JP2005286017A - 半導体発光素子 - Google Patents
半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005286017A JP2005286017A JP2004096321A JP2004096321A JP2005286017A JP 2005286017 A JP2005286017 A JP 2005286017A JP 2004096321 A JP2004096321 A JP 2004096321A JP 2004096321 A JP2004096321 A JP 2004096321A JP 2005286017 A JP2005286017 A JP 2005286017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- elo
- semiconductor light
- light emitting
- gap substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 106
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 15
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 238000006748 scratching Methods 0.000 claims description 19
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 claims description 19
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 SiN Chemical class 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0066—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02392—Phosphides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02463—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/02543—Phosphides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/02546—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02625—Liquid deposition using melted materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02628—Liquid deposition using solutions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02639—Preparation of substrate for selective deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02639—Preparation of substrate for selective deposition
- H01L21/02642—Mask materials other than SiO2 or SiN
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02647—Lateral overgrowth
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
【解決手段】 GaP基板1と、GaP基板1の上方に位置し、n型AlInGaP層とp型AlInGaP層とを含む活性層4と、GaP基板1と活性層4との間に位置し、エピタキシャル横方向成長により形成されたELO層3とを備える。
【選択図】 図1
Description
(a1)直接遷移により可視〜赤外光域の光を出射するGaAs、AlGaAsなどの化合物半導体の格子定数と、GaPのそれとは4%弱の違いがある。このため、これら発光用化合物半導体の良好なエピタキシャル膜をGaP基板上に形成することはできない。
(a2)GaP基板上にAlGaInPなどの化合物半導体層をそのまま形成したのでは、良好なエピタキシャル層は得られないので、GaP基板上に格子歪緩和層を設ける。格子歪緩和層としては、GaPとAlGaInPとの中間の格子定数になるようにInGaPの組成を調整し、段階的にAlGaInP層に近づける。このため、組成が異なる複数層のInGaPを格子歪緩和層として配置したものを用いる(特許文献2)。このような格子歪緩和層を配置することによって、透明なGaP基板を作製の最初から用い、高効率の発光素子を得ることができる。
図1は本発明の実施の形態1における半導体発光素子を示す図である。この半導体発光素子10は、GaP基板1の上にSiO2からなる成長支持層2が配置され、成長支持層に設けられた窓部(開口部)2aを埋め込みながら、成長支持層2の上にELO層3が配置されている。このELO層3は、その断面などを観察することによりエピタキシャル横方向成長したことを容易に確認することができる。
図5は、本発明の実施の形態2における半導体発光素子を示す図である。この半導体発光素子10では、GaP基板1の表面に引き掻きトレンチ11が設けられ、そこを成長開始部3aとするGaAsからなるELO層3がGaP基板上に配置されている。GaP基板1の表面1bと、ELO層3の下面3bとの間には所定の結晶方位関係(コヒーレンシィ)はない。成長開始部3aではLPE法によりGaAs液相が配置され、エピタキシャル成長され、エピタキシャル横方向成長の際にはほとんどフリーな状態でエピタキシャル成長すると考えられる。
(1) 絶縁性素材:SiN、TiO2、P2O3、Al2O3などの金属酸化物または窒化物
(2) 導電性素材:Ti,Fe,Pt,Niなどの金属、さらに特殊な金属としてCo,W,Ta,Moなどの高融点金属(高温での成長にも対応可能)
(3) 誘電多層体:MgO2/SiO2多層膜,ZrO2/SiO2多層膜など
