JP2005294674A - 多層基板、半導体パッケージおよびモジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品12をコンポジットシート13内部に埋設した後、コンポジットシート13を硬化し、第1の金属箔11a、11bを所望の形状にパターンニングして第1の配線層14a、14bを形成して電子部品12とコンポジットシート13と第1の配線層14a、14bとにより電子部品内蔵層15とし、その後電子部品内蔵層15の上面及び下面に未硬化の絶縁基板16a、16bを第1の配線層14a、14bを介して対向するように配置し、次に絶縁基板16a、16bの電子部品内蔵層15側とは反対側に第2の金属箔17a、17bを形成し、その後未硬化の絶縁基板16a、16bと第2の金属箔17a、17bとを加熱して硬化させ、さらに第2の金属箔17a、17bを所望の形状にパターンニングして第2の配線層18a、18bを形成する。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1、請求項7から請求項14に記載の発明について説明する。図1(a)〜(f)は、本発明の実施の形態1における多層基板の製造方法を示す断面図である。
次に、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2から請求項5に記載の発明について説明する。以下では、上述した構成と同一の構成のものについては同一番号を付し、説明を簡略化する。図2は、本発明の実施の形態2における多層基板に内蔵する電子部品の製造方法を示す断面図である。
次に、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項6に記載の発明について説明する。以下では、上述した構成と同一の構成のものについては同一番号を付し、説明を簡略化する。図3は、本発明の実施の形態3における多層基板に内蔵する電子部品の製造方法を示す断面図である。
以下、本実施の形態4を用いて本発明の特に、請求項15に記載の発明について図4を用いて説明する。図4は本実施の形態4における半導体パッケージの製造方法を示す断面図である。なお、実施の形態1と同一の構成を有するものについては同一の符号を付し、説明を簡略化する。
以下、本実施の形態5を用いて本発明の特に、請求項16に記載の発明について図6、図7を用いて説明する。図6、図7は本実施の形態5におけるモジュールの製造方法を示す断面図である。
12 電子部品
13 コンポジットシート
14a、14b 第1の配線層
15 電子部品内蔵層
16a、16b 絶縁基板
17a、17b 第2の金属箔
18a、18b 第2の配線層
19 多層基板
20 インナービア
21 誘電体
22 電極ペースト
23 抵抗体
24 能動素子
25 インターポーザ
26 半導体パッケージ
27 マザー基板
28 半導体パッケージ
29 モジュール
30 各種電子部品
31 半田ボール
32 半導体ウエハーレベルパッケージ
Claims (16)
- 第1の金属箔の表面の所望の位置に電子部品を設け、次に無機フィラーと熱硬化性樹脂とにより構成したコンポジットシートの上面および/または下面に前記第1の金属箔を前記電子部品がこのコンポジットシート側に向くように配置し、その後前記コンポジットシートを軟化させ、次に前記電子部品を前記コンポジットシート内部に埋設した後このコンポジットシートを硬化し、その後第1の金属箔を所望の形状にパターンニングして第1の配線層を形成してこの第1の配線層と前記電子部品と前記コンポジットシートとを電子部品内蔵層とし、次にこの電子部品内蔵層の上面および/または下面に未硬化の絶縁基板を配置し、その後前記絶縁基板の電子部品内蔵層側とは反対側の面に第2の金属箔を設け、次に未硬化の絶縁基板と前記第2の金属箔とを加熱して硬化させ、その後第2の金属箔を所望の形状にパターンニングして第2の配線層を形成する多層基板の製造方法。
