JP2005324291A - 研磨補助具およびこれを備えた研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 作業者の目視による微調整を不要にすることを目的とし、よって作業全体の時間短縮化向上に寄与するための研磨補助具およびそれを備えた装置、設備を提供する。
【解決手段】 薄板状ワークWの端部を所定形状に研磨するための少なくとも１つの溝3A,3B,3Cが形成されている溝型砥石3を回転させる研磨装置1に取り付けられる研磨補助具10であって、ワークWの端部付近の少なくとも一方の面側に接触するワーク端部補正部11と、前記ワーク端部補正部11の位置を前記溝型砥石3の溝3A,3B,3Cに対応させて位置合わせする位置調整部12とからなる。
【選択図】 図２

Description

この発明は、薄板状ワークの端部を所定の形状に研磨する溝型砥石を備えた装置とワークを保持するワーク保持手段とからなる設備において、ワーク保持手段に保持されるワークの端部を溝型砥石の溝の位置に合わせるための研磨補助具およびそれを備えた装置、設備に関する。

溝型砥石を用いて薄型表示パネルに用いられるガラス基板（薄板状ワークの一例）端部（端面とその周辺）を研磨する場合において、ガラス端面の幅中心と砥石溝の幅中心の位置合わせにおける微小調整は、試し研磨をして、研磨されたガラス端面の形状を作業者が確認し、適切な研磨による端面が得られるように砥石の方を移動させることで行っている。すなわち、従来は、作業環境が研磨液を使用するため、光学式のセンサが利用できないなどのセンシングの問題もあり、また、適切な調整法がないため、ガラス端面と研磨に用いる溝を有する溝型砥石の溝との位置調整は、熟練工の試行錯誤による調整であった。

上述のような試行錯誤は、調整作業に多大の時間を要し効率が悪い。また、溝が多段（多段砥石）の場合は、研磨に利用する溝を代えるたびに、砥石を取り替えるたびに、調整作業が必要になることからしても効率が悪くなる。

本願発明は、上述の作業者の目視による微調整を不要にすることを目的とし、よって作業全体の時間短縮化向上に寄与するための研磨補助具およびそれを備えた装置、設備を提供することを目的とする。

この発明による研磨補助具は、研磨する端部付近を除いてワーク保持手段により保持されている薄板状ワークの端部を所定形状に研磨するための少なくとも１つの溝が形成されている溝型砥石を回転させる研磨装置に取り付けられる研磨補助具であって、前記ワークの端部付近の少なくとも一方の面側に接触するワーク端部補正部と、前記ワーク端部補正部の位置を前記溝型砥石の溝に対応させて位置合わせする位置調整部とからなることを特徴とするものである。

砥石は、例えば、回転軸を法線としその方向に厚みを有する円盤状または円柱状とされ、前記法線を有する平面と砥石表面（周面）が交わる位置に研磨用の溝が設けられた溝型砥石とされる。溝が法線方向に所定距離をおいて複数形成された多段砥石とされてもよい。

位置調整部は、砥石の半径方向への位置調整と砥石の厚み方向への位置調整とを含む。

ワークは、例えば真空チャックに保持され、ワーク端部補正部は、そのワークの周縁部に配置される。ワーク端部補正部は、例えば、ワークの周縁部の一方の面に対向する端部押さえ部材を有しているものとされることがあり、また、ワークの周縁部を介してワークの厚み方向に対向する１対の端部押さえ部材を有しているものとされることがあり、要するに、ワーク端部の少なくとも一方の面側に接触するようになされていればよく、また、砥石と接触しないが可能な限り近づいた位置に配置されるのが望ましい。

砥石の溝幅は、薄板状ワークの厚さを下回らないがほぼ同じとされ、砥石の溝幅を最大とした範囲の厚さのワークが研磨される。ワーク端部補正部が１対の端部押さえ部材を有しているものでは、端部押さえ部材の間隔は、砥石の溝幅に誤差吸収用の余裕を加えた幅以下であって、かつ、ワークの厚みを超えるものとし、端部押さえ部材の間隔でワークの厚みを制限してもよく、また、端部押さえ部材の間隔＞ワークの厚みとなる状態でのワークの位置決めも可能である。後者の場合、少なくとも一方の端部押さえ部材がワークの一方の面に接触し、ワークの位置を補正することになる。ワーク端部補正部が端部押さえ部材を１つだけ有しているものでは、ワークの一方の面に徐々に端部押さえ部材を近づけ、接触した時点で砥石の位置合わせを終了し、研磨を開始すればよい。

