JP2005308675A - Spmカンチレバー及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 単結晶シリコンウエハを加工して作製された支持部1と、該支持部から伸びるように形成されたレバー部2と、該レバー部の自由端側に配置された探針3と、該探針の形成側全面及び探針全体を覆うようにコーティングされたグラファイト膜5と、探針先端部3aのグラファイト膜から成長形成された一本のカーボンナノファイバー(CNF)細線6とでSPMカンチレバーを構成する。
【選択図】 図 1
Description
まず、本発明に係るSPMカンチレバーの実施例1について説明する。図1は、本発明の実施例1に係るSPMカンチレバーを示す断面図である。図1において、1は単結晶シリコンウエハを加工して作製した支持部、2は支持部1より伸びたレバー部、3はレバー部2の自由端4側に配置されている探針である。5はカンチレバーの探針形成側の全面及び探針全体を覆うようにコーティングされたカーボン化合物であるグラファイト膜、6は探針先端部3aに成長形成された一本のカーボンナノファイバー(CNF)細線である。
次に、実施例2について説明する。図6は、本実施例に係るSPMカンチレバーの構成を示す側面図である。図6において、1は単結晶シリコンウエハを加工して作製した支持部、2は支持部1より伸びたレバー部、3はレバー部2の自由端4側に配置されている探針である。7は探針先端部3aのみに形成されたカーボン化合物であるグラファイト膜、8は探針先端部3aに形成されたグラファイト膜7から成長形成された一本のカーボンナノファイバー(CNF)細線である。
次に、実施例3について説明する。図9は本実施例に係るSPMカンチレバーの一部断面で示す側面図である。図9において、1はパイレックスガラス(コーニング社の登録商標)を加工して作製した支持部、2は支持部1より伸びたレバー部、3はレバー部2の自由端4側に配置されている探針である。9はレバー部2及び支持部1の背面側と、探針先端部3aのみに形成された金(Au)膜、10は探針先端部3aの金膜9から成長形成された1本の金のナノワイヤー細線である。ここでは、実施例1及び実施例2とは異なり、細線10は金属からなるメタルナノワイヤー(MNW)となっている。
2 レバー部
3 探針
3a 探針先端部
4 レバー部自由端
5 グラファイト膜
6 CNF細線
7 グラファイト膜
8 CNF細線
9 金膜
10 MNW細線
21 SOIシリコン基板
22 支持部形成用マスクパターン
23 窒化シリコン膜
24 探針用マスクパターン
25 SOIシリコン基板活性層
26 垂直面
27 熱酸化膜
28 突起(探針)
29 レバー部厚さ
30 酸化膜
31 レジスト膜
32 探針先端部
33 グラファイト膜
34 先端部グラファイト膜
35 レジスト膜
36 支持部
41 シリコン基板
42 マスクパターン
43 熱酸化シリコン膜
44 孔状四角錐
45 マスク
46 窒化シリコン膜
47 先端部窒化シリコン膜
48 先端部孔
49 支持部
50 金膜
51 探針先端部
52 金ナノワイヤー細線
61 真空装置
62 駆動部
63 真空排気口
64 イオンガン
65 ヒーター加熱部
66 カンチレバー
67 イオン照射源
68 ステージ
Claims (15)
- 支持部と、該支持部から伸びるレバー部と、該レバー部の自由端近傍に形成される突起状探針とからなるSPMカンチレバーにおいて、前記探針の先端部に一本の細線を備えていることを特徴とするSPMカンチレバー。
- 前記細線は、カーボンナノファイバー(CNF)又はカーボンナノチューブ(CNT)又はグラファイトナノファイバー(GNF)のいずれかであることを特徴とする請求項1に係るSPMカンチレバー。
- 前記細線は、半導体ナノワイヤー(SNW)又は半導体ナノチューブ(SNT)であることを特徴とする請求項1に係るSPMカンチレバー。
- 前記細線は、メタルナノワイヤー(MNW)又はメタルナノチューブ(MNT)であることを特徴とする請求項1に係るSPMカンチレバー。
- 請求項2に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針の少なくとも先端部自体をカーボン化合物で形成するか、又は少なくとも該先端部の表面にカーボン化合物を形成し、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 請求項2に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針先端部近傍にカーボン化合物を供給しながら、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 前記カーボン化合物は、グラファイト(C),グラッシーカーボン(g−C),シリコンカーバイト(SiC),ダイヤモンドライクカーボン(DLC),アモルファスカーボン(a−C),炭化チタン(TiC),タングステンカーバイト(WC),クロムカーバイト(CrC),バナジウムカーバイト(VC)又はニオブカーバイト(NbC)のいずれかであることを特徴とする請求項5又は6に係るSPMカンチレバーの製造方法。
- 請求項3に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針の少なくとも先端部自体を半導体で形成するか、又は少なくとも該先端部の表面に半導体を形成し、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 請求項3に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針先端部近傍に半導体を供給しながら、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 前記半導体は、シリコン(Si)又はゲルマニウム(Ge)の単体半導体、あるいはインジウムリン(InP),ガリウム砒素(GaAs),インジウムアンチモン(InSb),アルミニウムガリウム砒素(AlGaAs),カドミウムテルル(CdTe),ジンクオキサイド(ZnO)の化合物半導体のいずれかであることを特徴とする請求項8又は9に係るSPMカンチレバーの製造方法。
