JP2005327960A - 被洗浄物乾燥用エアーナイフ - Google Patents
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Abstract
【構成】板状をなした被洗浄物9の表面に向ってエアーを吹き付け、洗浄作業後の乾燥処理を行うエアーナイフにおいて、エアーナイフ本体1のエアー吐出口2近傍に大気圧下でプラズマ放電可能な放電電極4を設け、プラズマ状態に励起された気体を被洗浄物9の表面に向って吹き付けられる様にした。
【選択図】 図1
Description
2 エアー吐出口
3 エアー供給口
4 放電電極
5 高周波電源
6 ガス通路
7 ガス吐出口
8 ガス導入口
9 被洗浄物
Claims (8)
- 板状をなした被洗浄物9の表面に向ってエアーを吹き付け、洗浄作業後の乾燥処理を行うエアーナイフにおいて、エアーナイフ本体1のエアー吐出口2近傍に大気圧下でプラズマ放電可能な放電電極4を設け、プラズマ状態に励起された気体を被洗浄物9の表面に向って吹き付けられる様にしたことを特徴とする被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 放電電極4がエアーナイフ本体1の内部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 放電電極4がエアーナイフ本体1のエアー吐出口2の外側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 板状をなした被洗浄物9の表面に向ってエアーを吹き付け、洗浄作業後の乾燥処理を行うエアーナイフにおいて、エアー吐出口2が被洗浄物9の方向を向く様に一対のエアーナイフ本体1,1を被洗浄物2を挟んで上下に対向して位置させ、対向したエアー吐出口2,2近傍にそれぞれ放電電極4,4を設け、上下一対の放電電極4,4間でプラズマ放電が行われる様にしたことを特徴とする被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 板状をなした被洗浄物表面に向ってエアーを吹き付け、洗浄作業後の乾燥処理を行うエアーナイフにおいて、エアーナイフ本体1の外側にそれに沿ってガス通路6を併設し、該ガス通路6下端のガス吐出口7近傍に大気圧下でプラズマ放電可能な放電電極4を設け、該ガス通路6からプラズマ状態に励起された気体を被洗浄物9表面に向って吹き付けられる様にしたことを特徴とする被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 放電電極4がガス通路6の内部に設けられていることを特徴とする請求項5記載の被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 放電電極4がガス通路6のガス吐出口7の外側に設けられていることを特徴とする請求項5記載の被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
- 板状をなした被洗浄物表面に向ってエアーを吹き付け、洗浄作業後の乾燥処理を行うエアーナイフにおいて、外側にガス通路6が併設された一対のエアーナイフ本体1をエアー吐出口2及びガス吐出口7が被洗浄物9の方向を向く様に被洗浄物9を挟んで上下に対向して位置させ、対向したガス吐出口7,7近傍にそれぞれ放電電極4を設け、上下一対の放電電極4,4間でプラズマ放電が行われる様にしたことを特徴とする被洗浄物乾燥用エアーナイフ。
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WO2020218351A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、半導体製造方法、および、基板処理装置 |
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