JP2005294825A - 改良型カラーフォトディテクタアレイ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】設計によって期待される性能により近い性能を有することのできるカラーセンサを提供する。
【解決手段】光源からの光を測定する為のカラーセンサ（５０、２００）は、複数のフォトディテクタ（５１〜５３）と、各々が前記光源と前記フォトディテクタ（５１〜５３）のうちの対応する１つとの間に材料層を含み、各々が特性波長付近の対応する波長帯域にある光を選択的に透過する複数のプライマリカラーフィルタ（６１〜６３）と、前記光源と前記フォトディテクタ（５１〜５３）の間に位置し、２つの前記特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含む第１のトリムフィルタ（７０、２１０）とを具備する。
【選択図】図４

Description

本発明はカラーセンサアレイ等に用いられるカラーフォトディテクタアレイに関する。

本発明を理解する上で、フォトダイオードから成るカラーセンサアレイを画像記録用に用いたカメラを例に挙げるとより分かりやすい。色感度を得る為に、一般にフォトダイオードは、それぞれ赤色、緑色及び青色光を検出する３クラスのフォトダイオードへと分けられる。各種の色感度を持つフォトダイオードはアレイ中に分散配置される。例えば、ディテクタアレイは、画素アレイから成るもので、各画素は赤色光測定用、緑色光測定用、及び青色光測定用の３つのフォトダイオードを含んでいるものとすることが出来る。

カラーセンサは一般に、赤色、青色及び緑色を含む広いスペクトル範囲の光に感度を持つフォトダイオード上に色素フィルタを設けることにより構成される。例えば、カラーカメラアレイは、従来のフォトリソグラフィー技術を用い、アレイ中の各ダイオード上に選択的に対象となる色素を設けることにより赤色、青色又は緑色フィルタをパターニングして製作することが可能である。しかしながら、このプロセスには色素フィルタに用いることが出来る材料による制約がある。従って、色素フィルタのプロファイルには制約がある。例えば、これらのフィルタは赤外線（ＩＲ）光を遮断することが出来ない為、このようなカメラには更にＩＲ遮断フィルタを設けなければならず、カメラのコストが増大してしまうのである。

加えて、色素フィルタにより得られるフィルタプロファイルは、各画素について人が見て感知する色の特定に用いられる標準フィルタプロファイルと一致しない。光源の色を人が目視する為にプリンタで再生する場合のアプリケーションを想定したい。光源は非常に複雑なスペクトルを持っているが、人の目は３つの色源から色を組み合わせて再生することが出来る単一色を持つ光源として認識する。プリンタは、ＣＩＥ１９３１標準等の何らかの標準表色系を使って校正される。ＲＧＢ値が標準表色系におけるＲＧＢスペクトルパターンを持つ光の強度を表すものである場合、プリンタは適正な色を生成する。即ち、用紙に記録される光のスペクトルは光源のものとは異なってはいるものの、人の目は光源と同じ色が用紙に印刷されているものと認識するのである。

色素フィルタを用いたセンサにより測定されるＲＧＢ値は、色素フィルタの透過曲線により決まる加重波長帯域で光の強度を測ったものである。色素フィルタを使ったフォトディテクタから測定された強度をＲ’、Ｇ’、Ｂ’として説明する。一般に、このＲ’Ｇ’Ｂ’はフィルタ重み関数が異なる為に、標準向けの理想的なフィルタにより得られるＲＧＢ値とは異なる。よってこの色素ベースの値がプリンタへと送られた場合、プリンタはカラーセンサへと入力された光とは異なる色を生成することになる。

干渉技術を利用すればより望ましいカラープロファイルを持つフィルタを製作することが出来るが、これらのフィルタを面積の小さなフォトダイオード上に作ることは困難である。よってこれらのフィルタは画素寸法が非常に小さくなければならないカラーカメラ等への使用には適していないのである。干渉フィルタは、異なる屈折率を持つ複数の透明誘電体薄膜を設けることにより作られる。波長とフィルタプロファイルは誘電体の厚さ及び屈折率を変えることにより設定される。これによりフィルタプロファイル・デザインには大きな柔軟性が提供される。しかしながら、この技術では高解像度カメラ用の個々の画素をパターニングすることが困難である為、ＣＣＤカメラチップには適していない。従ってカメラに干渉フィルタを用いるには、３つの別個のチップ上に３つの別個のアレイを必要とするのである。各チップは１色の光の画像を検出する。次に３つのモノクロ画像が組み合わせられ、最終的なカラー画像が作られる。各チップは一種類のフィルタしか必要としないことから、フォトダイオード・サイズの小型フィルタを個々に作るという問題は回避される。しかしながら、カメラチップを別個に３つも必要とすることからコストとカメラの光学系の複雑性が増大する。加えて、各チップが使える光の強度は３分の１に低下することから、色計測を行う為に必要な光の量が増大する。

