JP2005249690A - 信号保持方法、アナログ・ディジタル変換方法、信号保持装置、アナログ・ディジタル変換装置、および、信号観測装置 - Google Patents

信号保持方法、アナログ・ディジタル変換方法、信号保持装置、アナログ・ディジタル変換装置、および、信号観測装置 Download PDF

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Abstract

【課題】組み込み自己テストに適した信号観測方法および信号観測装置の提供
【解決手段】
本発明の信号保持方法は、繰り返し信号を参照信号とレベル比較し、前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記比較の結果を保持する。また、本発明のアナログ・ディジタル変換方法は、繰り返し信号を参照信号とレベル比較し、前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記比較の結果を保持し、保持された前記比較結果を判定して前記参照電圧を調整する。
【選択図】図1

Description

本発明は、被測定物内の被測定信号を観測する技術に関する。
携帯電話機や無線LANアダプタなどの無線機器は、内部に高周波アナログ混載LSIが搭載されている。従来、高周波アナログ混載LSIは、半導体テスタまたはオシロスコープもしくはスペクトラム・アナライザなどの試験装置を用いて試験されていた(例えば、特許文献1を参照。)。
実用新案登録第3071099号公報(第6頁、図2)
高周波アナログ混載LSIは、年々、大規模化し、また、高速化している。その一方で、高周波アナログ混載LSIの機能および性能に見合った測定資源を導入することが、難しくなってきている。高周波アナログ混載LSIが高速化するほど、すなわち、LSIから出力される信号の周波数が高くなるほど、被測定信号の減衰や歪みなど信号劣化の問題が顕著になる。その結果、LSIと試験装置との間の伝送経路や試験装置は、高価なものとなる。また、ループバック法などによる容易化された試験は、コストが低いものの、要求される仕様の試験を実施することができないという問題がある。
本発明は、上記の課題を解決するために、組み込み自己テスト(BIST)に適した、被測定信号を観測するための方法および装置を提供することを目的とする。最近の高周波アナログ混載LSIはCMOSプロセスで設計されるので、LSI内での信号保持が困難になっている。そこで、本発明は、組み込み自己テスト(BIST)に適した、LSI内で信号保持が容易な信号観測方法および信号観測装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記の目的を達成するためになされたものである。すなわち、本第一の発明は、繰り返し信号を保持する方法であって、前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較するステップと、前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記比較結果を保持するステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本第二の発明は、繰り返し信号を保持する方法であって、前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較し、比較結果として論理信号を発生するステップと、前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記論理信号を保持するステップとを含むことを特徴とするものである。
さらに、本第三の発明は、繰り返し信号を保持する方法であって、前記繰り返し信号と参照信号との差信号を生成するステップと、前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記差信号を保持するステップとを含むことを特徴とするものである。
またさらに、本第四の発明は、入力信号をアナログ・ディジタル変換する方法であって、参照信号を発生するステップと、前記被測定信号の所定の時間位置における、前記入力信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整するステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本第五の発明は、入力信号をアナログ・ディジタル変換する方法であって、ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生するステップと、該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整するステップとを含むことを特徴とするものである。
さらに、本第六の発明は、被測定物内部の被測定信号を観測するための方法であって、参照信号を発生するステップと、該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整するステップとを含むことを特徴とするものである。
またさらに、本第七の発明は、被測定物内部の被測定信号を観測するため方法であって、ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生するステップと、該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整するステップとを含むことを特徴とするものである。
さらに、本第八の発明は、複数のアナログ・ディジタル変換部を備えるパイプライン型アナログ・ディジタル変換装置であって、前記アナログ・ディジタル変換部は、パイプラインの幹線と具備するアナログ・ディジタル変換器との間に信号保持手段を備えることを特徴とするものである。
またさらに、本第九の発明は、複数のアナログ・ディジタル変換部を備えるパイプライン型アナログ・ディジタル変換装置であって、前記アナログ・ディジタル変換部は、前記アナログ・ディジタル変換部に入力される信号を保持する手段と、前記保持手段の出力信号をアナログ・ディジタル変換する手段と、前記アナログ・ディジタル変換手段の変換結果をディジタル・アナログ変換する手段と、前記入力信号と前記ディジタル・アナログ変換手段の出力信号との差信号を発生する手段とを具備することを特徴とするものである。
本発明によれば、アナログ・ディジタル変換において、ホールド回路に要求されるレベル精度が、全体的に要求される精度に比べて緩和される。これにより、LSI内に信号保持回路を組み込むことが容易になる。その結果、BISTに適した信号観測方法および信号観測装置が提供される。
本発明の実施の形態を、添付の図面を参照しながら、以下に説明する。本発明の第一の実施形態は、集積回路に組み込まれた逐次比較近似型のアナログ・ディジタル変換装置である。本発明の第一の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置100のブロック図を図1に示す。図1において、アナログ・ディジタル変換装置100は、以下のように構成される。
すなわち、アナログ・ディジタル変換装置100は、PGとして示されるパルス発生器10と、遅延器21と、比較器110と、フリップ・フロップ120と、逐次比較近似論理回路である逐次比較近似レジスタ130と、ディジタル・アナログ変換器140とを備える。また、アナログ・ディジタル変換装置100は、被測定信号Vinが入力される。本発明の全ての実施形態において、被測定信号Vinは、正弦波信号とする。被測定信号Vinは、繰り返し信号であれば、他の種類の信号であっても良い。以下、逐次比較近似レジスタをSAR、ディジタル・アナログ変換器をDAC、フリップ・フロップをFFと、それぞれ称する。パルス発生器10は、入力信号が所定の条件を満たした時から所定の時間だけずれた時間位置でパルスを発生する装置である。パルス発生器10の出力信号CLKは、FF120と、遅延時間Tを有する遅延器21を介してSAR130とに供給される。FF120およびSAR130は、出力信号CLKの立ち上がりエッジに応答して動作する。なお、遅延時間Tは、FF120の伝搬遅延の影響をなくすために、該伝搬遅延時間以上に設定される。比較器110には、被測定信号VinとDAC140の出力信号Vrefとが入力される。また、比較器110は、比較結果Cout1をFF120に出力する。FF120は、保持したデータをSAR130に出力する。一般的な逐次比較近似型アナログ・ディジタル変換器の場合、SARは、比較器の出力端と直結されている。以下、アナログ・ディジタル変換器をADCと称する。SAR130は、データバス30を介して、DAC140とデータ出力端Dout1とにデータを出力する。SAR130から出力されるデータは、被測定信号Vinをアナログ・ディジタル変換した結果である。本実施形態では、SAR130のレジスタ長(分解能)、DAC140の分解能、および、データバス30の幅は、それぞれ4ビットとする。実際には、それらは、4ビット以外であっても良い。例えば、それらは、12ビットでも良い。DAC140の出力レベル範囲は、被測定信号Vinの振幅範囲を含む。
