect a non-ferromagnetic target |
US9719806B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a movement of a ferromagnetic target object |
US9823090B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-11-21 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a movement of a target object |
US11307054B2 (en) | 2014-10-31 | 2022-04-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor providing a movement detector |
US9823092B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-11-21 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor providing a movement detector |
US10712403B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-07-14 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element |
US10753768B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-08-25 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor providing a movement detector |
US10753769B2 (en) | 2014-10-31 | 2020-08-25 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor providing a movement detector |
US9720054B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-08-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element |
US10837800B2 (en) | 2016-06-08 | 2020-11-17 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as movement detectors |
US10260905B2 (en) | 2016-06-08 | 2019-04-16 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors to cancel offset variations |
US10012518B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-07-03 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor for sensing a proximity of an object |
US10041810B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-08-07 | Allegro Microsystems, Llc | Arrangements for magnetic field sensors that act as movement detectors |
US10324141B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-06-18 | Allegro Microsystems, Llc | Packages for coil actuated position sensors |
US11320496B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-05-03 | Allegro Microsystems, Llc | Targets for coil actuated position sensors |
US10310028B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-06-04 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor |
US10996289B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-05-04 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated position sensor with reflected magnetic field |
US11768256B2 (en) | 2017-05-26 | 2023-09-26 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated sensor with sensitivity detection |
US11073573B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-07-27 | Allegro Microsystems, Llc | Packages for coil actuated position sensors |
US10837943B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-11-17 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor with error calculation |
US11428755B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-08-30 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated sensor with sensitivity detection |
US10641842B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-05-05 | Allegro Microsystems, Llc | Targets for coil actuated position sensors |
US10649042B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-05-12 | Allegro Microsystems, Llc | Packages for coil actuated position sensors |
US11313700B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-04-26 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field influence during rotation movement of magnetic target |
US10866117B2 (en) | 2018-03-01 | 2020-12-15 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field influence during rotation movement of magnetic target |
US11686599B2 (en) | 2018-08-06 | 2023-06-27 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor |
US11255700B2 (en) | 2018-08-06 | 2022-02-22 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor |
US10921391B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-02-16 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor with spacer |
US10823586B2 (en) | 2018-12-26 | 2020-11-03 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor having unequally spaced magnetic field sensing elements |
US11061084B2 (en) | 2019-03-07 | 2021-07-13 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor and deflectable substrate |
US10955306B2 (en) | 2019-04-22 | 2021-03-23 | Allegro Microsystems, Llc | Coil actuated pressure sensor and deformable substrate |
US10991644B2 (en) | 2019-08-22 | 2021-04-27 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a low profile |
US11237020B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-02-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor having two rows of magnetic field sensing elements for measuring an angle of rotation of a magnet |
US11280637B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-03-22 | Allegro Microsystems, Llc | High performance magnetic angle sensor |
US11262422B2 (en) | 2020-05-08 | 2022-03-01 | Allegro Microsystems, Llc | Stray-field-immune coil-activated position sensor |
US11493361B2 (en) | 2021-02-26 | 2022-11-08 | Allegro Microsystems, Llc | Stray field immune coil-activated sensor |
US11578997B1 (en) | 2021-08-24 | 2023-02-14 | Allegro Microsystems, Llc | Angle sensor using eddy currents |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4274051B2 (ja) | 2009-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4274051B2 (ja) | 回転検出装置及び回転検出装置の製造方法 | |
JP3720801B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
JP4645477B2 (ja) | 回転検出装置 | |
JP4232771B2 (ja) | 回転検出装置 | |
JP6870115B2 (ja) | 電流センサ | |
WO2019117171A1 (ja) | 電流センサ及び電流センサのケースの製造方法 | |
JP5356793B2 (ja) | 磁気検出装置及びその製造方法 | |
JP5523389B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
WO2016093059A1 (ja) | 電流センサ | |
WO2014103469A1 (ja) | 車輪速センサ及び車輪速センサ製造方法 | |
JP4131183B2 (ja) | 磁気検出装置の製造方法 | |
JP2010203910A (ja) | 電流センサ及びその製造方法 | |
US7117585B2 (en) | Magnetic detection apparatus with resin infiltration prevention | |
JP5086169B2 (ja) | 電流センサ及び電流センサの製造方法 | |
JP2018072251A (ja) | センサ装置 | |
JP6694354B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
JP3460424B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2020020624A (ja) | 磁気センサ装置 | |
US11493539B2 (en) | Current transducer | |
JP2018025537A (ja) | センサ装置及びその製造方法 | |
JP4122940B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
JP2006112801A (ja) | 回転検出装置 | |
JP2018036140A (ja) | 磁気センサ装置 | |
JPH10253648A (ja) | 回転検出装置及びその製造方法 | |
JP2968007B2 (ja) | 磁気センサー固定用ホルダーおよび磁気センサー固定用ホルダーの製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090223 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4274051 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130313 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140313 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |