JP2005251872A - 半導体基体の製造方法及びその実施に用いる製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体基体を劈開するときに欠けさせることなく、また、工程で劈開分割することを可能にした半導体基体の製造方法及びその方法を実施する半導体基体の製造装置を提供する。
【解決手段】半導体基体の製造方法は、半導体基体10の分割すべき部分に刃2を一体に有するローラー手段3を用いて、この刃2を押し当て、半導体基体10を分割部分より劈開して分離する。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基体の製造方法は、半導体基体10の分割すべき部分に刃2を一体に有するローラー手段3を用いて、この刃2を押し当て、半導体基体10を分割部分より劈開して分離する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体基体を分離する製造方法及びその製造方法の実施に用いる製造装置に関する。
例えば半導体レーザ素子、他の半導体装置等の製造に際しては、最終工程で半導体ウエハーからバー状基体に分割し、バー状基体から各半導体チップに分割している。
従来の分割方法は、半導体ウエハーの分割すべき位置に、ダイヤモンドカッター等によって、けがいた後、ローラーを半導体基体20上に押し当てることで、ケガキ線から劈開してバー状基体を分割する。次に、同様の方法でバー状基体から各半導体チップを分割する。
従来の分割方法は、半導体ウエハーの分割すべき位置に、ダイヤモンドカッター等によって、けがいた後、ローラーを半導体基体20上に押し当てることで、ケガキ線から劈開してバー状基体を分割する。次に、同様の方法でバー状基体から各半導体チップを分割する。
図6〜図8は、従来の半導体基体を分割する方法を示す。
先ず、図6に示すように、長方形状の半導体基体、例えばバー状基体20を粘着の延伸シート23の粘着面に固定して、ダイヤモンドカッター30を用いてバー状基体20の分割位置の表面に所要の長さのケガキ線(いわゆる、スクライブ傷)21を入れる。次に、図6に示すようにバー状基体20の上面にアルミニウム等の棒状ローラー26を押し当てながら回転移動することで、ケガキ線21に沿ってバー状基体20を劈開し、各半導体チップ22に分割する。このとき延伸シート23は、真空吸着を持つ載置台24に固定されている。真空吸着は、真空吸着口25によって行われる。次に、図8に示すように、延伸シート23を引き延ばして各半導体チップ22をハンドリングし易いように所定間隔を置いて分割する。
先ず、図6に示すように、長方形状の半導体基体、例えばバー状基体20を粘着の延伸シート23の粘着面に固定して、ダイヤモンドカッター30を用いてバー状基体20の分割位置の表面に所要の長さのケガキ線(いわゆる、スクライブ傷)21を入れる。次に、図6に示すようにバー状基体20の上面にアルミニウム等の棒状ローラー26を押し当てながら回転移動することで、ケガキ線21に沿ってバー状基体20を劈開し、各半導体チップ22に分割する。このとき延伸シート23は、真空吸着を持つ載置台24に固定されている。真空吸着は、真空吸着口25によって行われる。次に、図8に示すように、延伸シート23を引き延ばして各半導体チップ22をハンドリングし易いように所定間隔を置いて分割する。
特許文献1には、材料半導体基体に対して、その表面に貼り付けられた延伸シートの上でローラー部材を転がして、スクライブ傷に沿って順次割っていく方法が開示されている。
特開2001−257180号公報
上述のように、半導体基体20にケガキ線21を入れたのち、ローラー26を押し当てて劈開するが、半導体基体20より半導体チップが切り出されるとき、隣り合った半導体チップ22の角同士が接触することによって、図8に示すように半導体チップの角が欠けてしまい、その欠けた部分27がダストとなっていた。
また、劈開を行うためには、半導体基体20をケガク工程と半導体基体20を分割する工程の2つの工程を持つため、工程が煩雑になり、且つ長時間の製造時間を必要としていた。
また、劈開を行うためには、半導体基体20をケガク工程と半導体基体20を分割する工程の2つの工程を持つため、工程が煩雑になり、且つ長時間の製造時間を必要としていた。
本発明は、上述の点に鑑み、半導体基体を劈開するときに欠けさせることなく、また、1つの工程で劈開分割することを可能にした半導体基体の製造方法及びその方法を実施する半導体基体の製造装置を提供するものである。
本発明に係る半導体基体の製造方法は、半導体基体の分割すべき部分に刃を一体に有するローラー手段を用いて、この刃を押し当て、半導体基体を分割部分より劈開して分離することを特徴とする。
