JP2005321379A - 半導体特性測定装置の統合接続装置およびケーブルアセンブリ - Google Patents

Abstract

【課題】 測定装置の切替えの利便性を高め、精度を向上させる。
【解決手段】 切替手段（１２５６、１２５８）と、制御手段（２２２）からの切替信号を切替手段に伝える制御信号コネクタ（１２５２）と、切替手段に接続され、被測定素子（１０）の第１の電気特性を測定する第１測定手段コネクタに接続するようにされた第１のコネクタ（１２６０〜１２６６）と、切替手段に接続され、被測定素子の第２の電気特性を測定する第２測定手段コネクタに接続するようにされた第２のコネクタ（１２６８〜１２７４）とを備え、切替手段は、制御手段からの制御信号コネクタを介した切替信号に基づいて、被測定素子が第１のコネクタまたは第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを変更する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、接続態様が異なる複数の半導体特性測定装置を統合して接続するための装置に関する。特に、本発明は、集積回路素子やディスクリート電子回路素子の電気特性測定装置を接続し切り替える装置に関する。本発明は、例えば、ＭＯＳゲート酸化膜の膜厚評価のための容量測定とゲートリーク電流の評価、配線間容量評価と線間リーク評価、バイポーラトランジスタのジャンクション容量評価とＩＶ特性評価等を適宜切り替えて行なう装置に関する。

従来、半導体などからなる集積回路素子やディスクリート電子回路素子などの被測定素子（または、被試験デバイス、以下「ＤＵＴ」という）の電気的特性を測定する装置として、図１に示す関連技術が知られている。

図１は、プローブ装置１００を用いてＤＵＴ１０をプローブすることによって電気特性あるいは電圧電流特性を測定する装置の従来例を示している。従来は、直流の電圧源、電流源、電圧計、電流計を統合し、任意の組み合わせで 利用できるユニットをＤＵＴ１０に接続して用いる。このユニットは、ソースモニタユニット、または、ソースメジャーユニット（以下「ＳＭＵ」という）と呼ばれており、複数を組合わせて例えばＳＭＵ２０のようにして用いることができる。また、本従来例では、電気容量を測定できるユニット（キャパシタンスメジャーユニット、以下、「ＣＭＵ」という）２２を用いる。これらのＳＭＵ２０とＣＭＵ２２による測定を行なう場合は、それぞれの装置を機器ラック２００に備えて、ＤＵＴの特定の電気接点等をプローブしているプローブ装置１００と上記各装置とを測定ケーブル（図示しない）を用いて手作業により接続することが行なわれている。ＤＵＴ１０に対して異なる特性の測定を行なう場合には、ＤＵＴ１０の測定に用いる測定手段とプローブ装置１００との配線を作業者が手作業で取り替える。この場合、測定の種類ごとに適切な配線の構成になる利点を有するが、接続をユーザーが手作業で切り替える必要があり、測定作業の効率が上がらない問題がある。また、接続ケーブルが有するインピーダンスを補正して容量測定を行なう必要がある場合には、接続ケーブルのインピーダンスがケーブルのたわみの程度に依存する場合があり、精度の高い測定ができない場合がある。また、ＳＭＵ２０やＣＭＵ２２においては、精度を確保する目的で、プローブ装置とそれぞれの測定手段とが特有の接続方法により接続される。しかし、その接続方法が複雑であるために、ユーザーは習熟する必要があり、十分に習熟していないユーザーは接続をよく取り違えてしまう。

本発明においては、手作業による接続の切り替えを必要とせず、また、複雑な接続を行なうことなく、ＤＵＴの電気特性の測定を精度よく行なうことを課題とする。特に、限定するものではないが、本発明においては、複数の測定項目を切り替えるような一連の測定が対象となりうる。また、本発明における別の課題としては、ユーザがＳＭＵやＣＭＵといった測定手段の違いを意識することなく、評価を行ないたい内容を選択することにより、必要な測定手段が選択され、それに適した接続が実現するよう、使い勝手を向上させることである。

本発明においては、半導体素子である被測定素子に接続され、制御手段からの切替信号を受けるようになされた切替手段と、前記制御手段からの切替信号を受けて前記切替手段に伝える制御信号コネクタと、前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第１の電気特性を測定する第１の測定手段が有する複数の第１測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第１のコネクタと、前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第２の電気特性を測定する第２の測定手段が有する複数の第２測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第２のコネクタとを備え、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段は、互いに異なる配線構成により前記被測定素子と接続されるものであり、前記切替手段は、前記制御信号コネクタを介した前記制御手段からの前記切替信号に基づいて、前記被測定素子が、それぞれの測定手段に用いる配線構成に応じて、前記第１のコネクタまたは前記第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを定めるものである半導体素子特性測定装置に用いる接続装置が提供される。

切替手段を備えることにより、本接続装置を用いれば、複数の測定内容を制御手段によって切替ながら測定を行なうことができる。特に、複数の測定手段がそれぞれ異なる配線構成を有している場合には、それらの配線構成に応じた接続となるよう切替えることにより、測定装置の測定精度を損なわない切り替えが可能となる。

さらに、本発明においては、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記制御手段を互いに固定した関係をもって配置し、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタと、前記制御手段の制御信号出力コネクタとがある所定の配列に配置されている測定器に接続される上述の接続装置であって、前記第１測定手段コネクタに適合する前記第１のコネクタと、前記第２測定手段コネクタに適合する前記第２のコネクタと、前記制御信号出力コネクタに適合する前記制御信号コネクタとが、前記所定の配列に応じて配列されて一体になされており、前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとに一体として接続可能な接続装置が提供される。

