JP2005315697A - 磁界検出素子とそれを用いた磁界測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光ファイバ21の先端に微小プリズム26が透明接着剤によって接着されている。光ファイバ21は微少プリズム26の直角部を挟む2面のうちの一方の面に接着され、もう一方の面にMO結晶24が接着剤によって接着されている。MO結晶24の微小プリズム26に対して反対の面には誘電体のミラー薄膜25が形成されている。微小プリズム26の直角部と対向する面にも誘電体のミラー薄膜27が形成されている。
【選択図】 図1
Description
磁気光学(MO)を利用した横方向磁界を検出できる磁界検出素子として、図1に示すような外観の素子を製造した。
磁気光学(MO)を利用した横方向磁界を検出できる磁界検出素子として、図2のような外観の素子を製造した。MO結晶24としてはBi置換型YIG(イットリウム鉄ガーネット)薄膜結晶を研磨加工し、磁化方向が面に対して平行方向になるようにしたものを使用した。一方、光を垂直に曲げるために使用する微小プリズム36として、石英を使用し、断面が直角二等辺三角形で、直角を挟む2辺が少なくとも0.3mm以下であるプリズムを使用した。そのプリズムの直角部に対向した面には使用する波長の光を90%以上反射できる誘電体多層膜のミラー薄膜27を形成した。
磁気光学(MO)を利用した横方向磁界を検出できる磁界検出素子として、図3のような外観の素子を製造した。MO結晶24としてはBi置換型YIG(イットリウム鉄ガーネット)薄膜結晶を研磨加工し、磁化方向が面に対して平行方向になるようにしたものを使用した。一方、光を垂直に曲げるために使用する微小プリズム46として、GGG(ガドリウムガリウムガーネット)材料を使用し、断面が直角二等辺三角形で、直角部を挟む2辺が少なくとも0.3mm以下であるプリズムを使用した。そのプリズムの直角部に対向した面には使用する波長の光を90%以上反射できる誘電体多層膜のミラー薄膜27を形成した。一方、そのような微小プリズム46の一部を図3の構造になるように研磨加工した(ファイバに接着される面の反対側の先端部分46a)。
磁気光学(MO)を利用した横方向磁界を検出できる磁界検出素子として、図4のような外観の素子を製造した。MO結晶24としてはBi置換型YIG(イットリウム鉄ガーネット)薄膜結晶を研磨加工し、磁化方向が面に対して平行方向になるようにしたものを使用した。一方、光を垂直に曲げるために使用する微小プリズム56として、石英を使用し、断面が直角二等辺三角形で、直角部を挟む2辺が少なくとも0.3mm以下であるプリズムを使用した。そのプリズムの直角部に対向した面には使用する波長の光を90%以上反射できる誘電体多層膜のミラー薄膜27を形成した。
磁気光学(MO)を利用した横方向磁界を検出できる磁界検出素子として、図5のような外観の素子を製造した。MO結晶24としてはBi置換型YIG(イットリウム鉄ガーネット)薄膜結晶を研磨加工し、磁化方向が面に対して平行方向になるようにしたものを使用した。一方、シングルモードの光ファイバ51の先端を45°の角度になるように斜め光学研磨した。その斜め研磨された面(斜面51a)には使用する波長の光に対して反射率90%以上の誘電体多層膜のミラー薄膜27を形成した。さらに、斜面51aのミラー薄膜27で光が反射される方向の光ファイバ51の側面を約50〜60μm光学研磨し、光ファイバ51のクラッド領域53に対して面だしを行なった。このように面だしされた面(側面51b)に前述のように研磨加工された約30μmの厚さのMO結晶24を透明接着剤で接着した。MO結晶24にはあらかじめ接着面の反対側に反射率90%以上の誘電体多層膜のミラー薄膜25を形成した。
22、52 コア領域
23、53 クラッド領域
24 MO結晶(MO薄膜)
25、27 ミラー薄膜
26 微小プリズム
36 導波路付きの微小プリズム
37 導波路領域
46 先端加工された微小プリズム
46a、56a 先端部分
51a 斜面
51b 側面
56 導波路付きの、先端加工された微小プリズム
60 磁界検出素子
61 レーザー光源
62、67 ファイバアンプ
63 偏波コントローラ
64 光ファイバ
65 光サーキュレータ
66 検光子
68 光検出器
69 スペクトルアナライザ
60 データ収集&制御装置
71 XYZステージ
72 測定対象物
Claims (9)
- 磁気光学結晶が三角プリズムに接着されており、該三角プリズムが光ファイバの先端に接着されている磁界検出素子。
- 測定物に対して横方向の磁界成分を検出する磁界検出素子であって、
三角プリズムの直角部を挟む一方の面に光ファイバの先端面が接着され、他方の面に磁気光学結晶が接着されており、前記三角プリズムの直角部に対向する面には誘電体ミラーが形成された磁界検出素子。 - 光ファイバがシングルモードファイバ、またはシングルモードファイバの先端をコア拡大加工したファイバである請求項2に記載の磁界検出素子。
- 三角プリズムが、磁気光学効果を持たず、かつ金属成分が含まれない材料を使用したものである請求項2に記載の磁界検出素子。
- 三角プリズムに、光ファイバのコア径と略同径のコア部がレーザ加工によって形成され、該コア部に合うように光ファイバのコア部が接合されている、請求項2に記載の磁界検出素子。
- 光ファイバからの光が三角プリズム内を通って誘電体ミラーで反射して磁気光学結晶に入射するときの入射光路が磁界検出素子の先端に限りなく近くなるように、三角プリズムの一部が研磨加工されている、請求項2から5のいずれかに記載の磁界検出素子。
- 測定物に対して横方向の磁界成分を検出する磁界検出素子であって、
光ファイバの先端が斜め45°に平坦に研磨され、この研磨された斜面に誘電体ミラーが形成され、該誘電体ミラーで光が直角に曲げられる方向の光ファイバの側面が平坦に研磨され、この研磨された側面に磁気光学結晶が接着されている磁界検出素子。 - 磁気光学結晶の、接着されていない方の面に誘電体ミラーが形成されている請求項2から7のいずれか1項に記載の磁界検出素子。
- 請求項1から8のいずれかに記載の磁界検出素子を備えた磁界測定装置であって、
半導体レーザー光源、ファイバアンプ、偏波コントローラ、光サーキュレータ、検光子、高速光検出器およびスペクトルアナライザを備え、
前記レーザー光源からの光を前記ファイバアンプで増幅し、前記偏波コントローラで偏光度を調整し、前記光サーキュレータを通して、測定対象物の近傍に配置された磁界検出素子に入力し、該磁界検出素子から反射されてきた光を、前記光サーキュレータで前記レーザー光源とは異なるパスにある前記検光子に入力し、前記検光子で偏光度の変化を検出し、前記検光子を経た光の強度を高速光検出器に入力した後、該高速光検出器で電気信号に変換し、前記スペクトルアナライザでその信号の周波数成分を検出することで前記測定対象物の磁界成分を測定する磁界測定装置。
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