- 電子部品は、第1の金属箔の表面の所望の位置に誘電体層を形成し、次にこの誘電体層の上部に電極ペーストを印刷し、その後前記誘電体層および前記電極ペーストを焼結して形成したコンデンサとした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 電子部品は、第1の金属箔の表面の所望の位置に抵抗体ペーストを印刷し、次にこの抵抗体ペーストを焼結して形成した抵抗素子とした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 電子部品は、第1の金属箔の表面の所望の位置に誘電体層を形成し、次にこの誘電体層の上部に電極ペーストを印刷し、その後前記誘電体層および前記電極ペーストを焼結して形成したコンデンサと、第1の金属箔の表面の所望の位置に抵抗体を印刷し、次にこの抵抗体を焼結して形成した抵抗素子との組み合せとした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 誘電体層を構成する主成分はセラミック粉末とした請求項2に記載の多層基板の製造方法。
- 電子部品内蔵層の一方の面から内蔵した電子部品はコンデンサとし、前記電子部品内蔵層の他方の面から内蔵した電子部品は抵抗素子とした請求項1に記載の多層基板。
- 電子部品内蔵層を境に配線層を介して上下に対向するように配置した少なくとも一方の絶縁基板は、耐熱有機繊維を補強材とし、この補強材に熱硬化性樹脂を含浸したものとした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 電子部品内蔵層を境に配線層を介して上下に対向するように配置した少なくとも一方の絶縁基板は、無機フィラーと熱硬化性樹脂により構成したコンポジットシートとした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 無機フィラーはAl2O3、SiO2、MgO、BN、AlNの少なくとも一つにより形成した請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 熱硬化性樹脂はエポキシ樹脂とした請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- 電子部品内蔵層および絶縁基板はインナービアを有する請求項1に記載の多層基板の製造方法。
- インナービアは電子部品内蔵層および絶縁層に設けた貫通孔に充填した導電性ペーストにより構成した請求項11に記載の多層基板の製造方法。
- 導電性ペーストは熱硬化性樹脂と導電性金属粉末から構成した請求項12に記載の多層基板の製造方法。
- 導電性金属粉末は銅粉と銀との混合体とした請求項13に記載の多層基板の製造方法。
- 第1の金属箔の表面の所望の位置に受動素子を設け、次に無機フィラーと熱硬化性樹脂とにより構成したコンポジットシートの上面および/または下面に前記第1の金属箔を前記受動素子が前記コンポジットシート側に向くように配置し、その後前記コンポジットシートを軟化させ、次に前記受動素子を前記コンポジットシート内部に埋設した後このコンポジットシートを硬化し、その後第1の金属箔を所望の形状にパターンニングして第1の配線層を形成してこの第1の配線層と前記受動素子と前記コンポジットシートとを受動素子内蔵層とし、次にこの受動素子内蔵層の上面および/または下面に未硬化の絶縁基板を配置し、その後前記絶縁基板の受動素子内蔵層側とは反対側の面に第2の金属箔を設け、次に未硬化の絶縁基板と前記第2の金属箔とを加熱して硬化させ、その後第2の金属箔を所望の形状にパターンニングして第2の配線層を形成して多層基板を得た後、この多層基板の最上層に能動素子を実装する半導体パッケージの製造方法。
- 第1の金属箔の表面の所望の位置に受動素子を設け、次に無機フィラーと熱硬化性樹脂とにより構成したコンポジットシートの上面および/または下面に前記第1の金属箔を前記受動素子が前記コンポジットシート側に向くように設け、その後前記コンポジットシートを溶融軟化させ、次に前記受動素子を前記コンポジットシート内部に埋設した後前記コンポジットシートを硬化し、さらに第1の金属箔を所望の形状にパターンニングして第1の配線層を形成してこの第1の配線層と前記受動素子と前記コンポジットシートとを受動素子内蔵層とし、その後この受動素子内蔵層の上面および/または下面に未硬化の絶縁基板を配置し、次に前記絶縁基板の受動素子内蔵層側とは反対側の面に第2の金属箔を設け、その後未硬化の絶縁基板と前記第2の金属箔とを加熱して硬化させ、さらに第2の金属箔を所望の形状にパターンニングして第2の配線層を形成して多層基板を得た後、この多層基板をマザー基板としてその最上層に半導体パッケージを実装したモジュールの製造方法。
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