接続装置を直接に測定器に接続することができ、複雑な接続をより単純な接続に見かけ上変換することができる。

本発明においては、前記第１の測定手段は電圧電流特性測定装置であり、前記第２の測定手段は電気容量測定装置であることを特徴とする接続装置が提供される。

電圧電流特性測定装置とは、例えば、ソースモニタユニットである。また、電気容量測定装置とは、例えばＬＣＲメータである。電圧電流特性測定装置では、主に直流での被測定素子の性質を測定し、電気容量測定装置では、主に交流での被測定素子の性質を測定する。本接続装置により、直流であるか交流であるかを意識することなく、被測定素子の電気的性質を測定することが可能になる。

本発明の接続装置においては、前記被測定素子に接続される少なくとも二つの端子に出力される測定用信号の組合わせを変更し、前記制御手段によって制御される組替え手段を前記切替手段が有しているものとすることができる。

例えば、被測定素子の二つの電極の間で測定を行なう場合に、測定素子の各電極に印加される信号の組合わせを反転等させたい場合がある。このような場合であっても、本発明の組替え手段を用いれば、制御手段によって端子の信号を反転させる等の組合わせの変更が可能になり、容易に信号の組合わせを替えることができる。

本発明の接続装置において、第１の状態と第２の状態を有する入力手段と該入力手段に よる選択入力を受ける選択制御手段とをさらに有し、前記第１の状態が選択されたときには、前記第１の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第１の測定手段が動作し、前記第２の状態が選択されたときには、前記第２の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第２の測定手段が動作するよう、前記選択制御手段によって前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記切替手段とを制御する半導体素子特性測定装置であって、前記被測定素子が、ＭＯＳトランジスタ素子、配線対、バイポーラトランジスタのいずれかであるときに、前記第１の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜のゲートリーク評価、配線間リーク評価、バイポーラトランジスタの電気特性評価の測定を選択するものであり、前記第２の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜の膜厚評価、配線間容量評価、バイポーラトランジスタのジャンクション容量評価の測定を選択するものとすることができる。

被測定素子が電界効果型トランジスタの一種であるＭＯＳ（金属酸化膜シリコン）素子であるときに、そのゲート酸化膜のリークはソースモニタユニットで測定可能である。また、ゲート酸化膜の膜厚はＬＣＲメータによる容量の測定により可能である。したがって、本発明の接続装置を用いればＭＯＳ素子のゲート酸化膜の評価としてリークと膜厚の測定を行なうことができれば、ゲード酸化膜の評価作業を容易に行なえる。また、被測定素子が二つの配線であるときに配線間のリークと配線間容量の測定を行なうことができれば、配線の評価が容易に行なえる。加えて、被測定素子がバイポーラトランジスタであるときにＩ−Ｖ特性などの電気特性と高周波特性に影響するジャンクション容量の評価を行なえば、バイポーラトランジスタの評価が容易に行なえる。本発明の入力手段を用いれば、目的とする評価項目の選択をすることで自動的に必要とされる測定手段が接続されるので、ユーザーにとって各測定手段に依存した接続をする必要が無く、使用が容易である。

加えて、本発明においては、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とを備えている測定器と、上述の接続装置とを中継するためのケーブルアセンブリであって、前記測定器は、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタとが第１の配列に配置されているものであり、前記接続装置は、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとが第２の配列に配置されているものであり、前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第３のコネクタと複数の第４のコネクタとを有する第１のコネクターアセンブリと、前記接続装置にある前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第５のコネクタと複数の第６のコネクタとを有する第２のコネクターアセンブリと、前記第３のコネクタのそれぞれを前記第５のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第１の導線群と、前記第４のコネクタのそれぞれを前記第６のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第２の導線群とを含み、前記第１のコネクターアセンブリと前記第２のコネクターアセンブリとを中継する複数の導線ケーブルとを含むケーブルアセンブリが提供される。

このようなケーブルアセンブリを用いると、測定器から接続装置までの配線を単純にしたまま、上述の接続装置をＤＵＴの近くに配置することが可能になる。さらに、測定器を個別にケーブルで接続する必要が無く、ケーブルの配置が安定して、ケーブルが有する浮遊容量等の定数の変動を抑制できる。

また、本発明においては、前記第１のコネクターアセンブリは、第１の制御信号中継コネクタをさらに有しており、前記第２のコネクターアセンブリは、第２の制御信号中継コネクタをさらに有しており、前記測定器は、前記制御手段の制御信号出力コネクタをさらに有して、前記第１の配列に該制御信号出力コネクタが含まれており、前記接続装置は、前記制御信号コネクタをさらに有して、前記第２の配列に該制御信号コネクタが含まれており、前記第１のコネクターアセンブリは、前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置された前記第３のコネクタと前記第４のコネクタと前記第１の制御信号中継コネクタとを有しており、前記第２のコネクターアセンブリは、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタと前記制御信号コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置された前記第５のコネクタと前記第６のコネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを有しており、前記複数の導線ケーブルは、前記第１の制御信号中継コネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを電気的に接続する第３の導線群をさらに含むものであるケーブルアセンブリが提供される。

このようにケーブルアセンブリを構成することにより、制御信号も測定用の配線と一体に伝達することが可能になり、さらに簡便に接続を行なうことができる。

本発明の接続装置を用いれば、被測定素子の特性を測定する際に、第１の測定手段と第２の測定手段を切り替える作業が軽減または自動化することができる。切替を自動化すれば、ユーザーは自らの得たいＤＵＴの特性に必要な測定手段が第１の測定手段であるか第２の測定手段であるかを意識することなく、測定を行なうことができる。
また、本発明のケーブルアセンブリを用いれば、使用するケーブルの数を減らすことが可能となり、利便性が増す。また、測定において誤差の少ない測定が可能になり、複数の測定手段を用いる測定において接続が容易となる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
［基本構成］
図２は本発明においてＳＭＵを用いたＤＵＴ１０の電気特性のＤＣ成分の測定と、ＣＭＵを用いたＤＵＴ１０の電気容量の測定とを切り替えて行なう場合の実施の形態を示すブロック図である。図２には、機器ラック２００に搭載された測定器２１０が記載されている。測定器２１０には、ＳＭＵ２０（ＳＭＵ２０１、２０２、第１の測定手段）、ＣＭＵ２２（第２の測定手段）が備えられている。測定器２１０は、これらの測定手段によりＤＵＴ（被測定素子）１０の電気特性の測定を行なう。ここで、ＤＵＴ１０の端子に関して機器との接続を区別するために＋側および−側との表現を用いるが、区別のための便宜的なものであり、特に電位の高低を意味するものではない。測定器２１０とＤＵＴ１０との間には、接続装置１２が用いられている。

