JP2005270835A - 微粒子構造体、その前駆体組成物、その製造方法、およびその用途 - Google Patents

微粒子構造体、その前駆体組成物、その製造方法、およびその用途 Download PDF

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昌彦 廣
Kenzo Susa
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Abstract

【課題】光照射時及び光未照射時のいずれにおいても常温で活性な微粒子構造体、その前駆体、その製造方法、およびそれを含む機能製品を提供することを目的としている。
【解決手段】金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシド、界面活性剤、アルコール、および水を含む微粒子構造体の前駆体組成物を30℃以上120℃以下の温度で4時間以上保持して得られた沈殿物を乾燥した後、これを100℃〜800℃で熱処理することで本発明の微粒子構造体を得る。
【選択図】図2

Description

本発明は、微粒子構造体、その前駆体組成物、その製造方法、およびその用途に関する。より詳細には、ナノサイズの微粒子からなる微粒子構造体であって、酸化触媒、環境浄化材、抗菌材、防汚塗料、水素発生装置、半導体用低誘電率材料、化学電池、半導体用絶縁膜、金属埋め込み層のCMP(化学機械研磨)研磨剤、光導波路用光学材料、反射防止膜、軽量高硬度材料、各種機能材料などに適用できる微粒子構造体、その前駆体組成物、その製造方法、およびその用途に関する。
従来、亜鉛、チタン、スズなどの金属酸化物は光半導体としての特性を持っていることが知られている。これは光照射により酸化還元反応を触媒したり、光電子を発生するという特性である。なかでも酸化チタンは400nm以下の紫外領域に吸収を持ち、生じた正孔は強い酸化力を有する一方、生じた電子も酸化力の強いヒドロキシラジカルを生成するため、吸着した有機分子を酸化分解するものである。近年、高活性な酸化チタン光触媒が開発され、防臭、抗菌、防汚などのセルフクリーニング効果や超撥水効果を発現する材料が種々提案されている。また、酸化チタンに可視光吸収を持つ色素を吸着させて可視光照射により電荷を発生させ、電流を取り出す光電変換システムも開発されている。
また、これらの金属と複合酸化物を作りやすいセリウムは、高温での酸化力が強く、自動車の排気ガス中の窒素酸化物を分解することなどに用いられている。
しかしながら、酸化チタンの酸化力を生じさせるためには紫外光を照射しなければならず、設置個所に限定があるなどの問題点があった。また、酸化セリウムを含む系では、常温では酸化活性が低いため、自動車排気ガスの浄化などに適用する際には高温での処理が必要となるなどの問題点があった。
本発明は、光照射時及び光未照射時のいずれにおいても常温で活性な微粒子構造体、その前駆体、その製造方法、およびそれを含む機能製品を提供することを目的としている。
すなわち、本発明は、下記(1)〜(19)をその特徴とするものである。
(1)平均粒径が1nm〜30nmの微粒子からなる微粒子構造体であって、0.2Mヨウ化カリウム(KI)水溶液10mlに50g添加したときに、光照射の有無に関わらず室温(23℃)で0.10mM以上のI を生じさせることを特徴とする、微粒子構造体。
(2)前記微粒子が無機材料または無機・有機複合材料であることを特徴とする、上記(1)に記載の微粒子構造体。
(3)前記微粒子が酸化セリウム、ならびに無機材料または無機・有機複合材料であることを特徴とする、上記(1)に記載の微粒子構造体。
(4)前記微粒子が酸化セリウム、ならびに酸化チタンまたは酸化ジルコニウムであることを特徴とする、上記(1)に記載の微粒子構造体。
(5)前記酸化セリウム成分の3価と4価のセリウムの存在比Ce3+/Ce4+の値が、0.25から0.75であることを特徴とする、上記(3)または(4)に記載の微粒子構造体。
(6)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体の前駆体組成物であって、金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシド、界面活性剤、アルコール、および水を含むことを特徴とする、微粒子構造体の前駆体組成物。
(7)前記金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシド、チタンアルコキシド、およびジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上であることを特徴とする、上記(6)に記載の前駆体組成物。
