JP2005315598A - レンズ系の偏心測定装置及び偏心測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 各被測定面毎にバックラッシ補正をする必要がなくなり、正確かつ高速にレンズの偏心量を測定することができるようにする。
【解決手段】 被測定レンズ系5の複数の被測定面5a,5b,5cに光を照射する光源部2と、該光源部2から被測定面5a,5b,5cに照射され、被測定面5a,5b,5cにおいて反射した光を透過させるズーム光学系4と、複数の被測定面に対応してズーム光学系4の位置を移動させながら複数の被測定面5a,5b,5cに対応する光像の位置を検出する光像位置検出手段12と、光像位置に基づいて被測定面5a,5b,5cの偏心量を算出する制御手段15と、該制御手段15に設けられズーム光学系4の位置をソートするソート手段11とを備え、該ソート手段11によりソートした順番に従ってズーム光学系4を光軸に沿って移動させることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 被測定レンズ系5の複数の被測定面5a,5b,5cに光を照射する光源部2と、該光源部2から被測定面5a,5b,5cに照射され、被測定面5a,5b,5cにおいて反射した光を透過させるズーム光学系4と、複数の被測定面に対応してズーム光学系4の位置を移動させながら複数の被測定面5a,5b,5cに対応する光像の位置を検出する光像位置検出手段12と、光像位置に基づいて被測定面5a,5b,5cの偏心量を算出する制御手段15と、該制御手段15に設けられズーム光学系4の位置をソートするソート手段11とを備え、該ソート手段11によりソートした順番に従ってズーム光学系4を光軸に沿って移動させることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、レンズ系各面の偏心量を測定する偏心測定装置及び偏心測定方法に関するものである。
近年、カメラ、顕微鏡等の各種の光学機器が提供されている。この種の光学機器におけるレンズ系は、そのレンズ系を構成している各レンズや、鏡枠の製造誤差により、構成レンズが光軸に対して偏心しているものがある。レンズ系に偏心が生じていると、レンズ系の結像性能を著しく低下させてしまうことから、全ての構成レンズの曲率中心を光軸と一致させておく必要がある。そのため、鏡枠の組立て工程等において、レンズ系の偏心測定が行われている。
従来より、このようなレンズ系の偏心量を測定する装置として、以下のような回転法を用いたものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。この特許文献1に記載の偏心測定装置は、図5に示すように、光源部101から光を照射したとき光源部101と対向する位置に被測定レンズ系104が設置されている。そして、光源部101から照射され、被測定レンズ系104の被測定面104Aにより反射させられた光は、移動レンズ群103を移動させることによりビームスプリッタ102を経てテレビカメラ106に結像させられるようになっている。さらに、被測定レンズ系104にはスピンドル105が取り付けられ、スピンドル105を駆動することにより、被測定レンズ系104は、その光軸中心軸線を回転中心として回転させられるようになっている。
ここで、光源部101及びスピンドル105を駆動すると、被測定レンズ系104の被測定面104Aに偏心があるときには、テレビカメラ106に形成される反射像が、ある基準点を回転中心として回転させられる。この基準点は、被測定レンズ系104の被測定面104Aが光軸中心軸線を回転中心として回転させられていることから、被測定レンズ系104の被測定面104Aの光軸中心点を示すことになる。よって、この回転中心を基準位置としてズレ量を算出することにより、被測定レンズ系104の被測定面104Aの偏心量が求められる。