ＳＭＵ２０１、２０２は、それぞれ、直流の電圧源、電流源、電圧計、電流計を統合し、任意の組み合わせで利用することができる測定手段であるが、ＳＭＵ２０１、２０２を組合わせてＳＭＵ２０として測定を行なうことができる。ＳＭＵ２０は、ケルビン接続が可能となるよう、ＳＭＵ２０１とＳＭＵ２０２のそれぞれにトライアキシャル出力であるフォース端子Ｆ１、Ｆ２と、トライアキシャル出力であるセンス端子Ｓ１、Ｓ２とが含まれている。トライアキシャル出力になっている各出力は、中心導体により信号が伝達され、外側シールド導体はコモンに接続され、中心導体と外側シールド導体の間にあるガード導体には中心導体の信号と同電位に保たれたガード信号が伝達される。

ＣＭＵ２２は、一般にはインピーダンスを測定することができ、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（容量）、Ｒ（抵抗）を様々な印加波形や条件で測定することができる。すなわち、ＣＭＵ２２は、インダクタンス測定手段、容量測定手段、抵抗測定手段となりうる測定手段である。ＣＭＵ２２には、接続装置１２のスイッチ１２５６および１２５８を制御するためのコントローラ２２２が含まれている。このコントローラは、必ずしもＣＭＵ２２に備えられている必要は無く、測定器２１０に備えられているか、または測定器２１０から
制御できれば十分である。ＣＭＵ２２は、＋（Ｈｉｇｈ）側の電流を出力する測定コネクタＨＣ、＋側の電圧を測定する測定コネクタＨＰ、−（Ｌｏｗ）側の電流を出力する測定コネクタＬＣ、−側の電圧を測定する測定コネクタＬＰを備える。なお、ＣＭＵ２２の各同軸測定コネクタＨＣ，ＨＰ，ＬＣ，ＬＰのシールド導体は、ＣＭＵ２２の筐体グランドからはフローティングされている。

ＤＵＴ１０は、例えば、シリコンウエハーを用いて作製されて、集積回路製造プロセスのプロセス条件の最適プロセスを定めるために用いられるＴＥＧ（Ｔｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）などの素子や、トランジスターなどの半導体素子であるが、これらに限られない。その他にも、このＤＵＴ１０においては、コネクタ１２０２、１２０４を介して、例えば、プローブ装置のプローブ針などによって、＋側および−側の電極に信号が印加され、応答が検出される。

接続装置１２は、ＤＵＴ１０の＋側の接続に用いるトライアキシャル出力のコネクタ１２０２とＤＵＴ１０の−側の接続に用いるトライアキシャル出力のコネクタ１２０４とを有している。

測定器２１０と接続装置１２は、接続３０に示される接続態様に接続される。この接続は、本発明においては、測定器２１０と接続装置１２とを直接接続することによって実現されることができる。あるいは、測定器２１０と接続装置１２とを中継するケーブルアセンブリを用いて実現されていることができる。次にこれらの接続の態様について更に詳述する。

スイッチ１２５６および１２５８には、ＳＭＵ２０が有している複数の測定コネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２に接続するようにされている複数のコネクタ１２６０〜１２６６（第１のコネクタ）が接続されている。また、スイッチ１２５６および１２５８には、ＣＭＵ２２が有している複数の測定コネクタＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣに接続するようにされている複数のコネクタ１２６８〜１２７４（第２のコネクタ）が接続されている。

スイッチ１２５６および１２５８は、コントローラ２２２からの切替信号に基づいて、第１のコネクタ１２６０〜１２６６か、第２のコネクタ１２６８〜１２７４かのいずれがＤＵＴ１０と電気的に接続されるかを切り替える。

接続装置１２は、制御信号コネクタ１２５２を有している。制御信号コネクタ１２５２から切替信号を受けたスイッチ駆動手段１２５４は、スイッチ１２５６および１２５８（切替手段）を切り替える。ここで、スイッチ１２５８と１２５６は連動している。すなわち、スイッチ１２５８が端子Ｔ１を選択したときには、スイッチ１２５６もＴ１端子を選択し、スイッチ１２５８が端子Ｔ２を選択したときには、スイッチ１２５６もＴ２端子を選択する。このように、スイッチ１２５８とスイッチ１２５６とを用いて、接続装置１２は、ＤＵＴ１０の測定にＳＭＵ２０を用いるか、ＣＭＵ２２を用いるかを切り替える。

図３を用いて、接続装置１２の詳細を説明する。コネクタ１２０２、１２０４、１２６０〜１２６６はトライアキシャルのコネクタであり、コネクタ１２６８〜１２７４はＢＮＣ等のコアキシャル（同軸）のコネクタであり、コネクタ１２５２は、Ｄ-Ｓｕｂ等のデジタル信号のコネクタである。また、スイッチ１２５８Ａ、１２５８Ｂ、１２５８Ｃは、図２のスイッチ１２５８の動作を行なうスイッチである。３つのスイッチに分離しているのは、接続装置１２内部での浮遊容量や、リーク電流等を減少させるためである。同様に、スイッチ１２５６Ａ、１２５６Ｂ、１２５６Ｃは図２のスイッチ１２５６の動作を行なうスイッチである。

コネクタ１２６０の中心導体は、ＳＭＵ２０１のコネクタＳ１の中心導体に接続される
信号ラインである。このコネクタ１２６０の中心導体のラインは、コネクタ１２６２の中心導体と接続される。この接続点は、ケルビン接続における電圧測定点となる。