次に、パルス発生器10の動作を説明し、その後で、アナログ・ディジタル変換装置100の動作について説明する。
まず、パルス発生器10の内部構成および動作を説明するために、図2を参照する。図2は、パルス発生器のブロック図である。図2において、パルス発生器10は、Rampとして示されるランプ信号発生器11と、DAC12と、比較器13とを備える。ランプ信号発生器11は、入力信号である被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスに応答して、ランプ波形を発生する。ランプ波形は、被測定信号Vinの1周期以上にわたる傾斜を有する。比較器13は、ランプ信号発生器11の出力信号RoutとDAC12の出力信号Soutとをレベル比較し、比較結果CLKを出力する。出力信号Routのレベルが出力信号Soutのレベルよりも小さい場合、比較器13の出力信号は論理レベル“L”である。また、出力信号Routのレベルが出力信号Soutのレベルよりも大きい場合、比較器13の出力信号は論理レベル“H”である。
次に、図3を参照する。図3は、図2における被測定信号Vin、出力信号Sout、出力信号Rout、および、出力信号Cout1のそれぞれの経時変化を示す図である。図3において、横軸は時間であり、縦軸は振幅または論理レベルである。図3において、パルスは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスからΔtだけずれた時間位置で発生している。このΔtは、DAC12に与えるディジタル値により制御される。DAC12は、与えられるディジタル値によって出力信号レベルが変化する。従って、DAC12に与えるディジタル値を制御することにより、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスから任意の時間だけずれた時間位置でパルスを発生させることができるのである。パルス発生器10の出力信号は、標本化やアナログ・ディジタル変換のためのタイミング・パルスとして用いられる。このタイミング・パルスは、サンプリング・パルスまたはサンプリング・クロックとも称される。
なお、パルス発生器10は、入力信号が所定の条件を満たした時から所定の時間だけずれた時間位置でパルスを発生するような装置であれば良い。従って、パルス発生器10は、図2に示した構成に限定されず、他の技術によって実現されても良い。例えば、シーケンシャルサンプリングに関連する技術を応用して、図2に示した構成とは異なる構成を有するパルス発生器10を実現することができる。
次に、アナログ・ディジタル変換装置100の動作について説明する。ここで、図1を参照する。比較器110は、被測定信号VinとDAC140が出力する参照信号Vrefとをレベル比較して、比較結果Cout1を出力する。比較結果Cout1は、論理レベル“H”または“L”として出力される。FF120は、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して、比較器110の出力信号Cout1、すなわち、比較結果を保持する。FF120は、保持した比較結果をSAR130へ出力する。SAR130は、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して、FF120の出力信号Foutを判定して、新たなデータを出力する。この時、SAR130は、内部レジスタの内容を更新する。DAC140は、SAR130が出力する新たなデータに基づき、新たな参照信号Vrefを出力する。
ところで、従来のアナログ・ディジタル変換装置は、比較器の前に信号保持手段であるトラック・アンド・ホールド回路が設けられている。以下、トラック・アンド・ホールド機能を有する素子または回路または装置を、T&Hと称する。一方、本発明のアナログ・ディジタル変換装置100において、被測定信号Vinは、比較器110に直接入力されている。それゆえ、比較器110の出力信号Cout1には、規則的な信号安定期がない。この問題を解消するために、FF120は、サンプリング・パルスCLKに応答して出力信号Cout1を保持する。これにより、出力信号Cout1は、被測定信号Vinの所定の時間位置で保持される。被測定信号Vinは繰り返し信号であるので、出力信号Cout1が被測定信号Vinの同じ時間位置で保持される限り、毎回同じ値が保持される。アナログ・ディジタル変換装置100は、この効果を利用して逐次比較近似を行う。
次に、図4を参照する。図4は、図1における被測定信号Vin、サンプリング・パルスCLK、参照信号Vref、出力信号Cout1、および、出力信号Foutのそれぞれの経時変化を示す図である。図4において、横軸は時間であり、縦軸は振幅または論理レベルである。さらに、グラフの左端の時間において、SAR130の出力データは“1000”であり、DAC140の出力信号レベルは、ゼロであるとする。なお、データ内容を示すビット列は、左端が最上位ビットを表し、右端が最下位ビットを表す。サンプリング・パルスCLKは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスからΔtだけずれた時間位置で発生している。そのΔtだけずれた時間位置における被測定信号Vinの瞬時値は、0.975であるとする。
図4において最初の、つまり左から1番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は0.975であり、参照信号Vrefはゼロである。従って、出力信号Cout1の論理レベルは“H”であり、FF120により保持される論理レベルも“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1100”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.5になる。
次の、つまり左から2番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.5である。従って、出力信号Cout1の論理レベルは“H”であり、FF120により保持される論理レベルも“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1110”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.75になる。
さらに次の、つまり、左から3番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.75である。従って、出力信号Cout1の論理レベルは“H”であり、FF120により保持される論理レベルも“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1111”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.875になる。
またさらに次の、つまり、左から4番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.875である。従って、出力信号Cout1の論理レベルは“H”であり、FF120により保持される論理レベルも“H”である。ここで、アナログ・ディジタル変換が終了する。なお、次のアナログ・ディジタル変換を開始する時、SAR130は、内部レジスタを初期化し、出力データを“1000”にする。
以上、説明したように、アナログ・ディジタル変換装置100において、比較器110の比較結果Cout1を被測定信号Vinの所定の時間位置で保持するようすれば、比較結果Cout1を保持する手段120に要求されるレベル精度は1ビットにまで緩和され、かつ、従来と同様に逐次比較近似型のアナログ・ディジタル変換を実施することができる。
