JP2022544885A - 液体封入被験体の気密性試験 - Google Patents

Abstract

【課題】大気圧以下の内圧を有する液体封入被験体に対する漏洩検出方法を提供する。【解決手段】液体１２が封入された被験体１４の気密性試験を行う方法であって、前記被験体は大気圧未満の内圧を有し、前記方法は、前記被験体１４を試験チャンバ１６に挿入するステップと、前記試験チャンバ１６を、前記被験体１４の内圧未満の圧力まで排気するステップと、外部から前記試験チャンバにキャリアガスを送ることなく、前記試験チャンバの壁から脱着されたガス成分および前記被験体におけるリークを介して前記被験体から漏洩する前記液体の部分と共に、残留ガス成分を前記試験チャンバから吸引するステップと、前記被験体から漏洩した前記液体の前記部分と共に吸引された前記残留ガス成分を検出器２８に搬送するステップと、前記被験体１４におけるリークを介して漏洩した前記液体１２の部分を、検出器２８により検出するステップと、を含む方法。【選択図】図１

Description

本発明は、液体封入被験体に対する漏洩検出方法に関する。

産業上の気密性試験のための様々な方法が知られており、これらの方法においては、試験チャンバを排気することにより、試験ガスが封入された被験体に対して、試験チャンバ内で負圧が加えられる。その結果生じる圧力差により、試験ガスは、この被験体に存在し得るリークを介して試験チャンバへと移動し、試験ガスを検出するセンサに送られる。例えば、漏洩試験を行うために、食品用パッケージに試験ガス（ヘリウムなど）を積極的に封入し、その後、食品用パッケージを試験チャンバに挿入する。あるいは、被験体が試験チャンバに挿入されたときに既に当該被験体に含まれているガスを試験ガスとして用いる方法が知られている。この場合、被験体に試験ガスを積極的に封入する必要はない。

このような方法は、例えば、独国特許出願公開第１０２０１４２２４７９９号（特許文献１）に記載されている。被験体がフィルムチャンバに挿入されたときに既に当該被験体に含まれているガスは、空気の成分（例えば、窒素、酸素、または二酸化炭素）であってもよい。さらに、被験体の中に入っている製品の芳香性物質を含む又はこれらの物質を構成するそうしたガス（例えば、コーヒーの場合、コーヒーの芳香性物質など）を、試験ガスとして用いることもできる。他にも、被験体の中に入っている製品（食品など）により発生するそうしたガスを、試験ガスとして用いることもできる。コーヒーの場合、このガスは、数時間のうちにコーヒーパッケージ内で発生するＣＯ_２とすることができる。

一方で、本発明は、被験体の中に試験ガスとして使用されるガスが存在せず、かつ別の試験ガスを積極的に封入すべきではない、または封入することができない液体封入被験体に対する漏洩検出に関する。これには、例えば、電解液が封入されたバッテリ（電解液として炭酸ジメチルが封入されたリチウムイオンバッテリなど）が該当する。

被験体の内部から外部へと流れるガスを検出するという原則に基づく上記の方法においては、多くの場合、漏洩ガスはガス検出器により検出される。本発明においては、被験体の気密性について、真空法を用いて試験が行われる。気密性試験を行うために、被験体が真空チャンバに挿入される。被験体におけるリークを介して真空チャンバに漏洩するガスは、真空システムにより、この真空チャンバから連続的に排出される。漏洩ガスは、真空システムにおいて適切なセンサを用いて選択的に検出される。圧力が十分に低いとき、漏洩ガスは、拡散により又は分子的に、このセンサへと十分な速度で移動する。