コネクタ１２６２の中心導体は、ＳＭＵ２０１のコネクタＦ１の中心導体に接続される信号ラインである。このコネクタ１２６２の中心導体のラインは、コネクタ１２６０の中心導体のラインと接続された後、スイッチ１２５８Ａを介してコネクタ１２０２の中心導体と接続される。

コネクタ１２６２のガード導体は、ＳＭＵ２０１のコネクタＦ１のガード導体に接続されるガードラインである。このコネクタ１２６２のガード導体のラインは、スイッチ１２５８Ａを介してコネクタ１２０２のガード導体と接続される。

コネクタ１２６４の中心導体は、ＳＭＵ２０２のコネクタＳ２の中心導体に接続される信号ラインである。このコネクタ１２６４の中心導体のラインは、コネクタ１２６６の中心導体と接続される。この接続点は、ケルビン接続における電圧測定点となる。

コネクタ１２６６の中心導体は、ＳＭＵ２０２のコネクタＦ２の中心導体に接続される信号ラインである。このコネクタ１２６６の中心導体のラインは、コネクタ１２６４の中心導体のラインと接続された後、スイッチ１２５６Ａを介してコネクタ１２０４の中心導体と接続される。

コネクタ１２６６のガード導体は、ＳＭＵ２０２のコネクタＦ２のガード導体に接続されるガードラインである。このコネクタ１２６６のガード導体のラインは、スイッチ１２５６Ａを介してコネクタ１２０４のガード導体と接続される。

コネクタ１２６８の中心導体は、ＣＭＵ２２のＨＣコネクタの中心導体に接続される。このコネクタ１２６８の中心導体のラインは、スイッチ１２５８Ｃ、１２５８Ｂを介して、コネクタ１２０２の中心導体のラインに接続され、コネクタ１２０２のガード導体は、スイッチ１２５８Ｃによってコモンのラインに接続される。

コネクタ１２７０の中心導体は、ＣＭＵ２２のＨＰコネクタの中心導体に接続される。このコネクタ１２７０の中心導体のラインは、コネクタ１２６８の中心導体のラインと接続される。

コネクタ１２７２の中心導体は、ＣＭＵ２２のＬＰコネクタの中心導体に接続される。このコネクタ１２７２の中心導体のラインは、スイッチ１２５６Ｃ、１２５６Ｂを介して、コネクタ１２０４の中心導体のラインに接続され、コネクタ１２０４のガード導体は、スイッチ１２５６Ｃによってコモンのラインに接続される。

コネクタ１２７４の中心導体は、ＣＭＵ２２のＬＣコネクタの中心導体に接続される。このコネクタ１２７４の中心導体のラインは、コネクタ１２７２の中心導体のラインと接続される。

コネクタ１２０２のガード導体のラインは、スイッチ１２５８Ｂを介し、スイッチ１２５８Ｃによりコモンのラインに選択的に接続される。同様に、コネクタ１２０４のガード導体のラインは、スイッチ１２５６Ｂを介し、スイッチ１２５６Ｃによりコモンに選択的に接続される。

コネクタ１２５２は、スイッチ駆動手段１２５４に接続される。スイッチ駆動手段１２５４に切替信号を発するコントローラ２２２は、ユーザが測定器２１０においてＳＭＵ２
０を用いた測定を行なうかＣＭＵ２２を用いた測定を行なうかを選択することに応じて適切な切替信号を発信する。各スイッチは、スイッチ駆動手段１２５４からの駆動信号（図示しない）により駆動される。この際、スイッチ駆動手段１２５４は、各スイッチを次に述べるように制御する。

ＳＭＵ２０により測定が行なわれる場合、スイッチ１２５８Ａ〜Ｃ、スイッチ１２５６Ａ〜Ｃは図示した状態になる。即ち、スイッチ１２５８Ａ、１２５６Ａは閉じられ、スイッチ１２５８Ｃおよびスイッチ１２５６Ｃは開かれ、スイッチ１２５８Ｂは、スイッチ１２５８Ｂとスイッチ１２５８Ｃを結ぶラインがコネクタ１２０２のガード導体と接続されるようになり、スイッチ１２５６Ｂは、スイッチ１２５６Ｂとスイッチ１２５６Ｃを結ぶラインがコネクタ１２０４のガード導体と接続されるようになる。

ＣＭＵ２２により測定が行なわれる場合、スイッチ１２５８Ａ〜Ｃ、スイッチ１２５６Ａ〜Ｃは図示した状態の逆の状態になる。即ち、スイッチ１２５８Ａ、１２５６Ａは開かれ、スイッチ１２５８Ｃおよびスイッチ１２５６Ｃは閉じられ、スイッチ１２５８Ｂは、コネクタ１２０２のガード導体がコモンに接続され、コネクタ１２０２の中心導体がコネクタ１２６８、１２７０の中心導体と接続されるようになり、スイッチ１２５６Ｂは、コネクタ１２０４のガード導体がコモンに接続され、コネクタ１２０４の中心導体がコネクタ１２７２、１２７４の中心導体と接続されるようになる。

図４に、本発明の実施の形態における接続コネクタの態様を示す。図４では、理解を容易にするため、制御信号出力コネクタ２２４（図２）、制御信号コネクタ１２５２、コントローラ２２２等は記載していないが、制御信号出力コネクタ２２４、コントローラ２２２は測定器２１０に実際には含まれるか、測定器２１０から制御できるようになっており、制御信号コネクタ１２５２は接続装置１２に含まれている。測定器２１０において、ＳＭＵ２０１、２０２、ＣＭＵ２２は互いに位置関係が固定されている。その結果、測定コネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２、ＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣがある配列に配置されている。