さて、図4を見て明らかなように、比較器110は、高速な動作が要求される。被測定信号Vinの周波数は1GHz以上であることを想定しているので、比較器110は、比較動作が不完全になる可能性がある。この問題を解決するアナログ・ディジタル変換装置を、本発明の第二の実施形態として、以下に説明する。
本発明の第二の実施形態は、同様に、集積回路に組み込まれた逐次比較近似型のアナログ・ディジタル変換装置である。本発明の第二の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置200のブロック図を図5に示す。図5において、図1と同一の構成要素は、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。図5において、アナログ・ディジタル変換装置200は、以下のように構成される。
すなわち、アナログ・ディジタル変換装置200は、図1に示すアナログ・ディジタル変換装置100において、比較器110とFF120とを、差動増幅器210とトラック・アンド・ホールド回路220と比較器250とに置き換えたものである。
パルス発生器10の出力信号であるサンプリング・パルスCLKは、T&H220と、遅延時間Tを有する遅延器22を介してSAR130に供給される。T&H220は、サンプリング・パルスCLKの論理レベルに応答して動作する。また、SAR130は、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して動作する。なお、遅延時間Tは、T&H220と比較器250との総伝搬遅延の影響をなくすために、該伝搬遅延時間以上に設定される。差動増幅器210には、被測定信号VinとDAC140の出力信号である参照信号Vrefとが入力される。また、差動増幅器210は、入力される2信号の差信号をT&H220に出力する。T&H220は、保持した差信号を比較器250に出力する。比較器250は、比較結果Cout2をSAR130に出力する。
差動増幅器210は、差動入力−差動出力型の増幅器である。差動増幅器210は、例えば、図6に示すような構成を有する。すなわち、差動増幅器210は、ドレイン負荷抵抗器R1を有するトランジスタTr1とドレイン負荷抵抗器R1を有するトランジスタTr1とがソース結合されて、さらに、それらのトランジスタのソースが電流源に接続された典型的な差動増幅器である。図において、Vddは正電源であり、Vssは負電源である。それぞれのトランジスタのゲートは差動増幅器210の入力部を構成し、それぞれのトランジスタのドレインは差動増幅器210の出力部を構成する。また、ドレイン負荷抵抗器R1およびR2の抵抗値は、1キロオーム程度である。この値は、差動増幅器210に後続する装置の入力容量と増幅する信号周波数とにより変化する。さらに、差動増幅器210の増幅率は、1以上の正の値に限定されず、任意の値である。なお、差動増幅器210は、入力される2信号の差を増幅する機能を有していればよく、上記の構成に限定されない。本明細書に記載される他の差動増幅器についても、特に記載のない限り、図6に示した構成を有するものとする。また、本明細書に記載される差動増幅器は、少なくとも2つの入力信号の差信号を出力するものであれば良いので、図6以外の構成を有するものであっても良い。
T&H220は、2チャンネルのトラック・アンド・ホールド回路であって、互いに独立した2つの入力信号を同時に保持し、それぞれの保持結果を独立して出力する。例えば、T&H220は、図7に示すような構成を有する。すなわち、T&H220は、入力信号Tin1をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin1のレベルを保持するコンデンサCと、入力信号Tin2をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin2のレベルを保持するコンデンサCとを備える。スイッチSWおよびSWは、入力されるサンプリング・パルスCLKに応答して動作する。コンデンサCおよびCはLSI内に作られることから、それらの容量は、せいぜい1ピコファラド以下であることが想定される。なお、図において、Vssは負電源である。
また、T&H220は、図7に示す構成を有する場合、トラック期間中は、入力される信号を後続の回路や装置にほぼそのまま伝達してしまう。そのような信号の漏れを後続の回路や装置が嫌う場合、図8に示すようなマスタ/スレーブ型トラック・アンド・ホールド回路でT&H220を構成すれば良い。図8において、T&H220は、入力信号Tin3をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin3のレベルを保持するコンデンサCと、入力信号Tin4をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin4のレベルを保持するコンデンサCと、スイッチSWから出力される中間信号Tm3をオン/オフするスイッチSWと、中間信号Tm3のレベルを保持するコンデンサCと、スイッチSWから出力される中間信号Tm4をオン/オフするスイッチSWと、中間信号Tm4のレベルを保持するコンデンサCと、バッファBufと、インバータINVとを備える。スイッチSW、SW、SWおよびSWは、サンプリング・パルスCLKに応答して動作する。サンプリング・パルスCLKは、バッファBufを介してスイッチSWおよびSWに、インバータINVを介してSWおよびSWに、それぞれ供給される。また、コンデンサC、C、CおよびCはLSI内に作られることから、それらの容量は、せいぜい1ピコファラド以下であることが想定される。なお、図において、Vssは負電源である。
次に、アナログ・ディジタル変換装置200の動作について説明する。ここで、図5を参照する。差動増幅器210は、被測定信号VinとDAC140が出力する参照信号Vrefとの差信号を増幅して、T&H220へ出力する。T&H220は、サンプリング・パルスCLKの論理レベルに応答して、差動増幅器210の差動出力信号を保持する。比較器250は、保持された差動信号の正信号と負信号とをレベル比較して、比較結果Cout2を出力する。比較器250の比較結果Cout2は、論理レベル“H”または“L”として出力される。保持された正信号レベルが、保持された負信号レベルよりも大きい場合は、論理レベル“H”が出力される。また、保持された負信号レベルが、保持された正信号レベルよりも大きい場合は、論理レベル“L”が出力される。
SAR130は、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して、比較器250の出力信号Cout2を判定して、新たなデータを出力する。この時、SAR130は、内部レジスタの内容を更新する。DAC140は、SAR130が出力する新たなデータに基づき、新たな参照信号Vrefを出力する。
さて、差動増幅器210の出力信号には、規則的な信号安定期がない。この問題を解消するために、T&H220は、サンプリング・パルスCLKに応答して差動増幅器210の出力信号を保持する。これにより、差動増幅器210の出力信号は、被測定信号Vinの所定の時間位置で保持される。被測定信号Vinは繰り返し信号であるので、差動増幅器210の出力信号が被測定信号Vinの同じ時間位置で保持される限り、毎回同じ値が保持される。アナログ・ディジタル変換装置200は、この効果を利用して逐次比較近似を行う。
次に、図9を参照する。図9は、図5における被測定信号Vin、サンプリング・パルスCLK、参照信号Vref、差動増幅器210の正出力信号Aout1+、および、出力信号Cout2のそれぞれの経時変化を示す図である。図9において、横軸は時間であり、縦軸は振幅または論理レベルである。また、グラフの左端の時間において、SAR130の出力データは“1000”であり、DAC140の出力信号レベルは、ゼロであるとする。なお、データ内容を示すビット列は、左端が最上位ビットを表し、右端が最下位ビットを表す。サンプリング・パルスCLKは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスからΔtだけずれた時間位置で発生している。そのΔtだけずれた時間位置における被測定信号Vinの瞬時値は、0.975であるとする。
図9において最初の、つまり左から1番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は0.975であり、参照信号Vrefはゼロであり、差動増幅器210の正出力信号Aout1+は0.975である。従って、出力信号Cout2の論理レベルは“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1100”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.5になる。