端部押さえ部材が１対の場合、ワーク端部の接触可能な範囲（接触は傷の原因になるため、精密研磨を行うものはワークの端しか触れない）において、許せる範囲で端部押さえ部材の幅を広げることが好ましい。端部押さえ部材が１つの場合、ワークの片面にしかガイドが当たらないため、砥石の位置合わせがぴったりの位置（砥石の溝の中心が位置する平面とワークの厚み中心の平面とが一致する位置）からずれればずれるほどガイドの当たりが原因でワークを強制的に弾性変形させてしまうが、端部押さえ部材が１対のものでは、弾性変形させられた方向側のガイドが逆方向へ強制的に変形させる（補正する）ため、砥石側へワーク端部を向けることになる。

前記位置調整部は、砥石の回転軸の向きと同じ方向にワーク端部補正部を移動可能になした第１の位置調整手段を有することがある。

このようにすると、砥石の溝が複数で別な溝に代える時、あるいは、砥石取付位置が交換時に一定とならない場合に調整可能で効果がある。

また、前記第１の位置調整手段は、砥石軸と平行な軸を有し砥石の周面近傍に配置される１対のローラ支持軸と、各ローラ支持軸に回転可能かつ軸方向移動可能に取り付けられるとともに周面の少なくとも一部が砥石の溝に係合し得るローラと、ローラと一体となって軸の向きに移動可能なように各ローラ支持軸に取り付けられるとともにワーク端部補正部に取り付けられてワーク端部補正部と第１の位置調整手段とを結合する連結部材とを備えることがある。

ローラ支持軸およびローラは、例えば、ローラ（外筒）とローラ支持軸（スプライン軸）の間に転動体であるボールを組み込んだボールスプラインとされて、ローラ支持軸の両端部が、１対の軸支持部材に支持される。連結部材は、例えば、ローラの両面にローラの回転を妨げないように固定された１対の板状体とされ、ワーク端部補正部は、所定形状とされた押さえ部材支持部材を介して連結部材に一体化される。そして、ローラ支持軸の軸支持部材が研磨装置のハウジングに砥石に接近・離間する方向に移動可能に支持されることにより、ローラ支持軸したがってローラの砥石に接近・離間する方向の移動が可能とされる。

ローラの外周面は、溝型砥石の溝の上下方向断面の最深部曲面をなす半径Ｒと同じかそれ以上の半径でなされ、その厚さは、溝内または溝の入口で少なくともこれに２点接触するように決定される。これにより、軸方向に移動可能な状態にされたローラを溝に押し付けた際、溝とローラの外周面とが嵌まり合い、溝の中心面とローラの中心面とが一致する。ローラが移動すると、連結部材もローラと一体となって移動し、これにより、ワーク端部補正部が所要位置に移動させられる。

さらにまた、前記第１の位置調整手段は、ローラが砥石の溝に係合した位置で、ローラの軸の向きにおける位置をローラ支持軸に固定するローラ固定手段をさらに備えることがある。

ローラ固定手段は、例えば、前記板状体のローラ側ではない面に設けられためねじ部材に、その先端をローラ支持軸に向けて支持されたおねじ部材とされ、このおねじ部材の先端にはゴムや樹脂等の傷付き防止部材が備えられ、ローラ支持軸に向けてねじ込まれることにより、その先端がローラ支持軸に押し付けられ、連結部材したがってローラが砥石の厚み方向に対して移動不可能状態とされる。

また、前記位置調整部は、ワーク端部補正部を砥石に接近・離間可能な方向に移動可能になした第２の位置調整手段を有することがある。

このようにすると、砥石の径が変わっても対応可能である。

前記第２の位置調整手段は、ワーク端部補正部と一体になって砥石に対して接近・離間する接近・離間部材と、接近・離間部材を砥石に接近する方向に付勢する付勢手段とを備えることがある。