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3は、窓部パターン形状を工夫することにより初期成長したELO膜の部分を発光部とする点に特徴がある。本実施の形態では、まず図6に示すように窓部2aを設ける。図6に示すパターンの窓部を用いて横方向エピタキシャル成長を行なうと、図7に示すように窓部2aで囲まれた小さな四角形の領域において全面成長が生じ、ELO膜3が形成される。このELO膜3の領域を発光デバイスの主要な領域として利用することができる。
本発明の実施例1では、LPE法によりELO層を形成する方法について説明する。本実施の形態では半導体基板としてGaP基板を用いた。まず(111)B面を主成長面とするGaP基板1上にMBE法によりGaAsバッファ層12を厚さ0.1〜1μm成長させた。そのGaAsバッファ層12の上に、厚さ0.1〜0.5μmのSiO2膜の成長支持層3をスパッタ法により形成した。そのSiO2膜にフォトリソグラフィの方法を用いて、SiO2膜が除去された部分である窓部2aを設けた。本実施の形態では、窓部を[-101]方向と平行な幅20μmの直線形状にて形成した(図11)。
溶液S1を入れたボート52をスライド台51上をスライドさせて、GaP基板1に溶液S1を接触させる。この接触の際に炉内温度を500℃まで昇温する。基板1に溶液S1を接触したあと少しずつ温度を低下させると、窓部からの横方向成長が起る。490℃で溶液S1を基板から分離する。
本発明の実施例2では2種類の溶液を用いてELO層を形成する点に特徴がある。本実施の形態では、成長支持層に窓部を設ける段階までは実施の形態3と同じプロセスで行なった。溶液は次の通りである。
溶液S2:Ga中にGaAsおよび両性不純物としてSiを溶解させたもの
図12に示すボート52に上記溶液は収納されている。溶液溜めを搭載したボート52はスライド台51の上を基板1上までスライドして、基板1に溶液を接触させることができる。スライド台51、ボート52および基板1は昇下温を精度よく行なうことができる温度制御炉内に収納されている。
本発明の実施例3では、溶液S1としてGa中にGaAsおよびAlを、またn型不純物としてSiを溶解させたものを用いた。このような溶液を用いて、GaP基板の窓部からELO層を形成した。このELO層はGaAsで形成されたpn接合からの発光波長に対して透明である。この結果、実施例2に比較してさらに出力を上げることができた。
本発明の実施例4では、溶液S2、溶液S3および溶液S4を用い、GaAs、Al、不純物を選び発光層やクラッド層のバンドギャップを調整した。このような、エピタキシャル半導体層の組成の調整により、発光層のバンドギャップを変化させることができた。この結果、発光波長および出力の調整をすることが可能となった。
本発明の実施例5ではELO層の上に、LPE法と異なるエピタキシャル成長方法、たとえばMOCVD法などを用いてpn接合(発光部)を形成する。この結果、結晶性を最も向上させることができるエピタキシャル膜を得ることができた。この結果、発光効率をさらに向上させることが可能となった。
本発明の実施例6では、実施例1においてGaAsバッファ層の成長を省略し、GaP基板上に直接SiO2膜を形成した。そのSiO2膜に窓部を形成してLPE法によりELO膜を成長させた。溶液S1のGa中へのGaP基板の基板温度が500℃以下であれば、GaPの溶解はほとんどなく、GaAsバッファ層を設けた場合と同様のELO層を得ることができた。GaAsバッファ層を省略できる理由は、500℃以下では、Gaへの溶解度は、GaAsに比べてGaPが格段に低いためである。本実施例により、GaAsバッファ層を形成する工程を省略することが可能であることを確認することができた。
本発明の実施例7では、上記実施例6において、成長支持層のSiO2膜を形成することなく、GaP基板上にダイヤモンドペンを用いて、微小な傷(引き掻きトレンチ)を設け、その引き掻きトレンチを含む位置にGaAsの溶液S1を接触させてその引き掻きトレンチを成長開始位置としてELO層を形成した。溶液S1をGaP基板に接触させ、冷却速度をさらに0.05℃/分まで小さくしてELO層の成長を行なったところ。上記の引き掻きトレンチの部分からELO成長が生じ、他の引き掻きトレンチのない部分ではエピタキシャル成長が起らなかった。
本発明の実施例8では、GaP基板の主面を(111)B面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を特定の結晶方位にした点に特徴がある。引き掻きトレンチまたは窓部を3辺の方向がそれぞれ[10-1]、[1-10]および[0-11]と平行な正三角形およびその集合体とした(図14参照)。このような引き掻きトレンチまたは窓部を用いることにより、三角形の引き掻きトレンチまたは窓部の内部およびその周辺のみに選択的なELO層を得ることができた。この方位は横方向成長が最も生じにくい方位なのでとくに成長の選択性が高い。
本発明の実施例9では、GaP基板の主面を(111)B面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を実施例8と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向の3辺をそれぞれ[-211]、[11-2]および[1-21]と、平行な正三角形およびその集合体とした(図15参照)。この上に上記実施例1および8と同様に溶液S1を接触させてELO層を成長させた。この結果、正三角形の引き掻きトレンチまたは窓部の内部およびその周辺のみに選択的にELO層を得ることができた。
本発明の実施例10では、GaP基板の主面を(100)面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8および9と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向をそれぞれ[001]、[0-10]、[00-1]および[010]のように、平行な辺を持つ四角形およびその集合体とした(図16参照)。この上に溶液S1を接触させてELO層を形成した。その結果、四角形の引き掻きトレンチの内部およびその周辺のみに選択的なELO層を得ることができた。この方位は横方向成長が最も生じにくい方位なのでとくに成長の選択性が高い。