次の、つまり左から2番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.5であり、差動増幅器210の正出力信号Aout1+は0.475である。従って、出力信号Cout2の論理レベルは“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1110”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.75になる。
さらに次の、つまり、左から3番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.75であり、差動増幅器210の正出力信号Aout1+は0.225である。従って、出力信号Cout2の論理レベルは“H”である。その結果、SAR130の出力データは“1111”になり、DAC140から出力される参照信号Vrefは0.875になる。
またさらに次の、つまり、左から4番目のサンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジがある時間において、被測定信号Vinの瞬時値は同様に0.975であり、参照信号Vrefは0.875であり、差動増幅器210の正出力信号Aout1+は0.1である。従って、出力信号Cout2の論理レベルは“H”である。ここで、アナログ・ディジタル変換が終了する。なお、次のアナログ・ディジタル変換を開始する時、SAR130は、内部レジスタを初期化し、出力データを“1000”にする。
以上、説明したように、アナログ・ディジタル変換装置200において、比較器250に入力される信号はT&H220により保持されたものであるので、第一の実施形態のアナログ・ディジタル変換装置100における比較器110に比べて、比較器250に要求される動作速度が緩和されている。また、比較器250は、比較的低速に動作しても良いので、入力信号に対する感度を向上させることが容易になる。さらに、アナログ・ディジタル変換装置200において、差動増幅器210の出力信号を被測定信号Vinの所定の時間位置で保持するようすれば、差動増幅器210の出力信号を保持する手段220に要求されるレベル精度は1ビットにまで緩和され、かつ、従来と同様に逐次比較近似型のアナログ・ディジタル変換を実施することができる。
第一の実施形態および第二の実施形態によれば、被測定信号Vinに対する相対的な時間位置が同じであれば、その時間位置のそれぞれが絶対的には異なる時間位置であったとしても、それらの時間位置で保持される値は全て同じになる。この事は、全体的にアナログ・ディジタル変換に要求される精度を複数のT&Hで分担させる場合にも適用できる。ここで、そのような実施形態を第三の実施形態として説明する。
本発明の第三の実施形態は、集積回路に組み込まれた、パイプライン接続された複数のアナログ・ディジタル変換部を備えるアナログ・ディジタル変換装置である。本発明の第三の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置300のブロック図を図10に示す。図10において、アナログ・ディジタル変換装置300は、以下のように構成される。
すなわち、アナログ・ディジタル変換装置300は、信号入力と信号出力とを有するn個のアナログ・ディジタル変換部STG(ただし、nは1以上の正の整数)と、信号入力を有するアナログ・ディジタル変換部STGと、パルス発生器10とを備える。アナログ・ディジタル変換部STG、および、アナログ・ディジタル変換部STGは、パイプライン接続されている。アナログ・ディジタル変換装置100は、被測定信号Vinが入力される。パルス発生器10は、図1に示したものと同一の装置である。パルス発生器10の出力信号CLKは、アナログ・ディジタル変換部STG、および、アナログ・ディジタル変換部STGに供給される。パルス発生器10の出力信号であるサンプリング・パルスCLKは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスから任意の時間Δtだけずれた時間位置で発生するパルスである。
アナログ・ディジタル変換部STGは、T&Hと、ADCと、DACと、減算器SUMと、増幅器AMPとを備える。サンプリング・パルスCLKは、T&Hと、遅延器τを介してADCとに供給される。T&Hは、サンプリング・パルスCLKに応答して、入力信号VSnを保持する装置である。ADCは、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して、T&Hの出力信号VTnをアナログ・ディジタル変換する装置である。DACは、ADCの変換結果であるディジタル・データをディジタル・アナログ変換する装置である。減算器SUMは、入力信号VSnからDACの変換結果である参照信号VRnを減算する装置である。増幅器AMPは、減算器SUMの出力信号を増幅する装置である。増幅器AMPの出力信号VDnは、アナログ・ディジタル変換部STGの出力信号でもある。遅延器τは、T&Hの伝搬遅延の影響をなくすために該伝搬遅延時間以上の遅延を入力信号に付加する。ADCとDACとデータ出力端DOとはデータ・バスDBで接続される。データ・バスDBの幅は、1ビット以上である。また、ADCの分解能およびDACの分解能は、等しく、1ビット以上である。上述の通り、nは1以上の正の整数である。従って、例えば、アナログ・ディジタル変換部STGは、T&Hと、ADCと、DACと、減算器SUMと、増幅器AMPと、遅延器τと、データ・バスDBと、データ出力端DOとを備える。アナログ・ディジタル変換部STGの出力信号VDnは、後段のアナログ・ディジタル変換部STGn−1に入力される。
アナログ・ディジタル変換部STGは、T&Hと、ADCと、データ出力端DOとを備える。サンプリング・パルスCLKは、T&Hと、遅延器τを介してADCとに供給される。T&Hは、サンプリング・パルスCLKに応答して、入力信号VS0を保持する装置である。ADCは、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して、T&Hの出力信号VT0をアナログ・ディジタル変換する装置である。遅延器τは、T&Hの伝搬遅延の影響を排除するために該伝搬遅延時間以上の遅延を入力信号に付加する。ADCとデータ出力端DOとはデータ・バスDBで接続される。データ・バスDBの幅は、1ビット以上である。また、ADCは、1ビット以上である。
データ出力端DOから出力されるディジタル・データ、および、データ出力端DOから出力されるディジタル・データは、接続順に連結されて1つのディジタル・データを形成する。連結ディジタル・データは、アナログ・ディジタル変換装置300による被測定信号Vinのアナログ・ディジタル変換の結果である。
T&HおよびT&Hは、1チャンネルのトラック・アンド・ホールド回路である。例えば、T&HおよびT&Hは、図11に示すような構成を有する。すなわち、T&HおよびT&Hのそれぞれは、入力信号Tin5をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin5のレベルを保持するコンデンサCとを備える。スイッチSWは、入力されるサンプリング・パルスCLKに応答して動作する。コンデンサCはLSI内に作られることから、それらの容量は、せいぜい1ピコファラド以下であることが想定される。
また、T&HおよびT&Hは、図11に示す構成を有する場合、トラック期間中は、入力される信号を後続の回路や装置にほぼそのまま伝達してしまう。そのような信号の漏れを後続の回路や装置が嫌う場合、図12に示すようなマスタ/スレーブ型トラック・アンド・ホールド回路でT&HおよびT&Hを構成すれば良い。図12において、T&HおよびT&Hのそれぞれは、入力信号Tin6をオン/オフするスイッチSWと、入力信号Tin6のレベルを保持するコンデンサCと、スイッチSWから出力される中間信号Tm6をオン/オフするスイッチSWと、中間信号Tm6のレベルを保持するコンデンサCと、バッファBufと、インバータINVとを備える。スイッチSWおよびSWは、サンプリング・パルスCLKに応答して動作する。サンプリング・パルスCLKは、バッファBufを介してスイッチSWに、インバータINVを介してSWに、それぞれ供給される。また、コンデンサCおよびCはLSI内に作られることから、それらの容量は、せいぜい1ピコファラド以下であることが想定される。
