KR20130018705A - 개선된 상호연결부를 갖는 탐침 스테이션 - Google Patents

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KR20130018705A
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Abstract

어댑터는 탐침 스테이션의 척과 기구를 전도성으로 상호연결한다. 상기 어댑터는 척에 전도성으로 연결되며 접지 전위, 바요넷 커넥터 출력 및 기구를 위한 신호 연결부 중 하나에 선택적으로 연결 가능한 신호 전도체를 포함한다. 가드 전위 전도체는 척에 전도성으로 연결되며, 접지 전위, 상기 기구를 위한 가드 연결부, 접지 전위에 연결되는 차폐 전도체 중 하나에 선택적으로 연결 가능하다.

Description

개선된 상호연결부를 갖는 탐침 스테이션{PROBE STATION WITH IMPROVED INTERCONNECTION}
본 발명은 탐침 스테이션에 관한 것으로서, 특히 개선된 상호연결부(interconnection)를 갖는 탐침(probe) 스테이션에 관한 것이다.
상이한 많은 테스트 기구는 상이한 커넥터 요구사항 및/또는 형상을 갖는다. 예를 들어, 상이한 테스트 기구는 상이한 커넥터 형상 및/또는 크기 및/또는 스타일을 갖는다. 따라서, 각각의 커넥터 형상에 대해, 사용자는 사용할 수 있는 커넥터에 특히 적절한 케이블을 선택할 필요가 있다. 또한, 수행될 테스트으 특정한 타입에 기초하여 적절한 케이블이 추가로 선택된다. 예를 들어, 낮은 전압 테스트에 적합한 케이블 및 커넥터는 높은 전압 및/또는 높은 전류 테스트에 적합한 케이블 및 커넥터와는 상이한 특징을 갖는다. 예를 들어, 극단적으로 저 노이즈 측정에 적합한 케이블은 낮은 전압, 높은 전압, 및/또는 높은 전류 테스트를 위한 케이블과는 상이한 특성을 갖는다. 따라서, 상이한 테스트 기구 및/또는 상이한 탐침 스테이션을 사용하는 이들 테스트의 각각에 대해, 주문제작된(customized) 케이블의 상이한 세트(set)가 선택될 필요가 있으며, 그 모두는 테스트 기구에 적절히 연결하기에 부담스러운 케이블의 커다란 선택을 요구하며, 탐침 스테이션 커넥터와 적절히 상호연결하는 것이 어렵거나 불가능하다.
도1에 있어서, 탐침 스테이션은 일반적으로 그 위에 베이스(12)가 지지되는 지지체(10)를 포함한다. 테스트될 디바이스(예를 들어, 반도체 웨이퍼)를 지지하기 위한 척(14)은 전형적으로 베이스(12)에 지지되며 척(18)의 운동을 허용하는 스테이지(16)를 포함한다. 스테이지(16)는 그것과 연관된 척(18)에 대해 x, y, z, 및/또는 데에타(theta) 운동을 포함한다. 많은 경우에 있어서, 척(18)은 포위부(enclosure)(22) 내에 완전히 또는 부분적으로 둘러싸이며, 포위부는 테스트 중인 디바이스(20)에 전자기 차폐(shielding)를 제공한다. 척(18)은 하나 이상의 케이블(24)을 통해 신호 연결부, 가드(guard) 연결부, 및/또는 차폐 연결부를 갖는 다층형 척이다. 케이블(24)은 탐침 스테이션에 의해 지지되는 커넥터(26)에서 종료된다. 탐침 스테이션은 테스트 중인 디바이스(20)를 탐사(probing)하기 위한 하나 이상의 탐침(36)을 지지하는 플래튼(platen)(34)을 포함한다. 많은 형상에 있어서, 플래튼(34)은 테스트 중인 디바이스(20)를 테스트하기 위해 탐침(36)을 상승 및 하강시킨다. 탐침(36)은 커넥터(26)에서 종료되는 케이블(38)에 전기적으로 연결된다. 테스트 중인 디바이스(20)를 테스트하기 위한 테스트 기구(30)는 하나 이상의 케이블(32)을 사용함으로써 커넥터(26)에 전기적으로 상호연결된다. 그 전체가 여기에 참조인용된 미국 특허 제6,914,423호에 예시적인 하나의 탐침 스테이션이 개시되어 있다.