被験体の内部から外部へと流れるガスを検出するという原則に基づく上記の方法に対する代替的な方法として、キャリアガスを用いて漏洩ガスをガス検出器へと送る方法が知られている。キャリアガス法は、特に、真空チャンバ内における動作圧力が１ｍｂａｒよりもはるかに高い場合に適用される。このような場合、真空チャンバにおいて検出される漏洩ガスの拡散速度は極めて遅い。こうしたキャリアガス法は、例えば、国際公開第２００５／０５４８０６号（特許文献２）に記載されており、キャリアガス流が、被験体を収容した試験チャンバを通過する。この試験チャンバは、キャリアガスによりフラッシングされる。被験体から漏洩する試験ガスは、キャリアガス流により試験チャンバから運ばれ、試験ガスセンサへと送られる。

冷蔵／空調産業においては、液冷媒が封入された物体（例えば、熱交換器）の気密性を確認することが知られている。このような被験体の特徴としては、被験体の内部の液冷媒は、液相の冷媒とするために負圧下にあるという点である。このような液冷媒が封入された被験体の気密性試験を行うために、嗅気プローブを、この被験体において気密性について試験される領域に沿って通過させる。この嗅気プローブは、リークを介して外気に漏れ出して蒸発する冷媒を吸引し、ガス検出器へと送る。この嗅気プローブは、被験体の環境から空気を吸引し、その際、漏れ出した漏洩ガスを吸着する。この漏洩ガスは、適宜のセンサにより選択的に検出され、吸引された空気成分から区別される。

この嗅気式漏洩検出方法は、被験体の外部環境における大気圧よりも低い内圧（例えば、約５０～５００ｍｂａｒの範囲の内圧）を有する液体封入被験体には適用できない。このような被験体では、漏洩箇所があっても漏洩ガスが外部に漏洩しないからである。例えば、蒸気圧が低く、負圧が存在する液体電解質封入バッテリの場合、リークが存在すると、この被験体の外部環境からこの被験体の内部へと空気が進入する。こうしたリークは、嗅気プローブでは検出できない。

被験体の中に含まれる試験ガスを用いる上記漏洩検出方法は、この被験体の外部環境が排気されたとき、リークの開口またはチャネルに被験体内部の液体が入り込み、試験ガスの漏洩を阻害し、または少なくともこれに顕著な影響を与えるので、利用可能でないか、少なくとも正確ではない。このとき、被験体の外部で検出される試験ガスの量は、被験体におけるリークの存在またはその大きさを表していない。

欧州特許第１５２２８３８号（特許文献３）には、電解液が封入された被験体が、被験体の内部の圧力よりも内圧が低い試験チャンバに入れられる方法が記載されている。キャリアガス法に従って、被験体から漏洩する液体の成分を検出器に供給するために、クリーンエアまたは周囲の空気がキャリアガスとして試験チャンバへと送られる。

独国特許出願公開第１０２０１４２２４７９９号 国際公開第２００５／０５４８０６号 欧州特許第１５２２８３８号

上記の背景技術に対して、本発明の目的は、大気圧以下の内圧を有する液体封入被験体に対する漏洩検出方法を提供することである。

本発明に係る方法は、請求項１の構成により定められる。

よって、液体封入被験体を試験チャンバに挿入する。この液体は、前記被験体の内部に収容されている。前記被験体の内圧は、大気圧以下である。前記被験体を前記試験チャンバに挿入した後、前記被験体の内圧未満かつ大気圧未満の圧力まで、前記試験チャンバを排気する。前記試験チャンバ内に含まれる残留ガス成分は、少なくとも１つの試験チャンバ壁から脱着されたガス成分および前記被験体におけるリークを介して前記試験チャンバに移動する前記液体の任意の部分と共に吸引され、前記試験チャンバにキャリアガスを送らずとも、検出器へと送られる。前記被験体から漏洩する前記液体の部分または粒子は、検出器により選択的に検出される。

本発明において特に重要となるのは、キャリアガスが、前記試験チャンバに接続されたキャリアガス源から供給されて、または前記試験チャンバの環境から取り込まれて、前記試験チャンバに外部から供給されることはないという点である。ここで、前記被験体の表面に沿って通過するガス流は特に存在しない。むしろ、前記被験体から漏洩する前記液体の部分または粒子は、前記残留ガス成分と共に前記試験チャンバから吸引され、前記検出器へと送られる。キャリアガスは不要である。