接続装置１２には、ある面１２Ａと他の面１２Ｂがある。面１２Ａには、測定器２１０の測定コネクタの配列に応じて、コネクタ１２６０〜１２７４が配置されて一体にされている。面１２Ａに配置されているコネクタ１２６０〜１２７４の各コネクタを、測定コネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２、ＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣのそれぞれに対向させて直接嵌合させることにより、図２の接続３０が一度の接続動作で確立する。接続装置１２の面１２Ｂには、コネクタ１２０２および１２０４が配置されており、このコネクタはトライアキシャルケーブルによりプローブ装置（図２）に接続される。

一体化されたケーブルアセンブリ１４を用いて測定器２１０と接続装置１２を接続する場合を説明する。ケーブルアセンブリ１４は、二つのコネクターアセンブリ１４Ａ、１４Ｂとケーブルアセンブリ１４Ｃから構成されている。

コネクターアセンブリ１４Ａは、測定器２１０の測定コネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２、コネクタＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣの配列（第１の配列）に応じて配列されたコネクタ１４６０〜１４７４を有する。コネクタ１４６０〜１４７４は、それぞれコネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２、コネクタＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣに直接接続することができるように配置されて一体にされている。

コネクターアセンブリ１４Ｂは、接続装置１２のコネクタ１２６０〜１２７４の配列（第２の配列）に応じて配列されたコネクタ１４１０〜１４２４を有する。コネクタ１４１０〜１４２４は、それぞれコネクタ１２６０〜１２７４直接接続することができるように配置されて一体にされている。

ケーブルアセンブリ１４Ｃは、コネクタ１４６０〜１４７４のそれぞれをコネクタ１４１０から１４２４のそれぞれに接続する各ケーブルを束ねて構成されている。各ケーブルは、図２の接続３０に示したように、トライアキシャルケーブルや同軸ケーブルにより接続されている。図示していないが、制御信号の中継コネクタがコネクターアセンブリ１４Ａおよび１４Ｂに備えられていれば、制御信号を伝えるための制御ケーブルをケーブルアセンブリ１４Ｃに含めることができる。このケーブルアセンブリ１４Ｃにより、接続ケーブルが束ねてあるために、容量測定用に接続ケーブルが有するインピーダンスを補正した場合でも、ケーブルのたわみに起因する接続インピーダンスの変動による補正の失敗を防ぐことができる。

また、図４では接続装置１２のコネクタ１２６０〜１２７４の配列（第２の配列）が測定器２１０の測定コネクタＳ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２、コネクタＨＣ、ＨＰ、ＬＰ、ＬＣの配列（第１の配列）の鏡像の配置になっているが、ケーブルアセンブリ１４を使用する場合には、必ずしもこのように配置する必要は無い。図４のように、これらのコネクタの配置を同じ大きさの鏡像の配置にしておき、各コネクターが適切に嵌合するように構成すれば、ユーザーはケーブルアセンブリ１４を用いるか用いないかを適宜選択できる利点がある。また、これらのコネクタの配置を鏡像の配置にしない場合には、例えば、コネクターアセンブリ１４Ｂのコネクタの配置と接続装置の面１２Ａのコネクタの配置とを互いに同じ大きさの鏡像の配置にしておき、各コネクターが適切に嵌合する事ができる配置にしさえすれば、接続装置１２やコネクターアセンブリ１４Ｂを様々な大きさや配置に作製することができる。また、制御信号のコネクタや信号線をケーブルアセンブリに含めることで、接続をさらに容易に行なうことができる。

図５を用いて、ＤＵＴ１０に接続する端子の構成を組替えることができる構成について説明する。スイッチ１２８０とスイッチ１２８２は、ＤＵＴ１０の＋側および−側に接続される測定用端子の組合わせを組替えるのに用いられる本発明の組換え手段である。スイッチ１２８０と１２８２は、制御手段２２２の信号を受けるスイッチ駆動手段１２５４によって駆動される。例えば、スイッチ１２８０が端子Ｔ４を選択するときに、スイッチ１２８２は端子Ｔ３を選択し、スイッチ１２８０が端子Ｔ６を選択するときに、スイッチ１２８２は端子Ｔ５を選択するように連動して制御される。これにより、例えばＳＭＵ２０による測定を行なう際には、ＤＵＴ１０の＋側にＳＭＵ２０１のＦ１端子が接続され、ＤＵＴ１０の−側にＳＭＵ２０２のＦ２端子が接続されるようにしたり、逆に、ＤＵＴ１０の＋側にＳＭＵ２０２のＦ２端子が接続され、ＤＵＴ１０の−側にＳＭＵ２０１のＦ１端子が接続されるようにしたりする事ができる。このように信号の組合わせを組替えると、ＤＵＴ１０に対して測定したい内容にあわせて柔軟に測定コネクターとＤＵＴの各端子の接続を変更できる。

また、ここでは、二つの端子の間での組み合わせを示したが、さらに、ＤＵＴが３以上の端子を有する場合にその各端子への出力の組合わせを組替えることができるようなマトリクス型のスイッチとしてより柔軟な組換えを行なうことも有効である。

図６により、ＤＵＴ１０が、ＭＯＳトランジスタ素子、配線対、バイポーラトランジスタのいずれかである場合に、二つの状態を有する入力装置２５０を用いて測定を切替える構成について説明する。入力装置２５０は、ボタン２５２を選択した場合の第１の状態とボタン２５４を選択した場合の第２の状態を有している。ここでは、二つの状態は互いに排他的である。ユーザーから入力装置２５０への選択の入力はコントローラ２５６（選択制御手段）に入力される。このコントローラ２５６は、ボタン２５２が選択されたときには、ＳＭＵ２０１、２０２を制御してこれらによる測定を行い、ＣＭＵ２２を制御してＣＭＵ２２内のコントローラ２２２により接続装置１２の各スイッチを制御して、ＤＵＴ１
０の＋側にＳＭＵ２０１の測定コネクタＦ１の出力が伝達され、ＤＵＴ１０の−側にＳＭＵ２０２の測定コネクタＦ２の出力が伝達されるようにする。また、このコントローラ２５６は、ボタン２５４が選択されたときには、ＣＭＵ２２を制御してＣＭＵ２２による測定を行い、ＣＭＵ２２内のコントローラ２２２により接続装置１２の各スイッチを制御して、ＤＵＴ１０の＋側にＣＭＵ２２の測定コネクタＨＣおよびＨＰの出力（図ではＣＭＵＨと記載）が伝達され、ＤＵＴ１０の−側にＣＭＵ２２の測定コネクタＬＣおよびＬＰの出力（図ではＣＭＵＨと記載）が伝達されるようにする。