(8)前記アルキル金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むアルキルセリウムアルコキシド、アルキルチタンアルコキシド、およびアルキルジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上であることを特徴とする、上記(6)に記載の前駆体組成物。
(9)前記金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシドおよび/またはアルキルセリウムアルコキシドと、他の1種以上の金属アルコキシドまたはアルキル金属アルコキシドとを含有することを特徴とする、上記(6)に記載の前駆体組成物。
(10)前記界面活性剤が有機塩基、有機酸、またはポリプロピレンオキサイドを骨格にもち、両端にポリエチレンオキサイドをもったトリブロック共重合体であることを特徴とする、上記(6)〜(9)のいずれか1項に記載の前駆体組成物。
(11)さらに、金属塩を含むことを特徴とする、上記(6)〜(10)のいずれか1項に記載の前駆体組成物。
(12)前記金属塩が、3価または4価のセリウム金属塩、チタン金属塩、およびジルコニウム金属塩からなる群より選択される1種以上であることを特徴とする、上記(11)に記載の前駆体組成物。
(13)前記金属塩が、3価または4価のセリウム金属塩であることを特徴とする、上記(11)に記載の前駆体組成物。
(14)上記(6)〜(13)のいずれか1項に記載の微粒子構造体の前駆体組成物を30℃以上120℃以下の温度で4時間以上保持して得られた沈殿物を乾燥した後、これを100℃〜800℃で熱処理することを特徴とする、微粒子構造体の製造方法。
(15)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体または上記(14)に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する分解触媒。
(16)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体または上記(14)に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有するセルフクリーニング材。
(17)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体または上記(14)に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する防汚塗料。
(18)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体または上記(14)に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する水素発生装置。
(19)上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の微粒子構造体または上記(14)に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有するNOx分解装置。
本発明によれば、サブミクロン以下の複合酸化物微粒子から成り、光照射の有無によらず常温で触媒活性を示す微粒子構造体を提供することが可能となり、その結果、当該微粒子構造体を含む酸化触媒、セルフクリーニング材、防汚塗料、水素発生触媒、NOx分解触媒は、光照射時および光非照射時のいずれにおいても常温で優れた特性を示す。
本願発明の微粒子構造体は、ナノメータサイズの微粒子からなる微粒子構造体であって、0.2Mヨウ化カリウム(KI)水溶液10mlに50g添加したときに、光照射の有無に関わらず室温(23℃)で0.10mM以上のI を生じさせることをその特徴とするものである。
上記微粒子(一次粒子)としては、特に限定されないが、無機材料または有機・無機複合材料であることが好ましい。無機材料または有機・無機複合材料の無機成分としては、例えば、セリウム、チタン、ランタン、ジルコニウム、カリウム、亜鉛、スズ、タンタル、ハフニウム、鉄、インジウム、ルテニウム、ニオブ、タングステン、ゲルマニウム、ケイ素などの酸化物を挙げることができる。中でも、酸化セリウムあるいは有機基含有酸化セリウムと酸化チタンあるいは有機基含有酸化チタンとの複合混合物、または、酸化セリウムあるいは有機基含有酸化セリウムと酸化ジルコニウムあるいは有機基含有酸化ジルコニウムとの複合混合物が好ましい。酸化セリウムあるいは有機基含有酸化セリウムの酸化セリウム成分と他の無機成分の比(モル比)は98:2から20:80の間が好ましく、95:5から50:50の間がより好ましい。例えば、酸化セリウム/酸化チタン複合系では、酸化セリウム成分が多過ぎても少な過ぎても、常温で光を照射しない状態での触媒活性が低下する傾向がある。また、酸化セリウム成分は本発明の微粒子構造体中、3価と4価のセリウムが共存していることが好ましく、さらに、その存在比(Ce3+/Ce4+)が0.25から0.75の範囲であることがより好ましく、0.30から0.60の範囲であることが特に好ましい。3価成分が多すぎると結晶が不安定になり、少なすぎると室温での触媒活性が低下する傾向がある。なお、3価と4価のセリウムの存在比はXPS(X線光電子分光法)により算出することができる。