上記半導体基体の製造方法においては、延伸シート上に半導体基体を保持し、延伸シートを延伸しながら半導体基体を分離することが好ましい。
本発明に係る半導体基体の製造装置は、半導体基体を支持する支持手段と、刃を一体に有するローラー手段と、刃を半導体基体側に向けて、加圧する加圧手段とを有することを特徴とする。
上記半導体基体の製造装置においては、ローラー手段及び支持手段を相対的に移動させる移動手段とを有することが好ましい。
本発明の半導体基体の製造方法では、半導体基体の分割すべき部分にローラー手段と一体の刃を押し当てるようにより、ケガキ線が付くと同時に劈開して分割される。これによって、半導体基体をケガク工程と分割する工程を一度に行うことができる。また、延伸シートを引っ張りながら、半導体基体を分割するので、分割された半導体基体や半導体チップ同士の接触による欠けが防止される。
本発明の半導体基体の製造装置では、半導体基体にケガク線を付ける作業と分割する作業とを、刃を一体に有するローラー手段によって一括して行うことができるので、分割作業の簡素化を図ることができる。
本発明の半導体基体の製造方法によれば、半導体基体に刃が接触すると同時に分割するようにしたので、ケガク工程と分割する工程の2つの工程を必要としていたが従来の方法に比べて、作業効率を大幅に向上することができる。さらに、半導体基体の分割時に延伸シートを引っ張っているので、分割されたバー状の半導体基体同士又は半導体チップ同士の接触による欠けを防止することができる。
本発明の半導体基体の製造装置によれば、従来の方法のように、ケガク装置と分割する装置の2台を必要とせずに、1台の装置で半導体基体を分割することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
先ず図1を用いて、本発明に係る半導体基体の製造装置、即ち半導体ウエハーから最終的に半導体チップに分割するための分割装置について説明する。
本実施の形態に係る半導体基体の製造装置1は、複数の刃2を一体に取り付けたローラー手段3と、刃2を半導体基体10に当てて加圧する加圧手段4と、さらに半導体基体10を延伸シート13に接着した状態で載置固定する固定台14とから構成される。このローラー手段3は、支持台18に接続されている。この延伸シート13は、ボックス19で覆われている。
先ず図1を用いて、本発明に係る半導体基体の製造装置、即ち半導体ウエハーから最終的に半導体チップに分割するための分割装置について説明する。
本実施の形態に係る半導体基体の製造装置1は、複数の刃2を一体に取り付けたローラー手段3と、刃2を半導体基体10に当てて加圧する加圧手段4と、さらに半導体基体10を延伸シート13に接着した状態で載置固定する固定台14とから構成される。このローラー手段3は、支持台18に接続されている。この延伸シート13は、ボックス19で覆われている。
ローラー手段3は、例えば回転しながら一方向に移動する一対のローラー5[5A,5B]と、この所定間隔を置いて配された一対のローラー5A及び5Bを取り囲んでローラー5と共に移動するキャタピラー6と、キャタピラー6に一体に設けられた複数の刃2とを有して成る。複数の刃2は、キャタピラー6の移動方向に沿って半導体基体10の分割すべき幅の間隔をおいて配列される。各刃2はキャタピラー6の移動方向と直角の方向に沿って、分割すべき半導体基体10大きさに応じて局部的に突起するように形成される。図1ではキャタピラー6の幅方向の一端側に突起して設けられる。
刃2は、分割すべき半導体基体10の大きさ、例えば半導体ウエハーからバー状基体に分割する場合、バー状基体から半導体チップに分割する場合等の大きさに応じて選択される。例えば、図4Aに示すように、半導体ウエハーから分割した幅W1が18mmのバー状基体10Aを分割する場合は、図5Aに示す長手方向の一端側に突起する刃2Aが用いられる。また、図4Bに示す幅W2が200〜900μmのバー状基体10Bを分割する場合は、図5Bに示す長手方向の中央に突起する刃2Bが用いられる。刃2以外のキャタピラー6は、例えば、硬質のゴム等で形成される。
加圧手段4は、ローラー手段3を構成するキャタピラー6の内側の下側キャタピラーに位置する一つの刃2に対向して配置される。この加圧手段4は、刃2を押圧する方向に可動し、且つキャタピラー6の移動に伴って同じように移動できるように構成される。即ち、加圧手段4は、降下して一つの刃2を押圧した後、元の位置に復帰し、キャタピラー6が分割幅だけ移動したら、移動方向の隣の刃2の位置に移動し、降下して押圧し、これが順次繰り返されるように構成される。すなわち、キャタピラーの移動にともなって刃2a〜2hが移動される(図2参照)。加圧手段4は、例えば2の延長方向に伸びるロール状に形成することができる。
