JP2005260065A - トレー式ロボットハンド - Google Patents
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Abstract
【課題】厚さの薄いトレー部を有するとともに低コストのトレー式ロボットハンドを提供すること。
【解決手段】トレー式ロボットハンド10を、ロボットハンド基部11とロボットハンドの先端部に形成されたトレー部12とで構成し、ロボットハンド基部11にはトレー部12内のウェーハWの有無を検出する反射型センサ13を設けるとともに、トレー部12に反射型センサ13に対向する面を有する反射部12Cを設け、トレー部12の底にファイバセンサを埋め込む必要がなく、トレー部12の厚さを薄くすることができ、また安価に製造することができるようにした。
【選択図】 図2
【解決手段】トレー式ロボットハンド10を、ロボットハンド基部11とロボットハンドの先端部に形成されたトレー部12とで構成し、ロボットハンド基部11にはトレー部12内のウェーハWの有無を検出する反射型センサ13を設けるとともに、トレー部12に反射型センサ13に対向する面を有する反射部12Cを設け、トレー部12の底にファイバセンサを埋め込む必要がなく、トレー部12の厚さを薄くすることができ、また安価に製造することができるようにした。
【選択図】 図2
Description
本発明は、ウェーハを搬送するロボットハンドに関するもので、特にウェーハをウェーハカセットに搬入したりウェーハカセットから搬出したりする薄型のトレー式ロボットハンドに関する。
半導体装置の製造においては、ウェーハ表面に配線パターンを多層に形成する多層配線技術が広く用いられている。この場合、パターンを形成した層の表面を平坦化し、その後で次の層のパターンを形成することが行われているが、このウェーハ表面の平坦化工程にはCMP(Chemical Mechanical Polishing :化学的機械研磨)法によるウェーハの研磨装置(CMP装置)が用いられている。
CMP装置内で研磨、洗浄、及び乾燥されたウェーハは極度に汚染を嫌うため、搬送に当たっては真空吸着式ロボットハンドを使用することができず、トレー式ロボットハンドのトレー内にウェーハを載置するのみで搬送している。
真空吸着式ロボットハンドの場合、ロボットハンド内のウェーハの有無の確認には真空センサを用い、所定の真空値が得られた時にウェーハ有りと判断している。しかし、トレー式ロボットハンドの場合は、真空吸着をしないので真空センサを用いることができない。
そのため、従来のトレー式ロボットハンドは、図3、及び図4に示すように、透過型ファイバセンサ113Bを用い、トレー112の底112Aに埋没させて接着固定した投光ファイバ113Aから斜め上方に光を出射するとともに、ロボットハンド基部111に設けられた受光ファイバ113Cで出射された光を受光するようにし、所定の受光量が得られない時にウェーハ有りと判断していた。
なお、図3(a)は従来のトレー式ロボットハンド110の平面図を、図3(B)は図3(a)のB−B断面図を表わし、図4は拡大概念図を表わしている。
また、ロボットハンド内のウェーハ有無の確認に容量センサを用いた技術も提案されている(例えば、特許文献1参照。)。これは、ハンド部を2枚のブレードで構成し、上ブレード及び下ブレードに夫々電極を設け、ウェーハの近接を検出するように構成したものである。
特開平7−58183号公報
ところで、ウェーハを収納するウェーハカセットは通常は1個のウェーハカセットに25〜26枚のウェーハを上下に一定の間隔で収納できるようになっており、両側面に夫々25〜26個のウェーハを挿入するスロットが形成されている。
このスロット間ピッチは、直径150mmウェーハ用では4.76mm、直径200mmウェーハ用では6.35mmのものが一般的に用いられている。また、直径150mmウェーハの厚さは通常0.675mm、直径200mmウェーハの厚さは通常0.725mmである。
従って、ウェーハカセット内の上下のウェーハ間の間隙は、直径150mmウェーハでは4.76mm−0.675mm=4.085mmであり、直径200mmウェーハでは6.35mm−0.725mm=5.625mmで、どちらも非常に狭い間隔になっている。
一方、ウェーハカセット内からウェーハを搬出する時や、ウェーハカセット内にウェーハを搬入する時は、この狭い間隔にロボットハンドのウェーハ保持部を挿入するとともに上下運動させて行わなければならない。