第２の位置調整手段には、さらに、研磨装置のハウジングに固定される取付け部材が備えられ、付勢手段は、例えば、一端が取付け部材に、他端が接近・離間部材に取り付けられた引張りコイルばね（引っ張り型伸縮部材）とされる。接近・離間部材は、例えば、軸支持部材に一体に設けられ、取付け部材に固定されたスライドレールに案内されて移動させられる。付勢手段は、研磨装置のハウジングに直接取り付けるようにしてもよい。

前記第２の位置調整手段は、接近・離間部材の接近・離間を阻止する接近・離間固定手段をさらに備えることが好ましい。

接近・離間固定手段は、例えば、ローラ支持軸の軸支持部材に設けられためねじ部材に、その先端をスライドレールに向けて支持されたおねじ部材とされ、スライドレールに向けてねじ込まれることにより、その先端がスライドレール端面に押し付けられ、接近・離間部材を付勢手段に抗して移動・停止させるものとされる。これにより、研磨中は砥石から離して固定しておくことができる。研磨中もローラを砥石に接触させると、砥石表面の研磨粉でローラが汚れるが、これを防ぐことができる。

上記研磨補助具は、溝型砥石、溝型砥石の回転軸に回転力を与える回転駆動手段およびこの研磨補助具を備えた研磨装置として使用されることが好ましい。

また、板状ワークを保持するワーク保持手段と、薄板状ワークの端部研磨装置と、前記ワーク保持手段と薄板状ワークの端部研磨装置とをワークの辺の長さ方向に相対移動させる相対移動手段とをさらに有し、端部研磨装置が上記研磨装置とされることがある。

この発明の研磨補助具によると、位置調整部でワーク端部補正部の位置を砥石の溝に合わせた上で、ワークの少なくとも一面側がワーク端部補正部に当たるようにワークとワーク端部補正部（つまりは研磨装置）の相対位置が合わせられる。したがって、作業者の試行錯誤による調整が不要となり、よって作業全体の時間短縮化が図れる。

端部押さえ部材が１つであれば、ワークの一方の面に軽く接触するようにワーク保持手段と研磨装置の相対位置を変化させるだけなので、ワークと砥石が離れた状態での目視判断に比べて位置が合っているかの確認がしやすい。

端部押さえ部材が１対であれば、ワーク保持手段と研磨装置の高さをある程度合わせてやり、ワークの弾性変形の範囲内で端部押さえ部材の間にワークを通すことで、厳密に位置合わせしなくても砥石の溝にワーク端部を合わせることができ、調整が容易になる。

この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。

以下の説明において、図１の左右を左右、図１の上下を前後というものとし、上下は、図２の上下をいうものとする。なお、図２は、図１のII-II線に沿う断面図であり、また、左右、前後および上下は、便宜的なものであり、必要に応じて変更される。

図１および図２に示すように、この発明による研磨補助具(10)は、薄板状ワーク(W)の端部を所定形状に研磨するための少なくとも１つの溝(3A)(3B)(3C)が設けられた溝型砥石(3)を回転させる端部研磨装置(1)に取り付けられるものであって、前記ワーク(W)の端部付近の少なくとも一方の面側に接触するワーク端部補正部(11)と、前記ワーク端部補正部(11)の位置を前記溝型砥石(3)の溝(3A)(3B)(3C)に対応させて位置合わせする位置調整部(12)とからなる。

研磨補助具(10)および研磨装置(1)を含むワークの端部研磨設備は、このほか、薄板状ワークを保持するワーク保持手段(5)と、ワーク保持手段(5)と薄板ワーク(W)の端部研磨装置(1)とを接近・離間させる第１の相対移動手段と、また、ワーク(W)の辺の長さ方向に相対移動させる第２の相対移動手段とをさらに有しているものとされる。また、端部研磨装置(1)に、あるいは独立して、砥石(3)の軸方向の回転位置を調整し、ワーク保持手段(5)と砥石(3)の相対的な上下方向の位置を調整可能な第３の相対移動手段を有している。