これにより、ＤＵＴ１０がＭＯＳトランジスタ素子であるときには、ユーザーは、ＳＭＵ２０を用いたＭＯＳゲート酸化膜のゲートリークの評価と、ＣＭＵ２２を用いたＭＯＳゲート酸化膜の膜厚評価という各評価に適した接続とその評価に必要な測定を、入力装置２５０を切替えることのみで切替えることができる。また、ＤＵＴ１０が配線対であるときには、ユーザーは、ＳＭＵ２０を用いた配線間リーク評価と、ＣＭＵ２２を用いた配線間容量評価という各評価に適した接続とその評価に必要な測定を、入力装置２５０を切替えることのみで切替えることができる。加えて、ＤＵＴ１０がバイポーラトランジスタであるときには、ユーザーは、ＳＭＵ２０を用いた電気特性の評価と、ＣＭＵ２２を用いたジャンクション容量の評価という各評価に適した接続とその評価に必要な測定を、入力装置２５０を切替えるのみで切替えることができる。

［他の実施の形態］
次に、図７および図８を用いて、図２および図３の接続装置を改良した接続装置の構成を説明する。図７は、図２の接続装置の構成を改良した接続装置４２を用いた接続状態を示す図である。本実施の形態においても、図２の場合と同様に、ＳＭＵによるＤＵＴ１０の電気特性のＤＣ成分の測定と、ＣＭＵによるＤＵＴ１０の電気容量の測定とを切り替えて行なう。接続装置４２は、測定器２１０とＤＵＴ１０との間に用いられる。

接続装置４２の改良の目的の一つは、ケルビン接続をＤＵＴ１０の端子まで保つことができるように、接続装置４２のＤＵＴ側にもフォース端子とセンス端子を設ける点にある。これにより、本発明においてＳＭＵ２０によるＤＣ測定を行う場合に、より高精度の測定ができる。図７に示したように、接続装置４２の測定器側に設けられるコネクタ４２６０〜４２７４およびコネクタ４２５２は、接続装置１２に設けられるコネクタ１２６０〜１２７４およびコネクタ１２５２（図２）と同様である。これに対し、接続装置４２のＤＵＴ側には、図２に示したコネクタ１２０２および１２０４を用いる接続装置１２の構成に比べて、新たにトライアキシャルコネクタを二つ増やしている。すなわち、接続装置４２においては、コネクタ４２０２と４２０３がＤＵＴ１０の＋側の接続に用いられ、コネクタ４２０４と４２０５がＤＵＴ１０の−側の接続に用いられる。また、接続装置４２の内部には、スイッチ４２５８および４２５６が設けられ、これらのスイッチを駆動するスイッチ駆動手段４２５４も設けられる。このスイッチ駆動手段４２５４は、コネクタ４２５２および２２４を介してコントローラ２２２から伝達される制御信号によって制御される。

また、接続装置４２の改良の他の目的は、ＣＭＵ２２との接続において、ＣＭＵ２２のグランドラインを、接続装置内においてフローティングさせておいて、直接ＤＵＴ１０に接続することにある。これを実現するために、新たにガードスイッチ１０２をＤＵＴ１０の近傍に設ける。このガードスイッチ１０２を制御するため、接続装置４２のＤＵＴ側には、コネクタ４２７６が設けられる。コネクタ４２７６には、スイッチ駆動手段４２５４からの出力がガードスイッチ１０２を制御するために取り出される。

図７に示したように、測定器２１０と接続装置４２は、図２の接続装置１２の場合と同様に、接続５０に示される接続態様により接続される。この接続５０は、測定器２１０と接続装置４２とを直接接続して実現されることができ、測定器２１０と接続装置４２とを中継するケーブルアセンブリを用いて実現されることができる。

さらに図８を用いて改良した接続装置４２の構成について説明する。スイッチ４２５８Ａ、４２５８Ｂ、４２５８Ｃは、図７のスイッチ４２５８の動作を行なうスイッチである。３つのスイッチに分離しているのは、接続装置４２内部での浮遊容量や、リーク電流等を減少させるためである。同様に、スイッチ４２５６Ａ、４２５６Ｂ、４２５６Ｃは図７のスイッチ４２５６の動作を行なうスイッチである。

コネクタ４２６０および４２６２のガード導体は互いに接続され、スイッチスイッチ４２５８Ａを経て、コネクタ４２０２および４２０３のガード導体と接続される。

また、コネクタ４２６０の中心導体は、ＳＭＵ２０１のコネクタＳ１の中心導体に接続される信号ラインである。このコネクタ４２６０の中心導体のラインは、スイッチ４２５８Ａを経て、コネクタ４２０３の中心導体と接続される。これにより、接続装置４２の中においてトライアキシャルコネクタ４２６０と４２０３をつなぐようにトライアキシャルケーブルと同様の接続が実現している。

さらに、コネクタ４２６２の中心導体は、ＳＭＵ２０１のコネクタＦ１の中心導体に接続される信号ラインである。このコネクタ４２６２の中心導体のラインは、スイッチ４２５８Ａを経て、コネクタ４２０２の中心導体と接続される。このように、接続装置４２の内部においてトライアキシャルケーブルと同様の接続が実現するよう、トライアキシャルコネクタ４２６２と４２０２が接続されている。

