JP2005317814A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 MAPによる半導体装置のスタンドオフ高さを確保する。
【解決手段】 半導体チップと、この半導体チップの周囲に配置され封止体下面から露出して半導体装置の外部端子となるリードとを電気的に接続した半導体装置において、前記封止体の外縁部に、前記リードの列の幅に合わせた幅で、リードの外端部の上面を露出させる深さの凹部を設ける。その製造方法において、前記リードの組が形成された装置領域が縦横に複数組形成されたリードフレームを用い、このリードフレームに半導体チップを実装し、リードフレームの装置領域間に位置し、リードの列の幅に合わせた長さで、ダイシング領域よりも幅が広く、リードの外端部の上面に接触するクランプ部を設けた金型に、半導体チップを実装したリードフレームを収容し、封止樹脂を注入して封止体を形成し、前記リード及び封止体を切断し、個々の半導体装置に個片化する。
【選択図】 図5

Description

本発明は、半導体装置及びその製造方法に関し、特に、封止体底面にリードが露出する半導体装置に適用して有効な技術に関するものである。
半導体装置では、単結晶シリコン等のウェハに設けられた複数の素子形成領域に、半導体素子或いは配線パターンを一括して形成した後に、夫々の素子形成領域を個々の半導体チップとして分離された個々の半導体チップが、例えばベース基板或いはリードフレームに固定するダイボンディング及びワイヤボンディング等の実装工程及び樹脂封止等の封止工程を経て半導体装置として完成する。
今日半導体装置は多種の用途に用いられており、同一の半導体チップであっても、その目的用途に応じて種々の実装形態が採用されており、リードと配線基板との接続領域を縮小して電子装置を小型化するために、前記封止体の底面外周部にてリード底面を封止体から露出させて半導体装置の外部端子とする底面端子型の半導体装置が考えられた。底面端子型の半導体装置としては、QFN(Quad Flat Non-lead)型或いはSON(Small Outline Non-lead)型等の半導体装置が知られている。
QFN型の半導体装置では、単結晶シリコン等の半導体基板に所定の素子を形成した半導体チップを、レジン又は銀ペースト等の接合剤によってタブに固定し、タブの4周囲に列状に配置されているリードの内端と半導体チップのパッドとをボンディングワイヤによって電気的に接続し、半導体チップ、タブ、リード、ボンディングワイヤは、例えばエポキシ樹脂にフィラを混入させた封止樹脂を用いた封止体によってリードの底面を露出させた状態で封止してある。
また、QFN型半導体装置の製造では、個々の半導体装置に用いられるタブ、リードの組が縦横に連続して複数組形成されて一体化されたリードフレームを用い、リードフレームでは半導体チップが搭載されるタブの四辺に沿って複数のリードの列が夫々配置されており、タブは4隅に設けられたタブ吊りリードに接続されてフレームに支持されている。
そして、先ず図1に部分縦断面図を示すように、このリードフレームのタブ3に夫々半導体チップ1を接合剤2によって固定し、半導体チップ1のパッドとリード4の内端とをボンディングワイヤ5によって接続し、次に、半導体チップ1を実装したリードフレームを、個々の封止体7に合わせた形状のキャビティが形成された金型10,11に挟み込み、金型10,11のキャビデイ内に半導体チップ1、タブ3、リード4、ボンディングワイヤ5を収容して、封止樹脂を注入し封止体7を形成する。この後に、破線図示の位置でリード4、タブ吊りリード及びリードフレームのタイバーをパンチ或いはブレードによって切断し、個々の半導体装置に個片化する。
この樹脂封止では、半導体装置の小型化・薄型化により、封止体も薄くなり、モールド時のゲート寸法を縮小せざるを得なくなり、このため各キャビティの列間に封止樹脂の流路を設けて、この流路から各キャビティに封止樹脂を流入させなければならなくなっている。
この封止樹脂の流路に要するスペースをなくして同時取得数を増加させるために、図2に示すように、複数の装置領域を覆う大きなキャビティを有する封止金型10,11を用いて複数の封止体7を一体に一括封止(block molding)し、その後リードフレームと封止体7とを破線図示の位置でダイシングブレードによって切断・分離して個別の半導体装置を形成するMAP(Multi Arrayed Packaging)と呼ばれる方法が用いられている。
この方法では、製品の同時取得数が増加することに加えて、封止工程における生産性を向上させることができるという利点も得られ、更に、この方法では、モールド時のゲート寸法に係らず、個別半導体の外形寸法の縮小が可能となる。
例えば、下記特許文献1には、リードフレームに複数の半導体素子を搭載し、トランスファーモールド方式又はポッティング方式を用いて一括樹脂封止し、ダイシングによって個別の半導体装置に切断・分離する方法が開示されている。
特開2003‐243600公報
個別の封止体に合わせた金型によって封止体を形成する場合には、図3に示すように、キャビティ間に位置する上金型10によって、下金型11に敷設したシート13にリード4を押圧することにより、シート13の弾性によってリード4の底部がシート13内に埋没し、封止体7の底面からリード4が突出するスタンドオフが生じる。