예를 들어, 전형적인 측정에 대해 상호연결 와이어는 상대적으로 얇고, 케이블은 상대적으로 가요성이다. 더 높은 전력 사용을 달성하기 위해서는, 전도성(conductive) 와이어의 크기가 실질적으로 증가되어, 일반적으로 비가요성이며 사용하기 어려운 케이블이 된다. 더 높은 전력 사용을 위해 증가된 와이어 크기와 함께, 와이어에 대한 전기 절연을 증가시키기 위해, 상기 전도성 와이어의 각각의 둘레에 추가적인 절연이 포함된다. 그리고, 더 큰 와이어와 증가된 절연으로 인해, 와이어는 통상적으로 커넥터에서 다른 와이어로부터 더 멀리 떨어져 있다. 더 높은 전력 사용을 지지하기 위한 변형으로 인해, 결과적으로 케이블은 저 전압 소형 연결에 통상적으로 사용되는 탐침 스테이션 및/또는 테스트 기구에서 커넥터와의 상호연결에는 적합하지 않다.
첨부의 도면을 참조한 본 발명의 하기의 상세한 설명을 고려하면 본 발명의 위에 서술한 그리고 다른 목적, 특징, 이점은 더 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도1은 연관된 테스트 기구를 갖는 탐침 스테이션을 도시한 도면.
도2는 동축(coaxial) 케이블을 도시한 도면.
도3은 3축(triaxial) 케이블을 도시한 도면.
도4는 연관된 테스트 기구를 갖는 탐침 스테이션을 도시한 도면.
도5는 탐침 스테이션을 위한 상호연결을 도시한 도면.
도6은 다른 상호연결 배치를 도시한 도면.
도7은 도6의 상호연결을 위한 포위부를 도시한 도면.
도8은 도7의 상호연결을 위한 커넥터를 도시한 도면.
도2에서, 동축 케이블에 대한 전력 이송 용량(power carrying capacity)을 특징화하는 한가지 기술은 중심 신호 전도체와 주변의 접지 전도체 사이의 전압 용량이다. 바람직하기로는, 동축 형상에서, 케이블은 3,000 볼트 또는 그 이상을 안전하게 그 이상을 이송하는 능력을 갖는다.
도3에서, 3축 케이블에 대한 전력 이송 용량을 특징화하는 한가지 기술은 중심 신호 전도체(예를 들어, 전형적으로 신호 전도체로 지칭되는)를 둘러싸는 중간 전도체(예를 들어, 전형적으로 가드 전도체로 지칭되는)와 접지 전도체(예를 들어, 전형적으로 차폐 전도체로 지칭되는)를 둘러싸는 외부 전도체 사이의 전압 용량이다. 상기 중심 신호 전도체와 주변의 가드 전도체는 전형적으로 실질적으로 동일한 전위(potential), 즉 가드 전위를 가지며, 따라서 중심 신호 전도체에 도달하는 노이즈를 감소시킨다. 바람직하기로는, 3축 형상에서, 케이블은 1,500 볼트 또는 그 이상을 안전하게 이송하는 능력을 갖는다.
도4에서, 상이한 탐사 형상들에 더 쉽게 적용할 수 있는 변형된 탐침 스테이션 형상은 탐침(36) 및/또는 척(18)에 전기적으로 상호연결되는 수형(male) 어댑터(50)를 포함한다. 상기 수형 어댑터(50)는 고정된 위치에서 탐침 스테이션에 의해 지지되는 것이 바람직하다. 대응하는 암형(female) 어댑터(60)는 테스트 기구(30)에 적절한 케이블(32)로 일체화된다. 특정한 테스트를 위해, 작업자는 테스트를 위해 암형 어댑터(60)와 상호연결되는 적절한 케이블을 선택한다. 수형 및 암형 어댑터는 필요시 반대로 될 수 있다. 예로서, 원하는 테스트에 기초하여 선택하기 위해, 작업자는 다수의 케이블(32)과 암형 어댑터(60) 쌍(pair)을 가지며, 그 각각은 단일의 일체화된 유니트로서 제공된다. 실시되는 특정한 테스트에 특별한 관심을 기울이지 않고서도, 암형 어댑터(60)와 수형 어댑터(50)는 신호를 테스트 중인 디바이스(20)로 통과시키기에 적합하다. 이 방식으로, 수형 어댑터(50)와 암형 어댑터(60)의 계합에 따라, 테스트에 적절한 상호연결이 형성된다.