本発明の実施例11では、GaP基板の主面を(100)面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8〜10と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を4辺の方向がそれぞれ[001]、[0-10]、[00-1]および[010]と22.5°をなす四角形およびその集合体とした(図17参照)。この上に溶液S1を接触させてELO層を形成した。その結果、四角形に配置した引き掻きトレンチまたは窓部の内部およびその周辺のみに選択的なELO層を得ることができた。
本発明の実施例12では、GaP基板の主面を(111)B面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8〜11と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、図20に示すように、GaP基板を[10-1]、[1-10]および[0-11]のいずれかに平行な2辺を持つ長方形とし、引き掻きトレンチまたは窓部を上記2辺に沿った端およびそれを繋ぐ1本の直線上に形成した。
本発明の実施例13では、GaP基板の主面を(111)B面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8〜12と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、GaP基板を[-211]、[11-2]および[1-21]のいずれかに平行な2辺を持つ長方形とし、引き掻きトレンチまたは窓部を上記2辺に沿った端およびそれを繋ぐ1本の直線上に形成した。
本発明の実施例14では、GaP基板の主面を(100)面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8〜13と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、GaP基板を[021]、[012]、[0-21]および[0-12]のいずれかに平行な2辺を持つ長方形とし、引き掻きトレンチまたは窓部を上記2辺に沿った端およびそれを繋ぐ1本の直線上に形成した。
本発明の実施例15では、GaP基板の主面を(100)面とし、引き掻きトレンチまたは窓部の長手方向を上記実施例8〜14と異なる特定の結晶方位とした点に特徴がある。本実施例では、GaP基板を[001]、[0-10]、[00-1]および[010]のいずれかに平行な2辺を持つ長方形とし、引き掻きトレンチまたは窓部を上記2辺に沿った端およびそれを繋ぐ1本の直線上に形成した。
Claims (11)
- GaP基板と、
前記GaP基板の上方に位置し、化合物半導体のn型層とp型層とを含む活性層と、
前記GaP基板と前記活性層との間に位置し、エピタキシャル横方向成長(ELO:Epitaxial Lateral Overgrowth)により形成されたELO層とを備える、半導体発光素子。 - 前記ELO層の下に接して位置する成長支持層を備え、前記ELO層は、前記成長支持層に開けられた窓部を埋め込みその成長支持層の上に接して横方向に成長している、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記GaP基板の上に化合物半導体のバッファ層を有し、前記成長支持層はそのバッファ層の上に接して位置し、前記ELO層はそのバッファ層に接するように前記窓部を埋め込み、前記成長支持層の上に接して成長している、請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記成長支持層は、前記GaP基板に接して位置し、前記ELO層はその基板に接するように前記窓部を埋め込み、前記成長支持層の上に接して成長している、請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記GaP基板は引き掻きトレンチを設けられ、前記ELO層は、前記GaP基板に設けられた引き掻きトレンチを埋め込み、そのGaP基板の上に接して横方向に成長している、請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記窓部または引き掻きトレンチは、所定の間隔を挟むようにその両側に直線状および/または破線状に配置され、そのパターンが平面的に見て周期的である、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 平面的に見て、前記ELO層は前記窓部に取り囲まれるように位置し、その窓部に取り囲まれた前記ELO層を取り囲むように電極が配置されている、請求項1〜6のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 平面的に見て、前記ELO層は前記窓部に取り囲まれ、かつ前記成長支持層の部分領域を取り囲むように位置し、電極がそのELO層に取り囲まれた部分領域上に位置する、請求項1〜6のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記ELO層は、InGaAsP層、InGaAs層、GaAs層、AlGaAs層、AlInGaP層、InGaP層およびGaAsP層のうちのいずれかである、請求項1〜8のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記ELO層が液相エピタキシャル成長法を用いて形成されている、請求項1〜9のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記成長支持層が、絶縁体、導電体および誘電多層体のいずれかである、請求項1〜10のいずれかに記載の半導体発光素子。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096321A JP2005286017A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 半導体発光素子 |
CNB2005800100189A CN100570909C (zh) | 2004-03-29 | 2005-03-24 | 半导体发光器件 |
US10/594,742 US20070187696A1 (en) | 2004-03-29 | 2005-03-24 | Semiconductor light emitting device |
PCT/JP2005/005379 WO2005093861A1 (ja) | 2004-03-29 | 2005-03-24 | 半導体発光素子 |
KR1020067021080A KR20070029685A (ko) | 2004-03-29 | 2005-03-24 | 반도체 발광 소자 |