前記リークを介して漏洩する前記液体の前記部分は、蒸発した状態の分子粒子であってもよい。蒸発は、前記被験体から前記部分が漏洩するときに起こり得る。通常、前記液体は、前記被験体における漏洩性の壁を通過して延びるリークチャネルの出口で蒸発する。前記液体は、室温（約１５℃～２５℃）において５００ｍｂａｒ未満の蒸気圧を有していてもよい。特に、前記被験体は、バッテリ（例えば、リチウムイオンバッテリなど）であってもよく、前記液体は、電解液（例えば、炭酸ジメチルなど）であってもよい。

前記試験チャンバは、剛性の壁を有する剛性の試験チャンバとして構成してもよい。代替的に、前記試験チャンバは、少なくとも１つのフレキシブルな壁領域を備えることを特徴とするフィルムチャンバとして構成してもよく、排気時に、前記壁領域が前記被験体に引き付けられることにより、当該フィルムチャンバの体積を小さくするものであってもよい。さらに、特に、完全にフレキシブルなフィルムからなる壁を有するフィルムチャンバは、被験体に引き付けられた壁が当該被験体を支持するという利点を有し、このことは、フレキシブルな被験体の場合に特に有利である。

前記検出器は、前記液体の検出される前記部分または粒子を選択的に検出することで、前記部分または粒子を他の部分またはガスから区別することができるセンサを備える。漏洩した前記液体の前記部分は、液状であってもよく、この状態で前記検出器へと送られる。前記検出器は、液体を分析し、前記被験体に収容された前記液体を選択的に検出できるものである必要がある。漏洩した前記液体は、例えば、ミスト状またはエアロゾル状で前記検出器へと送られてもよい。

代替的に、前記液体は、前記被験体のリークを介して漏洩するときに蒸発し、前記液体の漏洩した部分が、蒸発した状態（つまり、気相）で前記検出器に送られる構成としてもよい。この場合、前記検出器は、ガス検出器として構成する必要があり、かつ、ガスを分析し、前記被験体内部の気相の前記液体を他のガスから選択的に区別できるものである必要がある。ここで、前記被験体に収容された前記液体が、前記被験体を出るときにのみ、つまり、前記被験体の外部または前記リークの開口またはチャネルにおいてのみ、液相から気相へ変化するという点が極めて重要である。よって、前記液体がリークを介して漏洩し蒸発する場合であっても、前記被験体内部の前記液体は液状であるので、前記被験体の内部には、試験ガスとして使用されるガスは存在しない。

前記液体の検出される前記部分に用いられる前記検出器は、例えば質量分析計などのガス検出器、ガスクロマトグラフ、赤外線吸収検出器、または化学センサもしくは半導体センサを備える検出器とすることができる。

前記試験チャンバにキャリアガスは供給されない。特に、ガスリーク検出に用いられる従来のキャリアガス法で、前記試験チャンバに一定のキャリアガス流が供給されることはない。むしろ、前記被験体のリークを介して前記試験チャンバへと移動する前記液体の部分および粒子を前記検出器に移動させるために、前記試験チャンバ内の残留ガス成分および試験チャンバ壁から脱着したガス成分が用いられる。よって、前記試験チャンバ内部および試験チャンバ壁からのガス成分と、前記被験体に収容された前記液体の部分または粒子との混合物が前記検出器へと送られ、前記検出器により分析されて、前記ガスにより搬送された前記液体の部分が検出される。