従って、本発明は、設計によって期待される性能により近い性能を有することのできるカラーセンサを提供することをその目的とする。

本発明は光源からの光を測定する為のカラーセンサとその製作方法を含む。カラーセンサは複数のフォトディテクタ、複数のプライマリカラーフィルタ及び１つのトリムフィルタを含んでいる。プライマリカラーフィルタの各々は、光源とフォトディテクタの対応する１つとの間に材料層を含んでいる。各プライマリカラーフィルタは特性波長付近の波長帯に対応する光を選択的に透過する。トリムフィルタは光源とフォトディテクタ群との間にあり、２つの特性波長間の第１のトリム波長にある光を選択的に減衰させる材料の層を含んでいる。一実施例においては、トリムフィルタは更に第２のトリム波長にある光も選択的に減衰させるものであるが、ここで第１の波長は特性波長の１つよりも小さく、第２の波長がその特性波長よりも大きい。このトリムフィルタは、本発明の一実施例においては干渉フィルタである。一実施例においては、カラーセンサは更にフォトダイオードが設けられた基板を含んでおり、トリムフィルタはその基板上にトリムフィルタ層を含んでいる。この実施例においては、カラーフィルタはトリムフィルタの上に設けられている。一実施例においては、カラーセンサは更に第２のトリムフィルタを含んでおり、この第２のトリムフィルタは特性波長の各々、及び第１のトリム波長とは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を持っている。一実施例においては、カラーフィルタは第１及び第２のトリムフィルタ間に配置されている。

以下に添付図面を参照して本発明の最良の実施形態となるカラーセンサについて詳細に説明する。

本発明はＣＩＥ１９３１標準に基づく表色系を参照することでより容易に理解することが出来る。しかしながら、以下の詳細説明からわかるように、本発明の原理は他の表色系にも適用することが可能である。ここで図１を参照するが、これは代表的な赤色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線が、ＣＩＥ１９３１赤色プロファイルのカラープロファイルとどのように異なるかを示すものである。色素プロファイルは符号１０に、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号１１に示した。図からわかるように、色素フィルタのカラープロファイルはＣＩＥ１９３１標準のものを著しく超える伸びを示している。同様に、青色及び緑色用に標準的に使用されている色素フィルタの色透過曲線も、図２及び図３に示したようにＣＩＥ１９３１標準の対応フィルタプロファイルよりも大幅に広い。図２は、代表的な緑色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１緑色プロファイルと比較したものである。色素プロファイルは符号２０に示し、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号２１に示した。図３は青色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１青色プロファイルのカラープロファイルと比較したものである。色素プロファイルは符号３０に示し、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号３１に示した。

本発明は、上述した色素フィルタを、これらの色素フィルタが対応する標準プロファイルを透過するように設計されたフィルタよりも大量の光を透過するスペクトル領域において、光を選択的に遮断する第２のフィルタと組み合わせることにより改良されたカラーフィルタを得ることが出来るという考えに基づいたものである。ここで図１に戻るが、赤色素フィルタは符号１１に示す標準プロファイルを提供するフィルタよりも、符号１２に示すスペクトル領域における光を大量に透過している。本発明は、この過剰に透過された光を除去する為の帯域遮断フィルタを用いている。赤色素フィルタの透過は

として、そして標準フィルタプロファイルを

として示す。この説明の目的上、これらのフィルタの最高透過率は同じものとする。この場合、理想的な帯域遮断フィルタは、以下に挙げる透過率を持っている。

同様の帯域遮断フィルタを、最終的な複合フィルタが所望の標準フィルタに近いものに仕上がるように他の色素フィルタにも設けることが出来る。色素ベースのフィルタは、対応する色に対し、より理想的な標準透過曲線よりも大幅に広い透過曲線を持つ傾向がある。例えば、青色フィルタの透過曲線中で遮断すべき帯域位置を図３における符号３２及び符号３３で示した。一般に、色素フィルタ透過曲線を所望される透過曲線により近い透過曲線へと変換する為に希釈しなければならない色素フィルタ透過曲線帯域は、１帯域又は２帯域ある。