固定台14は、半導体基体10を接着した延伸シート13の載置面に真空吸引口15を有して真空吸着で延伸シート13を固定するように構成される。固定台14と刃2を一体に有するローラー手段3とを相対的に移動させる移動手段が設けられる。本例ではローラー手段3のキャタピラー6を連続的に、または間欠的に回転させながら移動させる移動手段が設けられる。
半導体基体10が接着された延伸シート13は延伸シートの一方を延伸シート抑え17で固定し、延伸シートの他の一方を牽引手段のシート延伸ロール16に巻き取ることにより、ローラー手段3が移動する方向Mと反対方向に張力Sで引っ張られている。半導体基体10は、刃2に加圧手段4による押力Pが印加されることで半導体チップ12に分離される。
半導体基体10が接着された延伸シート13は延伸シートの一方を延伸シート抑え17で固定し、延伸シートの他の一方を牽引手段のシート延伸ロール16に巻き取ることにより、ローラー手段3が移動する方向Mと反対方向に張力Sで引っ張られている。半導体基体10は、刃2に加圧手段4による押力Pが印加されることで半導体チップ12に分離される。
次に、上述の製造装置1を用いて半導体基体を分割する本実施の形態に係る半導体基体の製造方法、特に分割方法を説明する。
図1に示すように、例えばバー状の半導体基体10を粘着性の延伸シート13に接着し、この延伸シート13を固定台14上に真空吸引により固定する。この状態でローラー手段3を半導体基体10上に位置決めして接するように保持設定する。次いで、一つの刃2に対応して位置した加圧手段4を降下して刃2を押圧する。このとき、刃2により半導体基体10の分割すべき位置の一部にケガキ線(図4A参照)11Aが付くと共に、刃2の押圧でケガキ線11Aより劈開して半導体チップ12が分割する。半導体チップ12の分割と同時に延伸シート13が引っ張られることで、分割された半導体チップ12は、残りの半導体基体(いわゆる母体)10から離され、分割後に母体10と接触することがない。この延伸シート13を吸着している真空吸着口15の動作状態は、半導体基体10の劈開と連動して真空吸着口15のオンオフ制御を行うため、図1に示す真空吸着口15a〜15dでは延伸シートを吸着している状態、残りの真空吸着口15e〜15dでは吸着していない状態となっている。
例えば図2Aに示すように刃2dによって1つの半導体チップ12が分割される。一つ分割された後、図2Bに示すように、ローラー手段3のローラー5[5A,5B]が半導体基体10の長手方向に駆動されてキャタピラー6が1分割幅だけ移動し、加圧手段4が隣の刃2eに対応する位置に移動する。そして、加圧手段4が降下して隣の刃2eを押圧して、半導体基体10にケガキ線11Aを付け、同時に分割する。半導体基体10は延伸シートに貼り付けられており、この半導体基体10が剥がれない程度に多少の延伸を行うことで分割と共に延伸シート13が再度シート延伸ローラー16によって引っ張られ、分割した半導体チップ12は半導体基体の母体10から離れる。この動作が繰り返され、バー状の半導体基体10が各半導体チップ12に分割され、同時に各半導体チップ12が離れて延伸シート13上に配列される。
図4Aの幅W1が大きい長方形状の半導体基体(バー状基体)10Aを劈開する場合は、図5Aの刃2Aを有するローラー手段3を用いる。このローラー手段3の刃2Aを分割部分の端部(ケガキ線に相当)11Aに押圧し接触した後、刃2Aを幅W1方向にスライドさせて再度押圧することで半導体基体10Aから半導体チップに切断することができる。
また、図4Bの幅W2が、小さい長方形状の半導体基体(バー状基体)10Bを劈開する場合は、図5Bの刃2Bを有するローラー手段3を用い、分割部分の中央部(ケガキ線に相当)11Bに接触し押圧を加えることで半導体基体10Bから半導体チップに切断することができる。
半導体基体10から半導体素子12への切り出しは、半導体基体10の形状、半導体基体10の大小によって、刃及び分割部分を変えることで切断することができる。
また、図4Bの幅W2が、小さい長方形状の半導体基体(バー状基体)10Bを劈開する場合は、図5Bの刃2Bを有するローラー手段3を用い、分割部分の中央部(ケガキ線に相当)11Bに接触し押圧を加えることで半導体基体10Bから半導体チップに切断することができる。
半導体基体10から半導体素子12への切り出しは、半導体基体10の形状、半導体基体10の大小によって、刃及び分割部分を変えることで切断することができる。