また、本発明の微粒子構造体は結晶性によらない点が特徴である。微粒子構造体を構成する微粒子の最適平均粒径は、用途にもよるが、半導体用低誘電率材料、半導体用絶縁膜、金属埋め込み層のCMP(化学機械研磨)研磨剤、光導波路用低屈折率材料、軽量高硬度材料、各種機能材料などの用途には、1nm〜100nmの範囲であることが好ましく、1nm〜30nmの範囲であることがより好ましく、1nm〜20nmの範囲であることが特に好ましい。100nmを超えて大きいと、可視領域の光散乱が顕著になり、光透過材料用途で不具合が生じる。なお、微粒子の粒子径は、透過型電子顕微鏡により測定することができる。
また、本発明の微粒子構造体は、0.2Mヨウ化カリウム(KI)水溶液10mlにこれを50g添加したときに、光照射の有無に関わらず室温(23℃)で0.10mM以上のI を生じさせることを可能にするものである。このI は以下の反応経路により発生するものであり、本発明の微粒子構造体が高い触媒活性を示すほどI の生成が促進されることになる。
KI→K+I
2I→I+2e
+I→I
本発明の微粒子構造体は、微粒子構造体の前駆体組成物を30℃以上120℃以下の温度で4時間以上保持して得られた沈殿物を乾燥した後、当該乾燥物を100℃〜800℃で熱処理することで得ることができる。また、このような前駆体組成物を経ずに、微粒子を直接酸化することにより得ることもできる。
上記微粒子構造体の前駆体組成物は、金属アルコキシド、アルキル金属アルコキシド、金属アセチルアセトネート、金属カルボキシレート等の金属有機化合物、界面活性剤、アルコールおよび水を必須成分として含む。
上記金属有機化合物の金属成分は、本発明の微粒子構造体を成す微粒子の金属成分となるものであり、特に限定されないが、例えば、セリウム、チタン、ランタン、ジルコニア、カリウム、亜鉛、スズ、タンタル、ハフニウム、鉄、インジウム、ルテニウム、ニオブ、タングステン、ゲルマニウム、ケイ素などが挙げられ、好ましくは、3価または4価のセリウム、チタン、またはジルコニウムである。上記金属有機化合物は、好ましくは、金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシドであり、より好ましくは、金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシド、チタンアルコキシド、およびジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上であり、アルキル金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むアルキルセリウムアルコキシド、アルキルチタンアルコキシド、およびアルキルジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上である。特に好ましくは、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシドおよび/またはアルキルセリウムアルコキシドと、他の1種以上の金属アルコキシドまたはアルキル金属アルコキシドである。また、金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシドのアルキル基やアルコキシ基としては、炭素数1〜25の有機基であることが好ましく、炭素数1〜6のメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基であることがより好ましい。これらは同一でも異なっていてもよい。より具体的には、上記金属含有化合物は、例えば、トリイソプロポキシセリウム、テトライソプロポキシチタン、ペンタエトキシタンタル、ペンタエトキシニオブ、トリイソブトキシランタン、テトラブトキシジルコニウム、テトライソプロポキシスズ、ジエトキシ亜鉛、テトラエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