好ましくは、前記液体の部分を搬送する前記ガス流は、前記試験チャンバ、または前記試験チャンバと前記試験チャンバを排気する前記真空ポンプとの間の接続ラインにおける圧力限界値に達したときにのみ、前記検出器へと供給される。この圧力限界値は、約２ｍｂａｒから５０ｍｂａｒの範囲とすることができ、好ましくは２０ｍｂａｒ未満である。好ましくはメンブレンポンプである前記真空ポンプは、前記試験チャンバ、および／またはバルブを介して前記真空ポンプと前記試験チャンバとを接続するガスラインに接続することができる。前記試験チャンバの排気開始時には、前記バルブは閉止されている。前記圧力限界値に達すると、前記バルブが開放され、部分流が前記検出器へと移動し、残りの主ガス流が、前記メンブレンポンプによって続けて吸引される。ここで、特に、メンブレンポンプとして構成された真空ポンプが用いられる場合、従来のキャリアガス法とは対照に、リークから漏洩する液体部分を蓄積させる。前記圧力限界値に達すると、それまでに蓄積した前記液体の部分が前記検出器へと送られる。

好ましくは、前記試験チャンバ内の前記被験体は、前記被験体に付着している前記液体の部分を除去するフラッシングガスでフラッシングされる。好ましくは、前記被験体は、実際のリーク検出が行われる前に、つまり、前記試験チャンバの排気前に、フラッシングガスでフラッシングされる。

リークを介して漏洩する前記液体の部分または残留ガスと前記液体の部分との混合物が分析のために前記検出器に送られる前の期間に、前記試験チャンバ内または前記接続ラインに前記液体の部分が蓄積する構成とすることも可能である。

試験用液体を封入した試験用リークを用いて校正を行うことも可能である。前記試験用リークは、前記試験用液体が、既知の寸法を有する試験用リークの壁に形成された細管を介して漏洩する細管リークとして構成することができる。代替的に、前記試験用リークは、当該試験用リークの壁の領域が前記試験用液体に対して既知の浸透特性を有するメンブレンとして構成された浸透液体リークとすることもできる。このような校正を用いることにより、前記液体の検出された部分の量と前記リークのサイズとの間の相関を特定し、記憶・保存することで、実際のリーク検出時に、リークの存在だけでなく、そのサイズも特定することができる。

本発明によれば、特に、リークを介して漏洩する液体の部分が検出されたことに基づき、前記リークのサイズを特定する構成としてもよい。

以下において、図面に言及しつつ、本発明の２つの例示的な実施形態を詳細に説明する。

第１の例示的な実施形態を示すブロック図である。 第２の例示的な実施形態を示すブロック図である。

２つの例示的な実施形態において、液体１２が封入された被験体１４が、試験チャンバ１６内に収容されている。被験体１４は、液体電解質が封入されたバッテリである。本例示的な実施形態では、試験チャンバ１６は、従来的な剛性試験チャンバである。

試験チャンバ１６には真空接続部２２が設けられており、この真空接続部に、試験チャンバ１６の排気に用いることができる真空ポンプ２４が接続されている。このため、真空ポンプ２４は、メンブレンポンプとして構成された少なくとも１つの真空ポンプを備える。試験チャンバ１６と真空ポンプ２４とは、接続ライン２６によりガスを搬送するように互いに接続されており、真空ポンプ２４は、接続ライン２６を介して試験チャンバ１６からガスを引き込むことができる。

真空ポンプ２４と試験チャンバ１６とを接続する接続ライン２６には、液体１２の部分を分析し検出する検出器２８が接続されている。いずれの例示的な実施形態においても、検出器２８は、質量分析計として構成された選択性ガス検出器であり、例えば、この検出器のセンサは、液体１２の分子部分を選択的に検出し、これらの部分を他のガスから区別することができる。検出器２８は、質量分析計２８を排気するための前段真空ポンプ１９と高真空ポンプ１８とを備える質量分析真空システム２０の一部を構成する。

検出器２８は、ガス搬送検出ライン２１を介して、ガスを搬送するように接続ライン２６に接続されている。検出ライン２１には、接続ライン２６から分岐したガス流を絞るスロットル３８と、検出ライン２１を選択的に閉止するバルブＶ２とが設けられている。接続ライン２６内の圧力を測定するために、前記バルブは、圧力センサ１７にガスを搬送するように接続されている。

