JP2005336011A - 耐食性ガラス部材およびその製造方法並びにそれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハロゲン系ガスに曝される部分が、Alを50〜1000重量ppm含有し、ガラス表面を溶融処理してなる耐食性ガラス部材であり、このような部材はシリカ粉末と遷移アルミナ粉末及び/又はアルミナ−シリカ複合酸化物粉末とを混合したのち、溶融することにより製造することができる。
【選択図】選択図なし
Description
粒径200μmの水晶粉末、およびθ−アルミナ粉末を所定量はかり取り、これを容器に入れ十分攪拌・混合したのち、電気溶融炉にて溶融しガラスとした。得られたガラス中のAl含有量を、ICP発光分光法により求めた。さらに得られたガラスを切り出し、砥粒を用いて鏡面研磨を施したのち、酸水素炎バーナーによりガラス表面をファイアーポリッシュした。その後、F2ガス気流中に250℃、20時間曝露し、F2ガス曝露前後でのガラスの重量変化からエッチング速度を算出した。なお、使用したF2ガスはKF・2HFの溶融塩電解により発生させたものであり、約10vol%のHFガスを含んでいる。また、表面粗さ計によりエッチング後の表面粗さを測定し、SEMによりエッチング後の表面性状を観察した。
Al含有量450重量ppmのサンプルについて、アルミ含有原料にα−アルミナを用いた以外は、実施例1の試料と同様の手順で耐食性ガラス部材を製造し、任意に選択された50μm×50μmの領域5点におけるAlの濃度をEPMAを用いて測定し、変動係数を算出した。また、F2ガス曝露試験を行ない、エッチング速度、およびエッチング面の表面粗さ(Ra)を測定した。
Claims (11)
- ハロゲン系ガスを利用する装置に用いられる耐食性ガラス部材であって、ハロゲン系ガスに曝される部分が、Alを50〜1000重量ppm含有し、ガラス表面を溶融処理してなることを特徴とする耐食性ガラス部材。
- ハロゲン系ガスが、HF、F2、NF3、ClF3のうち少なくとも一種以上であることを特徴とする請求項1に記載の耐食性ガラス部材。
- 耐食性ガラス中のSiおよびAl以外の金属不純物の含有量が各々1重量ppm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の耐食性ガラス部材。
- 耐食性ガラス部材のSiおよびAl以外の金属不純物の含有量が各々0.1重量ppm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の耐食性ガラス部材。
- 耐食性ガラス部材の任意に選択された50μm×50μmの領域におけるAlの濃度をEPMA(X線マイクロアナライザー)を用いて定量したとき、得られた定量値の変動係数が20%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の耐食性ガラス部材。
- シリカ粉末とアルミ含有原料とを混合し、溶融・ガラス化することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の耐食性ガラス部材の製造方法。
- シリカ粉末が、珪石および/または水晶であることを特徴とする請求項6に記載の耐食性ガラス部材の製造方法。
- シリカ粉末が、高純度アルコキシドの加水分解物から製造されたものである請求項6に記載の耐食性ガラス部材の製造方法。
- アルミ含有原料が、遷移アルミナ粉末および/またはアルミナ−シリカ複合酸化物粉末であることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の耐食性ガラス部材の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の耐食性ガラス部材を備えた半導体製造装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の耐食性ガラス部材を備えたフラットパネルディスプレイ製造装置。
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