特公平7−39982号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の偏心測定装置では、製造誤差などから必ずしもフォーカス位置が計算通りの位置になるとは限らず、手動または自動で移動レンズ群103の移動レンズ部103Aの位置を微調整し、フォーカス位置を探す必要がある。このように、各被測定面毎に移動レンズ部103Aを前後に移動させ、フォーカス位置を探して測定をすると、各被測定面毎にバックラッシ補正をする必要があるため、測定タクトタイムが増加するという問題がある。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、各被測定面毎にバックラッシ補正をする必要がなくなり、正確かつ高速にレンズの偏心量を測定することができるレンズ系の偏心測定装置及び偏心測定方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明のレンズ系の偏心測定装置は、被測定レンズ系の複数の被測定面に光を照射する光源部と、該光源部から前記被測定面に照射され、前記被測定面において反射した光を透過させるズーム光学系と、前記複数の被測定面に対応して前記ズーム光学系の位置を移動させながら前記ズーム光学系から出射された光により形成される複数の前記被測定面に対応する光像位置を検出する光像位置検出手段と、該光像位置検出手段により検出された光像位置に基づいて前記被測定面の偏心量を算出する制御手段と、該制御手段に設けられ前記ズーム光学系のそれぞれの位置をソートするソート手段とを備え、該ソート手段によりソートした順番に従って前記ズーム光学系を光軸に沿って移動させることを特徴とする。
本発明のレンズ系の偏心測定装置は、被測定レンズ系の複数の被測定面に光を照射する光源部と、該光源部から前記被測定面に照射され、前記被測定面において反射した光を透過させるズーム光学系と、前記複数の被測定面に対応して前記ズーム光学系の位置を移動させながら前記ズーム光学系から出射された光により形成される複数の前記被測定面に対応する光像位置を検出する光像位置検出手段と、該光像位置検出手段により検出された光像位置に基づいて前記被測定面の偏心量を算出する制御手段と、該制御手段に設けられ前記ズーム光学系のそれぞれの位置をソートするソート手段とを備え、該ソート手段によりソートした順番に従って前記ズーム光学系を光軸に沿って移動させることを特徴とする。
すなわち、本発明のレンズ系の偏心測定装置によれば、光源から被測定レンズ系の被測定面に光が照射されると、被測定面によりその光の一部が反射させられる。その反射光は、ズーム光学系を通過させられることにより、検出平面上に結像させられる。そして、その結像させられた光像の検出平面上の位置が光像位置検出手段によって検出される。同様にして、各被測定面において反射された光が結像するときの、ズーム光学系の位置が検出される。この検出された光学系の位置は、制御手段に設けられたソート手段により、例えば、光源部に近い方からズーム光学系の位置がソートされる。これにより、ソート順に従ってズーム光学系の位置を順々に移動させる。そして、各被測定面毎に、光像位置検出手段により検出された光像位置に基づいて、各被測定面の偏心量が算出される。
したがって、ズーム光学系は必ず一方向に移動することになり、各被測定面ごとにバックラッシ補正を行う必要がなくなり、正確かつ高速にレンズ系の偏心測定を行うことが可能になる。
したがって、ズーム光学系は必ず一方向に移動することになり、各被測定面ごとにバックラッシ補正を行う必要がなくなり、正確かつ高速にレンズ系の偏心測定を行うことが可能になる。
また、本発明のレンズ系の偏心測定装置は、前記ズーム光学系が、少なくとも1つの移動レンズと、該移動レンズを光軸方向に移動させる移動機構とを備え、前記制御手段が、前記ソート手段によりソートした順番に従って前記移動機構を操作する移動機構操作手段を備えることが好ましい。
本発明のレンズ系の偏心測定装置によれば、移動レンズを移動させることにより、被測定面からの反射光を検出平面上において結像させる。この移動レンズの移動は、移動機構操作手段により、移動機構が移動レンズの位置を被測定レンズ系の被測定面に合わせた適正な位置に配置させることにより行われる。したがって、被測定面に応じて、容易に移動レンズを配置することができ、より一層の測定時間の短縮を図ることができる。さらに、被測定面に応じて正確に移動レンズを配置することができ、移動レンズの移動誤差を抑制し、正確な測定結果を得ることが可能となる。