以下の説明を明確にする為に、上述した色素フィルタをプライマリカラーフィルタと呼び、帯域遮断フィルタをトリムフィルタと呼ぶものとする。本発明は、これらのトリムフィルタを遮断すべき帯域の各々において最低透過率を持つ単一の複合フィルタへと組み合わせることが出来るという考えを利用したものである。このようなフィルタを構築する方法を以下に詳細に説明する。この説明の便宜上、各トリムフィルタは、これが遮断する帯域以外のスペクトル領域においては、基本的に１００％の透過率を持つものとして説明する。よってこのようなフィルタが複数積層された場合にも、遮断帯域と遮断帯域の間のスペクトル領域における透過率には基本的に変化は無い。従ってこのようなトリムフィルタのスタックを持つ単一の複合フィルタは、赤、緑及び青色素フィルタの上又は下に配置することが出来る。この結果、単一の色素フィルタよりも大幅に大きい物理寸法を持つトリムフィルタを利用することが出来、従って上述した寸法限界問題はより小さなものとなる。実際、単一の複合トリムフィルタは、何らかの形状パターニングをする場合でもわずかしか必要としない単一層としてカラーセンサアレイ全体の上又は下に配置することが出来るのである。

次に図４を参照するが、これは本発明の一実施例に基づくカラーセンサアレイの断面を描いたものである。カラーセンサ５０は３つのフォトディテクタ５１〜５３を含む。各フォトディテクタは、対応する色素フィルタにより覆われている。フォトディテクタ５１〜５３に対応するフィルタは、それぞれ符号６１〜６３で示した。複合トリムフィルタ７０は、色素フィルタの透過曲線を上述した方式と同様の方式で「切り取る」為に用いられる。トリムフィルタ７０は、フォトディテクタと色素フィルタとの間に配置されることが望ましいが、色素フィルタ上にトリムフィルタを配置した実施例とすることも可能である。

幾つかの代表的な色素フィルタとトリムフィルタの透過曲線を図５に示した。トリムフィルタの正規化された透過曲線は符号７０に示し、赤、青、緑色素フィルタの正規化された透過曲線は、それぞれ符号７１〜符号７３に示した。フィルタの下にある赤色、青色及び緑色光を検出するフォトダイオードの応答曲線は、図６の符号８１〜符号８３にそれぞれ示した。この説明の便宜上、色素フィルタを、特定波長の光を選択的に吸収してそのフィルタ材料中の２つの原子又は分子エネルギー状態の間における遷移を誘発することにより、それを通過する光のカラースペクトルを変える何らかのフィルタと定義するものとする。従来のフォトリソグラフィー技術によりパターニングすることが出来る色素フィルタとしては、富士フィルム社製のものがある。

次にトリムフィルタを構成する方法を以下に詳細に説明する。推奨される帯域遮断フィルタは、厚さが均一な複数の透明層から構成された干渉フィルタであり、これらの層の隣接するもの同士は異なる屈折率を持っている。この種のフィルタは当該分野においては周知であり、本願においては、これらの詳細については説明しないものとする。説明の便宜上、このような層のスタックが、これらの層の厚さ及び屈折率により決まる波長の光を遮断するものであると述べるに留める。他の波長の光は遮断されない為、わずかに希釈されながらも層スタックを通過する。従ってこのような複数のフィルタを積層することにより、所定の波長群における各波長の光を遮断しつつも、所定波長群以外の波長の光は透過させる複合フィルタが提供されるのである。

ここで図７〜図９を参照するが、これらは本発明の他の実施例に基づくカラーセンサアレイ１００の様々な製造プロセス段階における断面図である。図７において、プロセスは基板１０１に複数のフォトダイオードを製作するステップから始まる。フォトダイオードセット例を符号１０２及び符号１１０に示した。フォトダイオードセットの各々は、符号１１１〜符号１１３に示した３つの別個のフォトダイオードを含んでいる。