도5에서, 한 쌍의 절연된 전도체(100, 110)는 암형 어댑터(60)의 전도성 하우징(120)에 상호연결된다. 각각의 절연된 전도체(100, 110)는 3축 전도체이며 적어도 1,500 볼트로 평가(rate)되는(또는 동축 전도체이고 적어도 3,000 볼트로 평가되는)것이 바람직하다. 특정한 형상에 따라, 낮은 등급의 능력을 갖는 특히 저 노이즈 저 전압 케이블의 동축 및/또는 3축 전도체가 마찬가지로 사용된다. 각각의 3축 전도체(100, 110)의 차폐 전도체(130, 140)는 전도체 지지체(150)에 상호연결되는 것이 바람직하다. 전도체(100, 110)는 포위부의 외측과 전도체 지지부(150) 사이에서 실질적으로 직선형이 바람직하며, 이것은 전도체(100, 110)상의 변형률(strain)을 감소시킨다. 전도성 지지체(150)는 전도성 하우징(120)과 전기적으로 연결된다. 전도체(100, 110)는 한 쌍의 각각의 나선형 링(130, 140)에 의해 지지되는 것이 바람직하다.
통상적으로 상기 차폐는 "접지" 전위를 가지므로, 차폐 전도체(130, 140)는 전도성 지지체(150) 및/또는 전도성 하우징(120)에 의해 함께 상호연결된다. 전도성 하우징(120)은 그 내부에 둘러싸인 모든 커넥터들을 또는 실질적으로 모든 커넥터들을 둘러싸는 것이 바람직하다. 이 방식으로, 신호 커넥터에 대해 적어도 부분적으로 저 노이즈 상호연결 환경을 제공하는 전도성 하우징(120)에 접지 전위가 제공된다. 또한, 아킹(arcing) 또는 다른 안전 문제 없이 높은 전력 측정, 높은 전압 및/또는 높은 전류가 실시되도록, 전도성 지지체(150) 및/또는 전도성 하우징(120)이 나머지 가드 및 신호 경로로부터 충분히 떨어져 있다.
전도성 지지체(150) 및/또는 전도성 하우징(120)에 전기적으로 상호연결되는 차폐 전도체(130, 140)에 의해, 전도체(100, 110)는 차폐 전도체(130, 140)(및 외부 절연부, 있는 경우)가 제거된 어댑터(60) 내로 더욱 신장한다. 각각의 3축 전도체(100, 110)의 가드 전도체(160, 170)는 전도체 지지체(180)에 상호연결되는 것이 바람직하다. 전도체(100, 110)는 전도체(100, 110)상의 변형률을 감소시키는 2개의 정렬된 전도성 지지체들(150, 180) 사이에서 실질적으로 직선형인 것이 바람직하다. 전도성 지지체(180)는 전도성의 내부 하우징(190)에 전기적으로 연결된다. 상기 내부 하우징(190)은 신호 전도체의 둘레에 내부 포위부를 제공한다. 또한, 아킹 또는 다른 안전 문제 없이 높은 전력 측정, 높은 전압 및/또는 높은 전류가 실시되도록, 전도성 지지체(180) 및/또는 전도성 내부 하우징(190)이 나머지 신호 경로 및 접지 경로로부터 충분히 떨어져 있다.
전형적으로, 상기 가드는 "접지" 전위를 가지므로, 전도성 지지체(180) 및/또는 내부 하우징(190)에 의해 가드 전도체(160, 170)가 함께 상호연결된다. 내부 하우징(190)은 그 내부에 둘러싸인 모든 커넥터들을 또는 실질적으로 모든 커넥터들을 둘러싸는 것이 바람직하다. 이 방식으로, 신호 커넥터에 대해 적어도 부분적으로 저 노이즈 상호연결 환경을 제공하는 내부 하우징(190)에 가드 전위가 제공된다.
