JP2005274865A - 焼成用感光性ペースト組成物及びそれを用いた焼成物パターン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (A)リン原子を含むガラス、(B)カルボキシル基及び/又はヒドロキシル基を有する樹脂、(C)光重合性モノマー、及び(D)光重合開始剤を含有する組成物であり、さらに、(E−1)金属、(E−2)金属酸化物、(E−3)リン原子を含まないガラスからなる群から選ばれた少なくとも1種の(E)無機粒子を含有しても良い。
【選択図】 なし
Description
また、フォトリソグラフィー法では、現像に有機溶剤を用いる場合、環境への汚染防止のための処理設備が必要であり製造コストを嵩むという欠点がある。さらに、人体に悪影響を及ぼすなどの問題がある。
これに対し、従来、アクリル系ポリマーと光硬化性モノマーを組み合わせた有機成分にカルボキシル基を導入したアルカリ現像型焼成用感光性ペースト(例えば、特許文献1参照)や、樹脂骨格中にヒドロキシル基等の極性官能基を導入した水現像型焼成用感光性ペースト(例えば、特許文献2参照)が、提案されている。
また、本発明の焼成用感光性ペースト組成物を用いることにより、低コスト、高精密化が要求されるセラミック多層基板やPDPが歩留まり良く製造でき、結果的に低コスト化が可能となり、その工業的価値は高いものがある。
即ち、従来の焼成用感光性ペーストに対して、リン原子を含むガラス(A)を用いることにより、ガラス界面に存在するリン原子により、ペーストのゲル化が抑制され、保存安定性に優れたものとなる。
また、上記組成物に、さらに、(E−1)金属、(E−2)金属酸化物、(E−3)リン原子を含まないガラスからなる群から選ばれた少なくとも1種の(E)無機粒子を含有することを特徴とする組成物においても、前記リン原子を含むガラス(A)単独をイオン交換水に分散した時の分散液が酸性を示すことにより、保存安定性に優れたものとなる。
まず、前記リン原子を含むガラス(A)としては、ガラス構成体中にリン原子を含むガラスであれば、公知慣用のものが使用できる。即ち、リン化合物(例えば、P2O5など)を必須成分とし、Si、B、Al、Bi、Geなどの13〜16族の元素をガラス構成体の主成分元素としたガラスを使用することができる。例えば、Al2O3 15〜35wt%、SiO2 40〜55wt%、P2O5 15〜40wt%、B2O3 3〜10wt%含むガラスなどが挙げられるが、これ以外の組成でも、リン原子含んでガラスを形成することができる組成であれば、全て使用できる。このような非晶質なリン原子を含むガラス(A)は、一般的に、低屈折率で焼成時に溶融するので、バインダーとしての効果もある。
これらリン原子を含むガラス(A)としては、イオン交換水に単独で分散した時の分散液が酸性を示すことが好ましく、具体的には、水素イオン濃度が、10−7以上となるガラスであることが好ましい。前記水素イオン濃度が10−7より低い場合、即ちアルカリ性の場合、リン原子を含むガラス(A)と、後述の金属(E−1)やリン原子を含まないガラス(E−3)と併用した焼成用感光性ペースト組成物において、組成物が塩基性に偏り、ペーストの保存安定性が低下するので好ましくない。
尚、本発明における水素イオン濃度とは、リン原子を含むガラス(A)を室温にて、測定に足る十分量のイオン交換水に分散させ、また水に溶解し難いリン原子を含むガラス(A)においては、加温、加圧等の前処理を行いガラス構成体の成分を十分にイオン交換水中に遊離させた後、pH測定装置で分散水のpHを測定し、その値より以下の方法により算出した値をいう。
pH=−Log10[水素イオン濃度]
水素イオン濃度=10−pH
また、厚膜多層回路用途に使用される場合、基材がセラミック体であり、高温で焼成するため使用するリン原子を含むガラス(A)の屈服点は、500℃〜1300℃の範囲にあることが望ましい。この範囲外では、上記したように基板製造工程においてガラスが溶融しなかったり、逆にガラスが過溶融したりして電極等の形成が困難となる。しかし、後述の無機粒子(E)を含み、その屈服点が、500〜1300℃の範囲にある場合は、前記リン原子を含むガラス(A)の屈服点が、この範囲外でも使用できる。
さらにリン原子を含むガラス(A)の屈折率は、1.3〜2.5の範囲内であることが好ましく、1.3より低いとガラス体の形成が困難であり、2.5を越えると有機成分との屈折率の差が大きくなり、高精度のパターン形成が困難になる。
尚、本明細書中において、屈服点とは荷重軟化点とも言い、例えば、熱機械測定装置(TMA)で荷重を架け、熱膨張率を測定した時、ガラス転移点より高くなると、自重又は荷重により変形し、収縮を開始する点である。
また、上記リン原子を含むガラス(A)の粒径としては、平均粒径が0.01〜30μm、より好ましくは0.1〜10μmが好適に用いられる。平均粒径が30μmを超えると、高精度のパターン形成時に表面凹凸が生じるため好ましくなく、平均粒径が0.01μm未満では、粘度やチキソトロピクス性が高くなりすぎ、スクリーン印刷等での塗膜形成が困難となる上、製造コストが高くなるため好ましくない。