また、本発明のレンズ系の偏心測定方法は、被測定レンズ系の複数の被測定面に光を照射する光照射工程と、該光照射工程により前記被測定面に照射され、前記被測定面において反射した光を透過させるズーム光学系から出射された光により形成される複数の前記被測定面に対応する光像位置を前記複数の被測定面に対応して前記ズーム光学系の位置を移動させながら検出する光像位置検出工程と、前記ズーム光学系の位置をソートするソート工程と、該ソート工程によりソートした順番に従って前記ズーム光学系を光軸に沿って移動させながら前記光像位置検出工程により検出された光像位置に基づいて前記被測定面の偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えることを特徴とする。
本実施形態に係るレンズ系の偏心測定方法によれば、ソート工程によりズーム光学系の位置をソートした後、ソートした順番に従ってズーム光学系を光軸に沿って順々に移動させ、各被測定面毎の偏心量を算出する。したがって、ズーム光学系は必ず一方向に移動することになり、各被測定面毎にバックラッシ補正を行う必要がなく、操作性良くズーム光学系を適切な位置に移動させることが可能になる。
本発明においては以下の効果を奏する。
本実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置及び偏心測定方法によれば、ソート手段を備えているため、ズーム光学系は必ず一方向に移動することになり、各被測定面ごとにバックラッシ補正を行う必要がなくなり、正確かつ高速にレンズ系の偏心測定を行うことが可能になる。また、移動機構操作手段により移動機構の駆動を制御することにより、被測定面に応じて、容易に移動レンズを配置することができ、測定時間の短縮を図ることができる。
本実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置及び偏心測定方法によれば、ソート手段を備えているため、ズーム光学系は必ず一方向に移動することになり、各被測定面ごとにバックラッシ補正を行う必要がなくなり、正確かつ高速にレンズ系の偏心測定を行うことが可能になる。また、移動機構操作手段により移動機構の駆動を制御することにより、被測定面に応じて、容易に移動レンズを配置することができ、測定時間の短縮を図ることができる。
以下、本発明の一実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置1について、図面を参照して説明する。
本発明の一実施形態としてのレンズ系の偏心測定装置1は、図1に示すように、被測定物としてレンズ系を設置したものである。
レンズ系の偏心測定装置1は、被測定レンズ系5の被測定面5aに光を照射するLD(Laser Diode)(光源部)2と、被測定面5aにおける反射光を透過させるズーム光学系4とを備えている。また、被測定物である被測定レンズ系5は、光源部2からレーザ光を照射させたとき、光源部2と対向する位置に設置するようになっている。
本発明の一実施形態としてのレンズ系の偏心測定装置1は、図1に示すように、被測定物としてレンズ系を設置したものである。
レンズ系の偏心測定装置1は、被測定レンズ系5の被測定面5aに光を照射するLD(Laser Diode)(光源部)2と、被測定面5aにおける反射光を透過させるズーム光学系4とを備えている。また、被測定物である被測定レンズ系5は、光源部2からレーザ光を照射させたとき、光源部2と対向する位置に設置するようになっている。
さらに、レンズ系の偏心測定装置1は、LD2から照射された光を透過させ、ズーム光学系4から入射した光の光路を略90度曲げて反射させるビームスプリッタ3と、このビームスプリッタ3により反射した光を受光するCCDカメラ(光像位置検出手段)12と、被測定レンズ系を回転させるスピンドル13とを備えている。また、ズーム光学系4は、LD2から照射された光の焦点をCCDカメラ12上に合わせるとともに、光像を拡大するためのものである。
CCDカメラ12は、不図示の撮像素子とモニタとを備えており、撮像素子に結像させられた反射光を電気信号に変換し、モニタ上に映し出すようになっている。
ズーム光学系4は、LD2と被測定レンズ系5との間に、かつLD2から照射された光の光軸A上に配置されている。さらに、ズーム光学系4は、被測定レンズ系5の光軸Aに沿って、移動可能に支持された移動レンズ4aと、所定の位置に固定された固定レンズ4bと、移動レンズ4aを光軸Aに沿って移動させる移動機構10とを備えている。これにより、被測定レンズ系5からの反射光を拡大しCCDカメラ12に結像させるようになっている。ここで、CCDカメラ12は、複数の被測定面に対応して移動レンズ4aの位置を移動させながらズーム光学系4から出射された光により形成される複数の被測定面に対応する光像位置を検出するものである。