전도성 지지체(180) 및/또는 내부 하우징(190)에 전기적으로 상호연결되는 가드 전도체(170, 180)에 의해, 전도체(100, 110)는 가드 전도체(180, 190)(및 외부 절연부, 있는 경우)가 제거된 어댑터(60) 내로 더욱 신장한다. 나머지 신호 전도체(200, 210)(연관된 절연부를 갖거나 갖지 않는)는 각각의 커넥터(220, 230)에 각각 연결되는 것이 바람직하다. 신호 전도체(200, 210)는 전도성 지지체(180)와 각각의 신호 커넥터(220, 230) 사이에서 실질적으로 직선형인 것이 바람직하며, 이것은 전도체(100, 110)상의 변형률을 감소시킨다. 신호 커넥터(220, 230)는 암형 어댑터(60)와 수형 어댑터(60) 사이에 상호연결을 제공한다.
암형 어댑터(60)는 내부 하우징(190)에 전기적으로 연결되는 가드 커넥터(240)를 포함한다. 이 방식으로, 가드 전위는 수형 어댑터(50)와 상호연결하기에 적절한 방식으로 제공된다. 신호 커넥터(220, 230)는 커넥터들 사이의 공간이 신호 커넥터들 중 하나의 거의 적어도 직경 만큼 떨어지게 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 가드 커넥터(240)는 신호/가드 커넥터들 사이의 공간이 신호 커넥터들중 하나의 직경의 거의 적어도 2배 만큼, 커넥터(220, 230)으로부터 떨어지는 배치가 바람직하다. 일반적으로, 신호 커넥터들 사이의 간격(spacing)은 각각의 신호 커넥터와 가드 커넥터 사이의 간격 보다 작다. 이 간격 배치는 신호 무결성(integrity)을 증가시킨다.
암형 어댑터(60)는 하우징(120)에 전기적으로 상호연결되는 차폐 커넥터(260)를 포함한다. 이 방식으로, 차폐 전위는 수형 커넥터(50)와 상호연결하기에 적합한 방식으로 제공된다. 차폐 커넥터(260)는 그들 사이의 공간이 신호 커넥들 중 하나의 거의 적어도 직경 만큼, 가드 커넥터(240)로부터 떨어지게 배치로 배치되는 것이 바람직하다. 이 간격은 신호 무결성을 증가시킨다.
어댑터(50, 60)는 높은 전압과 높은 전류를 조합하는 신호에 대해 낮은 저항 연결과 저 노이즈 환경을 제공한다. 연결은 1 밀리오옴 미만의 저항을 갖는 약 1000A 의 1 밀리초 펄스율(pulse rate)로 연속적인 직류를 최대 50 암페어(A)로 전도할 수 있다.
저 노이즈 탐사 상태에서, 전형적으로 3축 커넥터가 사용되며, 신호 무결성을 위해 차폐 환경과 가드 환경을 동시에 유지하는 동안 신호 전도체가 암형 어댑터(60)를 통과한다. 마찬가지로 높은 전력 탐사 상태, 높은 전압 탐사 상태, 및/또는 높은 전류 탐사 상태에서, 전형적으로 동축 커넥터가 사용되며, "가드" 커넥터를 통해 접지된 신호 경로를 동시에 제공하는 동안 상대적으로 안전하게 떨어져 있는 배치로 신호 전도체가 유사하게 암형 어댑터(60)를 통과한다. 이런 높은 전력 탐사 상태에서는 차폐 연결부가 사용되지 않으며, 또는 그렇지 않을 경우 가드 연결부가 사용되지 않는 동안 상기 차폐 연결부가 사용된다.