例えばアルカリ現像型の焼成用感光性ペーストに用いられる樹脂であれば、アクリル酸、メタクリル酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、クロトン酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などカルボキシル基含有モノマーと、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロール(モノ)アクリレート、グリセロール(モノ)メタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート等のモノマーと共重合したカルボキシル基含有共重合樹脂や、ポリビニルアルコールやセルロースなどに飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させたカルボキシル基含有樹脂などが挙げられる。これらの中で、特にアクリル酸又はメタクリル酸を必須成分とするカルボキシル基含有共重合樹脂が、安定性、製造の容易性の面から好ましい。
前記カルボキシル基含有共重合樹脂の酸価は、50〜250mgKOH/gの範囲にあることが好ましく、酸価が50mgKOH/g未満ではアルカリ水溶液での現像が困難となり、一方、250mgKOH/gを超えた場合、硬化塗膜特性や分散性に劣り、焼成時の熱分解性が低下する。
また、前記カルボキシル基含有共重合樹脂の重量平均分子量は、2,000〜200,000、好ましくは10,000〜100,000である。前記範囲重量平均分子量が2,000未満の場合、基板への密着性が低下するとともに、塩基性無機粉末の保持性が低下し良好な焼成用感光性ペーストが得られないので好ましくない。一方、重量平均分子量が200,000を超えた場合、樹脂の溶解性が低下し、ペースト化が困難になり、また樹脂の熱分解・焼成性が低下するので好ましくない。
さらに、前記カルボキシル基含有共重合樹脂骨格中に、エチレン性不飽和二重結合を導入し、感光性樹脂にすることにより、光架橋密度が一層向上し、高アスペクト比かつ高精度のパターン形成性に優れたものとなる。具体的には、前記カルボキシル基含有樹脂に、オキシラン環とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、例えば、グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどを部分的に付加した樹脂などが挙げられる。
このようなセルロース誘導体及びポリビニルアルコール誘導体(A)の重量平均分子量としては、10,000〜100,000であることが好ましい。重量平均分子量が、10,000未満の場合、塗膜が脆くなり、乾燥後に剥がれを発生しやすくなるので好ましくない。一方、重量平均分子量が、100,000を超えた場合、粘性が高くなり、ペースト化が困難になり、また現像速度が低下するので好ましくない。
さらに、上記ポリビニルアルコール樹脂骨格中に、エチレン性不飽和二重結合を導入し、感光性樹脂にすることにより、光架橋密度が一層向上し、高アスペクト比かつ高精度のパターン形成性に優れたものとなる。具体的には、前記ポリビニルアルコール樹脂の水酸基に、水酸基と反し得る官能基とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、例えば、N−メチロールアクリルアミドや(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートなどを部分的に反応させた樹脂などが挙げられる。
これらは、単独又は2種類以上を混合して用いても良い。これら光重合性モノマー(C)の配合量としては、組成物全体量の2〜40質量%であり、好ましくは5〜20質量%である。前記配合量が組成物全体量の2質量%未満の場合、感光基が不足し、耐現像性が得られ難くなるので好ましくない。一方、前記配合量が40質量%を超えた場合、乾燥塗膜表面のベタツキが強く、搬送時に塗膜が張り付いたり、ゴミ等が付着しやすくなるので好ましくない。
これらは、単独で又は2種類以上組み合わせて用いることができる。これらの光重合開始剤(D)の配合割合は、組成物全体量の0.2〜10質量%であり、好ましくは0.5〜5質量%である。前記配合量が組成物全体量の0.2質量%未満の場合、光硬化性が低下し、露光・現像後のパターン形成が困難になるので好ましくない。一方、10質量%を超えた場合、光ラジカル重合開始剤自体の光吸収により、厚膜硬化性が低下し、またコスト高の原因となるので好ましくない。
さらに、前記のような光重合開始剤(D)と共に、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ安息香酸−2−エチルヘキシル、4−ジメチルアミノ安息香酸−2−イソアミル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類のような光増感剤を単独であるいは2種以上組み合わせて用いることができる。
さらにまた、可視領域でラジカル重合を開始するチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュア784等のチタノセン系光重合開始剤、ロイコ染料等を硬化助剤として組み合わせて用いることができる。
例えば前記金属(E−1)としては、金、白金、銀、パラジウム、銅、ニッケル、等の単体金属及び/又は金属元素2種以上の合金などが使用できる。また、前記金属酸化物(E−2)としては、酸化ルテニウム、酸化銀、酸化銅、酸化コバルト、酸化ニッケル等の単独の金属酸化物及び/又は金属元素2種以上からなる複合酸化物などが使用できる。さらに、前記リン原子を含まないガラス(E−3)としては、Si、B、Al、Bi、Ge、等の13〜16族の元素をガラス構成体の主成分とした一般的なガラスを使用できる。これら無機粒子(E)は、その使用用途に応じて本発明の焼成用感光性ペースト組成物に任意に導入可能である。