しかし、前述の図3、及び図4に示した従来のトレー式ロボットハンドは、トレーの底に投光ファイバを埋没させて接着固定した構造となっているため、トレー部の厚さを薄くすることができず、ウェーハをウェーハカセットに搬入又は搬出する時に、トレー部又はウェーハを上下のウェーハと接触させてしまう危険性があった。
また、前述の特許文献1に記載のロボットハンドでは、上下2枚のブレードでハンド部を構成するとともに、上部電極と下部電極を形成させ、また両電極間の絶縁も考慮しなければならず、構造が複雑になり、コストが高いという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、厚さの薄いトレー部を有するとともに低コストのトレー式ロボットハンドを提供することを目的とする。
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハをウェーハカセットに搬入したりウェーハカセットから搬出したりするロボットハンドであって、ウェーハを前記ロボットハンドのトレー部に載置して搬送するトレー式ロボットハンドにおいて、ロボットハンド基部と、該ロボットハンドの先端部に形成されたトレー部とから構成され、前記ロボットハンド基部には前記トレー部内のウェーハの有無を検出する反射型センサが設けられるとともに、前記トレー部には前記反射型センサに対向する面を有する反射部が設けられていることを特徴としている。
本発明によれば、ロボットハンド基部に反射型センサを設けるとともに、トレー部に反射型センサに対向する面を有する反射部を設けたので、トレー部の底にファイバセンサを埋め込む必要がなく、トレー部の厚さを薄くすることができ、また安価に製造することができる。
また、本発明は、前記反射部は、前記トレー部の底部に設けられた開口部の側面に形成されていることを付加的要件としている。これによれば、厚さの薄いトレー部に容易に反射部を設けることができる。
更に本発明は、前記反射型センサが光又はレーザーを投光及び受光するセンサであって、前記反射部で反射される光又はレーザーの有無によってウェーハの有無を検出することを付加的要件としている。
これによれば、安価で信頼性の高いウェーハの有無検出を有するトレー式ロボットハンドを提供することができる。
以上説明したように本発明のトレー式ロボットハンドによれば、トレー式ロボットハンドはロボットハンド基部とトレー部とから構成され、ロボットハンド基部に反射型センサを設けるとともに、トレー部に反射型センサに対向する面を有する反射部を設けたので、トレー部の底にファイバセンサを埋め込む必要がなく、トレー部の厚さを薄くすることができ、また安価に製造することができる。
以下添付図面に従って本発明に係るトレー式ロボットハンドの好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
図1は、本発明のトレー式ロボットハンドを表わしたもので、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)におけるA−A断面図である。また、図2は要部を拡大した概念図である。
トレー式ロボットハンド10は、図1及び図2に示すように、ロボットハンド基部11とトレー部12とで構成され、材質はセラミックスが用いられている。トレー部12はウェーハWを載置してウェーハカセット内に挿入される部分で、全体の厚さが薄く造られている。また、トレー式ロボットハンド10はロボットハンド基部11の端部で図示しない搬送ロボットに取り付けられ、回転と上下移動及び水平面内移動とがなされる。
トレー部12の底部12Aには、ウェーハWを載置する時にウェーハWの周縁近傍のみと接触するように逃げ12Dが形成されている。
ロボットハンド基部11には、取付けブロック14がねじ止めされており、取付けブロック14内には反射型センサ13が格納されている。反射型センサ13は半導体レーザとフォトダイオードとからなり、ファイバ13Aを経由してレーザを出射するとともに、ファイバ13Aに入射する反射レーザをフォトダイオードで受けて電気信号に変換する。
ファイバ13Aは細いファイバを多数本束ねたバンドル型ファイバで、中心部分のファイバを出射ファイバとして用い周縁部分のファイバを受光ファイバとして用いているが、各ファイバをランダムに出射ファイバと受光ファイバとに分けても良い。
ファイバ13Aは固定ブロック15にねじで固定され、固定ブロック15は取付けブロック14に設けられたピン16を中心に回転調整可能になっており、ファイバ13Aの向きを微調整するようになっている。