液体１２の一部分は、被験体１４のリークから漏洩し、試験チャンバ１６へと移動する。液体１２が被験体１４から漏洩した場合、この液体が蒸発し、液体１２の漏洩部分が気体として存在することがある。

検出器２８は、真空チャンバ１６内の圧力よりも低く、かつ接続ライン２６と検出ライン２１との間の接続ポイント４０における圧力よりも低い圧力で、真空システム２０における質量分析計として動作する。しかし、メンブレンポンプ２４を用いて本発明に係る試験チャンバ１６を排気する場合、試験チャンバ１６内において、高真空は生成されない。むしろ、メンブレンポンプ２４は数ミリバールの範囲の圧力を生成する。メンブレンポンプ２４は、依然として試験チャンバ１６内に存在する残留ガス成分を吸引する。さらに、試験チャンバ１６内において約１０ｍｂａｒの範囲の圧力に到達すると、試験チャンバの壁からガス成分が脱着され、これらのガス成分もメンブレンポンプ２４により吸引される。これらのガス成分、つまり、試験チャンバ１６からの残留ガス成分およびその壁から脱着されたガス成分は、リークを介して被験体１４から漏洩して試験チャンバ１６へと移動する液体１２の部分を構成する。液体１２のこれらの部分は、検出器２８へと送られる。

排気後の試験チャンバ１６の真空圧力は数ミリバールである。この圧力では、被験体１４から漏洩し蒸発する液体１２の部分は、まだ活発に拡散しない。検出器２８への液体１２の漏洩部分の搬送は、外部から試験チャンバ１６へと供給されるキャリアガスを用いずとも、ガス成分により加速される。

代替的に、被験体１４から漏洩した液体の部分を検出器２８に送る前に、当該漏洩した液体１２の部分を、試験チャンバ１６内または接続ライン２６内に蓄積させることも可能である。この目的で、接続ポイント４０とメンブレンポンプ２４との間に、図１には図示されていないバルブを設け、試験チャンバ１６内において十分な真空圧力に達したときに、このバルブを閉止して、検出が行われる前に、試験チャンバ１６内に、または試験チャンバ１６と図示されていない前記バルブとの間の接続ライン２６に前記漏洩した液体部分を蓄積させることも可能である。検出を行うために、バルブＶ２を開放することができる。蓄積フェーズの間、バルブＶ２は開放されていてもよいし、閉止されていてもよい。

図２に示された例示的な実施形態は、図１の第１の例示的な実施形態とは、検出ライン２１においてバルブＶ２を備える部分３０について、他のバルブＶ３を備える部分３６が架け渡されて、バルブＶ２，Ｖ３が平行に接続されているという点で相違している。接続ライン２６の部分３２において、接続ライン２６および部分３０の接続ポイント４０と、接続ライン２６および部分３６の接続ポイント４２との間に、バルブＶ１が設けられている。試験チャンバ１６を排気するために、バルブＶ１が開放される。その後、バルブＶ２が閉止される。バルブＶ３についても同様である。バルブＶ２，Ｖ３が閉止され、バルブＶ１が開放されているとき、真空ポンプ２４は試験チャンバ１６のみを排気する。また、第２の例示的な実施形態に係る検出器２８も、独立の真空システムを備える質量分析計である。この質量分析計の入口領域も、真空ポンプ２４を介して排気される。この目的で、前記質量分析計の入口領域を必要な真空圧力まで排気するために、バルブＶ２は閉止されたままに保たれ、バルブＶ１が閉止され、バルブＶ３が開放される。排気後、測定動作のためにバルブＶ１が閉止され、バルブＶ２およびＶ３が開放されることで、測定媒体が、真空ポンプ２４を介して試験チャンバ１６から搬送され、検出器２８へと通過する。

被験体１４にリークが存在する場合、被験体１４に収容されている液体１２の一部分が試験チャンバ１６へと移動する。前記液体は、リチウムイオンバッテリの電解液として用いられる炭酸ジメチルであってもよい。リチウムイオンバッテリにおいては、真空圧力が存在し、この真空圧力は、試験チャンバ１６の排気後の、試験チャンバ１６の内部であって被験体１４の外側の領域における圧力よりも高い。液体電解質はリークを介して被験体１４から漏洩するときに蒸発するので、液体１２の検出される部分は、気相の分子粒子の形態で存在することができる。