また、T&HおよびT&Hに差動信号が入力される場合、T&HおよびT&Hは、図7または図8に示す構成を採用すれば良い。
次に、図10を参照しながら、アナログ・ディジタル変換装置300の動作について説明する。
初段のアナログ・ディジタル変換部STGにおいて、T&Hは、サンプリング・パルスCLKに応答して、入力信号VSnを保持する。続いて、ADCは、T&Hの出力信号VTnをアナログ・ディジタル変換する。ADCのアナログ・ディジタル変換後、変換結果としてディジタル・データが、ADCからDACとデータ出力端DOとに出力される。DACは、与えられるディジタル・データに基づいて信号VRnを出力する。
次段のアナログ・ディジタル変換部STGn−1において、T&Hn−1は、サンプリング・パルスCLKに応答して、入力信号VSn−1を保持する。続いて、ADCn−1は、T&Hn−1の出力信号VTn−1をアナログ・ディジタル変換する。ADCn−1のアナログ・ディジタル変換後、変換結果としてディジタル・データが、ADCn−1からDACn−1とデータ出力端DOn−1とに出力される。DACn−1は、与えられるディジタル・データに基づいて信号VRn−1を出力する。変換対象となる出力信号VTn−1は、ADCのアナログ・ディジタル変換完了後に保持された入力信号VSn−1である。もし、ADCn−1の変換処理がサンプリング・パルスCLKの1周期以上の時間を要する場合、ADCn−1の変換処理期間中、T&Hn−1の出力信号VTn−1は一定でなければならない。それゆえ、ADCn−1の変換処理期間中にT&Hn−1の出力信号VTn−1を一定に保つのに必要とされる期間中、少なくともDACの出力信号VRnは一定に保たれる。
さらに続く後段においても、アナログ・ディジタル変換部STGに至るまで、同様の処理が実施される。
最後段であるアナログ・ディジタル変換部STGにおいて、T&Hは、サンプリング・パルスCLKに応答して、入力信号VS0を保持する。続いて、ADCは、T&Hの出力信号VT0をアナログ・ディジタル変換する。ADCのアナログ・ディジタル変換後、変換結果としてディジタル・データが、ADCからDACとデータ出力端DOとに出力される。DACは、与えられるディジタル・データに基づいて信号VR0を出力する。変換対象となる出力信号VT0は、ADCのアナログ・ディジタル変換完了後に保持された入力信号VS0である。もし、ADCの変換処理がサンプリング・パルスCLKの1周期以上の時間を要する場合、ADCの変換処理期間中、T&Hの出力信号VT0は一定でなければならない。それゆえ、ADCの変換処理期間中にT&Hの出力信号VT0を一定に保つのに必要とされる期間中、少なくともDACの出力信号VR1は一定に保たれる。
ADCの変換処理が完了した後、データ出力端DOからDOおよびDOのそれぞれから得られるディジタル・データを結合して、アナログ・ディジタル変換装置300の変換結果を生成する。データ出力端DOから得られるディジタル・データは、最上位に割り当てられる。また、データ出力端DOから得られるディジタル・データは、最下位に割り当てられる。中間位については、データ出力端DOn−1からDOのそれぞれから得られるディジタル・データが順番に割り当てられる。なお、データ出力端DOからDOおよびDOのそれぞれから得られるディジタル・データは、同じΔtに関連するものである。すなわち、それらのディジタル・データは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスから任意の時間Δtだけずれた時間位置で、出力信号VTnからVT1およびVT0のそれぞれをアナログ・ディジタル変換したものである。
以上の説明から明らかなように、T&Hn−1からT&Hの全てをパイプラインの幹線と各ADCの入力端との間に配置し、被測定信号Vinの所定の時間位置Δtで、差信号VDnを1段階下位のT&Hn−1により保持するようにしているので、アナログ・ディジタル変換装置300に要求されるレベル精度を複数のT&Hと複数のADCで分担することができる。例えば、T&Hに要求されるレベル精度はADCの分解能以上であれば良い。また、T&Hn−1からT&HおよびT&Hのそれぞれについても同様である。念のため述べておくと、パイプラインの幹線とは、各アナログ・ディジタル変換部を貫通する信号線である。さらに別の言い方をすれば、パイプラインの幹線とは、ADCおよびDACを経由しないアナログ信号線である。
次に、n=1の場合の、すなわち、2段構成時のアナログ・ディジタル変換装置300の例を、第四の実施形態として以下に説明する。本発明の第四の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置400は、前段のアナログ・ディジタル変換部STGと前段のアナログ・ディジタル変換部STGとからなる。また、アナログ・ディジタル変換装置500は、アナログ・ディジタル変換部STGを逐次比較近似型ADCで構成する。
ここで、図13を参照する。図13は、本発明の第四の実施形態である、集積回路に組み込まれたアナログ・ディジタル変換装置400のブロック図である。アナログ・ディジタル変換装置400は、アナログ・ディジタル変換装置200を含む。従って、図13において、図5と同一の構成要素は、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。図13において、アナログ・ディジタル変換装置400は、以下のように構成される。
すなわち、アナログ・ディジタル変換装置400は、パルス発生器10と、遅延器22と、差動増幅器210とトラック・アンド・ホールド回路220と比較器250、SAR430と、DAC140と、遅延器23と、差動増幅器410と、T&H420と、ADC460と、コントローラ490とを備える。アナログ・ディジタル変換装置400は、被測定信号Vinが入力される。パルス発生器10が出力するサンプリング・パルスCLKは、T&H220と、T&H420と、遅延器22を介してSAR430と、遅延器23を介してADC460とに供給される。サンプリング・パルスCLKは、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスからΔtだけずれた時間位置でパルスが発生している。遅延器22は、T&H220の伝搬遅延の影響をなくすために、該伝搬遅延時間以上の遅延を入力信号に付加する。また、遅延器23は、T&H420の伝搬遅延の影響をなくすために、該伝搬遅延時間以上の遅延を入力信号に付加する。T&H220およびT&H420は、サンプリング・パルスCLKに応答して、それぞれの入力信号を保持する。また、SAR430およびADC460は、サンプリング・パルスCLKの立ち上がりエッジに応答して動作する。T&H420は、差動増幅器410の出力信号Vを保持する。差動増幅器410には、DAC140の出力信号である参照信号Vrefとが入力される。ADC460には、T&H420が保持した信号が入力される。ADC460は、データバス31を介して、データ出力端Dout2に変換データを出力する。SAR430は、SAR130に対して、SAR430の動作状況を知らせるためのステータス信号STを送信する機能と、SAR430の動作を外部制御させるための制御信号ENを受信する機能とを加えてものである。また、ADC460は、ADC460の動作状況を知らせるためのステータス信号STを送信する機能と、ADC460の動作を外部制御させるための制御信号ENを受信する機能とを有する。コントローラ490は、ステータス信号STおよびステータス信号STを受信し、ならびに、制御信号ENおよび制御信号ENを送信することにより、SAR430およびADC460の動作を制御する装置である。本実施形態において、SAR430のレジスタ長(分解能)、DAC140の分解能、および、データバス30の幅は、それぞれ4ビットとする。実際には、それらは、4ビット以外であっても良い。ADC460の分解能、および、データバス31の幅は、それぞれ6ビットとする。実際には、それらは、6ビット以外であっても良い。
次に、アナログ・ディジタル変換装置300の動作について説明する。