"신호 경로" 를 형성하기 위해 테스트 지역에 독립적으로 도달하거나["진정한 켈빈(Kelvin) 연결] 또는 테스트 지역의 근처에서 함께 연결하는["의사(quasi) 켈빈" 연결] 2개의 전도성 경로["힘" 과 "센스(sense)"]를 이용하여, 특히 저-전류를 사용하는 초(ultra) 저 노이즈 측정이 전형적으로 실시된다. 그 테스트 설비 종점(terminus)이 상대적으로 낮은 임피던스를 갖는 상기 힘 경로는 특정한 전류를 갖는다. 그 테스트 설비 종점이 매우 높은 임피던스를 갖는 상기 센스 경로는 테스트 사이트에서 전압을 측정한다. 따라서, 힘 및 센스 경로를 사용하여 테스트 디바이스의 전류 대 전압 특성들이 얻어질 수 있다. 전류의 작은 변화가 측정되더라도 테스트 지역으로 향하는 전류의 양이 테스트 지역으로 이어지는 신호 라인을 통해 상당한 전압 강하(drop)가 있도록 충분히 크기 때문에, 이 테스트 형상이 바람직하다. 테스트 지역으로부터 신호 경로가 힘과 센스 경로로 분기되는 지점까지의 거리는 테스트 품질의 결정요인이며, 저-전류 테스트 산업에서는 테스트 형상이 상기 힘 경로와 센스 경로가 전도성 테스트 사이트 자체에 의해 연결되는 이상적인 "진정한 켈빈" 에 접근하는 정도(degree)로 지칭된다. 집합적으로, 상기 힘 경로와 센스 경로는 신호 경로(들)로 지칭된다. 암형 어댑터(60)와 수형 어댑터(50)는, 필요 시 연결이 "진정한" 또는 "의사" 켈빈 연결을 실시하는 능력을 유지시키도록 구성된다.
수형 어댑터(50)는 암형 어댑터(60)에 대응하는 형상을 가지며, 상기 커넥터들은 그에 대응하여 변형된다. 수형 어댑터(50)는 고정된 위치에 유지되도록 전형적으로 탐침 스테이션에 고정된다. 또한, 수형 어댑터(50)로부터의 케이블은 전형적으로 원하는 형상으로 적절한 탐침 및/또는 척에 상호연결된다. 이 방식으로, 수형 어댑터와 그 연관된 케이블은 설령 있다 하더라도 자주 변형될 필요가 없다. 이것은 탐사를 위한 특정한 테스트를 설정하는데 요구되는 시간을 감소시킴으로써 탐사를 위한 시간을 감소시킨다.
다른 수형 및/또는 암형 어댑터가 제공될 수 있다. 여자되는(exciting) 암형 어댑터(50)와의 적합성을 유지하기 위해 택일적인 수형 어댑터(60)가 제공되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 수형 어댑터는 어댑터의 전력 이송 능력을 증가시키는 2개의 신호 경로가 함께 단락(short)되는 단일의 동축 케이블을 포함한다. 예를 들어, 수형 어댑터는 어댑터의 가딩(guarding) 및/또는 차폐를 증가시키는 가드에 차폐물이 전기적으로 연결되는 하나 이상의 동축 케이블을 포함한다. 예를 들어, 동축 케이블은 가드 연결부를 생략하고, 차폐 연결부와 신호 연결부를 사용할 수 있다.
일부 경우에 있어서, 최대 10,000 볼트 이상 및/또는 50 암페어 이상(펄스형)의 동축 또는 3축 테스트의 높은 전압 및/또는 높은 암페어를 견딜 수 있는 커넥터를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 커넥터와 탐침 스테이션 사이의 케이블링(cabling)을 변형할 필요 없이 척을 바이어싱(biasing)하기 위해, (1)단락된, (2)개방된, (3)3-축, (4)동축 형상과 같은 다양한 바이어싱 전도 중에서 쉽게 형성할 수 있는 커넥터를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 모두 동일한 포위부를 사용하는 (1)BNC 연결, (2)3축 연결, (3)동축 연결과 같은 상이한 측정 타입들 중에서 선택할 수 있는 것이 바람직하다.