液体１２の前記部分は、試験チャンバ１６を通過し、ライン２６，３０，２１を介して検出器２８へと移動し、さらにライン３６を介してポンプ２４へと送られる。このとき、試験チャンバ１６の内部および／または試験チャンバ１６の壁に由来するガス成分と、液体１２の搬送される部分との混合物が生成される。質量分析検出器２８の選択性センサは、液体１２の前記部分を検出し、試験チャンバ１６のガス成分から前記部分を区別することができる。被験体１４におけるリークを介して漏洩した液体１２の前記部分が検出されるということは、被験体にリークが存在するということである。液体１２の検出された前記部分の量は、リークのサイズを示し得る。

さらに、被験体１４のリークを介して漏洩する液体１２の前記部分は、検出が行われる前に、試験チャンバ１６内に蓄積させてもよい。この目的で、蓄積フェーズの間、バルブＶ１，Ｖ３は閉止されている。蓄積フェーズの間、バルブＶ２も閉止してもよい。所定時間経過後、バルブＶ２が開放され、液体１２の蓄積した部分が検出器２８へと送られる。

蓄積フェーズ後、蓄積したガスは、前記ガス成分によっても試験チャンバ１６から検出器２８へと移動させることができる。ここで、排気された試験チャンバ１６に外部からキャリアガスは供給されない。試験チャンバ１６を閉止した状態として、所定時間内に液体１２の一部分が試験チャンバ１６に蓄積するのを待つ。真空ポンプ１８，１９を用いて、検出器２８の圧力を、試験チャンバ１６内の圧力よりも低圧に設定する。バルブＶ２が開放されると、液体１２の蓄積した部分が検出器１８へと搬送され検出される。

スロットル３８のコンダクタンスの値およびバルブＶ２が開放される箇所であるスロットル３８の前方（図面の左側）における圧力の閾値は、スロットル３８を介した質量分析計２８のチャンバ体積へのガス導入が、１０^－４ｍｂａｒを超える圧力増大を生じさせないように選択される。好ましくは、実験室条件下での圧力の閾値は、約５ｍｂａｒである。

質量分析計２８は、液体１２の特徴的成分（電解液成分）の質量的特性についての信号を生成する。この測定信号を閾値と比較し、閾値を超えた場合には、被験体１４にリークが存在すると推定する。測定後、バルブＶ２を閉止し、試験チャンバを通気し、適当な場合には、被験体１４を試験チャンバ１６から取り出す。

本発明に係る方法は、試験チャンバ１６を排気するためにハイグレードの真空ポンプ（高真空ポンプなど）を必要とせず、１０ｍｂａｒ未満の最終圧力に到達できる簡易な真空ポンプ（メンブレンポンプなど）を必要とするに過ぎない。

２つの例示的な実施形態の間において欠くことのできない相違点は、図２の例示的な実施形態では、設定された圧力の閾値に達しない場合に、バルブＶ１が閉止され、バルブＶ２，Ｖ３が開放された後、スロットル３８から質量分析計２８まで移動しなければならない距離が、図１の例示的な実施形態よりも短いという点である。スロットル３８と質量分析計２８との間の領域において、検出ライン２１内の圧力は低く、１０^－４ｍｂａｒ未満であるので、当該領域においてはガスの分子的自由運動条件が存在する。よって、ガスが質量分析計２８まで拡散する時間は、無視できる程度である。

スロットル３８の質量分析計とは反対側において、つまり、図面においてスロットル３８の左側において、ライン２６，３０，３２，３６内の圧力は、例えば５ｍｂａｒである。この場合、粘性流条件が支配的であり、測定ガスはこの距離に沿って残留ガス中で拡散することになるので、時間的遅れにつながる。図１における接続ライン２６と真空ライン２１との接続ポイント４０からスロットル３８までの同拡散距離は、図２におけるライン３０，３６，２１の接続ポイント４４とスロットル３８との間の拡散距離よりも長い。