また、厚膜多層回路用途に使用される場合、基材がセラミック体であり、高温で焼成するため使用するガラスの屈服点は、500℃〜1300℃の範囲にあることが望ましい。この範囲外では上記したように基板製造工程においてガラスが溶融しなかったり、逆にガラスが過溶融したりして電極等の形成が困難となる。
さらにリン原子を含まないガラス(E−3)の屈折率は、前記リン原子を含むガラス(A)の屈折率と同様に、1.3〜2.5の範囲内であることが好ましく、1.3より低いとガラス体の形成が困難であり、2.5を越えると有機成分との相対屈折率の差が大きくなり、高精度のパターン形成が困難になる。
前記有機溶剤の具体例としては、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ベンゼン、トルエン、キシレン等の脂肪族又は芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、ベンジルアルコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン等のアルコール類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;2−メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、4−メトキシブチルアセテート、2−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−エチル−3−メトキシブチルアセテート、2−エトキシブチルアセテート、4−エトキシブチルアセテート、4−プロポキシブチルアセテート、2−メトキシペンチルアセテート、3−メトキシペンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセテート、2−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−4−メトキシペンチルアセテート、4−メチル−4−メトキシペンチルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、メチルアセテート、エチルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、メチルプロピオネート、エチルプロピオネート、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、メチルブチレート、エチルブチレート、プロピルブチレート等のエステル系溶剤などが挙げられるが、これに限定されるものではない。これらは、単独又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これら有機溶剤の配合量は、特に限定されるものでは無いが、組成物全体量の20質量%未満が好ましい。有機溶剤の配合量が、20質量%を超えた場合、粘度が低くなり、印刷性が低下したり、保存中に無機粉末の沈降速度が速くなるので好ましくない。
更に、本発明に用いられる前記リン原子を含むガラス(A)は、前述のように水に微量溶解することから、上記有機溶剤以外に、水を加えることにより、本発明の課題である長期保存安定性を向上することができる。
これらの配合量は、本発明の焼成用焼成用感光性ペースト組成物の焼成性や焼成物の強度に問題を与えない範囲であれば、特に限定されるものでは無いが、一般的に5質量%未満である。
まず、基板上にスクリーン印刷等で塗布・乾燥し、乾燥塗膜を得る。得られた焼成用感光性ペースト組成物層に紫外線、エキシマレーザー、X線、電子線などの活性エネルギー線を、マスクを介して照射しパターン露光する。次いで、アルカリ現像型の場合、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、メタノールアミン等のアルカリ性を有する現像液を用いて現像を施し、また、水現像型の場合、水等の現像液を用いて現像処理を施し、未照射部を溶解除去して基板上にパターンを形成する。その後、必要に応じて焼成する。またはマスクなしで焼成用感光性ペースト組成物層を全面露光し現像処理することなくパターンを形成し、それを必要に応じて焼成する方法等が挙げられる。前記基板としては、ガラス基板、該ガラス基板上にバス電極等の電極を設けた基板、セラミック基板などが挙げられる。
〈合成例〉
この樹脂溶液を冷却後、触媒として臭化テトラブチルアンモニウム1gを用い、95〜105℃で30時間の条件で、ブチルグリシジルエーテル104gを付加反応させ、冷却した。
さらに得られた樹脂のOH基に対して、95〜105℃で8時間の条件で、無水ヘキサヒドロフタル酸80gを付加反応させ、冷却後取り出して、固形分58%、重量平均分子量35,000、酸価78mgKOH/gのBワニスを得た。
〈実施例1〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像可能な感光性ペースト組成物を得た。
カルボキシル基を有するアクリル樹脂
(固形酸価:93.8mgKOH/g、不揮発分:57.4%、
重量平均分子量:15,000) 87部
(固形酸価:97.1mgKOH/g、不揮発分:41.3%、
重量平均分子量:47,000) 120部
光重合性モノマー
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート) 45部
染料
