JP2005291924A - 漏れ検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 漏れ検査システム1において、ワーク6内に流体を充填するレギュレータ2と、レギュレータ2からワーク6に流れる流体の流量を測定する流量センサ10と、流量センサ10をバイパスさせて流体をワーク6へ供給するバイパス配管91と、バイパス配管91に設けられた開閉弁4と、流量センサ10により測定される流量値が予め設定された閾値を越えて、その後閾値を下回ったときに、開閉弁4を閉状態にするコントローラ7とを設ける。そして、コントローラ7により、開閉弁4が閉じられて流量センサ10の出力値が安定したとこるで、流量センサ10からの出力値に基づいてワーク6の漏れ判定を行う。
【選択図】 図1
Description
なお、本明細書における「側面開口部」とは、ボディの側面(言い換えると、入出力ポートが開口していない面)であって基板が装着される面に開口した開口部を意味する。
まず、第1の実施の形態について説明する。そこで、第1の実施の形態に係る漏れ検査システムについて図1を参照しながら説明する。図1は、漏れ検査システム1の概略構成を示す図である。
次に、第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態に係る漏れ検査システムは、基本的な構成を第1の実施の形態に係る漏れ検査システム1とほぼ同じくするが、開閉弁4の代わりに逆止弁をバイパス配管91に設けた点が異なる。また、流量センサにおける積層体の形状も少し異なる。そこで、以下の説明では、第1の実施の形態との相違点を中心に説明し、第1の実施の形態と同様の構成のものについては同符号を付して説明を適宜省略する。
最後に、第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態に係る漏れ検査システムは、基本的な構成を第2の実施の形態に係る漏れ検査システム1Aとほぼ同じくするが、流量センサの構成が異なる。具体的には、本実施の形態では、逆止弁を流量センサに内蔵した点が異なる。そこで、以下の説明では、第2の実施の形態との相違点を中心に説明し、第2の実施の形態と同様の構成のものについては同符号を付して説明を適宜省略する。
2 レギュレータ
3,4,5 開閉弁
6 ワーク
7 コントローラ
10,10A,10B 流量センサ
70 逆止弁
80 連通流路
81 逆止弁
90 メイン配管
91 パイパス配管
92 分岐配管
Claims (5)
- ワークに流体を充填して前記ワークの漏れ検査を行う漏れ検査システムにおいて、
前記ワーク内に流体を充填する充填手段と、
前記充填手段から前記ワークに流れる流体の流量を測定する流量センサと、
前記流量センサをバイパスさせて流体を前記ワークへ供給するバイパス配管と、
前記バイパス配管に設けられた開閉弁と、
前記流量センサにより測定される流量値が予め設定された閾値を越えて、その後前記閾値を下回ったときに、前記開閉弁を閉状態にする開閉弁制御手段と、
前記流量センサからの出力値に基づいて前記ワークの漏れ判定を行う判定手段と、
を有することを特徴とする漏れ検査システム。 - 請求項1に記載する漏れ検査システムにおいて、
前記流量センサは、
流量を計測するための抵抗体と、
前記抵抗体が架設されたセンサ流路と、
エッチング加工された複数の薄板を備え、ボディに形成された側面開口部に配置された積層体と、
前記側面開口部を塞ぐように前記ボディに密着して固定された基板とを有し、
前記基板は、抵抗体を用いた計測原理を行うための電気回路に接続する電気回路用電極を備え、
前記センサ流路は、抵抗体とその抵抗体に接続する抵抗体用電極とが設けられた測定チップを、前記抵抗体用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記基板に実装することにより、前記測定チップあるいは前記基板の少なくとも一方に設けられた溝によって形成され、
前記測定チップは、
流れ方向上流側に設けられた上流温度検出抵抗体と、
流れ方向下流側に設けられた下流温度検出抵抗体と、
前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との間に設けられ、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体とを加熱する発熱抵抗体と、
流体の温度を検出する流体温度検出抵抗体とを備えており、
前記電気回路により、前記発熱抵抗体と前記流体温度検出抵抗体とが一定の温度差になるように制御され、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との温度差に基づき流体の流量が測定されることを特徴とする漏れ検査システム。 - 請求項2に記載する漏れ検査システムにおいて、
前記流量センサは、前記センサ流路を流れる流体の流速が1000m/s以下となるように有効断面積を変更する有効断面積変更手段を備えることを特徴とする漏れ検査システム。 - ワークにエアを充填して前記ワークの漏れ検査を行う漏れ検査システムにおいて、
前記ワーク内にエアを充填する充填手段と、
前記充填手段から前記ワークに流れる流体の流量を測定する流量センサと、
前記流量センサをバイパスさせて流体を前記ワークへ供給するバイパス配管と、
前記バイパス配管に設けられた逆止弁と、
前記流量センサからの出力値に基づいて前記ワークの漏れ判定を行う判定手段と、を有することを特徴とする漏れ検査システム。 - ワークにエアを充填して前記ワークの漏れ検査を行う漏れ検査システムにおいて、
前記ワーク内にエアを充填する充填手段と、
前記充填手段から前記ワークに流れる流体の流量を測定する流量センサと、
前記流量センサからの出力値に基づいて前記ワークの漏れ判定を行う判定手段と、を有し、
前記流量センサは、
流量を計測するための抵抗体が架設されたセンサ流路と、
入口流路と、
出口流路と、
ボディに形成された側面開口部に配置された積層体と、
前記側面開口部を塞ぐように前記ボディに密着して固定された基板とを有し、
前記基板は、抵抗体を用いた計測原理を行うための電気回路に接続する電気回路用電極を備え、
前記積層体は、エッチング加工された複数の薄板を備え、
前記ボディは、
前記入口流路と前記出口流路とを前記センサ流路を介さずに連通させる連通流路と、
その連通流路に設けられた逆止弁とを備え、
前記センサ流路は、抵抗体とその抵抗体に接続する抵抗体用電極とが設けられた測定チップを、前記抵抗体用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記基板に実装することにより、前記測定チップあるいは前記基板の少なくとも一方に設けられた溝によって形成され、
前記測定チップは、
流れ方向上流側に設けられた上流温度検出抵抗体と、
流れ方向下流側に設けられた下流温度検出抵抗体と、
前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との間に設けられ、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体とを加熱する発熱抵抗体と、
流体の温度を検出する流体温度検出抵抗体とを備えており、
前記電気回路により、前記発熱抵抗体と前記流体温度検出抵抗体とが一定の温度差になるように制御され、前記上流温度検出抵抗体と前記下流温度検出抵抗体との温度差に基づき流体の流量が測定されることを特徴することを特徴とする漏れ検査システム。
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