砥石(3)は、回転駆動手段（図示略）により駆動される回転軸(4)を有しており、回転軸(4)を法線としその方向に厚みを有する円盤状または円柱状とされるとともに、前記法線を有する平面と砥石表面（周面）が交わる位置に研磨用の上中下の計３段の溝(3A)(3B)(3C)が設けられた多段の溝型砥石とされる。砥石(3)の各溝(3A)(3B)(3C)の幅は、薄板状ワーク(W)の厚さとほぼ同じとされ、砥石(3)の溝幅を最大とした範囲の厚さのワーク(W)が研磨される。

この研磨装置(1)では、例えば、砥石(3)が、径２００ｍｍ、溝３〜４本、溝幅２．８ｍｍ、溝断面形状が半径１．４ｍｍの円弧状である多段砥石とされ、ガラス基板（薄板ワークの一例）(W)の板厚の最大値が２．８ｍｍとされる。板厚は、溝幅≧板厚の範囲で変更可能である。

ワーク(W)は、ワーク保持手段(5)としての真空チャックにより、研磨する端部付近を除いて保持され、ワーク端部補正部(11)は、そのワーク(W)の周縁部に配置される。

ワーク端部補正部(11)は、ワーク(W)の周縁部を介してワーク(W)の厚み方向に対向する前後に長い上下１対の端部押さえ部材(21)(22)と、端部押さえ部材(21)(22)をその前後端部において支持している垂直断面コ字状の押さえ部材支持部材(23)と、押さえ部材支持部材(23)と一体となって端部押さえ部材(21)(22)を保持するとともに前後方向に摺動可能な上下ガイド部材(24)とからなる。なお、端部押さえ部材(21)(22)については、２つの上下ガイド部材(24)のうちいずれか一方に固定され、他方のみで摺動するようにしてもよい。

端部押さえ部材(21)(22)は、薄板状ワーク(W)の厚みよりも若干大きな間隔をおいて対向させられている。端部押さえ部材(21)(22)は、ワーク端部の接触可能な範囲において、許せる範囲でその左右の幅が広くされて、その端部はワーク(W)が上下の端部押さえ部材(21)(22)間に側方から挿入されるときに簡単にすべり込むように、端部付近に端部にかけて間隔を広げたテーパ部（図示略）を備えている。

位置調整部(12)は、砥石(3)の回転軸(4)の向きと同じ方向（上下方向）にワーク端部補正部(11)を移動可能になした第１の位置調整手段(31)と、ワーク端部補正部(11)を砥石(3)に接近・離間可能な方向に水平移動可能になした第２の位置調整手段(32)とを有している。

第１の位置調整手段(31)は、砥石軸(4)と平行な軸を有し砥石(3)の周面近傍に配置される前後１対のローラ支持軸(33)と、各ローラ支持軸(33)に回転可能かつ軸方向移動可能に取り付けられるとともに周面の少なくとも一部が砥石(3)の周面のいずれかの溝部(3A)(3B)(3C)に係合し得るローラ(34)と、各ローラ支持軸(33)を支持する上下の軸支持部材(35)と、ローラ(34)と一体となって軸方向移動可能なように各ローラ支持軸(33)に取り付けられるとともにワーク端部補正部(11)の押さえ部材支持部材(23)に一体に取り付けられてワーク端部補正部(11)と第１の位置調整手段(31)を結合する連結部材(36)と、ローラ(34)が砥石(3)の溝(3A)(3B)(3C)に係合した位置で、ローラ(34)の軸の向きにおける位置をローラ支持軸(33)に固定するローラ固定手段(37)とを備えている。

ローラ支持軸(33)およびローラ(34)は、ローラ(34)とされる外筒とローラ支持軸(33)とされるスプライン軸の間に転動体であるボール（図示略）を組み込んだボールスプラインとされている。連結部材(36)は、ローラ(34)の上下両面にローラの回転を妨げないように固定された上下１対の板状体とされ、ワーク端部補正部(11)は、垂直断面コ字状の押さえ部材支持部材（ワーク端部補正部(11)側の連結部材）(23)の垂直壁がこの上下の板状体(36)の径方向外側の縁部に固定されることにより、第１の位置調整手段(31)に結合されている。このとき、端部押さえ部材(21)(22)の中間がローラ(34)の厚み中間の位置に合うように固定し、一体化される。そして、ローラ支持軸(33)の両端部を支持する上下１対の軸支持部材(33)が第２の位置調整手段(32)と結合されることにより、ローラ支持軸(33)したがってローラ(34)の砥石(3)に接近・離間する方向の移動が可能とされている。