(有機染料) 5部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(シリコーン系消泡剤) 2部
溶剤
(ジプロピレングリコールモノメチルエーテル) 20部
リン原子を含むガラス
(SiO2 45±3%、B2O3 5±2%、P2O5 24±3%、
Al2O3 26±3%、平均粒径3μm、屈折率1.6、
水素イオン濃度=10−3) 60部
イオン交換水 12部
リン原子を含まないガラス粒子
(Bi2O3 74.5%、SiO2 10%、Al2O3 10%、
B2O3 5.5%、平均粒径1μm、屈折率2.1、
水素イオン濃度=5.0×10−8) 570部
〈実施例2〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像可能な感光性ペースト組成物を得た。
カルボキシル基を有する樹脂
(合成例のBワニス) 162部
光重合性モノマー
(グリセリンジメタクリレートヘキサメチレン
ジイソシアネートウレタンプレポリマー) 60部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(レベリング剤) 5部
溶剤
(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート) 27部
リン原子を含むガラス
(SiO2 45±3%、B2O3 5±2%、P2O5 24±3%、
Al2O3 26±3%、平均粒径3μm、屈折率1.6、
水素イオン濃度=10−3) 18部
イオン交換水 3部
リン原子を含まないガラス
(Bi2O3 50%、B2O3 16%、SiO2 2%、
ZnO 14%、BaO 18%、平均粒径1.6μm、
屈折率1.33、水素イオン濃度=2.5×10−9) 47部
銀粉 670部
〈比較例1〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型導電性ペーストを得た。このようにして得られたアルカリ現像型感光性ペースト組成物は、印刷時、適正な粘度となるように、適正な溶剤で粘度調整して使用した。
カルボキシル基を有するアクリル樹脂
(固形酸価:93.8mgKOH/g、不揮発分:57.4%、
重量平均分子量:15,000) 87部
(固形酸価:97.1mgKOH/g、不揮発分:41.3%、
重量平均分子量:47,000) 120部
光重合性モノマー
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート) 45部
染料
(有機染料) 5部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(シリコーン系消泡剤) 2部
溶剤
(ジプロピレングリコールモノメチルエーテル) 20部
リン酸エステルモノマー
(2−メタクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート) 7.5部
リン原子を含まないガラス
(Bi2O3 74.5%、SiO2 10%、Al2O3 10%、
B2O3 5.5%、平均粒径1μm、屈折率2.1、
水素イオン濃度=5.0×10−8) 570部
〈比較例2〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型導電性ペーストを得た。このようにして得られたアルカリ現像型感光性ペースト組成物は、印刷時、適正な粘度となるように、適正な溶剤で粘度調整して使用した。
カルボキシル基を有するアクリル樹脂
(固形酸価:93.8mgKOH/g、不揮発分:57.4%、
重量平均分子量:15,000) 87部
(固形酸価:97.1mgKOH/g、不揮発分:41.3%、
重量平均分子量:47,000) 120部
光重合性モノマー
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート) 45部
染料
(有機染料) 5部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(シリコーン系消泡剤) 2部
溶剤
(ジプロピレングリコールモノメチルエーテル) 20部
リン原子を含まないガラス
(Bi2O3 74.5%、SiO2 10%、Al2O3 10%、
B2O3 5.5%、平均粒径1μm、屈折率2.1、
水素イオン濃度=5.0×10−8) 570部
〈比較例3〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型導電性ペーストを得た。このようにして得られたアルカリ現像型感光性ペースト組成物は、印刷時、適正な粘度となるように、適正な溶剤で粘度調整して使用した。
カルボキシル基を有する樹脂
(合成例のBワニス) 162部
光重合性モノマー
(グリセリンジメタクリレートヘキサメチレン
ジイソシアネートウレタンプレポリマー) 60部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(レベリング剤) 5部
溶剤
(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート) 27部
リン酸エステルモノマー
(2−メタクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート) 6部
リン原子を含まないガラス
(Bi2O3 50%、B2O3 16%、SiO2 2%、
ZnO 14%、BaO 18%、平均粒径1.6μm、