- 請求項4に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針の少なくとも先端部自体を金属あるいは金属化合物で形成するか、又は少なくとも該先端部の表面に金属あるいは金属化合物を形成し、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 請求項4に係るSPMカンチレバーの製造方法において、前記探針先端部近傍に金属あるいは金属化合物を供給しながら、前記探針先端部に高エネルギービームを照射することにより前記細線を成長形成させることを特徴とするSPMカンチレバーの製造方法。
- 前記金属は、タングステン(W),チタン(Ti),モリブデン(Mo),銅(Cu),アルミニウム(Al),ニッケル(Ni),コバルト(Co),鉄(Fe),クロム(Cr),ガドリニウム(Gd),マンガン(Mn)のいずれかであり、前記金属化合物は前記金属の化合物のいずれかであることを特徴とする請求項11又は12に係るSPMカンチレバーの製造方法。
- 前記金属は、金(Au),白金(Pt),銀(Ag),パラジウム(Pd)等の貴金属であり、前記金属化合物は前記貴金属の化合物のいずれかであることを特徴とする請求項11又は12に係るSPMカンチレバーの製造方法。
- 前記高エネルギービームは,イオンビーム、レーザービーム、電子ビームあるいは高密度プラズマのいずれかであることを特徴とする請求項5〜14のいずれか1項に係るSPMカンチレバーの製造方法。
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100722555B1 (ko) | 2005-12-23 | 2007-05-28 | 한국기계연구원 | 개구부와 나노 스케일의 팁을 구비하는 다기능 주사 탐침의제조 방법 |
JP2007155333A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Unisoku Co Ltd | プローブ顕微鏡用探針の作製方法、及びプローブ顕微鏡 |
JP2007333619A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | National Institute For Materials Science | 半導体ナノ細線を用いたプローブ及びその製造方法 |
WO2008028521A1 (en) * | 2006-09-07 | 2008-03-13 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | A probe, a raman spectrometer and a method of manufacturing a probe |
JP2008122330A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバー |
JP2008151673A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 走査型プローブ顕微鏡用化合物半導体カンチレバー、及びその製造法 |
JP2009532665A (ja) * | 2006-03-23 | 2009-09-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ナノワイヤ成長により形成されるモノリシック高アスペクト比のナノサイズ走査プローブ顕微鏡(spm)ティップ |
WO2009128500A1 (ja) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | オリンパス株式会社 | カーボンナノファイバー探針カンチレバー |
JP2009257932A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Olympus Corp | Cnf探針カンチレバー |
JP2010091571A (ja) * | 2008-10-11 | 2010-04-22 | Nanoworld Ag | 走査尖端部及びその裏面に位置合せ用目印を有する走査型微小センサの製造方法 |
WO2010146773A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 微小接触式プローバ |
KR101195202B1 (ko) * | 2011-04-21 | 2012-10-29 | 한국과학기술연구원 | 나노 와이어를 이용한 프로브, 및 프로브 제조방법 |
KR20160121970A (ko) * | 2015-04-13 | 2016-10-21 | 명지대학교 산학협력단 | 세포 전기 천공을 위한 탐침 제조 방법 및 이를 위한 홀더 |
US10203354B2 (en) | 2015-07-03 | 2019-02-12 | National University Corporation Nagoya Institute Of Technology | Cantilever for a scanning type probe microscope |
JP7396642B2 (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-12 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 金属ナノ粒子の製造方法およびナノプローブの製造方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI322792B (en) * | 2006-01-11 | 2010-04-01 | Ind Tech Res Inst | Methods for fabricating carbon nano-tubes and field emission displays |
JP4806762B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-11-02 | 国立大学法人 名古屋工業大学 | Spmカンチレバー |
FR2912426B1 (fr) * | 2007-02-09 | 2009-05-29 | Centre Nat Rech Scient | Procede de croissance d'un nanotube de carbone sur pointe nanometrique |