ローラ(34)の外周面は、溝型砥石(3)の溝(3A)(3B)(3C)の上下方向断面の最深部曲面をなす半径Ｒと同じかそれ以上の半径でなされ、その厚さは、溝内または溝の入口で少なくともこれに２点接触するように決定されている。これにより、上下方向および砥石(3)の径方向の両方に移動可能な状態にされたローラ(34)をいずれかの溝(3A)(3B)(3C)に押し付けた際、溝(3A)(3B)(3C)にローラ(34)の外周縁部の一部が嵌まり合い、溝(3A)(3B)(3C)の中心面（溝幅方向中心を含む平面）とローラ(34)の中心面（厚み方向中心を含む面）とが一致する。ローラ(34)が移動すると、連結部材(36)もローラ(34)と一体となって移動し、こうして、ワーク端部補正部(11)は、溝(3A)(3B)(3C)に対応する位置すなわち端部押さえ部材(21)(22)間の中心面と砥石(3)の溝(3A)(3B)(3C)の中心面とが同一平面となる位置に移動させられる。

ローラ固定手段(37)は、板状体からなる連結部材(36)のローラ側でない面に設けられためねじ部材(37a)に、おねじ部材(37b)がその先端をローラ支持軸(33)に向けて支持されることにより構成されている。おねじ部材(37)の先端には、ゴムや樹脂等の傷付き防止部材が備えられており、ローラ支持軸(33)に向けてねじ込まれることにより、その先端が押し付けられて、連結部材(36)したがってローラ(34)が砥石(3)の厚み方向（上下方向）に対して移動不可能とされる。

第２の位置調整手段(32)は、砥石(3)を挟んで上下平行一対に設けられかつ研磨装置(1)のハウジング(2)に固定される上下取付け部材(38)と、ワーク端部補正部(11)の上下軸支持部材(35)に一体に取り付けられ砥石(3)に対して接近・離間する接近・離間部材(39)と、接近・離間部材(39)を砥石(3)に接近する方向に付勢する付勢手段としての引張りコイルばね(40)と、接近・離間部材(39)を案内する直線型のスライドレール(41)と、接近・離間部材(39)の接近・離間を阻止する接近・離間固定手段(42)とからなる。

引張りコイルばね(38)は、その一端が取付け部材(38)に取り付けられ、その他端が接近・離間部材(39)に取り付けられている。

接近・離間固定手段(42)は、上側の軸支持部材(35)に設けられためねじ部材(42a)と、先端をスライドレール(41)に向けてスライドレール(41)に対して平行にめねじ部材(42a)に支持されたおねじ部材とからなる。おねじ部材(42b)は、先端がスライドレール(41)端面に接触可能であり、これをねじ込むことによってスライドレール(41)を引張りコイルばね(40)に抗して移動・停止させることができる。

以下に、この研磨補助具(10)を使用した位置決め順序について説明する。

ワークの端部研磨設備は、ワーク保持手段(5)のワーク保持面と砥石(3)の１周の溝(3A)(3B)(3C)を有する面とが平行になるように調整する機構を有しており、ワーク保持手段(5)と砥石(3)との平行は、この調整機構によって予め調整される。

そこで、まず、ローラ固定手段(37)のおねじ部材(37b)および接近・離間固定手段(42)のおねじ部材(42b)を緩めることで、位置調整部(12)を上下方向（砥石厚み方向）および砥石径方向（接近・離間方向）のいずれにも自由にしておく。これにより、ローラ(34)は、引っ張りばね(40)により引っ張られた状態で、上下方向の任意の位置で砥石(3)の外周面に当接して停止する。

次いで、砥石回転軸(4)をゆっくりと回転させた状態で、ローラ(34)の外周部を溝(3A)に合わせると、ローラ(3)と溝(3A)との芯合わせがばね(38)の付勢力と砥石回転軸(4)の回転によって自動的に行われ、前記引っ張り力によりローラ(34)の上下方向の移動が止まる。ここで、ローラ固定手段(37)のおねじ部材(37b)を締め付けることにより、ローラ(34)の厚み方向の位置が固定される。図１および図２は、この状態を示している。なお、砥石回転軸(4)は回転させなくてもよい。