また、スピンドル13は、被測定レンズ系5を光軸Aを回転中心として回転させるようになっている。
ズーム光学系4は、LD2と被測定レンズ系5との間に、かつLD2から照射された光の光軸A上に配置されている。さらに、ズーム光学系4は、被測定レンズ系5の光軸Aに沿って、移動可能に支持された移動レンズ4aと、所定の位置に固定された固定レンズ4bと、移動レンズ4aを光軸Aに沿って移動させる移動機構10とを備えている。これにより、被測定レンズ系5からの反射光を拡大しCCDカメラ12に結像させるようになっている。ここで、CCDカメラ12は、複数の被測定面に対応して移動レンズ4aの位置を移動させながらズーム光学系4から出射された光により形成される複数の被測定面に対応する光像位置を検出するものである。
また、スピンドル13は、被測定レンズ系5を光軸Aを回転中心として回転させるようになっている。
本実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置1は、各種の演算、制御を行う制御PC(制御手段)15を備えている。制御PC15は、CCDカメラ12と移動機構10とスピンドル13とに電気的に接続されている。これにより、CCDカメラ12によって出力された反射像の位置情報を取り込み、反射光が光軸Aを通って結像された場合のCCDカメラ12における結像位置(以下、基準位置という。)を算出する基準位置測定手段6と、その基準位置を記憶する基準位置記憶手段7とを備えている。
また、制御PC15は、基準位置に基づいて、反射光の実際の結像位置からのズレ量を求め、例えば被測定面5a,5b,5cの偏心量を算出する偏心量算出手段8を備えている。さらに、被測定面5a,5b,5cの各面からの反射光をCCDカメラ12に結像させるための移動レンズ4aのそれぞれの位置を記憶する移動レンズ位置記憶手段9と、この移動レンズ位置記憶手段9により記憶された移動レンズ4aのそれぞれの位置をLD2側から順にソートするソート手段11とを備えている。また、制御PC15は、ソート手段11によりソートした順番に従って移動機構10を操作する移動機構操作手段10aを備えており、この移動機構操作手段10aにより、移動レンズ4aを適切な位置に配置するようになっている。
次に、このように構成された本実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置1を用いた偏心測定方法について説明する。
本実施形態では、被測定レンズ系として、複数のレンズからなるレンズ系が設置されており、それぞれのレンズの被測定面5a,5b,5cの偏心量が順次測定される。これら被測定面5a,5b,5cの測定過程は全て同様である。この1つ目の被測定レンズ系5の測定が全て完了すると、その被測定レンズ系5を取り外し、新たに2つ目の被測定レンズ系5が設置され、続けてその被測定面5a,5b,5cの測定がなされる。そして、さらに3つ目、4つ目と必要な数だけ測定が続けられる。
本実施形態では、被測定レンズ系として、複数のレンズからなるレンズ系が設置されており、それぞれのレンズの被測定面5a,5b,5cの偏心量が順次測定される。これら被測定面5a,5b,5cの測定過程は全て同様である。この1つ目の被測定レンズ系5の測定が全て完了すると、その被測定レンズ系5を取り外し、新たに2つ目の被測定レンズ系5が設置され、続けてその被測定面5a,5b,5cの測定がなされる。そして、さらに3つ目、4つ目と必要な数だけ測定が続けられる。
ここでは、最初に、1つ目の被測定レンズ系5における被測定面5aの測定過程について以下に詳述する。
まず、被測定レンズ系5の設計式から、被測定面5aの球心位置を算出する。そして、移動機構操作手段10aにより移動機構10を操作し、被測定面5aの計算上の球心位置に移動レンズ4aを移動させる。この状態から、光源部2を駆動し、光軸Aに沿って被測定レンズ系5にレーザ光を照射させる。すると、そのレーザ光は、ズーム光学系4を通過させられ、被測定面5aに到達し、そこで反射させられる。そのため、レーザ光の方向が転換させられ、再度ズーム光学系4を通過させられる。そして、ビームスプリッタ3によりその光路が略90度曲げられ、ズーム光学系4を透過した光がCCDカメラ12に集光される。CCDカメラ12に到達すると、光の像が形成され、図3に示すように、その様子がモニタ上に光像17aとして映し出される。