도6에는 일체형 어댑터를 위한 하나의 단일 경로에 대한 와이어링(wiring) 다이어그램이 도시되어 있다. 테스트 기구로부터의 2개의 케이블과 같은 한 쌍의 신호 경로에 대해, 와이어링 다이아그램이 중복(duplicate)된다. 척으로부터의 신호 경로는 3축 연결부(300)가 바람직하다. 3축 연결부(300)는 신호 경로(예를 들어 힘 또는 센스), 가드 전도체, 차폐 전도체를 갖는다. 이것은 실시되는 테스트에 융통성을 제공한다. 차폐 전도체(310)는 도면부호 320 으로 도시된 바와 같이 접지되는 것이 바람직하다. 가드 전도체(330)는 접지 연결부(320)와 3축 연결부(350) 사이를 선택하는 스위치(340)에 연결된다. 3축 연결부(350)는 테스트 기구로의 출력 커넥터의 가드 연결부(360)에 상호연결된다. 출력 커넥터의 차폐 전도체(370)는 지면(320)에 연결된다. 이 방식으로, 출력 커넥터의 가드 전위/연결부에 척으로부터의 가드 전위/연결이 선택적으로 제공되며, 다른 경우 가드 전위/연결이 접지된다.
3축 연결부(300)는 지면(320)에 대해(바람직하기로는 퓨즈를 통해) 단락된 연결부(420), 개방된 연결부(430), 연결된 연결부(440) 사이를 선택하는 스위치(410)에 연결되는 단일 경로(400)를 갖는다. 단락된 연결부(420)는 연결부들 중 하나가 단락되어야 할 때 측정을 촉진시키며, 이것은 보정(calibration)에도 유용하다. 개방된 연결부(430)는 연결부들 중 하나가 개방되어야 할 때 측정을 촉진시키며, 이것도 보정에 유용하다. 상기 연결된 연결부(440)는 BNC 연결부(460)(또는 다른 연결부, 특성상 전형적으로 동축인)와 3축 연결부(470) 사이를 선택하는 스위치(450)에 연결된다. 이 방식으로, 척으로부터의 신호 경로가 선택적으로, 단락, 개방, 또는 원하는 커넥터로 통과된다.
필요 시, 마찬가지로 척 커넥터로부터 출력 커넥터까지 차폐 연결부가 제공되므로, 필요에 따라 차폐 전위는 상이한 접지, 척 접지, 또는 다른 경우 테스트 기구 접지일 수 있다. 또한, 필요 시 스위치의 위치를 선택하기 위해 어댑터는 원격 명령들이 사용되는 데이터 연결부를 포함한다.
도7에는 예시적인 일체형 어댑터가 도시되어 있다. 스위치(410)의 위치를 제어하기 위해 3-위치 스위치(510)가 포함된다. 스위치(340, 350)의 위치를 제어하기 위해 한 쌍의 이중 위치 스위치(500, 520)가 포함된다. 이것은 절환 위치를 제어하는 종래의 방식을 제공한다. 도8에 있어서, 마찬가지로 데이터 포트와 함께 적절한 커넥터 세트가 포함된다.
상술한 명세서에 사용되는 용어와 표현은 제한이 아닌 서술의 용어로 사용되며, 이런 용어와 표현의 사용에 있어서 도시 및 서술된 특징부 또는 그 일부의 등가물을 배제할 의도가 없으며, 본 발명의 범위는 하기의 청구범위에 의해서만 한정 및 제한되는 것을 인식해야 한다.