次いで、図３に示すように、接近・離間固定手段(42)のおねじ部材(42b)を締め付けて、その先端をスライドレール(41)に押し付けることで、接近・離間固定手段(42)が設けられている上側の軸支持部材(35)をスライドレール(41)に対して径方向外方に移動させ、ローラ(34)と砥石(3)との間に間隔を持たせた状態で径方向の位置固定を行う。ローラ(34)と砥石(3)を接触させていれば、研磨屑等でローラ(34)が汚れたりきずついたりするため、離しておくことによりそれを防止する。

次いで、ワーク保持手段(5)と薄板ワーク(W)の端部研磨装置(1)とを接近・離間させる第１の相対移動手段およびワーク(W)の辺の長さ方向に相対移動させる第２の相対移動手段により、ワーク保持手段(5)の方向へ研磨装置(1)を相対移動させ（接近離間方向の相対移動）、ワーク保持手段(5)とワーク端部補正部(11)とを接近させる（予め、ワークの研磨方向（矩形の一辺方向）にワーク端部補正部(11)の押さえ部材(21)(22)の長さ方向を平行にする手段で平行にしているものとする。）。この際、ワーク保持手段(5)の研磨装置(1)に対する相対的上下位置をワーク保持手段(5)と砥石(3)の相対的な上下方向の位置を調整可能な第３の相対移動手段により調整して端部押さえ部材(21)(22)とワーク保持手段(5)との高さを合わせるが、ワーク保持手段(5)のワーク保持面を含む平面がワーク保持手段(5)側の押さえ部材（この例では下側の押さえ部材(22)）のワーク(W)を通す側の面と同じになるように合わせる。この際、目視でおよその位置（ただしワーク(W)の弾性変形可能な範囲である）でよい。その上で第１の相対移動手段により研磨時の位置へ移動し固定する。次に、ワーク保持手段(5)をワーク受け取り位置へ第２の相対移動手段で移動させ、ワーク(W)を保持させた上で、再び押さえ部材(21)(22)に近づけ、ワーク(W)の端部を上下の端部押さえ部材(21)(22)間に側方から挿入する。ワーク(W)の端部が弾性変形している場合には、押さえ部材(21)(22)のテーパ部に接触して導かれ、このワーク(W)の端部が上下の端部押さえ部材(21)(22)間に挿入されることで、その変形が矯正され、端部押さえ部材(21)(22)が溝(3A)位置に正確に位置合わせ済みであるので、ワーク(W)の端部も溝(3A)位置に正確に位置合わせされる。

これにより、位置合わせが完了して、砥石(3)を回転させるとともに、ワーク(W)を第２の相対移動手段で前方に移動させることにより、ローラ(34)を砥石(3)から離間させた状態で、砥石(3)の溝(3A)がワーク(W)に当接するので、矩形状ワーク(W)の角が砥石(3)の溝(3A)と接触し研磨され、ワーク(W)の長さ方向の研磨が行われる。

この後、例えば、砥石を交換して位置がずれた場合や溝を(3A)から(3B)に変更する必要が生じた場合には、２つの固定手段(37)(42)のおねじ部材(37b)(42b)をねじ戻すことでローラ(34)をフリー状態とし、同様の操作を行うことで、この溝(3B)によるワーク端部の研磨が可能となる。

端部押さえ部材(21)(22)の間隔は、砥石(3)の溝幅に誤差吸収用の余裕を加えた幅に設定されている。なお、ワークの厚みを小さくするときは、それに合わせて端部押さえ部材(21)(22)の間隔も小さくしてよい。また、端部押さえ部材(21)(22)の間隔＞ワーク(W)の厚みとなる状態でのワーク(W)の位置決めも可能であり、この場合には、図４に示すように、下側の端部押さえ部材(22)がワーク(W)の下面に下方から接触し、上側の端部押さえ部材(21)は、ワーク(W)の上面に上方から臨まされてワーク(W)の変形を抑える作用を果たしている。