なお、半導体基体10の上面にも延伸シートを被着し、この延伸シート上に接するようにローラー手段3を設けるようにしてもよい。
上述の半導体基体の製造装置1では、ローラー手段3が半導体基体10上を移動しながら半導体基体10を半導体チップ12に劈開したが、ローラー手段3をM方向に移動せず、固定台14を分割する半導体素子のピッチ毎に間欠的に移動させることにより、移動することで半導体基体10を半導体素子12に分離することもできる。
本実施の形態に係る半導体基体の製造方法によれば、従来ケガキ工程と分割工程の2つの工程を必要としていたが、ケガキと分割工程を1つの工程にすることができ、作業効率を向上することができる。さらに、分割した時に、延伸シート13を張力Sで引っ張りながら行うため、半導体基体10と半導体チップ12の端部の欠けを防ぐことができる。
本実施の形態に係る半導体基体の製造装置によれば、従来ダイヤモンドカッター等でケガキと、分割の2つに分かれていた作業を、半導体基体10への刃2の接触と同時に押圧手段4による押圧で分割されるので、分割作業を効率良く行うことができる。さらに、半導体チップ12に分離されるとき、延伸シート13を張力Sで引っ張るので、半導体チップ12と半導体基体10の端部の接触による欠けを防止することができ、ゴミの発生を減らすことができる。また、従来、ケガキ装置と分割装置の2台必要であったものを、1台の設備で行うことができる。
上述では、バー状の半導体基体10から半導体チップ12を分離したが、半導体ウエハーからバー状の半導体基体を分離する場合も同様に適用することができる。
1・・半導体基体の製造装置、2[2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h]・・刃、3・・ローラー手段、4・・加圧手段、5[5A、5B]・・ローラー、6・・キャタピラー、10・・半導体基体、11[11A、11B]・・ケガキ線、12・・半導体チップ、13・・延伸シート、14・・固定台、15[15a、15b、15c、15d、15e、15f、15g]・・真空吸着口、16・・シート延伸ローラー、17・・延伸シート抑え、18・・支持台、19・・ボックス、20・・半導体基体、21・・ケガキ線、22・・半導体チップ、23・・延伸シート、24・・載置台、25・・真空吸着口、26・・ローラー、27・・欠けた部分、30・・ダイヤモンドカッター
Claims (4)
- 半導体基体の分割すべき部分に、刃を一体に有するローラー手段を用いて、該刃を押し当て、上記半導体基体を分割部分より劈開して分離する
ことを特徴とする半導体基体の製造方法。 - 延伸シート上に上記半導体基体を保持し、前記延伸シートを延伸しながら半導体基体を分離する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体基体の製造方法。 - 半導体基体を支持する支持手段と、
刃を一体に有するローラー手段と、
上記刃を半導体基体側に向けて、加圧する加圧手段とを有する
ことを特徴とする半導体基体の製造装置。 - 上記ローラー手段及び上記支持手段を相対的に移動させる移動手段とを有する
ことを特徴とする請求項3記載の半導体基体の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004058046A JP2005251872A (ja) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | 半導体基体の製造方法及びその実施に用いる製造装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011096941A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | ブレイク装置 |
-
2004
- 2004-03-02 JP JP2004058046A patent/JP2005251872A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011096941A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | ブレイク装置 |
TWI414406B (zh) * | 2009-10-30 | 2013-11-11 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | Disconnect the device |
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