JP2005303168A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板ホルダ11は、固定部材12により回転軸に沿って間隔を置いて連結されている。近接する基板ホルダ11は相対的に90度回転して取付けられており、最下流の基板ホルダ11は円形としている。基板ホルダ11は回転軸13を介してモータ14と連結しており、回転軸13周りに回転運動するようになっている。基板ホルダ11の各外周と反応管1内周との間には、充分大きな面積のガス通路が形成されており、下流側の基板ホルダ11に必要な量の原料ガスが送られるように構成されている。
【選択図】 図1
Description
本実施例に係る気相成長装置を図1及び図2に示す。図1は装置断面図、図2はA−A断面図である。
本実施例に係る気相成長装置を図3に示す。図3は装置断面図である。この装置は、実施例1で説明した装置を縦型にしたものである。異なるのはソースボート4の配置を変更した点のみであり、その他は図1および図2と同様の構造である。従って、本実施例では各部の詳細な構造の説明を省略する。
本実施例に係る気相成長装置を図4、図5及び図6(a)〜(d)に示す。図4は装置断面図、図5はB−B断面図、図6(a)〜(d)は基板ホルダ11の形状と配置を示す図である。
本実施例の装置によれば、各基板ホルダ11が、同一形状を有し、各基板ホルダが、上流側に隣接する基板ホルダに対して所定の回転変位だけずらした位置に配設された構成としている。このため、基板ホルダ11が回転すると、この回転運動にともない基板ホルダ11に巻き込まれる形で原料ガス(反応ガス)が下流側に送出される。これにより、基板10の表面に対して原料ガス(反応ガス)が安定的に供給され、高速成長が可能となるとともに、基板10間における成膜速度や膜質のばらつきが抑制される。これにより、気相成長の生産性を安定的に向上させることができる。
本実施例に係る気相成長装置を図7、図8及び図9に示す。図7は装置断面図、図8はC−C断面図、図9は遊星歯車機構の構成図である。
また、上記実施例では、GaN膜の成膜装置を例に挙げたが、膜の種類は特に限定されず、本発明の装置は様々な成膜に適用することができる。たとえば、トリメチルアルミニウム(TMA)やトリメチルインジウム(TMI)等を用いることで、Al1−XGaXN(0≦X≦1)膜、In1−XGaXN(0≦X≦1)膜を成長させることができる。また、アルシン(AsH3)やホスフィン(PH3)等を用いることで、Al1−XGaXAs(0≦X≦1)膜、In1−XGaXAs(0≦X≦1)膜、Al1−XGaXP(0≦X≦1)膜、In1−XGaXP(0≦X≦1)膜を形成できる。
また、基板のサイズは特に限定がなく、2インチ径(直径)のものを使用してもよいし、4インチ径の大口径基板を用いてもよい。
2 水素化物供給管
3 ハロゲン化物生成室
4 Ga原料
5 反応気体導入管
6 ドーピングガス供給管
7 遮蔽板
8 第一の加熱手段
9 第二の加熱手段
10 基板
11 基板ホルダ
12 固定部材
13 回転軸
14 モータ
15 排気口
16 太陽歯車
17 遊星歯車
18 内歯車
Claims (7)
- 反応管と、
前記反応管内に反応ガスを供給するガス供給部と、
前記反応管内において、前記ガス供給部の下流側に配置された基板保持部と、
を備え、
前記基板保持部は、上流側から下流側にわたって配置された基板ホルダ群を含み、
前記基板ホルダ群を構成する基板ホルダは、同一軸周りに回転可能に構成されるとともに、前記軸に沿って間隔を置いて設けられ、
前記基板ホルダ群は、上流側の基板ホルダの外周と反応管内周との間に形成される間隙部を経由して下流側の基板ホルダへ前記反応ガスが導かれるように構成されたことを特徴とする気相成長装置。 - 請求項1に記載の気相成長装置において、
前記基板ホルダ群は、隣接する基板ホルダの開口部が互いに重なり合わないように構成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 請求項1または2に記載の気相成長装置において、
前記基板ホルダ群は、同一形状を有し前記軸に対する位置をずらして設けられた複数の基板ホルダを含むことを特徴とする気相成長装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の気相成長装置において、
前記基板ホルダ群を構成する基板ホルダは、表面および裏面のそれぞれに基板を保持できるように構成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の気相成長装置において、
前記基板保持部は、前記軸に沿って配置された複数の基板ホルダと、該基板保持ホルダを連結する連結部材とを具備し、当該基板保持部が前記軸の周囲に複数配置されていることを特徴とする気相成長装置。 - 請求項5に記載の気相成長装置において、
太陽歯車と、前記太陽歯車に噛合する遊星歯車と、前記太陽歯車を回転駆動する回転駆動部とを含む遊星歯車機構をさらに備え、
前記基板保持部のそれぞれに前記遊星歯車が配設され、前記遊星歯車機構により、前記基板ホルダが自公転運動するように構成されたことを特徴とする気相成長装置。 - 請求項1乃至6いずれかに記載の気相成長装置において、
前記ガス供給部は、水素化物を導入する水素化物供給部と、III族金属源を収容するソースボートを内包するハロゲン化物供給部と、を含むことを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP4365259B2 JP4365259B2 (ja) | 2009-11-18 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4365259B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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