図８を見ると、基板１０１は堆積チャンバ中に入れられており、複合干渉フィルタの各層が基板表面に形成されている。干渉フィルタは当該分野においては周知である為、フィルタ構成の詳細についてはここでは説明しないものとする。遮断すべき２つの帯域に対応する層は符号１２１及び１２３に示した。層の様々な組成及び厚さは、各層に用いられる先駆物質組成及び堆積時間を調節することにより制御することが出来る為、基板を堆積処理中にチャンバから取り出す必要はない。従ってこの処理は経済的でもあり、歩留まりも高い。

次に図９を参照するが、従来のフォトリソグラフィー技術により色素フィルタが帯域遮断フィルタ層の上に形成される。この実施例においては、赤色、青色及び緑色のスペクトル領域で透過性を持つ色素フィルタが使用されている。色素フィルタ例は符号１３１〜１３３に示した。

上述した本発明の実施例は原色ろ波機能を得る為の色素フィルタと、色素フィルタの透過曲線端部を調節して目的とする透過関数に近いものを得る為の干渉フィルタを用いている。しかしながら、本発明はこれらのフィルタタイプの特定の組み合わせに限られたものではない。より広義に言えば、充分にパターニングし得るものであれば、これらの色素フィルタの代わりにどのようなフィルタ材料を使用しても良い。例えば、着色したフォトレジストを用いた色素フィルタを利用することも出来る。同様に、色素フィルタの透過曲線を変えて目的とするフィルタ機能に近づける為に１つ以上の色素フィルタ上に使用する帯域遮断フィルタも、どのような形式のものであっても良い。例えば、他の色素に基づく帯域通過フィルタを、それらの色素が異なる色素を利用する領域の作用に干渉する吸収帯を持たないものであれば利用することが出来る。

次に図１０を参照するが、これは本発明に基づく他のカラーセンサの実施例を描いた断面図である。上述した実施例では色素フィルタが形成される前にトリムフィルタを設けるものであったが、色素フィルタ上にトリムフィルタを配置した構成の実施例も可能である。その形成に色素フィルタを損傷する恐れのある環境を要する材料からトリムフィルタが作られる場合、そしてトリムフィルタがフォトディテクタ上に形成すべきものである場合、トリムフィルタは先に設けられなければならない。しかしながら、トリムフィルタを別途形成し、色素フィルタ上にボンディングした、或いは取り付けた実施例も可能である。カラーセンサアレイ２００は、緩衝層２０４を色素フィルタ２０１〜２０３上に設け、この緩衝層へとトリムフィルタ層２１０を被着することにより、色素フィルタ上に配置されたトリムフィルタを採用したものである。

加えて、トリムフィルタの一部分を色素フィルタの下に設け、第２の部分を色素フィルタの上に設けたトリムフィルタ構成も、特定の状況下にあっては有利に用いることが出来る。例えば、赤外線を除去するトリムフィルタは、様々な色素フィルタ構成において有用である。従って、このフィルタをフォトダイオード上に設けることにより、複数の異なるカラーセンサアレイを異なる色素フィルタ及び／又はトリムフィルタに基づいて構築する為の新たな出発基板とすることが出来る。このような下地フィルタは図１０の符号２１２に示した。

先に式１に示した理想的なトリムフィルタは推奨されるものではあるが、より理想から離れた他のトリムフィルタを利用しても相当な利益を得ることが出来る。概して本発明は、トリムフィルタと色素フィルタの組み合わせが、色素フィルタのみとした場合の透過曲線よりも目的とするフィルタ機能に近い透過曲線を提供するものであった場合に利点を提供するものであると言える。

上述した本発明の実施例は、ＣＩＥ１９３１標準のフィルタを使って説明したものである。しかしながら、本発明の原理は、他のフィルタ標準を利用したカラーセンサアレイの製作にも適用することが出来る。更に、カラーセンサ中の色素フィルタの数は３つとは限らない。

上述したように、理想的なトリムフィルタは、遮断帯域と遮断帯域の間にある波長を持つ光を吸収しない帯域遮断フィルタを利用したものである。しかしながら、これらの領域における若干の吸収は許容範囲に入るものであることに留意が必要である。トリムフィルタの遮断帯域間の透過曲線が実質的に一定である場合、吸収があったとしても対象となるカラーセンサのフォトディテクタの利得を調節することにより修正することが出来る。