なお、このことから分かるように、目視でしたおよその位置合わせによるずれの影響を１対の端部押さえ部材(21)が共同で修正しようとする作用を奏するものであるが、この一方を省略しても良く、例えば、図２の上下が真の上下であるとした場合、垂れ下がる側である下側の端部押さえ部材(22)だけとしてもよい。上下の端部押さえ部材(21(22)がある場合、ワーク保持手段(5)との位置を厳密に合わせなくてもよいという利点があり、下側の端部押さえ部材(22)だけとした場合には、ワーク保持手段(5)にワークを保持した状態で、第３の相対移動手段で端部押さえ部材の表面をワークの端部の一面に接近させながら接触させた上で適切と思える位置で固定する位置合わせが可能となり、ワーク保持位置と端部押さえ部材(21)（＝砥石(3)の溝(3A)(3B)(3C)）の位置を簡単に合わせることができるという利点がある。

この発明による研磨補助具の１実施形態を示す平面図である。 図１のII-II線に沿う断面図である。 この発明による研磨補助具を使用して研磨を行う状態を示す平面図である。 この発明による研磨補助具を使用して位置決めを行う際の１実施例を示す図である。

符号の説明

(1) 研磨装置
(3) 砥石
(3A)(3B)(3C) 溝
(4) 砥石軸
(5) 真空チャック（ワーク保持手段）
(10) 研磨補助具
(11) ワーク端部補正部
(12) 位置調整部
(21)(22) 端部押さえ部材
(31) 第１の位置調整手段
(32) 第２の位置調整手段
(33) ローラ支持軸
(34) ローラ
(36) 連結部材
(37) ローラ固定手段
(38) 取付け部材
(39) 接近・離間部材
(40) 引張りコイルばね（付勢手段）
(42) 接近・離間固定手段

Claims (9)

1. 研磨する端部付近を除いてワーク保持手段により保持されている薄板状ワークの端部を所定形状に研磨するための少なくとも１つの溝が形成されている溝型砥石を回転させる研磨装置に取り付けられる研磨補助具であって、前記ワークの端部付近の少なくとも一方の面側に接触するワーク端部補正部と、前記ワーク端部補正部の位置を前記溝型砥石の溝に対応させて位置合わせする位置調整部とからなることを特徴とする研磨補助具。
2. 前記位置調整部は、砥石の回転軸の向きと同じ方向にワーク端部補正部を移動可能になした第１の位置調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載の研磨補助具。
3. 前記第１の位置調整手段は、砥石軸と平行な軸を有し砥石の周面近傍に配置される１対のローラ支持軸と、各ローラ支持軸に回転可能かつ軸方向移動可能に取り付けられるとともに周面の少なくとも一部が砥石の溝に係合し得るローラと、ローラと一体となって軸の向きに移動可能なように各ローラ支持軸に取り付けられるとともにワーク端部補正部に取り付けられてワーク端部補正部と第１の位置調整手段とを結合する連結部材とを備えることを特徴とする請求項２に記載の研磨補助具。
4. 前記第１の位置調整手段は、ローラが砥石の溝に係合した位置で、ローラの軸の向きにおける位置をローラ支持軸に固定するローラ固定手段をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の研磨補助具。
5. 前記位置調整部は、ワーク端部補正部を砥石に接近・離間可能な方向に移動可能になした第２の位置調整手段を有することを特徴とする請求項２に記載の研磨補助具。
6. 前記第２の位置調整手段は、ワーク端部補正部と一体になって砥石に対して接近・離間する接近・離間部材と、接近・離間部材を砥石に接近する方向に付勢する付勢手段とを備えることを特徴とする請求項５に記載の研磨補助具。
7. 前記第２の位置調整手段は、接近・離間部材の接近・離間を阻止する接近・離間固定手段をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の研磨補助具。
8. 溝型砥石、溝型砥石の回転軸に回転力を与える回転駆動手段および請求項１から請求項７までのいずれかの研磨補助具を備えた研磨装置。
9. 薄板状ワークを保持するワーク保持手段と、薄板状ワークの端部研磨装置と、前記ワーク保持手段と薄板状ワークの端部研磨装置とをワークの辺の長さ方向に相対移動させる相対移動手段とをさらに有し、端部研磨装置は、請求項８に記載したものである薄板状ワークの端部研磨設備。

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