Claims (15)

1. 液体（１２）が封入された被験体（１４）の気密性試験を行う方法であって、
   前記被験体は大気圧未満の内圧を有し、
   前記方法は、
   前記被験体（１４）を試験チャンバ（１６）に挿入するステップと、
   前記試験チャンバ（１６）を、前記被験体（１４）の内圧未満の圧力まで排気するステップと、
   外部から前記試験チャンバにキャリアガスを送ることなく、前記試験チャンバの壁から脱着されたガス成分および前記被験体におけるリークを介して前記被験体から漏洩する前記液体の部分と共に、残留ガス成分を前記試験チャンバから吸引するステップと、
   前記被験体から漏洩した前記液体の前記部分と共に吸引された前記残留ガス成分を検出器（２８）に搬送するステップと、
   前記被験体（１４）におけるリークを介して漏洩した前記液体（１２）の部分を、検出器（２８）により検出するステップと、
   を含む方法。
2. 請求項１に記載の方法において、前記液体（１２）の搬送される前記部分は、蒸発した状態の分子粒子であることを特徴とする方法。
3. 請求項１または２に記載の方法において、前記液体（１２）は、室温において５００ｍｂａｒ未満の蒸気圧を有することを特徴とする方法。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の方法において、前記被験体（１４）はバッテリであり、前記液体は電解液であることを特徴とする方法。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の方法において、前記試験チャンバ（１６）は、剛性の試験チャンバまたはフィルムチャンバであることを特徴とする方法。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の方法において、前記検出器（２８）は、前記液体の検出される前記部分に用いられる選択性のセンサを備えることを特徴とする方法。
7. 請求項６に記載の方法において、前記検出器（２８）は、例えば質量分析計などのガス検出器、ガスクロマトグラフ、赤外線吸収検出器、または化学センサもしくは半導体センサを備える検出器であることを特徴とする方法。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載の方法において、前記検出器（２８）は、前記試験チャンバ（１６）内の前記圧力よりも低い圧力を有する真空システムで動作することを特徴とする方法。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載の方法において、前記ガス成分および前記液体の検出される前記部分は、前記試験チャンバにおいて所定の圧力限界値に達した場合にのみ、前記検出器（２８）に送られることを特徴とする方法。
10. 請求項９に記載の方法において、前記圧力限界値は、２ｍｂａｒから１００ｍｂａｒの範囲内にあり、好ましくは１０ｍｂａｒ未満であることを特徴とする方法。
11. 請求項９または１０に記載の方法において、前記検出器は、バルブ（Ｖ２）を介して前記試験チャンバ（１６）に接続されており、前記バルブは、前記試験チャンバの排気開始時に閉止され、前記圧力限界値に達したときにのみ開放されることを特徴とする方法。
12. 請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法において、前記被験体（１４）は、前記試験チャンバ（１６）に挿入された後、フラッシングガスでフラッシングされることを特徴とする方法。
13. 請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法において、前記被験体（１４）から漏洩した前記液体（１２）の前記部分は、前記部分が前記検出器（２８）により検出される前の期間に、前記試験チャンバ（１６）または接続ラインに蓄積することを特徴とする方法。
14. 請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法において、前記被験体（１４）が前記試験チャンバ（１６）に挿入される前に、試験用液体を入れた試験用リークを前記試験チャンバに挿入し、前記試験チャンバを排気し、前記試験用リークを介して漏洩する前記液体の部分を前記検出器（２８）により検出することによって、前記試験用リークを用いて前記検出器が校正されることを特徴とする方法。
15. 請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法において、前記被験体が前記試験チャンバ（１６）に挿入されるときに既に前記被験体（１４）に含まれているガスであって、漏洩検出のための試験ガスとして用いられるガスは存在しないことを特徴とする方法。

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