上述した本発明の実施例では、フォトディテクタにフォトダイオードを利用したものである。しかしながら、入射した光の強度に関する信号を生成するものであれば、いずれの形態のフォトディテクタを利用しても良い。例えば、上述したフォトダイオードに代えてフォトトランジスタ及びＣＣＤとすることも可能である。

上述の実施形態に即して本発明を説明すると、本発明は、光源からの光を測定する為のカラーセンサ（５０、２００）であって、複数のフォトディテクタ（５１〜５３）と、各々が前記光源と前記フォトディテクタ（５１〜５３）のうちの対応する１つとの間に材料層を含み、各々が特性波長付近の対応する波長帯域にある光を選択的に透過する複数のプライマリカラーフィルタ（６１〜６３）と、前記光源と前記フォトディテクタ（５１〜５３）の間に位置し、２つの前記特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含む第１のトリムフィルタ（７０、２１０）とを具備したことを特徴とするカラーセンサを提供する。

好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０、２１０）は、更に第２のトリム波長の光を選択的に減衰させるものであり、前記第１のトリム波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２のトリム波長がその前記特性波長よりも大きいものとされる。

好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０、２１０）は、干渉フィルタを含む。

好ましくは、前記フォトディテクタ（１０２、１１０）を設けた基板（１０１）を更に具備し、前記第１のトリムフィルタ（２１０）は、前記基板（１０１）上に第１のトリムフィルタ層（１２３）を含む。

好ましくは、前記カラーフィルタ（１３１〜１３３）は、前記第１のトリムフィルタ層（１２３）上に位置する。

好ましくは、前記カラーフィルタ（２０１〜２０３）は、前記第１のトリムフィルタ（２１０）と前記フォトディテクタ（５１〜５３）の間に位置する。

好ましくは、第２のトリムフィルタ（２１２）を更に具備し、前記第２のトリムフィルタ（２１２）は、前記特性波長及び前記第１のトリム波長のそれぞれとは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を含む。

好ましくは、前記カラーフィルタ（２０１〜２０３）は、前記第１及び第２のトリムフィルタ（２１０、２１２）の間に位置する。

さらに、本発明は、カラーセンサ（５０、２００）を製作する為の方法であって、複数のフォトディテクタ（５１〜５３）を持つ基板（１０１）を設けるステップと、第１のトリムフィルタ層（１２３）を前記基板（１０１）へと被着するステップと、前記第１のトリムフィルタ層（１２３）へと複数のプライマリカラーフィルタ（６１〜６３）を含むカラーフィルタ層を被着するステップとを有し、前記プライマリカラーフィルタの各々が前記光源と前記フォトディテクタ（５１〜５３）の対応する１つとの間に材料層を含み、前記プライマリカラーフィルタの各々が特性波長付近の対応する波長帯域にある光を選択的に透過するものであり、前記第１のトリムフィルタ（７０、２１０）が２つの前記特性波長の間にある第１のトリム波長の光を減衰させるものであることを特徴とする方法を提供する。

好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０、２１０）は、更に第２のトリム波長の光を減衰させるものであり、前記第１の波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２の波長がその前記特性波長よりも大きいものとされる。

好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０、２１０）は、複数の透明層を含み、その中の隣接する層が異なる屈折率を持つ。

好ましくは、第２のトリムフィルタ層（２１２）を前記カラーフィルタ層へと被着することにより、前記カラーフィルタ層が前記第１及び第２のトリムフィルタ層（２１０、２１２）の間に挟まれるようにするステップを更に含む。