10: 지지체 12: 베이스
14: 척 16: 스테이지
24: 케이블 34: 플래튼
36: 탐침

Claims (18)

  1. 각각의 케이블이 중심 전도체, 상기 중심 전도체를 둘러싸지만 중심 전도체로부터 전도성으로 절연되는 동축의 중간 전도체, 상기 중간 전도체 및 상기 중심 전도체를 둘러싸지만 상기 중간 전도체 및 상기 중심 전도체로부터 전도성으로 절연되는 동축의 외부 전도체를 갖는 한 쌍의 케이블을 위한 저 노이즈 커넥터에 있어서,
    (a)제1어댑터와,
    (b)상기 제1어댑터와 계합하도록 배치되는 제2어댑터를 포함하며,
    상기 제1어댑터는,
    (ⅰ)제1케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능한 제1중심 커넥터와,
    (ⅱ)상기 제1케이블의 상기 중간 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1중심 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1중간 커넥터와,
    (ⅲ)상기 제1케이블의 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1중심 커넥터 및 상기 제1중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1외부 커넥터와,
    (ⅳ)상기 제1중간 커넥터에 전도성으로 연결가능하며 상기 제1중심 커넥터 및 상기 제1외부 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1내부 하우징과,
    (ⅴ)상기 제1케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1중심 커넥터 및 상기 제1중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1외부 하우징을 포함하며,
    상기 제2어댑터는,
    (ⅰ)제2케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제1중심 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되는 제2중심 커넥터와,
    (ⅱ)상기 제2케이블의 상기 중간 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2중심 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2중간 커넥터와,
    (ⅲ)상기 제2케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2중심 커넥터 및 상기 제2중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2외부 커넥터와,
    (ⅳ)상기 제2중간 커넥터에 전도성으로 연결가능하며 상기 제2중심 커넥터 및 상기 제2외부 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2내부 하우징과,
    (ⅴ)상기 제1케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2중심 커넥터 및 상기 제2중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2외부 하우징을 포함하며,
    상기 제2중간 커넥터는 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제1중간 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되며, 상기 제2외부 커넥터는 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제1외부 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되며, 상기 제2내부 하우징과 상기 제1내부 하우징은 상기 제1어댑터가 제2어댑터와 계합될 때 상기 제1중심 커넥터, 상기 제2중심 커넥터, 상기 제1중간 커넥터 및 상기 제2중간 커넥터를 실질적으로 둘러싸도록 배치되며, 상기 제2외부 하우징과 상기 제1외부 하우징은 상기 제1어댑터가 제2어댑터와 계합될 때 상기 제1내부 하우징, 상기 제2내부 하우징, 상기 제1외부 커넥터 및 상기 제2외부 커넥터를 실질적으로 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 중심 커넥터와 상기 제2중심 커넥터는 탐침 스테이션과 기구 사이로 신호를 전도하도록 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제2중간 커넥터는 가드 전위로 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1외부 커넥터와 상기 제2외부 커넥터는 차폐 전위로 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1중심 커넥터와 상기 제1외부 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경의 적어도 2배인 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제1외부 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경과 적어도 동등한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1어댑터는 상기 제1중심 커넥터에 전도성으로 연결되며 상기 제1어댑터가 상기 제2어댑터와 계합될 때 상기 제2어댑터의 제4중심 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되는 제3중심 커넥터를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1내부 하우징과 상기 제1외부 하우징 사이에 전도성 연결부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  9. 각각의 케이블이 중심 전도체, 상기 중심 전도체를 둘러싸지만 중심 전도체로부터 전도성으로 절연되는 동축의 중간 전도체, 상기 중간 전도체 및 상기 중심 전도체를 둘러싸지만 상기 중간 전도체 및 상기 중심 전도체로부터 전도성으로 절연되는 동축의 외부 전도체를 갖는 4개의 케이블을 위한 저 노이즈 커넥터에 있어서,
    (a)제1어댑터와,
    (b)상기 제1어댑터와 계합하도록 배치되는 제2어댑터를 포함하며,
    상기 제1어댑터는,
    (ⅰ)제1케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능한 제1중심 커넥터와,
    (ⅱ)제2케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능한 제2중심 커넥터와,
    (ⅲ)상기 제1케이블의 상기 중간 전도체 및 상기 제2케이블의 상기 중간 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1중심 커넥터 및 상기 제2중심 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1중간 커넥터와,