DE112005000714T DE112005000714T5 (de) | 2004-03-29 | 2005-03-24 | Lichtemissionshalbleitervorrichtung |
TW094109790A TW200539484A (en) | 2004-03-29 | 2005-03-29 | Semiconductor light emitting element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096321A JP2005286017A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005286017A true JP2005286017A (ja) | 2005-10-13 |
JP2005286017A5 JP2005286017A5 (ja) | 2007-02-08 |
Family
ID=35056494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096321A Pending JP2005286017A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 半導体発光素子 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070187696A1 (ja) |
JP (1) | JP2005286017A (ja) |
KR (1) | KR20070029685A (ja) |
CN (1) | CN100570909C (ja) |
DE (1) | DE112005000714T5 (ja) |
TW (1) | TW200539484A (ja) |
WO (1) | WO2005093861A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100978572B1 (ko) | 2008-11-17 | 2010-08-27 | 삼성엘이디 주식회사 | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조 방법 |
JP5586371B2 (ja) * | 2009-09-15 | 2014-09-10 | 昭和電工株式会社 | 発光ダイオード、発光ダイオードランプ及び照明装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5217564A (en) * | 1980-04-10 | 1993-06-08 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of producing sheets of crystalline material and devices made therefrom |
JPH06105797B2 (ja) * | 1989-10-19 | 1994-12-21 | 昭和電工株式会社 | 半導体基板及びその製造方法 |
US5376580A (en) | 1993-03-19 | 1994-12-27 | Hewlett-Packard Company | Wafer bonding of light emitting diode layers |
JP3297173B2 (ja) * | 1993-11-02 | 2002-07-02 | 三菱電機株式会社 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
US5751013A (en) * | 1994-07-21 | 1998-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device and production method thereof |
JP4005701B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2007-11-14 | シャープ株式会社 | 窒素化合物半導体膜の形成方法および窒素化合物半導体素子 |
US6335546B1 (en) * | 1998-07-31 | 2002-01-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor structure, method for producing a nitride semiconductor structure, and light emitting device |
JP4040192B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2008-01-30 | ソニー株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
US20010042503A1 (en) * | 1999-02-10 | 2001-11-22 | Lo Yu-Hwa | Method for design of epitaxial layer and substrate structures for high-quality epitaxial growth on lattice-mismatched substrates |
JP2001177145A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 半導体発光素子およびその製造方法 |
JP2001291895A (ja) | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
JP2002246279A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-30 | Canon Inc | 半導体基板及びその作製法並びに半導体デバイス |
US6649942B2 (en) * | 2001-05-23 | 2003-11-18 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Nitride-based semiconductor light-emitting device |
