JP2012038938A - 固体撮像素子およびカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の画素を含む固体撮像素子に係り、前記固体撮像素子は、前記複数の画素は、第1種類の画素および第2種類の画素を含み、前記第1種類の画素は、第1反射防止膜と、第1カラーフィルタとを含み、前記第2種類の画素は、第2反射防止膜と、第2カラーフィルタとを含み、前記第1カラーフィルタ、前記第2カラーフィルタの透過率が最大となる波長をそれぞれλ1、λ2とし、λ1とλ2との中心波長をλ12とし、波長をλとしたときの前記第1反射防止膜、前記第2反射防止膜の透過率をそれぞれT1(λ)、T2(λ)とし、T1(λ)、T2(λ)における最大値をそれぞれTmax1、Tmax2としたときに、T1(λ12)≦0.95・Tmax1、および、T2(λ12)≦0.95・Tmax2を満たす。
【選択図】図1
Description
T1(λ12)≦0.95・Tmax1、および
T2(λ12)≦0.95・Tmax2
を満たす。
(第1実施形態)
図1を参照しながら本発明の第1実施形態の固体撮像素子100について説明する。固体撮像素子100は、シリコン基板101と、シリコン基板101の内部に形成された光電変換部102と、シリコン基板101の上方に配置され、透明材料で形成された層間絶縁膜103と、層間絶縁膜103の内部に配置された配線部104とを有する。層間絶縁膜103の上面には、平坦化膜が配置され、該平坦化膜の上には、B画素、G画素、R画素のカラーフィルタ105a、105b、105cが配置されている。カラーフィルタ105a、105b、105cの上には、マイクロレンズ106が配置されている。層間絶縁膜103は、例えば酸化シリコン(SiO2)で形成されうる。図示されていないが、固体撮像素子100は、複数の画素の配列を含む。各画素は、シリコン基板101に形成された光電変換部102と、光電変換部102の上に配置された反射防止膜107a、107b、107cおよびカラーフィルタ105a、105b、105cを含む。
(式2) T2(λ12)≦0.95・Tmax2
(式3) T2(λ23)≦0.95・Tmax2
(式4) T3(λ23)≦0.95・Tmax3
上記の例は、以下のように、(式1)〜(式4)に示す条件を満たしている。
(式2) 84.1% ≦ 0.95×99.9% = 94.9%
(式3) 89.1% ≦ 0.95×99.9% = 94.9%
(式4) 94.4% ≦ 0.95×99.9% = 94.9%
(式1)、(式2)に示す条件を満たすことによって、B画素のカラーフィルタ105aの透過領域とG画素のカラーフィルタ105bの透過領域とが重なっている波長領域における透過率を下げることができる。(式3)、(式4)に示す条件を満たすことによって、G画素のカラーフィルタ105bの透過領域とR画素のカラーフィルタ105cの透過領域とが重なっている波長領域における透過率を下げることができる。これにより、色分離特性を改善することができる。ここで、(式1)〜(式4)におけるTmax1〜Tmax4の係数を0.95より高くすると、色分離特性が低下する。
(第2実施形態)
図5を参照しながら本発明の第2実施形態の固体撮像素子200について説明する。第2実施形態の固体撮像素子200は、第1実施形態における3種類の反射部防止膜107a、107b、107cを共通の反射防止膜207によって置き換えた構成を有する。即ち、第2実施形態では、R画素、G画素およびB画素に対して共通(同一)の反射防止膜207が設けられている。反射防止膜207は、シリコン基板101の表面に限定されず、他の位置(例えば、マイクロレンズ106の表面)に配置されてよいし、複数の位置に配置されてもよい。第2実施形態におけるカラーフィルタ105a、105b、105cの分光透過率は、図2に示した分光特性を有しうる。
(式6) T(λ23)≦0.95・Tmax2
上記の例は、(式5)および(式6)に示す条件を満たしている。
(式6) 87.5% ≦ 0.95×96.4% = 91.6%
固体撮像素子200の光電変換部102に入射する光の分光特性は、カラーフィルタ105a、105b、105cの分光透過率と反射防止膜207の分光透過率との掛け算で決まる。図7の実線は、反射防止膜207を用いた固体撮像素子200の光電変換部102に入射する光の分光特性を示している。図4の点線は、比較例として、図10に示す反射防止膜307a、307b、307c用いた固体撮像素子の光電変換部102に入射する光の分光特性を示している。なお、図7において、Bは、B画素のカラーフィルタ105aの分光透過率と反射防止膜207の分光透過率とを掛け算した分光透過率、即ち、B画素の光電変換部102に入射する光の分光特性を示している。図7において、Gは、G画素のカラーフィルタ105bの分光透過率と反射防止膜207の分光透過率とを掛け算した分光透過率、即ち、G画素の光電変換部102に入射する光の分光特性を示している。図7において、Rは、R画素のカラーフィルタ105cの分光透過率と反射防止膜207の分光透過率とを掛け算した分光透過率、即ち、R画素の光電変換部102に入射する光の分光特性を示している。
(その他)
第1および第2実施形態は、R画素、G画素、B画素における色分離特性の向上という観点で説明されているが、任意の2種類のカラーフィルタにおける色分離特性の向上を考えると、次のように表現してもよい。固体撮像素子は、第1種類の画素および第2種類の画素を含む。第1種類の画素は、光電変換部102の上に、第1反射防止膜(例えば、107a)と、第1カラーフィルタ(例えば、105a)とを含む。第2種類の画素は、光電変換部102の上に、第2反射防止膜(例えば、107b)と、第2カラーフィルタ(例えば、105b)とを含む。波長をλとしたときの第1反射防止膜、第2反射防止膜のそれぞれの透過率をT1(λ)、T2(λ)とし、T1(λ)、T2(λ)における最大値をそれぞれTmax1、Tmax2とする。また、第1カラーフィルタ、第2カラーフィルタの透過率が最大となる波長をそれぞれλ1、λ2として、λ1とλ2との中心波長をλ12とする。このとき、固体撮像素子は、Tmax1、Tmax2と、波長λ12における透過率T1(λ12)、T2(λ12)は、(式1’)および(式2’)に示す条件を満たす。