また、上記前駆体組成物には、上記金属の硝酸塩、塩化物、オキシ塩化物等の金属塩をさらに添加してもよく、好ましくは、3価または4価のセリウム金属塩、チタン金属塩、およびジルコニウム金属塩からなる群より選択される1種以上であり、より好ましくは、3価または4価のセリウム金属塩である。
上記界面活性剤は、本発明の微粒子構造体を製造する場合、金属成分が凝集し、核が連続化して所望の微粒子構造体が得られにくくなることを防止するために添加されるものである。添加する界面活性剤としては、製造しようとする微粒子構造体により適宜決定されるべきものであり、特に限定されないが、例えば、アルキルアンモニウム塩などの陽イオン性界面活性剤やポリマータイプの非イオン性界面活性剤を好ましく用いることができる。具体的には、陽イオン性界面活性剤としては、塩酸ラウリルアミンや塩酸ステアリルアミンなどが好ましい。ポリマータイプの非イオン性界面活性剤としては、有機塩基、有機酸、またはポリプロピレンオキサイド(PPO)を骨格にもち両端にポリエチレンオキサイド(PEO)をもったトリブロック共重合体からなる非イオン性界面活性剤を用いることが好ましい。
また、微粒子の平均粒径は、界面活性剤種とミセル内の溶液の量によって制御することができる。ミセル表面部に形成される膜厚は添加する反応物の量や共重合体の分子量によって制御することができる。ブロック共重合体を用いた場合には、水に対してアルコールが優先的に蒸発する条件、例えば、水の沸点以下で、アルコールの沸点以上で乾燥させることが好ましい。
上記アルコールとしては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどが挙げられ、これらを単独であるいは2種以上の混合アルコールとして用いることができる。
また、本発明の前駆体組成物には、水による加水分解反応を促進する目的で酸または塩基を添加してもよい。酸としては、酢酸、りんご酸、こはく酸等の有機酸、塩酸、硝酸等の鉱酸等、公知のものを使用することができる。塩基としては、特に限定されないが、例えば、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、ジエタノールアミン等のアミン類や水酸化ナトリウム、炭酸カルシウムなど、公知のものを使用することができる。酸や塩基の添加量や濃度は、特に限定されないが、添加後の前駆体組成物のpHが2〜6の範囲に調製されていることが好ましい。
また、本発明では、上記前駆体組成物を30℃以上120℃以下の温度で4時間以上保持するが、保持温度は40〜100℃であることがより好ましく、保持時間は12〜96時間であることがより好ましい。
また、上記保持後に得られる沈殿物を乾燥する方法としては、特に限定されないが、自然乾燥、真空乾燥、熱風乾燥、凍結乾燥などにより行うことができ、好ましくは、凍結乾燥である。
また、乾燥物の熱処理は、100℃〜800℃の範囲で公知の方法により行われるが、より好ましくは250〜700℃であり、特に好ましくは350〜600℃である。また、熱処理する時間は、1〜48時間であることが好ましく、2〜24時間であることがより好ましい。
本発明の微粒子構造体を用いた酸化触媒、セルフクリーニング材、水素発生触媒、脱臭材、NOx分解触媒などは、その表面に当該構造体が存在している必要がある。このためには、上記前駆体組成物を基材に塗布し、熱処理して基材上に固定化しても良いし、微粒子構造体をバインダ−に分散させた液を基材に塗布した後にバインダを除去しても良い。あるいは成形時に微粒子構造体または前駆体を予め混合しておいても良い。
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
<微粒子構造体の製造>
下記表1に示す割合のトリイソプロポキシセリウムおよび/またはテトライソプロポキシチタン合計1モルに対して、イソプロパノール2kg、アセチルアセトン1モルを添加して、これに、界面活性剤として塩酸ラウリルアミンを水500ccに対し50gの割合で混合した後に1N塩酸によりpH4に調製した水溶液を、上記金属アルコシキド4に対し1のモル比で添加し、微粒子構造体前駆体組成物を調製した。この前駆体組成物を40℃で数時間撹拌した後、80℃で1週間保持した。その後、遠心沈降させた沈殿物をイソプロパノールで洗浄した後、77K、0.07Paで24時間凍結乾燥し、これを空気中で400℃、4時間焼成し、実施例1〜4および比較例1の微粒子構造体を得た。
図1には各実施例の微粒子構造体のXRD測定結果を示す。各実施例の微粒子構造体は酸化セリウム単独の、もしくは2種の酸化物が原子レベルで混合して複合化した結晶構造を作っているが、酸化セリウムに特徴的な立方晶のピークを示す。