このスタンドオフによって、リード4の側面がハンダ接続されるのでハンダ接続の強度を向上させることができる。また、実装の際に封止体7・実装される基板等のわずかな変形或いは異物等によって、リード4が前記基板との接触を絶たれる、所謂リード4の浮きを回避することができる。
このため、QFN等の底面端子外部端子の半導体装置では、封止体の底面からリードの底面までの垂直方向の距離であるスタンドオフ高さを確保することが望まれる。しかし、MAPによる半導体装置では、全体が一つのキャビティとなるため、個別半導体装置のキャビティ間には上金型10が接触しないため、リード4をシート13に押圧することができないので、スタンドオフ高さの確保が難しい。
また、MAPによる半導体装置では、リード4の底面に樹脂が付着するレジンフラッシュを防止するために、下金型11に敷設したシート13に接着性のものを用い、リード4をこのシート13に接着することにより、リード4とシート13とを密着させている。しかし、この接着の弱い部分に封止樹脂が侵入し、レジンフラッシュを生じることがある。
レジンフラッシュが発生すると、ハンダ接続強度の低下、更にはハンダ接続不良を招くことになるため、レジンフラッシュを除去する工程が必要になる。また、レジンフラッシュの発生を防止するために、流動性の低い樹脂を用いることも考えられるが、この場合には、流動性の低下によって樹脂の充填性が犠牲になってしまう。また、シートとリードとの接着力を強化した場合には、シートを剥離する際にリードの変形が生じやすくなる。
半導体装置では、微細化が進むことによって、外部端子となるリードの面積が縮小されており、この縮小によって、実装時にリードと実装基板とを接続するハンダの接続強度が低下している。このため、底面端子型の半導体装置では、スタンドオフ高さの確保が更に重要な問題になっている。
本発明の課題は、これらの問題点を解決し、MAPによる半導体装置のスタンドオフ高さを確保することが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
半導体チップと、この半導体チップの周囲に配置され封止体下面から露出して半導体装置の外部端子となるリードとを電気的に接続した半導体装置において、前記封止体の外縁部に、前記リードの列の幅に合わせた幅で、リードの外端部の上面を露出させる深さの凹部を設ける。
また、その製造方法において、前記リードの組が形成された装置領域が縦横に複数組形成されたリードフレームを用い、このリードフレームに半導体チップを実装する工程と、リードフレームの装置領域間に位置し、リードの列の幅に合わせた長さで、ダイシング領域よりも幅が広く、リードの外端部の上面に接触するクランプ部を設けた金型に、半導体チップを実装したリードフレームを収容し、封止樹脂を注入して封止体を形成する工程と、前記リード及び封止体を切断し、個々の半導体装置に個片化する工程とを有する。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
(1)本発明によれば、底面端子型の半導体装置についてリードのスタンドオフを確保することができるという効果がある。
(2)本発明によれば、上記効果(1)により、ハンダ接続の強度を向上させることができるという効果がある。
(3)本発明によれば、上記効果(1)により、封止体・基板等のわずかな変形或いは異物等によって、リードが基板との接触を絶たれる、所謂リードの浮きを回避することができるという効果がある。
(4)本発明によれば、リードとシートとを密着させてレジンフラッシュを防止することができるという効果がある。
(5)本発明によれば、クランプ部間を樹脂流路として利用するので、装置領域間に樹脂流路が不要となるという効果がある。
(6)本発明によれば、上記効果(5)により、同時取得数を向上させることができるという効果がある。
(7)本発明によれば、上記効果(5)により、1回のダイシングで隣接する個別半導体を分離させることができるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を説明する。
なお、実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
本発明の一実施の形態であるQFN型半導体装置の平面図を図5に示し、底面図を図6に示し、側面図を図7に示し、図5中のa‐a線に沿った縦断面図を図8に示す。なお、図5では、説明のために図中右半分の封止体を透過させて示している。
本実施の形態の半導体装置は、単結晶シリコン等の半導体基板に所定の素子を形成した半導体チップ1を、レジン又は銀ペースト等の接合剤2によってタブ3に固定し、半導体チップ1のパッドとリード4の内端とをボンディングワイヤ5によって電気的に接続してある。
タブ3は、一体となったタブ吊りリード6に支持されており、半導体チップ1、タブ3、リード4、ボンディングワイヤ5、タブ吊りリード6は、例えばエポキシ樹脂にフィラを混入させた封止樹脂を用いた封止体7によって封止されるが、リード4の底面及びタブ3、タブ吊りリード6の底面を露出させた状態で封止している。タブ3の底面を封止体7から露出させることにより、放熱性を向上させることができる。