まず、被測定レンズ系5の設計式から、被測定面5aの球心位置を算出する。そして、移動機構操作手段10aにより移動機構10を操作し、被測定面5aの計算上の球心位置に移動レンズ4aを移動させる。この状態から、光源部2を駆動し、光軸Aに沿って被測定レンズ系5にレーザ光を照射させる。すると、そのレーザ光は、ズーム光学系4を通過させられ、被測定面5aに到達し、そこで反射させられる。そのため、レーザ光の方向が転換させられ、再度ズーム光学系4を通過させられる。そして、ビームスプリッタ3によりその光路が略90度曲げられ、ズーム光学系4を透過した光がCCDカメラ12に集光される。CCDカメラ12に到達すると、光の像が形成され、図3に示すように、その様子がモニタ上に光像17aとして映し出される。
このとき、モニタ上において光像17aの焦点が合っていないときには、移動機構操作手段10aにより、移動機構10を操作し移動レンズ4aを反射光の焦点が合う位置、すなわち図4に示すように焦点案内位置(フォーカス位置)20aに移動させる。このとき、被測定面5aにおける移動レンズ4aの位置が移動レンズ位置記憶手段9に記憶される。
同様にして、被測定面5b,5cの場合も、移動機構操作手段10aにより、移動機構10を操作し移動レンズ4aを反射光の焦点が合う位置に焦点案内位置20b,20cに移動させる。そして、被測定面5b,5cにおける移動レンズ4aの焦点案内位置20b,20cが移動レンズ位置記憶手段9に記憶される。
同様にして、被測定面5b,5cの場合も、移動機構操作手段10aにより、移動機構10を操作し移動レンズ4aを反射光の焦点が合う位置に焦点案内位置20b,20cに移動させる。そして、被測定面5b,5cにおける移動レンズ4aの焦点案内位置20b,20cが移動レンズ位置記憶手段9に記憶される。
制御PC15のソート手段11により、この移動レンズ位置記憶手段9に記憶された各被測定面5a,5b,5cの焦点案内位置20a,20b,20cをLD2側から順にソートする。これにより、ソート順は20b,20a,20cとなり、この順に移動レンズ4aを移動させ被測定面5b,5a,5cの順に偏心量の測定が行われる。
まず、被測定面5bの偏心量の測定を行う。制御PC15の作動により、移動機構10を操作して移動レンズ4aを焦点案内位置20bに移動し、被測定面5bにおける反射光の焦点を合わせる。そして、反射光の焦点が合った後、スピンドル13を駆動し被測定レンズ系5を光軸Aを中心として回転させる。その結果、図3に示すように、光像17aは、そのXY軸を含む平面領域内を所定の点を中心として回転させられる。その所定の点は、被測定レンズ系5が光軸Aを中心として回転させられていることから、基準位置18a、すなわち被測定面5aの光軸中心点を示すことになる。その基準位置18aが制御PC15により求められる。そして、制御PC15により、光像17aの基準位置18aからズレ量dx,dyが求められ、被測定面5aの偏心量が算出される。
次いで、被測定面5aの偏心量の測定を行う。移動機構操作手段10aにより、移動機構10を操作する。ソート手段11によりLD2側からソートが行われているため、移動機構10により、移動レンズ4aは、被測定レンズ系5側の焦点案内位置20aに移動させられ、上述した被測定面5bの偏心量の測定と同様の過程を経て、偏心量を算出する。次に、被測定面5cの偏心量の測定を行うため、制御PC15の作動により移動機構10を操作する。ソート手段11によりLD2側からソートが行われているため、移動機構10により、移動レンズ4aは、さらに、被測定レンズ系5側の焦点案内位置20cに移動させられ、上述した被測定面5bの偏心量の測定と同様の過程を経て、偏心量を算出する。
これにより、1つ目の被測定レンズ系5の偏心量の測定が完了し、その被測定レンズ系5を取り外す。そして、新たに2つ目の被測定レンズ系5を所定の位置に設置することにより、続けて同様の偏心量の測定がなされる。このようにして、3つ目、4つ目の被測定レンズ系5も同様の偏心量の測定がなされ、焦点案内位置までは、常に一定方向に向けて移動させられることになる。
