JP2020112465A - 気密性検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物を収容する密封構造の容器2A、2Bと、容器2A、2B内の気体を排気する真空ポンプ6Aと、真空ポンプ6Aで容器2A、2B内から排気する気体に含まれている検出対象物を検知するセンサ8とを備える。真空ポンプ6Aで容器2A、2B内から排気する気体を導入する中継容器5を有する。中継容器5には導入する気体を分ける二股状のノズル10を設ける。ノズル10は大流量の気体を排気する大流量排気部10Aと大流量より少量の小流量の気体を排気する小流量排気部10Bとを有する。センサ8はノズル10の大流量排気部10Aとは対向せずに、ノズル10の小流量排気部10Bと対向して中継容器5の内部に配置した。
【選択図】図2
Description
検査対象物を収容する密封構造の容器と、容器内の気体を排気する真空ポンプと、真空ポンプで容器内から排気する気体に含まれている検出対象物を検知するセンサとを備え、真空ポンプで容器内から排気する気体を導入する中継容器を有し、中継容器には導入する気体を分ける二股状のノズルを設け、ノズルは大流量の気体を排気する大流量排気部と大流量より少量の小流量の気体を排気する小流量排気部とを有し、前記センサはノズルの大流量排気部とは対向せずに、ノズルの小流量排気部と対向して中継容器の内部に配置したことを特徴とする気密性検査装置がそれである。
図1ないし図3において、1は気密性検査装置で、容器2A、2B、真空ポンプ3、センサ4、中継容器5等から構成している。容器2A、2Bは2個あり、直交する二つの面を有する略直方体形状で密封構造とし、内部に検査対象物としてのリチウムイオンキャパシタ(図示せず)を収容している。容器2A、2Bは前面に開閉操作自在に扉2C、2Dを有し、扉2C、2Dを開いてリチウムイオンキャパシタを出し入れ自在にしている。真空ポンプ3は、後述詳記する粗検知に用いる2個の大型の真空ポンプ6A、6Bと、精密検知に用いる8個の小型の真空ポンプ7A、7B、7C、7D、7E、7F、7G、7Hとから構成している。センサ4は、粗検知に用いる1個のセンサ8と、精密検知に用いる8個のセンサ9A、9B、9C、9D、9E、9F、9G、9Hとから構成している。
図1ないし図3の状態で、各容器2A、2Bの扉2C、2Dを開いてリチウムイオンキャパシタを各容器2A、2Bの内部に収容し、扉2C、2Dを閉じる。
8Aはセンサ8に取付けたカバー部材で、センサ8の検知部8Bを覆っている。10Cはノズル10の小流量排気部で、配管としてカバー部材8Aに接続し、検知部8Bと対向している。10Dはノズル10に配設した可変絞り弁で、小流量排気部10Cを流れる気体の流量を調整自在にしている。8Cはカバー部材8Aに形成した排気孔で、カバー部材8A内部と中継室5内部との間を連通する。
3、6A、6B、7A、7B、7C、7D、7E、7F、7G、7H:真空ポンプ
4、8、9A、9B、9C、9D、9E、9F、9G、9H:センサ
5:中継容器
10:ノズル
10A:大流量排気部
10B、10C:小流量排気部
Claims (2)
- 検査対象物を収容する密封構造の容器と、容器内の気体を排気する真空ポンプと、真空ポンプで容器内から排気する気体に含まれている検出対象物を検知するセンサとを備え、真空ポンプで容器内から排気する気体を導入する中継容器を有し、中継容器には導入する気体を分ける二股状のノズルを設け、ノズルは大流量の気体を排気する大流量排気部と大流量より少量の小流量の気体を排気する小流量排気部とを有し、前記センサはノズルの大流量排気部とは対向せずに、ノズルの小流量排気部と対向して中継容器の内部に配置したことを特徴とする気密性検査装置。
- 前記容器は直交する二つの面を有する形状に形成し、直交する二つの面に大気を導入する配管をそれぞれ開口したことを特徴とする請求項1に記載の気密性検査装置。
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JP2019004158A JP7181098B2 (ja) | 2019-01-15 | 2019-01-15 | 気密性検査装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005291924A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ckd Corp | 漏れ検査システム |
JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
JP2017032434A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 株式会社ジェイ・イー・ティ | センサユニット及び気密性検査装置 |
JP2018080965A (ja) * | 2016-11-15 | 2018-05-24 | 藤山 守 | エアリーク検査装置及び方法 |
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