まず、コントローラ490は、制御信号ENを出力して、上位4ビットのアナログ・ディジタル変換をSAR430に実施させる。この時、ADC460は、コントローラ490から出力される制御信号ENにより待機状態にある。SAR430は、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスから任意の時間Δtだけずれた時間位置における被測定信号Vinのを実質的にアナログ・ディジタル変換し、変換結果としてディジタル・データをDAC140とデータ出力端Dout1とに出力する。DAC140は、与えられるディジタル・データに基づいて信号Vrefを出力する。出力信号Vrefは、図10におけるVR1に相当する。SAR430によるアナログ・ディジタル変換については、第二の実施形態の説明のとおりである。SAR430は、アナログ・ディジタル変換が完了すると、ステータス信号STを出力して、コントローラ490に変換完了を知らせる。すると、コントローラ490は、制御信号ENを出力して、SAR430を待機状態にする。続けて、コントローラ490は、制御信号ENを出力して、下位6ビットのアナログ・ディジタル変換をADC460に実施させる。
ADC460は、T&H420の出力信号Vをアナログ・ディジタル変換する。変換対象となる出力信号Vは、SAR430によるアナログ・ディジタル変換後であってDAC140の出力信号Vrefが安定した後に保持された差動増幅器410の出力信号Vである。ADC460のアナログ・ディジタル変換後、変換結果としてディジタル・データが、ADC460からデータ出力端Dout2に出力される。なお、ADC460の変換処理がサンプリング・パルスCLKの1周期以上の時間を要する場合、T&H420の出力信号Vは、ADC460の変換処理期間中、一定でなければならない。従って、ADC460の変換処理期間中にT&H420の出力信号Vを一定に保つのに必要とされる期間中、少なくともDAC140の出力信号Vrefは一定に保たれる。ADC460は、アナログ・ディジタル変換が完了すると、ステータス信号STを出力して、コントローラ490に変換完了を知らせる。すると、コントローラ490は、所定の時間、ADC460も待機状態にする。コントローラ490は、所定の時間が経過した後、制御信号ENを出力して、上位4ビットのアナログ・ディジタル変換をADC460に再び実施させる。以上の動作が、コントローラ490によって繰り返される。
また、SAR430およびADC460が待機状態である間に、データ出力端Dout1から得られるSAR430の変換結果を上位4ビットとし、データ出力端Dout2から得られるADC460の変換結果を下位6ビットとする10ビットのデータを得る。この10ビットのデータがアナログ・ディジタル変換装置400の変換結果となる。なお、SAR430の変換結果とADC460の変換結果は、同じΔtに関連するものである。すなわち、SAR430の変換結果とADC460の変換結果は、被測定信号Vinの立ち上がり時のゼロクロスから任意の時間Δtだけずれた時間位置で保持されたT&H220およびT&H420の出力信号に基づくものである。
アナログ・ディジタル変換装置300と同様に、アナログ・ディジタル変換装置400に要求されるレベル精度を上位のT&H220と下位のT&H420とで分担することができる。
ところで、差動増幅器210と差動増幅器410とは共通化する事ができる。同様に、T&H220とT&H420とは共通化する事ができる。それらの共通化を実施した場合、図13に示すアナログ・ディジタル変換装置400は、図14のように変更される。図14において、図13と同一の構成要素は、同一の参照番号を付されている。図14に示すアナログ・ディジタル変換装置500を、本発明の第五の実施形態とする。アナログ・ディジタル変換装置500の動作は、アナログ・ディジタル変換装置400とほぼ同じである。アナログ・ディジタル変換装置400の動作説明において、T&H220をT&H420に、差動増幅器410を差動増幅器210に、それぞれ読み替えれば良い。アナログ・ディジタル変換装置500は、アナログ・ディジタル変換装置400に比べて、回路規模の点で有利である。
以上の説明から明らかなように、T&H420に要求されるレベル精度はADC460の分解能以上であれば良い。また、アナログ・ディジタル変換装置500において、上位のアナログ・ディジタル変換を担当するSAR430の変換結果に基づいて生成される信号Vrefと被測定信号Vinとの差信号が、被測定信号Vinの所定の時間位置ΔtでT&H420により保持される。これにより、アナログ・ディジタル変換装置500に備えられるT&HはT&H420のみであるにもかかわらず、T&H420に要求されるレベル精度は、T&H420に後続する複数のアナログ・ディジタル変換手段のうち最も高い分解能を有するアナログ・ディジタル変換手段460の分解能以上であれば良く、アナログ・ディジタル変換装置500に要求されるレベル精度以上である必要がない。
以上に説明した第一、第二、第三、第四、および、第五の実施形態のアナログ・ディジタル変換装置は、装置全体が集積回路に組み込まれたものとして説明してきた。BISTにおいて、テスト装置が集積回路に組み込み可能であることの他に、集積回路内に構築するテスト関連回路の占有領域を小さくしたいという要求がある。そこで、集積回路内の占有領域をできるだけ小さくした実施形態について、以下に説明する。
本発明の第六の実施形態は、第二の実施形態のアナログ・ディジタル変換装置200の一部を集積回路内に組み込み、残りを集積回路に外部接続される装置に実装したものである。すなわち、第六の実施形態は、トラック・アンド・ホールド部が組み込まれた集積回路1100と、アナログ・ディジタル変換部が実装された試験装置1200とで構成されるテストシステム1000である。ここで、テストシステム1000のブロック図を図15に示す。図15において、集積回路1100は、差動増幅器210と、トラック・アンド・ホールド回路220と、比較器250とを備える。T&H220は、マスタ/スレーブ型のトラック・アンド・ホールド回路である。試験装置1200は、集積回路1100内部の被測定信号Vinを観測するための装置であって、パルス発生器10と、遅延器22と、SAR130と、DAC140とを備える。テストシステム1000の動作は、アナログ・ディジタル変換装置200と同じである。図15を見て明らかなように、集積回路1100と試験装置1200との間でやりとりされる、被測定信号Vinに関する信号Cout2およびVrefは、少なくともサンプリング・パルスCLKの1周期内において、直流とみなせる。直流信号は、高周波信号に比べて、高精度な取り扱いが容易である。従って、試験装置1200は、被測定信号Vinの高精度なアナログ・ディジタル変換のために高価な部品を備える必要がなくなる。また、差動増幅器210、せいぜい1ビット精度のトラック・アンド・ホールド回路220、および、比較的低速な比較器250は、CMOSプロセスにおいても容易に作られる。なお、比較器250は、集積回路1100ではなく、試験装置1200に備えられるようにしても良い。
本発明の第七の実施形態は、第三の実施形態のアナログ・ディジタル変換装置300の一部を集積回路内に組み込み、残りを集積回路に外部接続される装置に実装したものである。すなわち、第七の実施形態は、トラック・アンド・ホールド部が組み込まれた集積回路2100と、アナログ・ディジタル変換部が実装された試験装置2200とで構成されるテストシステム2000である。ここで、テストシステム2000のブロック図を図16に示す。図16において、集積回路2100は、T&HからT&HおよびT&Hと、減算器SUMから減算器SUMおよび減算器SUMと、増幅器AMPから増幅器AMPおよび増幅器AMPとを備える。T&HからT&HおよびT&Hは、マスタ/スレーブ型のトラック・アンド・ホールド回路である。試験装置2200は、集積回路2100内部の被測定信号Vinを観測するための装置であって、パルス発生器10と、ADCからADCおよびADCと、DACからDACおよびDACと、遅延器τから遅延器τおよび遅延器τとを備える。テストシステム2000の動作は、アナログ・ディジタル変換装置300と同じである。図16を見て明らかなように、集積回路2100と試験装置2200との間でやりとりされる、被測定信号Vinに関する信号VTnからVT1およびVT0、ならびに、信号VRnからVR1およびVR0は、少なくともサンプリング・パルスCLKの1周期内において、直流とみなせる。従って、試験装置2200は、被測定信号Vinの高精度なアナログ・ディジタル変換のために高価な部品を備える必要がなくなる。また、T&HからT&HおよびT&Hは、要求される精度を低くできるので、CMOSプロセスにおいて容易に作られる。さらに、減算器SUMから減算器SUMおよび減算器SUMは、差動増幅器などが利用できるので、CMOSプロセスにおいて容易に作られる。
