JP2005260150A - 光起電力装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明は、光起電力素子の半導体層上に透明導電膜を形成した後、透明導電膜表面に励起した酸素を照射し、少なくとも櫛型電極と接触する透明導電膜の表面の接触角を1度以下の透明導電膜を形成し、この透明導電膜上に導電ペーストを用いて櫛型電極を形成し、櫛型電極の密着強度を大きくする。
【選択図】 図5
Description
プラズマ処理の概略を図3に示す。図3に従い、プラズマ処理によりITO膜表面を改質する方法について説明する。図3に示すように、大気圧下に置かれたプラズマ発生装置20の下をITO膜を形成したサンプル21を搬送することにより、ITO膜表面に大気圧プラズマ処理を行う。プラズマ発生には、Ar希釈酸素(酸素流量/Ar流量=1.3%)を用い、RFパワーは700Wとした。処理時間は搬送速度にて制御した。この実施形態では、生産性を考慮し、コンベア搬送部にプラズマ発生器20を置くことでライン搬送時にプラズマ処理が可能である大気圧プラズマ法を用いた。そして、後述するように、コンベアの搬送速度を変えて、ITO膜にプラズマ照射する時間を制御する。プラズマ発生装置20をサンプル21が通過する時間を変えて処理を実行した。
UV照射処理の概略を図4に示す。図4に従いUV処理によりITO膜表面を改質する方法について説明する。図4に示すように、UV照射処理室内にサンプル21をセットし、UVランプ(Xeランプ)31がセットされた蓋を閉める。出力10mW/cm2にて60〜300秒の処理を実施した。
オゾン処理によりITO膜表面を改質する方法について説明する。原料ガスに酸素を用いたオゾン発生器を利用し、オゾンを生成する。生成されたオゾンを反応室に導入し、反応室内にセットされたサンプルをオゾン処理した。反応室にオゾンを封入終了後、60〜300秒後に反応室を開放した。
スパッタ法にてITO膜を形成する際に、スパッタ室内に水分を導入する。H2O濃度が4×10-2(Pa)程度となるように水分量を調整した。ここで、水分導入はITO膜の最表面部のみとなるように、ITO成膜を実施した。後述するように、成膜後期の2nmに相当する時間に水分を添加する方法と、ITO成膜直後に水分を添加する手法の両者について検討を行った。
2.UV洗浄などにより最表面層が改質され、ITO最表面層にOH基の多い膜が形成される。
3.1または2の結果、樹脂の接合に非常に有効であるOH基が多数ITO表面に形成されたことで密着強度が向上する。
2 n型単結晶シリコン基板
3 i型非晶質シリコン層
4 p型非晶質シリコン層
5 ITO膜
6 櫛型電極
7 i型非晶質シリコン層
8 n型非晶質シリコン層
9 ITO膜
10 集電極
11 太陽電池モジュール
Claims (5)
- 光起電力素子の透明導電膜上に、導電性ペーストで形成される集電極が設けられた光起電力装置において、少なくとも集電極形成部における透明導電膜の水との接触角が1度以下であることを特徴とする光起電力装置。
- 光起電力素子の半導体層上に少なくとも集電極と接触する表面の水との接触角が1度以下の透明導電膜を形成し、この透明導電膜上に導電ペーストを用いて集電極を形成することを特徴とする光起電力装置の製造方法。
- 光起電力素子の半導体層上に透明導電膜を形成した後、透明導電膜表面に励起した酸素を照射し、少なくとも集電極と接触する透明導電膜の表面の水との接触角を1度以下にすることを特徴とする請求項2に記載の光起電力装置の製造方法。
- 光起電力素子の半導体層上に透明導電膜を形成した後、透明導電膜表面をオゾン雰囲気中に暴露し、少なくとも集電極と接触する透明導電膜の表面の水との接触角を1度以下にすることを特徴とする請求項2に記載の光起電力装置の製造方法。
- 光起電力素子の半導体層上に水分を添加して透明導電膜を形成し、少なくとも集電極と接触する透明導電膜の表面の水との接触角を1度以下にすることを特徴とする請求項2に記載の光起電力装置の製造方法。
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2004
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