トレー部12の底部12Aには開口部12Bが形成され、開口部12Bのファイバ13Aに対向する側面が斜めに形成されており、その斜めに形成された側面の表面が鏡面に磨かれて反射部12Cを形成している。
なお、ロボットハンド10の材質はセラミックスが好適であるが、ステンレス鋼や樹脂等を用いることもできる。また、開口部12Bの斜めに形成された側面を鏡面加工することなく、反射板を貼付して反射部12Cを形成しても良い。
このように構成されたロボットハンド10では、反射型センサ13のファイバ13Aから出射されたレーザが反射部12Cで反射してファイバ13Aに戻るように、固定ブロック15の取付け角度が微調整される。
トレー部12にウェーハWが載置されるとウェーハWがレーザを遮るので、ファイバ13Aにはレーザが戻らず、反射型センサ13のフォトダイオードの出力は大幅に減少し、トレー部12にウェーハWが載置されたことが確認される。これによりウェーハWを確実に搬送することができる。
本実施の形態においては、ロボットハンド10のトレー部12の厚さを1.9mmまで薄くすることができた。これにより、直径150mmウェーハ用ウェーハカセット内の上下のウェーハ間の間隙4.085mm、及び直径200mmウェーハ用ウェーハカセット内の上下のウェーハ間の間隙5.625mmにたいしても余裕を持って挿入できるようになった。このため、ウェーハWをウェーハカセットに搬入又は搬出する時に、トレー部12又はウェーハWを上下のウェーハWと接触させてしまう危険性をなくすことができた。
また、本発明では、反射型センサ13はトレー部12に形成された反射部12Cからの反射レーザの有無を検出するように構成されているので、レーザをウェーハWに向けて投射してそのウェーハWからの反射を検出する構成と比べ、検出の安定性がはるかに優れている。
また、ファイバをトレーの底に埋没させて接着固定した従来例に比べ、接着工数と接着コストが削減できるとともに、部品交換も容易でメンテナンス性が優れている。更にレーザの光軸調整を容易に行うことができる。
なお、前述の実施の形態では、反射型センサ13はレーザを用いていたが、本発明はこれに限るものではない。反射型センサ13と反射部12Cとを用いる構成であればレーザに限らず集光された光を用いてもよい。あるいは、超音波を用いても本発明を実施することができる。
10…トレー式ロボットハンド、11…ロボットハンド基部、12…トレー部、12A…底部、12B…開口部、12C…反射部、13…反射型センサ
Claims (3)
- ウェーハをウェーハカセットに搬入したりウェーハカセットから搬出したりするロボットハンドであって、ウェーハを前記ロボットハンドのトレー部に載置して搬送するトレー式ロボットハンドにおいて、
ロボットハンド基部と、
該ロボットハンドの先端部に形成されたトレー部とから構成され、
前記ロボットハンド基部には前記トレー部内のウェーハの有無を検出する反射型センサが設けられるとともに、前記トレー部には前記反射型センサに対向する面を有する反射部が設けられていることを特徴とするトレー式ロボットハンド。 - 前記反射部は、前記トレー部の底部に設けられた開口部の側面に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のトレー式ロボットハンド。
- 前記反射型センサが光又はレーザーを投光及び受光するセンサであって、前記反射部で反射される光又はレーザーの有無によってウェーハの有無を検出することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のトレー式ロボットハンド。
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Publications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2013172209A1 (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | 東京エレクトロン株式会社 | クーリング機構及び処理システム |
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2004
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