JP2005276877A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板102と、シリコン基板102の素子形成面に設けられたMOSトランジスタに備わるゲート電極110と、少なくとも一部がシリコン基板102の内部に設けられており、ゲート電極110の延在部位のシリコン基板102側の領域と接続する導電部材と、を備え、ゲート電極110のシリコン基板102側の領域は、多結晶シリコン、非晶質シリコン、微結晶シリコン、単結晶シリコン、WおよびTiNからなる群から選択される一以上の材料により構成されている半導体装置を提供する。
【選択図】図3
Description
図1は、第一の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
図4は、第二の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
Claims (6)
- 基板と、
前記基板の素子形成面に設けられた半導体素子に備わる電極と、
少なくとも一部が前記基板の内部に設けられており、前記電極の延在部位の前記基板側の領域と接続する導電部材と、
を備え、
前記電極の前記基板側の領域は、多結晶シリコン、非晶質シリコン、微結晶シリコン、単結晶シリコン、WおよびTiNからなる群から選択される一以上の材料により構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記電極は、トランジスタのゲート電極と同じ材料から構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 基板と、
前記基板の素子形成面に設けられた半導体素子に備わる電極と、
少なくとも一部が前記基板の内部に設けられており、前記電極の延在部位の前記基板側の領域と接続する導電部材と、
を備え、
前記電極の前記基板側の領域は、シリサイドにより構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記電極は、トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一部と同じ材料から構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の半導体装置において、
前記基板は、半導体基板またはガラス基板であることを特徴とする半導体装置。 - 基板の一方の面上に、電極を備える半導体素子を形成する工程と、
前記基板の他方の面から前記電極の延在部位の前記基板側の領域に達する孔部を前記基板の内部に形成する工程と、
前記孔部の内部に、前記電極の延在部位の前記基板側の表面に一端で接続し、他端が基板の他方の面に露出する導電部材を形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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