本発明の第八の実施形態は、第五の実施形態のアナログ・ディジタル変換装置500の一部を集積回路内に組み込み、残りを集積回路に外部接続される装置に実装したものである。すなわち、第八の実施形態は、トラック・アンド・ホールド部が組み込まれた集積回路3100と、アナログ・ディジタル変換部が実装された試験装置3200とで構成されるテストシステム3000である。ここで、テストシステム3000のブロック図を図17に示す。図17において、集積回路3100は、差動増幅器210と、トラック・アンド・ホールド回路420と、比較器250と、シングルエンド正出力型の差動増幅器600とを備える。T&H420は、マスタ/スレーブ型のトラック・アンド・ホールド回路である。試験装置3200は、集積回路3100内部の被測定信号Vinを観測するための装置であって、パルス発生器10と、遅延器22と、遅延器23と、SAR430と、DAC140と、ADC460と、コントローラ490とを備える。テストシステム3000の動作は、アナログ・ディジタル変換装置500と同じである。ここで、差動増幅器600の出力信号をAout2とする。図17を見て明らかなように、集積回路3100と試験装置3200との間でやりとりされる、被測定信号Vinに関する信号Aout2、Cout2およびVrefは、少なくともサンプリング・パルスCLKの1周期内において、直流とみなせる。従って、試験装置3200は、被測定信号Vinの高精度なアナログ・ディジタル変換のために高価な部品を備える必要がなくなる。また、差動増幅器210および差動増幅器600、比較的低速な比較器250、ならびに、比較的低精度のトラック・アンド・ホールド回路420は、CMOSプロセスにおいても容易に作られる。
第六、第七、および、第八の実施形態において、パルス発生器10は、図2に示す構成を有するものである。しかし、図2におけるランプ発生器への入力信号Vinは、被測定信号Vinだけでなく、被測定信号Vinに同期した他の信号であれば良い。例えば、それぞれの実施形態における試験装置内で生成されるクロック信号であっても良い。試験対象である集積回路は、一般に、試験装置内で生成されるクロック信号が供給されて動作するので、その場合、試験装置内で生成されるクロック信号は被測定信号Vinと同期がとれている。また、パルス発生器10は、集積回路に備えられても良い。
以上に説明した本発明の実施形態において、Δtを少しずつずらして、パルスの発生位置が、被測定信号の少なくとも1周期を掃引するようにすれば、被測定信号の全体的な波形が観測できる。
また、以上に説明した本発明の実施形態において、アナログ・ディジタル変換装置は、全部または一部が、試験対象とは異なる集積回路に組み込まれても良い。
さらに、以上に説明した本発明の実施形態において、T&Hは、抵抗器とコンデンサとを用いた極めて単純な構成を有するものが例示されているが、OPアンプなどを含む他の形式のT&Hであっても良い。
またさらに、以上に説明した本発明の実施形態において、比較器の比較結果を保持するFFは、ラッチに代えることができる。
また、以上に説明した本発明の実施形態において、T&Hは、サンプル・アンド・ホールド回路(S&H)や他の信号保持手段に代えることができる。
さらに、以上に説明した本発明の実施形態において、比較器、および、比較器の比較結果を保持するFFは、ラッチコンパレータに代えることができる。
またさらに、以上に説明した本発明の実施形態において、差動出力の差動増幅器をシングルエンド出力に変える場合には、後続のT&Hを図11または図12に示されるような1ch構成に変え、後続の比較器の負入力端をグランドに接続すれば良い。
本発明の第一の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置100のブロック図である。 パルス発生器10のブロック図である。 パルス発生器10の動作を示すタイミングチャートである。 アナログ・ディジタル変換装置100の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第二の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置200のブロック図である。 差動増幅器210のブロック図である。 トラック・アンド・ホールド回路220のブロック図である。 トラック・アンド・ホールド回路220のブロック図である。 アナログ・ディジタル変換装置200の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第三の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置300のブロック図である。 T&HおよびT&Hのブロック図である。 T&HおよびT&Hのブロック図である。 本発明の第四の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置400のブロック図である。 本発明の第五の実施形態であるアナログ・ディジタル変換装置500のブロック図である。 本発明の第六の実施形態であるテストシステム1000のブロック図である。 本発明の第七の実施形態であるテストシステム2000のブロック図である。 本発明の第八の実施形態であるテストシステム3000のブロック図である。
符号の説明
10 パルス発生器
11 ランプ信号発生器
13 比較器
21,22,23 遅延器
30,31 データバス
100,200,300,400,500 アナログ・ディジタル変換装置
110,250,410 比較器
120 フリップ・フロップ
130,430 逐次比較近似レジスタ
140,330 ディジタル・アナログ変換器
210,600 差動増幅器
220,420 トラック・アンド・ホールド回路
320,460 アナログ・ディジタル変換器
490 コントローラ
1000,2000,3000 テストシステム
1100,2100,3100 集積回路
1200,2200,3200 試験装置

Claims (34)

  1. 繰り返し信号を保持する方法であって、
    前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較するステップと、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記比較結果を保持するステップと、
    を含むことを特徴とする信号保持方法。
  2. 繰り返し信号を保持する方法であって、
    前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較し、比較結果として論理信号を発生するステップと、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記論理信号を保持するステップと、
    を含むことを特徴とする信号保持方法。
  3. 繰り返し信号を保持する方法であって、
    前記繰り返し信号と参照信号との差信号を生成するステップと、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記差信号を保持するステップと、
    を含むことを特徴とする信号保持方法。
  4. 前記繰り返し信号の所定の時間位置であって前記保持時とは絶対時間が異なる時間位置において、前記繰り返し信号をアナログ・ディジタル変換し、該変換結果をディジタル・アナログ変換することにより前記参照信号を生成するステップを、
    さらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の信号保持方法。
  5. 繰り返し信号を保持する装置であって、
    前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較する手段と、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記比較結果を保持する手段と、
    を含むことを特徴とする信号保持装置。
  6. 繰り返し信号を保持する装置であって、
    前記繰り返し信号と参照信号とをレベル比較し、比較結果として論理信号を発生する手段と、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記論理信号を保持する手段と、
    を含むことを特徴とする信号保持装置。
  7. 繰り返し信号を保持する装置であって、
    前記繰り返し信号と参照信号との差信号を生成する手段と、
    前記繰り返し信号の所定の時間位置における前記差信号を保持する手段と、