図2には各実施例の微粒子構造体のTEM像及び電子線回折像を示す。径3〜10nmの微粒子が凝集して50〜100nm程度のクラスタを形成している様子が観察された。電子線回折像はやはり酸化セリウム単独、もしくは2種の酸化物が原子レベルで混合して複合化した構造を作っているが、酸化セリウムの混合割合が高い場合には、酸化セリウムに特徴的な立方晶のピークが優位であった。
図3には実施例2の微粒子構造体のXPS(X線光電子分光)パターンを示す。Ceに由来するピークはCe3+とCe4+に帰属可能で、これをピーク分離し、ピーク面積を計算し、総面積比を算出することで、Ce3+とCe4+の存在比を求めた。各実施例のCe3+/Ce4+の値は下記表1に示すとおりである。
<触媒活性の評価>
0.2Mヨウ化カリウム水溶液中10mlに実施例1〜4および比較例1の微粒子構造体50gが添加された溶液を、擬似太陽光(Xeランプ/AM1.5)照射下または暗室下において、室温でマグネチックスターラを用いて120時間攪拌した後、I の濃度をUVにより測定した。結果を表2に示す。
表2から実施例1〜4の微粒子構造体は擬似太陽光照射下および暗室下のいずれにおいても触媒活性を示すことがわかる。しかし、比較例1の微粒子構造体は、暗室下において触媒活性を示さなかった。
<各種特性評価>
透明ガラス基材の上に実施例2及び比較例1で使用した前駆体組成物を塗布し、乾燥させ、その後、400℃、4時間加熱して約500nm厚の組成物層を形成し、それぞれ実施例5及び比較例2の試料とした。これらについて、抗菌性、セルフクリーニング性、水素発生性、およびNO分解性の各種特性を下記のとおり評価した。
(抗菌性)
抗菌性は、大腸菌(Escherichia coli W3110株)を用いて試験した。予め70%エタノールで殺菌した組成物層表面に菌液0.15ml(1〜50000CFU)を滴下し、その上にガラス板(100mm×100mm)を密着させ、試料とした。擬似太陽光を120分間照射後、照射した試料の菌液を滅菌ガーゼで拭いて生理食塩水10mlに回収し、菌の生存率を求め、評価の指標とした。評価指標を下記に示す。
A:大腸菌の生存率30%未満
B:大腸菌の生存率30%以上70%未満
C:大腸菌の生存率70%以上
結果を表3に示す。光照射時には実施例5及び比較例2とも評価Aであったが、光未照射時には比較例2が評価Cであったのに対し、実施例5は評価Aであった。
(セルフクリーニング性)
セルフクリーニング性は、呼気テストによる防曇性により評価した。その表面が汚れて防曇性が低下する程度を、呼気を吹きかけたときの曇り程度により評価するものであり、表面が清浄なサンプルは呼気を吹きかけても曇りを生じないが、大気中の汚れがサンプル表面に吸着すると呼気テストにより曇りを生じる。擬似太陽光照射下または暗室下で放置を始めてから曇りが生じ始めるまでの時間(防曇維持時間)を防曇維持性の指標とした。この値が大きい程、防曇性が高く、セルフクリーニング性に優れるといえる。評価指標を下記に示す。
A:1週間以上曇らない
B:3日以上6日以下の間曇らない
C:3日未満で曇る
結果を表3に示す。光照射時には実施例5及び比較例2とも評価Aであったが、光未照射時には比較例2が評価Cであったのに対し、実施例5は評価Aであった。
(水素発生性)
密閉石英容器中に5cm角に切り出した上記試料、0.5モル/L亜硫酸カリウム(KSO)水溶液300mL、及びメタノール100mLを入れ、マグネチックスターラで撹拌しながら試料に光が垂直に当たるように擬似太陽光を3時間照射した。生成した水素は、直結したガスクロマトグラフィにより定量し、水素発生量を算出した。評価指標を下記に示す。
A:0.1μmol以上
B:0.02μmol以上0.1μmol以下
C:0.02μmol以下または検出できず
結果を表3に示す。光照射時には実施例5及び比較例2とも評価Aであったが、光未照射時には比較例2が評価Cであったのに対し、実施例5は評価Bであった。
(NO分解性)
実施例2及び比較例1の微粒子構造体をステンレス吸収管に充填したものをそれぞれ実施例6及び比較例3の試料とし、これを常温(23℃)下、もしくは吸収管を700℃に加熱した後、吸収管にNOガスを導入した。導入する前のNOガス濃度と吸収管から放出されたNOガス濃度をガスクロマトグラフィによりそれぞれ定量し、そこからNO除去率を算出し、NO分解性を評価した。評価指標を下記に示す。
A:分解率80%以上
B:分解率20%以上80%以下
C:分解率20%未満
結果を表4に示す。実施例6及び比較例3とも700℃加熱時には評価Aであったが、常温時には比較例3が評価Cであったのに対し、実施例6は評価Bであった。
実施例1〜4の微粒子構造体のX線回折パターン。 実施例1〜4の微粒子構造体の電子顕微鏡写真および電子線回折パターン。 実施例2の微粒子構造体のXPSパターン。

Claims (19)

