JP2005333148A5

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Publication number: JP2005333148A5
Application number: JP2005170117A
Authority: JP
Filing date: 2005-05-13
Publication date: 2008-06-26

Claims

半導体ウエハの少なくとも１つの電気的特性を測定する方法であって、以下の各工程、
（ａ）導電性の基礎材料を覆う導電性のコーティングで形成された弾性変形可能な導電性の接触子を設ける工程であって、前記基礎材料が第１仕事関数を持ち、前記コーティングが第２仕事関数を持つ工程、
（ｂ）前記導電性の接触子と半導体ウエハの上面との第１電気接触を形成する工程、
（ｃ）前記半導体ウエハとの第２電気接触を形成する工程、
（ｄ）前記第１電気接触と前記第２電気接触との間に電気刺激を加える工程、
（ｅ）この電気刺激に対する前記半導体ウエハの反応を測定する工程、
（ｆ）この反応から前記半導体ウエハの少なくとも１つの電気的特性を決定する工程、
を備える、方法。
半導体ウエハの少なくとも１つの電気的特性を測定する方法であって、以下の各工程、
（ａ）導電性の基礎材料を覆う導電性のコーティングで形成された弾性変形可能な導電性の接触子を設ける工程であって、前記基礎材料が第１仕事関数を持ち、前記コーティングが第２仕事関数を持つ工程、
（ｂ）前記導電性の接触子と前記半導体ウエハの上面を覆う誘電体層との第１電気接触を形成する工程、
（ｃ）前記半導体ウエハとの第２電気接触を形成する工程、
（ｄ）前記第１電気接触と前記第２電気接触との間に電気刺激を加える工程、
（ｅ）この電気刺激に対する前記誘電体層および前記半導体ウエハの組合せの反応を測定する工程、
（ｆ）この反応から前記誘電体層または前記半導体ウエハまたは両者の少なくとも１つの電気的特性を決定する工程、
を備える、方法。
請求項１又は２の方法において、前記導電性の接触子はプローブの先端である、方法。
請求項１又は２の方法において、
前記コーティングは、前記導電性の接触子が前記第２仕事関数と略等しい全体的な仕事関数を持つ厚さである、方法
請求項１又は２の方法において、
前記コーティングは、前記導電性の接触子が前記第１仕事関数と前記第２仕事関数との中間の全体的な仕事関数を持つ厚さである、方法。
請求項５の方法において、
前記コーティングの厚さは５デバイ長を超えない厚さである、方法。
請求項１又は２の方法において、前記基礎材料はタンタルで構成される、方法。
請求項１又は２の方法において、前記コーティングはイリジウムで構成される、方法。
請求項１又は２の方法において、
前記コーティングは、前記基礎材料を覆う第１材料の層と、この第１材料を覆う第２材料の層と、を含み、
前記第２仕事関数は、前記第１材料および前記第２材料の仕事関数に関連する、方法。
請求項９の方法において、
前記第２仕事関数は、前記第１材料の仕事関数と前記第２材料の仕事関数との中間である、方法。
請求項９の方法において、
前記基礎材料と、前記第１材料と、前記第２材料とは異なる金属である、方法。
請求項９の方法において、前記基礎材料はタンタルで構成される、方法。
請求項９の方法において、
前記第１材料はイリジウムで構成され、
前記第２材料はルテニウム（Ｒｕ）とタンタル（Ｔａ）との少なくとも１つで構成される、方法。