    を含むことを特徴とする信号保持装置。
  8. 前記繰り返し信号の所定の時間位置であって前記保持時とは絶対時間が異なる時間位置において、前記繰り返し信号をアナログ・ディジタル変換し、該変換結果をディジタル・アナログ変換することにより前記参照信号を生成する手段を、
    さらに含むことを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の信号保持装置。
  9. 入力信号をアナログ・ディジタル変換する方法であって、
    参照信号を発生するステップと、
    前記被測定信号の所定の時間位置における、前記入力信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整するステップと、
    を含むことを特徴とするアナログ・ディジタル変換方法。
  10. 入力信号をアナログ・ディジタル変換する方法であって、
    ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生するステップと、
    該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整するステップと、
    を含むことを特徴とするアナログ・ディジタル変換方法。
  11. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との差信号である、ことを特徴とする請求項9または請求項10に記載のアナログ・ディジタル変換方法。
  12. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との大小を示す論理信号である、ことを特徴とする請求項9または請求項10に記載のアナログ・ディジタル変換方法。
  13. 前記出力レベル調整ステップは、前記被測定物から出力される前記比較結果を逐次比較近似論理より判定してディジタル・データを変更する、
    ことを特徴とする請求項9乃至請求項12のいずれかに記載のアナログ・ディジタル変換方法。
  14. 入力信号をアナログ・ディジタル変換する装置であって、
    参照信号を発生する手段と、
    前記被測定信号の所定の時間位置における、前記入力信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整する手段と、
    を備えることを特徴とするアナログ・ディジタル変換装置。
  15. 入力信号をアナログ・ディジタル変換する装置であって、
    ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生する手段と、
    該参照信号を前記被測定物に出力する手段と、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整する手段と、
    を備えることを特徴とするアナログ・ディジタル変換装置。
  16. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との差信号である、ことを特徴とする請求項14または請求項15に記載のアナログ・ディジタル変換装置。
  17. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との大小を示す論理信号である、ことを特徴とする請求項14または請求項15に記載のアナログ・ディジタル変換装置。
  18. 前記出力レベル調整手段は、前記被測定物から出力される前記比較結果を逐次比較近似論理より判定してディジタル・データを変更する、
    ことを特徴とする請求項14乃至請求項17のいずれかに記載のアナログ・ディジタル変換装置。
  19. 複数のアナログ・ディジタル変換部を備えるパイプライン型アナログ・ディジタル変換装置であって、
    前記アナログ・ディジタル変換部は、パイプラインの幹線と具備するアナログ・ディジタル変換器との間に信号保持手段を備える、
    ことを特徴とするアナログ・ディジタル変換装置。
  20. 複数のアナログ・ディジタル変換部を備えるパイプライン型アナログ・ディジタル変換装置であって、
    前記アナログ・ディジタル変換部は、
    前記アナログ・ディジタル変換部に入力される信号を保持する手段と、
    前記保持手段の出力信号をアナログ・ディジタル変換する手段と、
    前記アナログ・ディジタル変換手段の変換結果をディジタル・アナログ変換する手段と、
    前記入力信号と前記ディジタル・アナログ変換手段の出力信号との差信号を発生する手段と、
    を具備する、ことを特徴とするアナログ・ディジタル変換装置。
  21. 繰り返し信号の所定の時間位置を示す信号を発生する手段を備えることを特徴とする請求項14乃至請求項20のいずれかに記載のアナログ・ディジタル変換装置。
  22. 被測定物内部の被測定信号を観測するための方法であって、
    参照信号を発生するステップと、
    該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整するステップと、
    を含むことを特徴とする信号観測方法。
  23. 被測定物内部の被測定信号を観測するため方法であって、
    ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生するステップと、
    該参照信号を前記被測定物に出力するステップと、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整するステップと、
    を含むことを特徴とする信号観測方法。
  24. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との差信号である、ことを特徴とする請求項22または請求項23に記載の信号観測方法。
  25. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との大小を示す論理信号である、ことを特徴とする請求項22または請求項23に記載の信号観測方法。
  26. 前記出力レベル調整ステップは、前記被測定物から出力される前記比較結果を逐次比較近似論理より判定してディジタル・データを変更する、
    ことを特徴とする請求項22乃至請求項25のいずれかに記載の信号観測方法。
  27. 前記比較結果は、前記被測定信号の所定の時間位置における比較結果であることを特徴とする請求項22乃至請求項26のいずれかに記載の信号観測方法。
  28. 被測定物内部の被測定信号を観測するための装置であって、
    参照信号を発生する手段と、
    該参照信号を前記被測定物に出力する手段と、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記参照信号の出力レベルを調整する手段と、
    を備えることを特徴とする信号観測装置。
  29. 被測定物内部の被測定信号を観測するため方法であって、
    ディジタル・データをディジタル・アナログ変換することにより参照信号を発生する手段と、
    該参照信号を前記被測定物に出力する手段と、
    前記被測定物から出力される、前記被測定信号と前記参照信号との比較結果に基づき、前記ディジタル・データを変更することにより前記参照信号の出力レベルを調整する手段と、
    を備えることを特徴とする信号観測装置。
  30. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との差信号である、ことを特徴とする請求項28または請求項29に記載の信号観測装置。
  31. 前記比較結果は、前記被測定信号と前記参照信号との大小を示す論理信号である、ことを特徴とする請求項28または請求項29に記載の信号観測装置。
  32. 前記出力レベル調整手段は、前記被測定物から出力される前記比較結果を逐次比較近似論理より判定してディジタル・データを変更する、
    ことを特徴とする請求項28乃至請求項31のいずれかに記載の信号観測装置。
  33. 前記比較結果は、前記被測定信号の所定の時間位置における比較結果であることを特徴とする請求項28乃至請求項32のいずれかに記載の信号観測装置。
  34. 繰り返し信号の所定の時間位置を示す信号を発生する手段を備えることを特徴とする請求項28乃至請求項33のいずれかに記載の信号観測装置。
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