  1. 平均粒径が1nm〜30nmの微粒子からなる微粒子構造体であって、0.2Mヨウ化カリウム(KI)水溶液10mlに50g添加したときに、光照射の有無に関わらず室温(23℃)で0.10mM以上のI を生じさせることを特徴とする、微粒子構造体。
  2. 前記微粒子が無機材料または無機・有機複合材料であることを特徴とする、請求項1に記載の微粒子構造体。
  3. 前記微粒子が酸化セリウム、ならびに無機材料または無機・有機複合材料であることを特徴とする、請求項1に記載の微粒子構造体。
  4. 前記微粒子が酸化セリウム、ならびに酸化チタンまたは酸化ジルコニウムであることを特徴とする、請求項1に記載の微粒子構造体。
  5. 前記酸化セリウム成分の3価と4価のセリウムの存在比Ce3+/Ce4+の値が、0.25から0.75であることを特徴とする、請求項3または4に記載の微粒子構造体。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体の前駆体組成物であって、金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシド、界面活性剤、アルコール、および水を含むことを特徴とする、微粒子構造体の前駆体組成物。
  7. 前記金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシド、チタンアルコキシド、およびジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上であることを特徴とする、請求項6に記載の前駆体組成物。
  8. 前記アルキル金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むアルキルセリウムアルコキシド、アルキルチタンアルコキシド、およびアルキルジルコニウムアルコキシドからなる群から選択される1種以上であることを特徴とする、請求項6に記載の前駆体組成物。
  9. 前記金属アルコキシドおよび/またはアルキル金属アルコキシドが、3価または4価のセリウムを含むセリウムアルコキシドおよび/またはアルキルセリウムアルコキシドと、他の1種以上の金属アルコキシドまたはアルキル金属アルコキシドとを含有することを特徴とする、請求項6に記載の前駆体組成物。
  10. 前記界面活性剤が有機塩基、有機酸、またはポリプロピレンオキサイドを骨格にもち、両端にポリエチレンオキサイドをもったトリブロック共重合体であることを特徴とする、請求項6〜9のいずれか1項に記載の前駆体組成物。
  11. さらに、金属塩を含むことを特徴とする、請求項6〜10のいずれか1項に記載の前駆体組成物。
  12. 前記金属塩が、3価または4価のセリウム金属塩、チタン金属塩、およびジルコニウム金属塩からなる群より選択される1種以上であることを特徴とする、請求項11に記載の前駆体組成物。
  13. 前記金属塩が、3価または4価のセリウム金属塩であることを特徴とする、請求項11に記載の前駆体組成物。
  14. 請求項6〜13のいずれか1項に記載の微粒子構造体の前駆体組成物を30℃以上120℃以下の温度で4時間以上保持して得られた沈殿物を乾燥した後、これを100℃〜800℃で熱処理することを特徴とする、微粒子構造体の製造方法。
  15. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体または請求項14に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する分解触媒。
  16. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体または請求項14に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有するセルフクリーニング材。
  17. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体または請求項14に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する防汚塗料。
  18. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体または請求項14に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有する水素発生装置。
  19. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微粒子構造体または請求項14に記載の製造方法により製造された微粒子構造体を含有するNOx分解装置。
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