    (ⅳ)상기 제1케이블의 상기 외부 전도체 및 상기 제2케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1 및 제2중심 커넥터와 상기 제1중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1외부 커넥터와,
    (ⅴ)상기 제1중간 커넥터에 전도성으로 연결되며 상기 제1 및 제2중심 커넥터와 상기 제1외부 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1내부 하우징과,
    (ⅵ)상기 제1케이블의 상기 외부 전도체 및 상기 제2케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제1 및 제2중심 커넥터와 상기 제1중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제1외부 하우징을 포함하며,
    상기 제2어댑터는,
    (ⅰ)제3케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제1중심 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되는 제3중심 커넥터와,
    (ⅱ)제4케이블의 상기 중심 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제2중심 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되는 제4중심 커넥터와,
    (ⅲ)상기 제3케이블의 상기 중간 전도체 및 상기 제4케이블의 상기 중간 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제3중심 커넥터 및 상기 제4중심 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2중간 커넥터와,
    (ⅳ)상기 제3케이블의 상기 외부 전도체 및 상기 제4케이블의 상기 외부 전도체에 연결 가능한 제2외부 커넥터와,
    (ⅴ)상기 제2중간 커넥터와 전도성으로 연결 가능하며 상기 제3 및 제4중심 커넥터와 상기 제2외부 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2내부 하우징과,
    (ⅵ)상기 제3케이블의 상기 외부 전도체 및 상기 제4케이블의 상기 외부 전도체에 전도성으로 연결 가능하며 상기 제3 및 제4중심 커넥터와 상기 제2중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되는 제2외부 하우징을 포함하며,
    상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제2중간 커넥터는 상기 제1중간 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되며, 상기 제2외부 커넥터는 상기 제3 및 제4외부 커넥터와 상기 제2중간 커넥터로부터 전도성으로 절연되며, 상기 제2어댑터가 상기 제1어댑터와 계합될 때 상기 제2외부 커넥터는 상기 제1외부 커넥터와 짝이룸 계합하도록 배치되며, 상기 제1어댑터가 상기 제2어댑터와 계합될 때 상기 제2내부 하우징 및 상기 제1내부 하우징은 상기 제1, 상기 제2, 상기 제3, 상기 제4 커넥터, 및 상기 제1 및 제2중간 커넥터를 실질적으로 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1어댑터가 상기 제2어댑터와 계합될 때 상기 제2외부 하우징과 상기 제1외부 하우징은 상기 제1 및 제2내부 하우징과 상기 제1 및 제2외부 커넥터를 실질적으로 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1중심 커넥터와 상기 제3중심 커넥터는 탐침 스테이션과 기구 사이로 신호를 전도하도록 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  11. 제9항에 있어서, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제2중간 커넥터는 가드 전위로 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  12. 제9항에 있어서, 상기 제1외부 커넥터와 상기 제2외부 커넥터는 차폐 전위로 연결 가능한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  13. 제9항에 있어서, 상기 제1중심 커넥터와 상기 제1외부 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경의 적어도 2배이며, 상기 제2중심 커넥터와 상기 제1외부 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 상기 직경의 적어도 2배인 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  14. 제9항에 있어서, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제1외부 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경과 적어도 동등한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  15. 제9항에 있어서, 상기 제1중심 커넥터와 상기 제2중심 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경과 적어도 동등한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  16. 제9항에 있어서, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제1중심 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 직경과 적어도 동등하며, 상기 제1중간 커넥터와 상기 제2중심 커넥터 사이의 거리는 상기 제1중심 커넥터의 상기 직경과 적어도 동등한 것을 특징으로 하는 저 노이즈 커넥터.
  17. 탐침 스테이션의 척과 기구를 전도성으로 상호연결시키기 위한 어댑터에 있어서,
    (a)상기 척에 전도성으로 연결되며 접지 전위, 바요넷 커넥터 출력 및 상기 기구를 위한 신호 연결부에 각각 선택적으로 연결 가능한 신호 전도체와,
    (b)상기 척에 전도성으로 연결되며 접지 전위와 상기 기구를 위한 가드 연결부 중 하나에 선택적으로 연결 가능한 가드 전위 전도체와,
    (c)접지 전위로 연결되는 차폐 전도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 어댑터.
  18. 제17항에 있어서, 상기 접지 전위와 제2스위치 중 하나에 상기 신호 전도체의 선택적인 연결을 가능하게 하는 제1스위치를 부가로 포함하며, 상기 제2스위치는 바요넷 커넥터 출력과 상기 기구를 위한 상기 신호 연결부중 하나에 상기 신호 전도체의 선택적인 연결을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 어댑터.
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