US7955486B2 (en) * | 2007-02-20 | 2011-06-07 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Electrochemical deposition platform for nanostructure fabrication |
KR101097217B1 (ko) * | 2008-09-17 | 2011-12-22 | 한국기계연구원 | 카본 나노 튜브가 코팅된 프로브 카드용 미세 접촉 프로브 및 그 제조방법 |
JP2012047539A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | Spmプローブおよび発光部検査装置 |
WO2013028782A1 (en) | 2011-08-23 | 2013-02-28 | Kansas State University Research Foundation | Electrochemically-grown nanowires and uses thereof |
US9038269B2 (en) * | 2013-04-02 | 2015-05-26 | Xerox Corporation | Printhead with nanotips for nanoscale printing and manufacturing |
TWI539164B (zh) | 2013-11-22 | 2016-06-21 | 財團法人工業技術研究院 | 塗佈探針及其製作方法 |
KR101681231B1 (ko) * | 2015-05-13 | 2016-12-02 | 서강대학교산학협력단 | 기능성 탐침을 갖는 미소 캔틸레버 제조방법 |
US11105973B2 (en) | 2019-01-11 | 2021-08-31 | Schott Corporation | Optically enhanced high resolution image guides |
CN111668474A (zh) * | 2020-05-06 | 2020-09-15 | 深圳市德方纳米科技股份有限公司 | 负极材料及其制备方法、二次电池 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5171992A (en) * | 1990-10-31 | 1992-12-15 | International Business Machines Corporation | Nanometer scale probe for an atomic force microscope, and method for making same |
US5611942A (en) | 1995-03-02 | 1997-03-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for producing tips for atomic force microscopes |
JP3441397B2 (ja) | 1998-12-31 | 2003-09-02 | 喜萬 中山 | 電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法 |
DE19825404C2 (de) | 1998-06-06 | 2001-09-13 | Bernd Irmer | Rastersondenmikroskop mit Sondeneinrichtung, Sondeneinrichtung sowie Verfahren zum Herstellen einer Sondeneinrichtung |
KR100398276B1 (ko) * | 1998-12-03 | 2003-09-19 | 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 | 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 |
US6755956B2 (en) * | 2000-10-24 | 2004-06-29 | Ut-Battelle, Llc | Catalyst-induced growth of carbon nanotubes on tips of cantilevers and nanowires |
JP3811004B2 (ja) * | 2000-11-26 | 2006-08-16 | 喜萬 中山 | 導電性走査型顕微鏡用プローブ |
JP2002162335A (ja) | 2000-11-26 | 2002-06-07 | Yoshikazu Nakayama | 垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した垂直式走査型顕微鏡用プローブ |
KR20030055346A (ko) * | 2000-12-11 | 2003-07-02 | 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 | 나노센서 |
JP2003090788A (ja) | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | Spmカンチレバー及びその製造方法 |
JP4688400B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡用探針 |
JP4096303B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-06-04 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
2004
- 2004-04-26 JP JP2004129383A patent/JP4521482B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-04-20 WO PCT/JP2005/007946 patent/WO2005103648A1/ja not_active Application Discontinuation