屈折率1.33、水素イオン濃度=2.5×10−9) 47部
銀粉 670部
〈比較例4〉
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型導電性ペーストを得た。このようにして得られたアルカリ現像型感光性ペースト組成物は、印刷時、適正な粘度となるように、適正な溶剤で粘度調整して使用した。
カルボキシル基を有する樹脂
(合成例のBワニス) 162部
光重合性モノマー
(グリセリンジメタクリレートヘキサメチレン
ジイソシアネートウレタンプレポリマー) 60部
光重合開始剤
(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン) 10部
(2,4−ジエチルチオキサントン) 3部
その他添加剤
(レベリング剤) 5部
溶剤
(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート) 27部
リン原子を含まないガラス
(Bi2O3 50%、B2O3 16%、SiO2 2%、
ZnO 14%、BaO 18%、平均粒径1.6μm、
屈折率1.33、水素イオン濃度=2.5×10−9) 47部
銀粉 670部
実施例1、2及び比較例1〜4の感光性ペースト組成物を、容器に密閉・遮光し、槽内温度40℃の恒温槽中に、40日間で保管した。保管開始から経時で粘度測定((株)トキメック製、VISCOMETER TV−30)を行い、それぞれの粘度変化の比較を行った。
表記方法は、実施例1、2及び比較例1〜4の感光性ペースト組成物を前記方法で作製後粘度測定を行い初期粘度とする。その後経時で粘度を測定し、以下の方法で算出しこれを表記した。そのとき初期粘度は1.00で表記する。また、感光性ペースト組成物の有機成分と無機成分が経時で馴染み、粘度が低下した場合は1.00とみなす。
増粘率=経時の粘度測定値(dPa・s)/初期粘度(dPa・s)
実施例1、2及び比較例1〜4の感光性ペースト組成物を、スクリーン印刷法でソーダライムガラス上に塗布し、熱風循環式乾燥炉中で90℃15分間乾燥させた。この操作を合計2回繰り返し、乾燥後膜厚をおよそ30μmにした。
上記操作により得られた、評価基板を得られた乾燥塗膜を、マスク線幅が10μm間隔の10μm〜100μm試験パターンマスクを介して、超高圧水銀灯により300mJ/cm2から500mJ/cm2の照射量で紫外線露光した。続いて、露光済みの感光性ペースト組成物を液温30℃の0.4質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて0.2MPaの噴射圧でそれぞれに最適な時間スプレー現像を行い、パターン形成した。次いで得られた評価基板を、熱風循環式焼成炉中、550℃〜600℃で焼成し、最終的に不要な有機成分を除去し、評価基板を完成させた。
解像性評価
上記のようにしてパターンを形成した各評価基板の最小ライン残存性とスペースの抜け性を評価した。評価結果は、最小ライン残像幅(μm)/抜け性に問題の無い最小スペースの幅(μm)を示した。
実施例2及び比較例3の感光性銀ペースト組成物を、TG−DTA(セイコーインスルメンツ(株)製、TG/DTA6200)により室温から毎分10℃で昇温させ600℃で10分間保持させた時の重量減少曲線挙動の観察を行った。これにより、有機成分がペースト組成物中から消失するまでの挙動を評価した。
実施例2のTG−DTA曲線を図1に示し、比較例3のTG−DTA曲線を図2に示した。
図1、2から明らかなように、リン原子を含むガラス(A)を用いた実施例2のTG−DTA曲線から、約450℃付近で重量減少が無くなっているのに対して、リン酸エステルを使用した比較例3のTG−DTA曲線では、500℃を超えるまで、重量減少が続いている。
Claims (5)
- (A)リン原子を含むガラス、(B)カルボキシル基及び/又はヒドロキシル基を有する樹脂、(C)光重合性モノマー、及び(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする焼成用感光性ペースト組成物。
- さらに、(E−1)金属、(E−2)金属酸化物、(E−3)リン原子を含まないガラスからなる群から選ばれた少なくとも1種の(E)無機粒子を含有することを特徴とする請求項1に記載の焼成用感光性ペースト組成物。
- 前記リン原子を含むガラス(A)単独をイオン交換水に分散した時の分散液が酸性を示すことを特徴とする請求項2に記載の焼成用感光性ペースト組成物。
- 前記リン原子を含むガラス(A)と前記無機粒子(E)の焼成用感光性ペースト組成物中に占める割合は、合計で40〜85質量%であり、かつリン原子を含むガラス(A)と無機粒子(E)の質量組成比(A):(E)が、0.01〜100:99.99〜0であることを特徴とする請求項2又は3に記載の焼成用感光性ペースト組成物。
- 前記請求項1乃至4のいずれか一項の焼成用感光性ペーストを、基板上に塗布・乾燥し、活性エネルギー線照射後、現像して得られたパターンを焼成して得られる焼成物パターン。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007122024A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Toray Ind Inc | 感光性組成物 |
WO2008149798A1 (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Jsr Corporation | 無機粉体含有樹脂組成物、パターン形成方法およびフラットパネルディスプレイ用電極の製造方法 |
