JP2005244670A - 弾性表面波装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムの単結晶からなり、かつ酸素含有量が化学量論比組成より少ない非焦電性の圧電基板1の、酸素含有量が周囲より多い表面の一領域2上に、IDT電極3を形成してなることを特徴とする弾性表面波装置とする。これにより、圧電基板1の焦電効果によって発生する静電気によるIDT電極3の破壊を防止することができ、しかも従来必要であった工程を省略することができる。
【選択図】 図1
Description
2,5:酸素含有量が多い領域
3:IDT電極
4:遷移金属元素を添加した圧電基板
6:本発明の弾性表面波装置の周波数特性
7:比較例の弾性表面波装置の周波数特性
8:弾性表面波共振子
Claims (3)
- タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、かつ酸素含有量が化学量論比組成より少ない非焦電性の圧電基板の酸素含有量が周囲より多い表面の一領域上に、IDT電極を形成してなることを特徴とする弾性表面波装置。
- タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、かつ酸素含有量が化学量論比組成より少ない非焦電性の圧電基板の表面を酸化する工程と、前記圧電基板の酸化表面にIDT電極を形成する工程と、前記圧電基板の前記IDT電極が形成されている表面の一領域を除く酸化表面を除去する工程と、を含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。
- タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム単結晶からなり、かつ酸素含有量が化学量論比組成より少ない非焦電性の圧電基板の表面の一領域を酸化する工程と、前記圧電基板の表面の一領域上にIDT電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。
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