上述した説明及び添付図から、本発明に様々な変更が可能であることは当業者であれば明らかである。よって本発明は、本願請求項の範囲によってのみ限定されるものである。

代表的な赤色素フィルタとＣＩＥ１９３１標準のカラープロファイルから得られる波長の関数として色透過曲線をそれぞれに比較したグラフである。 代表的な緑色素フィルタとＣＩＥ１９３１標準のカラープロファイルから得られる波長の関数として色透過曲線をそれぞれに比較したグラフである。 代表的な青色素フィルタとＣＩＥ１９３１標準のカラープロファイルから得られる波長の関数として色透過曲線をそれぞれに比較したグラフである。 本発明の一実施例に基づくカラーセンサの断面図である。 色素フィルタ及びトリムフィルタの透過曲線を示すグラフである。 赤色、青色及び緑色光を検出するフィルタの下に設けられたフォトダイオードの応答曲線を示すグラフである。 本発明の他の実施形態に基づくカラーセンサアレイ１００の一部分の断面図であり、製造プロセスの第１段階を示す図である。 本発明の他の実施形態に基づくカラーセンサアレイ１００の一部分の断面図であり、製造プロセスの第２段階を示す図である。 本発明の他の実施形態に基づくカラーセンサアレイ１００の一部分の断面図であり、製造プロセスの第３段階を示す図である。 本発明に基づくカラーセンサの他の実施形態を示す断面図である。

符号の説明

５０、２００ カラーセンサ
５１〜５３ フォトディテクタ
６１〜６３ プライマリカラーフィルタ
７０、２１０ 第１のトリムフィルタ
１０１ 基板
１０２、１１０ フォトディテクタ
１２３ 第１のトリムフィルタ層
２０１〜２０３ プライマリカラーフィルタ
２１０ 第１のトリムフィルタ
２１２ 第２のトリムフィルタ

Claims (12)

1. 光源からの光を測定する為のカラーセンサであって、
   複数のフォトディテクタと、
   各々が前記光源と前記フォトディテクタのうちの対応する１つとの間に材料層を含み、各々が特性波長付近の対応する波長帯域にある光を選択的に透過する複数のプライマリカラーフィルタと、
   前記光源と前記フォトディテクタの間に位置し、２つの前記特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含む第１のトリムフィルタとを具備したことを特徴とするカラーセンサ。
2. 前記第１のトリムフィルタが更に第２のトリム波長の光を選択的に減衰させるものであり、前記第１のトリム波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２のトリム波長がその前記特性波長よりも大きいものであることを特徴とする、請求項１に記載のカラーセンサ。
3. 前記第１のトリムフィルタが干渉フィルタを含むものであることを特徴とする、請求項１に記載のカラーセンサ。
4. 前記フォトディテクタを設けた基板を更に具備し、前記第１のトリムフィルタが前記基板上に第１のトリムフィルタ層を含むものであることを特徴とする、請求項１に記載のカラーセンサ。
5. 前記カラーフィルタが、前記第１のトリムフィルタ層上に位置することを特徴とする、請求項４に記載のカラーセンサ。
6. 前記カラーフィルタが、前記第１のトリムフィルタと前記フォトディテクタの間に位置することを特徴とする、請求項１に記載のカラーセンサ。
7. 第２のトリムフィルタを更に具備し、前記第２のトリムフィルタが前記特性波長及び前記第１のトリム波長のそれぞれとは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を含むことを特徴とする、請求項１に記載のカラーセンサ。
8. 前記カラーフィルタが、前記第１及び第２のトリムフィルタの間に位置することを特徴とする、請求項７に記載のカラーセンサ。
9. カラーセンサを製造する為の方法であって、複数のフォトディテクタを持つ基板を設けるステップと、第１のトリムフィルタ層を前記基板へと被着するステップと、前記第１のトリムフィルタ層へと複数のプライマリカラーフィルタを含むカラーフィルタ層を被着するステップとを有し、前記プライマリカラーフィルタの各々が前記光源と前記フォトディテクタの対応する１つとの間に材料層を含み、前記プライマリカラーフィルタの各々が特性波長付近の対応する波長帯域にある光を選択的に透過するものであり、前記第１のトリムフィルタが２つの前記特性波長の間にある第１のトリム波長の光を減衰させるものであることを特徴とする方法。
10. 前記第１のトリムフィルタが更に第２のトリム波長の光を減衰させるものであり、前記第１の波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２の波長がその前記特性波長よりも大きいことを特徴とする、請求項９に記載の方法。
11. 前記第１のトリムフィルタが複数の透明層を含み、その中の隣接する層が異なる屈折率を持つことを特徴とする、請求項９に記載の方法。
12. 第２のトリムフィルタ層を前記カラーフィルタ層へと被着することにより、前記カラーフィルタ層が前記第１及び第２のトリムフィルタ層の間に挟まれるようにするステップを更に含むことを特徴とする、請求項９に記載の方法。
    
    

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