本実施形態に係るレンズ系の偏心測定装置によれば、ソート手段11を備えているため、ズーム光学系4の移動レンズ4aは必ず焦点案内位置20b,20a,20cの順に移動されることになるため、一方向に移動することになる。これにより、各被測定面5a,5b,5cごとにバックラッシ補正を行う必要がなくなり、正確かつ高速にレンズ系の偏心測定を行うことが可能になる。また、制御PC15により移動機構10の駆動を制御することにより、被測定面5a,5b,5cに応じて、自動的に移動レンズ4aを配置することができ、より一層の測定時間の短縮を図ることができる。さらに、被測定面5a,5b,5cに応じて正確に移動レンズ4aを配置することができ、移動レンズ4aの移動誤差を抑制し、正確な測定結果を得ることが可能となる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、移動レンズ4aの移動は、移動機構操作手段10aにより移動機構が自動に行ったが、これに代えて、手動で行っても良い。また、ソート手段11により、LD2側からソートを行ったが、被測定レンズ系5側からソートを行っても同様の効果が得られる。
例えば、移動レンズ4aの移動は、移動機構操作手段10aにより移動機構が自動に行ったが、これに代えて、手動で行っても良い。また、ソート手段11により、LD2側からソートを行ったが、被測定レンズ系5側からソートを行っても同様の効果が得られる。
A 光軸
1 レンズ系の偏心測定装置
2 LD(光源部)
4 ズーム光学系
4a 移動レンズ
5 被測定レンズ系
5a,5b,5c 被測定面
12 CCDカメラ(光像位置検出手段)
10 移動機構
10a 移動機構操作手段
11 ソート手段
15 制御PC(制御手段)
1 レンズ系の偏心測定装置
2 LD(光源部)
4 ズーム光学系
4a 移動レンズ
5 被測定レンズ系
5a,5b,5c 被測定面
12 CCDカメラ(光像位置検出手段)
10 移動機構
10a 移動機構操作手段
11 ソート手段
15 制御PC(制御手段)
Claims (3)
- 被測定レンズ系の複数の被測定面に光を照射する光源部と、
該光源部から前記被測定面に照射され、前記被測定面において反射した光を透過させるズーム光学系と、
前記複数の被測定面に対応して前記ズーム光学系の位置を移動させながら前記ズーム光学系から出射された光により形成される複数の前記被測定面に対応する光像位置を検出する光像位置検出手段と、
該光像位置検出手段により検出された光像位置に基づいて前記被測定面の偏心量を算出する制御手段と、
該制御手段に設けられ前記ズーム光学系のそれぞれの位置をソートするソート手段とを備え、
該ソート手段によりソートした順番に従って前記ズーム光学系を光軸に沿って移動させることを特徴とするレンズ系の偏心測定装置。 - 前記ズーム光学系が、少なくとも1つの移動レンズと、該移動レンズを光軸方向に移動させる移動機構とを備え、
前記制御手段が、前記ソート手段によりソートした順番に従って前記移動機構を操作する移動機構操作手段を備えることを特徴とする請求項1記載のレンズ系の偏心測定装置。 - 被測定レンズ系の複数の被測定面に光を照射する光照射工程と、
該光照射工程により前記被測定面に照射され、前記被測定面において反射した光を透過させるズーム光学系から出射された光により形成される複数の前記被測定面に対応する光像位置を前記複数の被測定面に対応して前記ズーム光学系の位置を移動させながら検出する光像位置検出工程と、
前記ズーム光学系の位置をソートするソート工程と、
該ソート工程によりソートした順番に従って前記ズーム光学系を光軸に沿って移動させながら前記光像位置検出工程により検出された光像位置に基づいて前記被測定面の偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えることを特徴とするレンズ系の偏心測定方法。
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JP2008096197A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Olympus Corp | 偏心測定装置 |
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- 2004-04-27 JP JP2004130851A patent/JP2005315598A/ja not_active Withdrawn
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