US8241418B2 (en) | 2006-02-27 | 2012-08-14 | Toray Industries, Inc. | Producing method of powder particles by using grinding medium |
CN103135352A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 太阳油墨制造株式会社 | 导电性树脂组合物以及导电电路 |
JP2013137511A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 導電性樹脂組成物及び導電回路 |
WO2016132814A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 綜研化学株式会社 | 焼成ペースト用樹脂組成物および焼成ペースト |
JP2019215446A (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 東レ株式会社 | 感光性ペースト、それを用いた硬化膜、焼成体および電子部品とその製造方法 |
-
2004
- 2004-03-24 JP JP2004086601A patent/JP4323994B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007122024A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-05-17 | Toray Ind Inc | 感光性組成物 |
US8747545B2 (en) | 2006-02-27 | 2014-06-10 | Toray Industries, Inc. | Producing method of powder particles by using grinding medium |
US8241418B2 (en) | 2006-02-27 | 2012-08-14 | Toray Industries, Inc. | Producing method of powder particles by using grinding medium |
TWI393587B (zh) * | 2006-02-27 | 2013-04-21 | Toray Industries | 使用粉碎介質的粉末粒子之製法 |
JP5309562B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2013-10-09 | 東レ株式会社 | 粉末粒子の製造方法、粉末粒子、組成物およびこれを用いるフィールドエミッションディスプレイ部材の製造方法 |
JP2008297409A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Jsr Corp | 無機粉体含有樹脂組成物、パターン形成方法およびフラットパネルディスプレイ用電極の製造方法 |
WO2008149798A1 (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Jsr Corporation | 無機粉体含有樹脂組成物、パターン形成方法およびフラットパネルディスプレイ用電極の製造方法 |
KR101451479B1 (ko) * | 2011-11-29 | 2014-10-15 | 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 | 도전성 수지 조성물 및 도전 회로 |
JP2013137511A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 導電性樹脂組成物及び導電回路 |
CN103135352A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 太阳油墨制造株式会社 | 导电性树脂组合物以及导电电路 |
TWI499650B (zh) * | 2011-11-29 | 2015-09-11 | Taiyo Ink Mfg Co Ltd | Conductive resin composition and conductive circuit |
CN105182687A (zh) * | 2011-11-29 | 2015-12-23 | 太阳油墨制造株式会社 | 非焙烧用导电性树脂组合物以及导电电路 |
WO2016132814A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 綜研化学株式会社 | 焼成ペースト用樹脂組成物および焼成ペースト |
JPWO2016132814A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2017-11-30 | 綜研化学株式会社 | 焼成ペースト用樹脂組成物および焼成ペースト |
JP2019215446A (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 東レ株式会社 | 感光性ペースト、それを用いた硬化膜、焼成体および電子部品とその製造方法 |
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