また、この樹脂封止では、封止体7の底面からリード4が突出するスタンドオフを確保しており、このスタンドオフによって、封止体7の底面に位置するリード4の側面がハンダ接続されるのでハンダ接続の強度を向上させることができる。また、封止体7或いは実装される基板等のわずかな変形或いは異物等によって、リード4が前記基板との接触を絶たれる、所謂リード4の浮きを回避することができる。
本実施の形態の半導体装置では、封止体7の外縁部に、リード4の列の幅に合わせた幅で、リード4の外端部の上面を露出させる深さの凹部8を封止体7の4辺に夫々設けてある。この凹部8によって、リード4の外端付近の封止体7が後退し、リード4の側端面の状態を目視するのが容易になるので、ハンダ接続の状態を確認することができる。また、凹部8ではリード4の上面が露出しているので、プローブ等を接触させて測定等を行なうことができる。
続いて、本実施の形態の半導体装置の製造方法について、図9乃至図13をもとに説明する。本実施の形態の半導体装置の製造方法では、図9に平面図を示すリードフレーム9を用いており、このリードフレーム9では、個別半導体装置の封止体7の外形寸法に合わせた装置領域(破線にて示す)に個々の半導体装置に用いられるタブ3、タブ吊りリード6及びリード4の組が設けられており、このタブ3、タブ吊りリード6及びリード4の組がタイバー9a及びフレーム9bによって一体化されている。リードフレーム9には、例えばFe‐Ni系合金或いはCu系合金等を用い、各装置領域は、ダイシングブレードの幅を見込んだダイシング領域を隔てて、縦横に連続して複数組形成されている。
先ず、図10に部分縦断面図を示すように、このリードフレーム9のタブ3に夫々半導体チップ1をレジン又は銀ペースト等の接合剤2によって固定し、半導体チップ1のパッドとリード4の内端とをボンディングワイヤ5によって接続し、半導体チップ1をリードフレーム9に実装する。
次に、図11に部分縦断面図を示し図12に部分横断面図を示すように、半導体チップ1を実装したリードフレーム9を、上金型10及び下金型11に挟み込み、金型10,11の形成するキャビデイ内に複数の半導体チップ1、タブ3、リード4、ボンディングワイヤ5を収容した状態で封止樹脂を注入して、複数の個別半導体装置の封止体7を一体に形成する。
この樹脂封止では、上金型10(図12中では斜線を付す)にはタイバー9a及びフレーム9bの位置に合わせて、リード4の列の幅に合わせた長さで、ダイシング領域よりも幅が広く、リード4の外端部の上面に接触するクランプ部12を設けてある。このクランプ部12によって、封止体7の外縁部の4辺に夫々凹部8を形成する。
また、下金型11には弾性を有するシート13を敷設してあるので、タイバー9aに位置するクランプ部12によって、下金型11に敷設したシート13にリード4を押圧して、リード4の下面を下金型11のシート13に密着させることにより、シート13の弾性によってリード4の底部がシート13内に埋没した状態で樹脂封止が行なわれるため、封止体7の底面にリード4の底面が、封止体7の底面からリード4が突出するスタンドオフの状態で、露出することとなる。
また、クランプ部12の押圧によって生じるシート13の弾性で、確実にリード4がシート13に密着するので、リード4の底面に封止樹脂が付着するレジンフラッシュを防止することができる。
この樹脂封止では、図12に封止樹脂の注入経路を矢印にて示すように、リードフレーム9の長辺に沿ってフレーム9a上に延びる樹脂流路14から各列クランプ部12の間から封止樹脂を注入する。注入された封止樹脂は、樹脂流路14に近接する装置領域に封止体7を形成し、続いて、次のクランプ部12の間を通り、隣接する装置領域に流入する。
従来のゲートの径が1mm程度であったのと比較して、クランプ部12間の隙間ははるかに広いので、装置領域の列間或いは行間に樹脂流路14を設けなくても、このように、クランプ部12間を樹脂の流路として、各列の装置領域4個所に封止樹脂を供給することが可能である。なお、列端或いは行端に位置するクランプ部12間の隙間はエアベントとして機能する。
この封止体7形成後に、図13に部分縦断面図を示すように、ウェハをダイシングテープ15に貼り付けた状態で、リード4、タブ吊りリード6及びリードフレーム9の不要部分であるタイバー9a及びフレーム9bをダイシングブレード16によって切断し、個々の半導体装置に個片化する。この個片化では、装置領域の列間或いは行間に樹脂流路14が不要となるので、1回のダイシングによって、隣接する個別半導体装置を分離することができる。なお、タイバー9aはダイシングブレード16の幅よりも狭くなっているので、1回のダイシングでタイバー9aの除去が可能である。
図14に示すのは、前述した実施の形態の半導体装置の変形例を示す縦断面図である。この例では、凹部8にはさまれた封止体7の角部に凸部17を形成してある。凸部17の高さ即ち封止体7上面からの突出量は、リード4のスタンドオフを考慮して、例えば、スタンドオフが最大20μmであれば、凸部の高さは50μm程度とする。
例えば、メッキの工程では、図15に示すように積層した状態で半導体装置を保管することがあり、この場合にリード4の下面が封止体7の上面に接触すると、メッキの剥離を生じることがある。本例では、凸部17によって、リード4と封止体7とが接触するのを防止することができる。従来は、このような接触を回避するために、封止体7間に突起を設けていたが、こうした突起を設けるスペースをなくすことができる。また、凸部17は個片化後も利用することができるので、リード4と封止体7とを接触させることなく積層状態で半導体装置を出荷することも可能となる。