これらと同様に、コネクタ４２６４およびコネクタ４２６６も、接続装置４２の内部においてトライアキシャルケーブルと同様の接続が実現するよう、スイッチ４２５６Ａを経由して、トライアキシャルコネクタ４２６４と４２０５が接続され、トライアキシャルコネクタ４２６６と４２０４が接続されている。

接続装置４２内部において、コネクタ４２６８〜４２７４はコネクタ４２０２〜４２０５に接続されている。ここで、図３の接続装置１２の場合と異なり、接続装置４２のコネクタ４２６８〜４２７４のシールド導体は、接続装置４２のグランドラインや筐体グランドから電気的に絶縁されている。

コネクタ４２６８の中心導体のラインは、スイッチ４２５８Ｃ、４２５８Ｂを介して、コネクタ４２０２の中心導体のラインに接続される。コネクタ４２６８の中心導体のラインには、コネクタ４２７０の中心導体のラインも接続される。コネクタ４２６８および４２７０のシールド導体は、スイッチ４２５８Ｃによってコネクタ４２０２および４２０３のガード導体に接続される。前述のように、コネクタ４２６８および４２７０のシールド導体は接続装置４２のグランドラインや筐体グランドとは絶縁されている。

コネクタ４２７２の中心導体のラインは、スイッチ４２５６Ｃ、４２５６Ｂを介して、コネクタ４２０４の中心導体のラインに接続される。コネクタ４２７２の中心導体のラインには、コネクタ４２７４の中心導体のラインも接続される。コネクタ４２７２および４２７４のシールド導体は、スイッチ４２５６Ｃによってコネクタ４２０４および４２０５のガード導体に接続される。前述のように、コネクタ４２７２および４２７４のシールド導体は接続装置４２のグランドラインや筐体グランドとは絶縁されている。

コネクタ４２５２は、スイッチ駆動手段４２５４に接続される。スイッチ駆動手段４２５４には、コネクタ２２４を介してコントローラ２２２が接続される。ユーザが測定器２１０においてＳＭＵ２０を用いた測定を行なうかＣＭＵ２２を用いた測定を行なうかを選択することに応じて適切な切替信号を発信する。

各スイッチは、スイッチ駆動手段４２５４からの駆動信号（図示しない）により駆動される。この際、スイッチ駆動手段４２５４は、各スイッチを次に述べるように制御する。

ＳＭＵ２０を用いてＤＵＴ１０の測定が行なわれる場合には、スイッチ４２５８Ａ〜Ｃ、スイッチ４２５６Ａ〜Ｃは図８に図示した状態になる。即ち、スイッチ４２５８Ａ、４２５６Ａは閉じられ、スイッチ４２５８Ｃおよびスイッチ４２５６Ｃは開かれ、スイッチ４２５８Ｂは、スイッチ４２５８Ｂとスイッチ４２５８Ｃを結ぶ二つのラインがコネクタ４２０２および４２０３のガード導体と接続されるようにされ、スイッチ４２５６Ｂは、スイッチ４２５６Ｂとスイッチ４２５６Ｃを結ぶ二つのラインがコネクタ４２０４および４２０５のガード導体と接続されるようにされる。また、このとき、ＤＵＴ１０の近傍に設けられたスイッチ１０２（図７）は開かれる。これにより、ＳＭＵ２０による測定（ＤＣ測定）が行われるときに、ＤＵＴ１０の近傍までケルビン接続が維持される。これによって、特に微小抵抗測定の精度を上げることができる。

ＣＭＵ２２により測定が行なわれる場合、スイッチ４２５８Ａ〜Ｃ、スイッチ４２５６Ａ〜Ｃは図示した状態の逆の状態になる。即ち、スイッチ４２５８Ａ、４２５６Ａは開かれ、スイッチ４２５８Ｃおよびスイッチ４２５６Ｃは閉じられ、スイッチ４２５８Ｂは、コネクタ４２０２および４２０３のガード導体がコネクタ４２６８および４２７０のシールド導体に接続され、コネクタ４２０２の中心導体がコネクタ４２６８、４２７０の中心導体と接続されるようになり、スイッチ４２５６Ｂは、コネクタ４２０４および４２０５のガード導体がコネクタ４２７２および４２７４のシールド導体に接続され、コネクタ４２０４の中心導体がコネクタ４２７２、４２７４の中心導体と接続されるようになる。また、このときスイッチ１０２が閉じられる。これにより、ＣＭＵ２２による測定（ＡＣ測定）が行われるとき、ＣＭＵ２２の測定コネクタＨＣとＨＰのシールド導体（すなわち＋側測定コネクタのグランド）と測定コネクタＬＣとＬＰのシールド導体（すなわち−側測定コネクタのグランド）は、それぞれフローティングされたままＤＵＴ１０の近傍まで引かれてきて互いに接続される。そのため、ＡＣ測定時のＡＣ電流の経路は、ＣＭＵ２２の測定コネクタＨＣの中心導体からＤＵＴ１０を介してＣＭＵ２２の測定コネクタＬＣの中心導体に伝わった後、ＣＭＵ２２の−側測定コネクタのシールド導体から、ＤＵＴ１０の近傍でスイッチ１０２を介して、ＣＭＵ２２の＋側測定コネクタのシールド導体に伝わる経路として形成される。 この結果、特に接続装置４２とＤＵＴ１０との間のケーブルＴＲＩＡＸ ＯＵＴ１〜４において残留インピーダンス（特に、相互インダクタンスと浮遊容量）を低減させることができ、精度の高い測定が可能となる。

以上のように、いくつかの例示的な実施形態が本発明に関して詳細に説明された。当業者には、本発明の新規な開示および効果から実質的に離れることなくこれら実施形態を様々に改良することが可能であることが分るであろう。したがって、そのような改良も全て本発明の範囲に含められるべきことが意図されている。