(式2’) T2(λ12)≦0.95・Tmax2
更に、任意の3種類のカラーフィルタにおける色分離特性の向上について考えることができる。固体撮像素子は、第1種類の画素および第2種類の画素の他に第3種類の画素を含む。第3種類の画素は、光電変換部102の上に、第3反射防止膜(例えば、107c)と、第3カラーフィルタ(例えば、105c)とを含む。第3反射防止膜の透過率をT3(λ)とし、T3(λ)における最大値をそれぞれTmax3とし、第3カラーフィルタの透過率が最大となる波長をλ3とし、λ2とλ3との中心波長をλ13とする。このとき、固体撮像素子は、(式1)〜(式4)と同様の以下の(式1’)〜(式4’)に示す条件を満たす。
(式2’) T2(λ12)≦0.95・Tmax2
(式3’) T2(λ23)≦0.95・Tmax2
(式4’) T3(λ23)≦0.95・Tmax3
なお、第2実施形態は、T1(λ)=T2(λ)=T3(λ)が成り立つ場合、例えば、R、G、B画素の反射防止膜が同一(共通)の構造を有する反射防止膜である場合である。
T1(λ)=t11(λ)×t12(λ)×t13(λ)・・・t1N(λ)
として考えることができる。Nは、第1反射防止膜を構成する反射防止膜の数である。
T2(λ)=t21(λ)×t22(λ)×t23(λ)・・・t2N(λ)
として考えることができる。Nは、第2反射防止膜を構成する反射防止膜の数である。
T3(λ)=t31(λ)×t32(λ)×t33(λ)・・・t3N(λ)
として考えることができる。Nは、第3反射防止膜を構成する反射防止膜の数である。
以下、上記の各実施形態に係る固体撮像素子の応用例として、該固体撮像素子が組み込まれたカメラについて例示的に説明する。カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末)も含まれる。カメラは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像素子と、該固体撮像素子から出力される信号を処理する処理部とを含む。該処理部は、例えば、A/D変換器、および、該A/D変換器から出力されるデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。
Claims (9)
- 複数の画素を含む固体撮像素子であって、
前記複数の画素は、第1種類の画素および第2種類の画素を含み、
前記第1種類の画素は、第1反射防止膜と、第1カラーフィルタとを含み、
前記第2種類の画素は、第2反射防止膜と、第2カラーフィルタとを含み、
前記第1カラーフィルタ、前記第2カラーフィルタの透過率が最大となる波長をそれぞれλ1、λ2とし、
λ1とλ2との中心波長をλ12とし、
波長をλとしたときの前記第1反射防止膜、前記第2反射防止膜の透過率をそれぞれT1(λ)、T2(λ)とし、
T1(λ)、T2(λ)における最大値をそれぞれTmax1、Tmax2としたときに、
T1(λ12)≦0.95・Tmax1、および
T2(λ12)≦0.95・Tmax2
を満たすことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜および前記第2反射防止膜は、互いに構造が異なる、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜および前記第2反射防止膜は、同一の構造を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜および前記第2反射防止膜は、それぞれ、複数の反射防止膜を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記複数の画素は、第3種類の画素を更に含み、
前記第3種類の画素は、第3反射防止膜と、第3カラーフィルタとを含み、
前記第3カラーフィルタの透過率が最大となる波長をλ3とし、
λ2とλ3との中心波長をλ23とし、
前記第3反射防止膜の透過率をT3(λ)とし、
T3(λ)における最大値をTmax3としたときに、
T1(λ12)≦0.95・Tmax1、
T2(λ12)≦0.95・Tmax2、
T2(λ23)≦0.95・Tmax2、および
T3(λ23)≦0.95・Tmax3
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜、前記第2反射防止膜および第3反射防止膜は、互いに構造が異なる、
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜、前記第2反射防止膜および第3反射防止膜は、共通の構造を有する、
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像素子。 - 前記第1反射防止膜、前記第2反射防止膜および第3反射防止膜は、それぞれ、複数の反射防止膜を含む、
ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像素子と、
前記固体撮像素子から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
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