図16に示すのは、他の変形例を示す縦断面図である。この例では、タブ吊りリード6を、タイバー9a或いはフレーム9bの近傍でY字状に分岐させ、タイバー9a或いはフレーム9bに直交して連結させている。このようにタブ吊りリード6を分岐させることにより、ダイシングブレード16によってタブ吊りリード6を切断する際に、タブ吊りリード6に直交して切断するので、封止体7とタブ吊りリード6との剥離を防止することができる。
また、力が加わるために破損の発生が多く発生する封止体7の角部端を、樹脂のみで一体化することにより、破損の発生を防止することができる。
以上、本発明を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
従来の個別金型による半導体装置を示す部分縦断面図である。 従来のMAPによる半導体装置を示す部分縦断面図である。 図1に示す半導体装置の要部を拡大して示す部分縦断面図である。 図2に示す半導体装置の要部を拡大して示す部分縦断面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を示す平面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を示す底面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を示す側面図である。 図5中のa−a線に沿った縦断面図である。 本発明の一実施の形態に用いられるリードフレームを示す平面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を工程毎に示す縦断面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を工程毎に示す縦断面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を工程毎に示す部分平面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置を工程毎に示す縦断面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置の変形例を示す縦断面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置の変形例を示す側面図である。 本発明の一実施の形態である半導体装置の他の変形例を示す縦断面図である。
符号の説明
1…半導体チップ、2…接合剤、3…タブ、4…リード、5…ボンディングワイヤ、6…タブ吊りリード、7…封止体、8…凹部、9…リードフレーム、9a…タイバー、9b…フレーム、10…上金型、11…下金型、12…クランプ部、13…シート、14…樹脂流路、15…ダイシングテープ、16…ダイシングブレード、17…凸部。

Claims (5)

  1. 半導体チップと、この半導体チップの周囲に配置され封止体下面から露出して半導体装置の外部端子となるリードとを電気的に接続した半導体装置において、
    前記封止体の外縁部に、前記リードの列の幅に合わせた幅で、リードの外端部の上面を露出させる深さの凹部を設けたことを特徴とする半導体装置。
  2. 前記半導体装置がQFN型の半導体装置であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
  3. 半導体チップと、この半導体チップの周囲に配置され封止体下面から露出して半導体装置の外部端子となるリードとを電気的に接続した半導体装置の製造方法において、
    前記リードの組が形成された装置領域が縦横に複数組形成されたリードフレームを用い、
    このリードフレームに半導体チップを実装する工程と、
    リードフレームの装置領域間に位置し、リードの列の幅に合わせた長さで、ダイシング領域よりも幅が広く、リードの外端部の上面に接触するクランプ部を設けた金型に、半導体チップを実装したリードフレームを収容し、封止樹脂を注入して封止体を形成する工程と、
    前記リード及び封止体を切断し、個々の半導体装置に個片化する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  4. 前記金型と対になる下金型には弾性を有するシートを敷設して封止体を形成することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
  5. 前記リードフレームの装置領域がダイシング領域の間隔で複数形成され、1回のダイシングによって隣接する個々の半導体装置が分離されることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2015129185A1 (ja) * 2014-02-27 2015-09-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 樹脂封止型半導体装置、およびその製造方法、ならびにその実装体

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