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Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155333A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Unisoku Co Ltd | プローブ顕微鏡用探針の作製方法、及びプローブ顕微鏡 |
KR100722555B1 (ko) | 2005-12-23 | 2007-05-28 | 한국기계연구원 | 개구부와 나노 스케일의 팁을 구비하는 다기능 주사 탐침의제조 방법 |
JP2009532665A (ja) * | 2006-03-23 | 2009-09-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ナノワイヤ成長により形成されるモノリシック高アスペクト比のナノサイズ走査プローブ顕微鏡(spm)ティップ |
US8308968B2 (en) | 2006-03-23 | 2012-11-13 | International Business Machines Corporation | Monolithic high aspect ratio nano-size scanning probe microscope (SPM) tip formed by nanowire growth |
US8220068B2 (en) | 2006-03-23 | 2012-07-10 | International Business Machines Corporation | Monolithic high aspect ratio nano-size scanning probe microscope (SPM) tip formed by nanowire growth |
JP2007333619A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | National Institute For Materials Science | 半導体ナノ細線を用いたプローブ及びその製造方法 |
WO2008028521A1 (en) * | 2006-09-07 | 2008-03-13 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | A probe, a raman spectrometer and a method of manufacturing a probe |
JP2008122330A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 走査型プローブ顕微鏡用半導体・セラミックス複合カンチレバー |
JP2008151673A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 走査型プローブ顕微鏡用化合物半導体カンチレバー、及びその製造法 |
WO2009128500A1 (ja) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | オリンパス株式会社 | カーボンナノファイバー探針カンチレバー |
JP2009257932A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Olympus Corp | Cnf探針カンチレバー |
JP5174896B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2013-04-03 | オリンパス株式会社 | カーボンナノファイバー探針カンチレバー |
JP2010091571A (ja) * | 2008-10-11 | 2010-04-22 | Nanoworld Ag | 走査尖端部及びその裏面に位置合せ用目印を有する走査型微小センサの製造方法 |
WO2010146773A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 微小接触式プローバ |
US8438660B2 (en) | 2009-06-15 | 2013-05-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Micro contact prober |
KR101195202B1 (ko) * | 2011-04-21 | 2012-10-29 | 한국과학기술연구원 | 나노 와이어를 이용한 프로브, 및 프로브 제조방법 |
KR20160121970A (ko) * | 2015-04-13 | 2016-10-21 | 명지대학교 산학협력단 | 세포 전기 천공을 위한 탐침 제조 방법 및 이를 위한 홀더 |
KR101702323B1 (ko) * | 2015-04-13 | 2017-02-03 | 명지대학교 산학협력단 | 세포 전기 천공을 위한 탐침 제조 방법 및 이를 위한 홀더 |
US10203354B2 (en) | 2015-07-03 | 2019-02-12 | National University Corporation Nagoya Institute Of Technology | Cantilever for a scanning type probe microscope |
JP7396642B2 (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-12 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 金属ナノ粒子の製造方法およびナノプローブの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1742034B1 (en) | 2018-10-10 |
EP1742034A1 (en) | 2007-01-10 |
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