JP2004014943A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Sony Corp | マルチビーム型半導体レーザ、半導体発光素子および半導体装置 |
US7176115B2 (en) * | 2003-03-20 | 2007-02-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing Group III nitride substrate and semiconductor device |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004096321A patent/JP2005286017A/ja active Pending
-
2005
- 2005-03-24 WO PCT/JP2005/005379 patent/WO2005093861A1/ja active Application Filing
- 2005-03-24 KR KR1020067021080A patent/KR20070029685A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-03-24 DE DE112005000714T patent/DE112005000714T5/de not_active Withdrawn
- 2005-03-24 US US10/594,742 patent/US20070187696A1/en not_active Abandoned
- 2005-03-24 CN CNB2005800100189A patent/CN100570909C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-29 TW TW094109790A patent/TW200539484A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005093861A1 (ja) | 2005-10-06 |
CN100570909C (zh) | 2009-12-16 |
TW200539484A (en) | 2005-12-01 |
DE112005000714T5 (de) | 2008-08-21 |
US20070187696A1 (en) | 2007-08-16 |
KR20070029685A (ko) | 2007-03-14 |
CN1938871A (zh) | 2007-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1957447B (zh) | Ⅲ族氮化物半导体晶体及其制造方法、ⅲ族氮化物半导体器件及其制造方法以及发光器件 | |
US6635901B2 (en) | Semiconductor device including an InGaAIN layer | |
CN101379627B (zh) | 发光元件 | |
CN111095483B (zh) | 利用切割技术移除衬底的方法 | |
JP2015154074A (ja) | 基板材料の使用を改良したガリウムおよび窒素を含有するレーザ装置を製造する方法 | |
US20080296626A1 (en) | Nitride substrates, thin films, heterostructures and devices for enhanced performance, and methods of making the same | |
JP2003218390A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US9873170B2 (en) | Method of manufacturing light emitting element | |
CN103872201A (zh) | 磊晶晶圆、制造磊晶晶圆的方法和分离基板的方法 | |
US20210242086A1 (en) | Method of removing semiconducting layers from a semiconducting substrate | |
JPH07273367A (ja) | 半導体基板の製造方法および発光素子の製造方法 | |
CN103094444B (zh) | 半导体发光二极管结构 | |
JP2005072562A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP4015865B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6881261B2 (en) | Method for fabricating semiconductor device | |
CN1333501C (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
JP2007158100A (ja) | 窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP5346171B2 (ja) | ZnO系半導体装置の製造方法及びZnO系半導体装置 | |
US9112101B2 (en) | Light-emitting device manufacturing method | |
JP2004083319A (ja) | 二硼化物単結晶基板、それを用いた半導体レーザダイオード及び半導体装置並びにそれらの製造方法 | |
JP2005286017A (ja) | 半導体発光素子 | |
JPWO2013054917A1 (ja) | 半導体素子及びその製造方法 | |
CN107735870B (zh) | 发光组件以及发光组件的制造方法 | |
JP2006186257A (ja) | 半導体発光素子の製造方法、集積型半導体発光装置の製造方法、画像表示装置の製造方法および照明装置の製造方法 | |
JP2012174802A (ja) | 窒化物半導体の積層構造およびその製造方法並びに窒化物半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061215 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091225 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100223 |