従来の半導体素子特性測定器と被測定素子の構成を示す図。 本発明の実施の形態における接続装置の接続態様を示す図。 本発明の実施の形態における接続装置の内部構成を示す図。 本発明の実施の形態における接続装置およびケーブルアセンブリのコネクタの構成を示す図。 組替え手段を有する本発明の実施の形態における接続装置の接続態様を示す図。 入力手段を有する本発明の実施の形態における接続装置の構成を示す図。 本発明の他の実施の形態における接続装置の接続態様を示す図。 本発明の他の実施の形態における接続装置の内部構成を示す図。

符号の説明

１０ ＤＵＴ（被測定素子）
１２、４２ 接続装置
１２１０ 駆動信号
１２５６〜１２５８、４２５６〜４２５８ スイッチ
Ｔ１、Ｔ２ 端子
１２６０〜１２６６、４２６０〜４２６６ コネクタ
１２６８〜１２７４、４２６８〜４２７４ コネクタ
１４ ケーブルアセンブリ
１４Ａ、１４Ｂ コネクターアセンブリ
１４１０〜１４１６ コネクタ
１４１８〜１４２４ コネクタ
１４６０〜１４６６ コネクタ
１４６８〜１４７４ コネクタ
２０、２０１、２０２ ＳＭＵ
Ｓ１、Ｆ１、Ｓ２、Ｆ２ 測定コネクタ
２２ ＣＭＵ
２２２ コントローラ
ＨＣ、ＨＰ、ＬＣ、ＬＰ 測定コネクタ
２５０ 入力装置
２５２、２５４ ボタン
２５６ コントローラ
３０ 接続状態
１００ プローブ装置
１０２ スイッチ
２００ 機器ラック

Claims (7)

1. 半導体素子である被測定素子に接続され、制御手段からの切替信号を受けるようになされた切替手段と、
   前記制御手段からの切替信号を受けて前記切替手段に伝える制御信号コネクタと、
   前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第１の電気特性を測定する第１の測定手段が有する複数の第１測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第１のコネクタと、
   前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第２の電気特性を測定する第２の測定手段が有する複数の第２測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第２のコネクタと
   を備え、
   前記第１の測定手段と前記第２の測定手段は、互いに異なる配線構成により前記被測定素子と接続されるものであり、
   前記切替手段は、前記制御信号コネクタを介した前記制御手段からの前記切替信号に基づいて、前記被測定素子が、それぞれの測定手段に用いる配線構成に応じて、前記第１のコネクタまたは前記第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを定めるものである半導体素子特性測定装置に用いる接続装置。
2. 前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記制御手段を互いに固定した関係をもって配置し、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタと、前記制御手段の制御信号出力コネクタとがある所定の配列に配置されている測定器に接続される請求項１に記載の接続装置であって、
   前記第１測定手段コネクタに適合する前記第１のコネクタと、前記第２測定手段コネクタに適合する前記第２のコネクタと、前記制御信号出力コネクタに適合する前記制御信号コネクタとが、前記所定の配列に応じて配列されて一体になされており、
   前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとに一体として接続可能な接続装置。
3. 前記第１の測定手段は電圧電流特性測定装置であり、前記第２の測定手段は電気容量測定装置であることを特徴とする請求項１又は２に記載の接続装置。
4. 前記被測定素子に接続される少なくとも二つの端子に出力される測定用信号の組合わせを変更し、前記制御手段によって制御される組替え手段を前記切替手段が有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の接続装置。
5. 第１の状態と第２の状態を有する入力手段と該入力手段による選択入力を受ける選択制御手段とをさらに有し、前記第１の状態が選択されたときには、前記第１の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第１の測定手段が動作し、前記第２の状態が選択されたときには、前記第２の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第２の測定手段が動作するよう、前記選択制御手段によって前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記切替手段とを制御する半導体素子特性測定装置であって、
   前記被測定素子が、ＭＯＳトランジスタ素子、配線対、バイポーラトランジスタのいずれかであるときに、前記第１の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜のゲートリーク評価、配線間リーク評価、バイポーラトランジスタの電気特性評価の測定を選択するものであり、前記第２の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜の膜厚評価、配線間容量評価、バイポーラトランジスタのジャンクション容量評価の測定を選択するものである請求項１又は２に記載の接続装置。
6. 前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とを備えている測定器と、請求項１に記載の接続装置とを中継するためのケーブルアセンブリであって、
   前記測定器は、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタとが第１の配列に配置されているものであり、
   前記接続装置は、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとが第２の配列に配置されているものであり、
   前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第３のコネクタと複数の第４のコネクタとを有する第１のコネクターアセンブリと、
   前記接続装置にある前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第５のコネクタと複数の第６のコネクタとを有する第２のコネクターアセンブリと、
   前記第３のコネクタのそれぞれを前記第５のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第１の導線群と、前記第４のコネクタのそれぞれを前記第６のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第２の導線群とを含み、前記第１のコネクターアセンブリと前記第２のコネクターアセンブリとを中継する複数の導線ケーブルと
   を含むケーブルアセンブリ。
7. 前記第１のコネクターアセンブリは、第１の制御信号中継コネクタをさらに有しており、
   前記第２のコネクターアセンブリは、第２の制御信号中継コネクタをさらに有しており、
   前記測定器は、前記制御手段の制御信号出力コネクタをさらに有して、前記第１の配列に該制御信号出力コネクタが含まれており、
   前記接続装置は、前記制御信号コネクタをさらに有して、前記第２の配列に該制御信号コネクタが含まれており、
   前記第１のコネクターアセンブリは、前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置された前記第３のコネクタと前記第４のコネクタと前記第１の制御信号中継コネクタとを有しており、
   前記第２のコネクターアセンブリは、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタと前記制御信号コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置された前記第５のコネクタと前記第６のコネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを有しており、
   前記複数の導線ケーブルは、前記第１の制御信号中継コネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを電気的に接続する第３の導線群をさらに含むものである請求項６に記載のケーブルアセンブリ。
   

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