JP2005341162A - デバイス装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板1上に機械的駆動部2が配置されてなるデバイスの機械的駆動部2と、基板1上に形成され機械的駆動部2に接続された配線導体4とを、基板1上に形成された樹脂材料から成る封止部材3の空間5内に封止しており、封止部材3に、上面から空間5内に貫通して配線導体4に接続された金属材料から成る貫通導体5が形成されているデバイス装置である。機械的駆動部2と外部との電気的な接続は配線導体4および貫通導体7を介して封止部材3の上面側で行なうことができ、機械的駆動部2を長期にわたって良好に安定して気密に封止することができるため、気密封止の信頼性に優れ、生産性に優れたデバイス装置を提供することができる。
【選択図】 図1
Description
ティー・セキ(T. Seki)他著「ローロス・アールエフ・メムス・メタル・コンタクト・スウィッチ・ウィズ・シーエスピー・ストラクチャー」(Low-Loss RF MEMS Metal Contact Switch With CSP Structure),トランスデューサーズ '03(TRANSDUCERS '03),p.340−341 エー・ジョーダイン(A. JOUDAIN)他著「インベスティゲーション・オブ・ザ・ハーメティシティ・オブ・ビーシービーシールド・キャビティ・フォー・ハウジング・アールエフメムス・デバイスイズ」(INVESTIGATION OF THE HERMETICITY OF BCB-SEALED CAVITIES FOR HOUSING RF-MEMS DEVICES),メムス2002(MEMS2002),P.677−680
2・・・機械的動作部(MEMSデバイスの駆動部、または圧電デバイスの発振部、または弾性表面波デバイスの共振部)
3・・・封止部材
4・・・配線導体
5・・・空間
6・・・貫通孔
7・・・貫通導体
8・・・被着層
9・・・犠牲材料
Claims (4)
- 基板上に機械的駆動部が配置されてなるMEMSデバイスまたは圧電デバイスまたは弾性表面波デバイスの前記機械的駆動部と、前記基板上に形成され前記機械的駆動部に接続された配線導体とを、前記基板上に該基板との間に空間を設けて形成された樹脂材料から成る封止部材の前記空間内に封止しており、前記封止部材に、上面から前記空間内に貫通して前記配線導体に接続された金属材料から成る貫通導体が形成されていることを特徴とするデバイス装置。
- 前記封止部材の前記空間側の内面に、無機絶縁材料から成る被着層が形成されていることを特徴とする請求項1記載のデバイス装置。
- 基板上に機械的駆動部が配置されてなるMEMSデバイスまたは圧電デバイスまたは弾性表面波デバイスの前記機械的駆動部と前記基板上に形成され前記機械的駆動部に接続された配線導体とを犠牲材料で覆う工程と、前記基板上から前記犠牲材料を覆って樹脂材料から成る封止部材を形成する工程と、前記封止部材に上面から前記犠牲材料の一部を通って前記配線導体まで貫通する貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔を通して前記犠牲材料を除去して、前記機械的駆動部と前記封止部材との間に空間を形成する工程と、しかる後、前記貫通孔を前記封止部材の前記上面から前記配線導体に至る金属材料から成る貫通導体を形成して塞ぐ工程とを具備することを特徴とするデバイス装置の製造方法。
- 基板上に機械的駆動部が配置されてなるMEMSデバイスまたは圧電デバイスまたは弾性表面波デバイスの前記機械的駆動部と前記基板上に形成され前記機械的駆動部に接続された配線導体とを犠牲材料で覆う工程と、前記基板上から前記犠牲材料を覆って無機絶縁材料からなる被着層を形成する工程と、前記基板上から前記被着層を覆って樹脂材料から成る封止部材を形成する工程と、前記封止部材に上面から前記被着層の一部および前記犠牲材料の一部を通って前記配線導体まで貫通する貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔を通して前記犠牲材料を除去して、前記機械的駆動部と前記被着層との間に空間を形成する工程と、しかる後、前記貫通孔を前記封止部材の前記上面から前記配線導体に至る金属材料から成る貫通導体を形成して塞ぐ工程とを具備することを特徴とするデバイス装置の製造方法。
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