JP2005243719A - 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】Gaを含むIII-V族化合物半導体電界効果型トランジスタにおいて、製造工程を増やすことなく、ゲートリセス形成時のダメージを除去し、表面準位や界面準位の影響を受けない、性能の優れたゲートリセス電界効果型トランジスタを提供する。
【解決手段】オーミック電極となるソース電極S、ドレイン電極Dとのコンタクト層として、n+GaNではなく、n型半導体層であるZnO,In2O3のような導電性金属酸化物層5を用いる。
【効果】導電性金属酸化物層5は、エッチングが容易であり、ゲート金属Gが積層されるAlGaN4の表面にダメージを導入することなくリセス構造が作製可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】オーミック電極となるソース電極S、ドレイン電極Dとのコンタクト層として、n+GaNではなく、n型半導体層であるZnO,In2O3のような導電性金属酸化物層5を用いる。
【効果】導電性金属酸化物層5は、エッチングが容易であり、ゲート金属Gが積層されるAlGaN4の表面にダメージを導入することなくリセス構造が作製可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、III-V族化合物半導体電界効果型トランジスタに関し、特にGaNを用いた電界効果型トランジスタの構造及びその形成方法に関するものである。
III-V族化合物半導体電界効果型トランジスタ、特にGaN系材料を用いた電界効果型トランジスタは高出力・高周波素子として期待されており、開発が進められている。
図7に、従来のIII-V族材料の電界効果型トランジスタ(High Electron Mobility Transistor: HEMT)の基本的な構造を示す。
この電界効果型トランジスタは、サファイア又はSiCなどの基板2の上に、半絶縁性GaN層3を形成し、その上にバリア層となるAlNとGaNの混晶であるAlxGa1-xN(0<x<0.5程度,以下AlGaNと記す)層4を形成し、そしてそのAlGaN層4の上に、ソース電極Sと、ドレイン電極Dと、ゲート電極Gとを設けている。
図7に、従来のIII-V族材料の電界効果型トランジスタ(High Electron Mobility Transistor: HEMT)の基本的な構造を示す。
この電界効果型トランジスタは、サファイア又はSiCなどの基板2の上に、半絶縁性GaN層3を形成し、その上にバリア層となるAlNとGaNの混晶であるAlxGa1-xN(0<x<0.5程度,以下AlGaNと記す)層4を形成し、そしてそのAlGaN層4の上に、ソース電極Sと、ドレイン電極Dと、ゲート電極Gとを設けている。
また、図8に示すように、ソース、ドレインのオーミックコンタクト層として1018〜1019/cm3程度の高濃度にn型にドーピングされたn+GaN層10を設けた、いわゆるリセス構造を有するデバイス構造がある。このn+GaN層10はオーミックコンタクト層としてばかりでなく、ソース−ゲート間、ドレイン−ゲート間のAlGaN層4の表面を覆うことで、表面準位、界面準位の影響を少なくすることができる。
このリセス構造では、AlGaN層4の表面にn+GaN層10を形成した後、ゲート電極Gを形成する前に、ゲート下部分をエッチングして、ノンドープのAlGaN層4を露出させ、ゲート電極GをこのノンドープのAlGaN層4にコンタクトさせる。
GaNやAlGaNは化学的に安定であり、酸やアルカリの溶液によるウェットエッチングが困難である。従って通常、反応性イオンエッチング(RIE)等のドライエッチングによりn+GaN層のエッチングが行われる。
GaNやAlGaNは化学的に安定であり、酸やアルカリの溶液によるウェットエッチングが困難である。従って通常、反応性イオンエッチング(RIE)等のドライエッチングによりn+GaN層のエッチングが行われる。
ところが、このドライエッチングによりAlGaN層表面はダメージを受け、窒素原子が抜ける。窒素原子が抜けた窒素空孔はGaN半導体中ではドナーとなるため、絶縁性を示していたAlGaN層4はn型半導体層へと変化してしまう。このため、このダメージを受けたAlGaN層4上にゲート金属を形成した場合、非常にゲートリーク電流が大きくなり、デバイス特性の劣化を引き起こす。
特開2001-185717号公報においてはこの窒素空孔によるドナー濃度の増加を相殺するため、AlGaN層4にあらかじめMgなどのアクセプタとなる材料をイオン注入し、P型化させておく方法が開示されている。
また、特開2001-85670号公報においてはオーミック電極となる金属端面に陽極酸化膜などの絶縁膜を形成し、表面準位の影響をより少なくしたリセス構造からなる電界効果型トランジスタが開示されている。
特開2001-185717号公報
特開2001-85670号公報
また、特開2001-85670号公報においてはオーミック電極となる金属端面に陽極酸化膜などの絶縁膜を形成し、表面準位の影響をより少なくしたリセス構造からなる電界効果型トランジスタが開示されている。
しかしながら特開2001-185717号公報においてはAlGaN表面をP型化するためのイオン注入の工程や、Mgアクセプタを活性化させるためのアニーリングが必要となり工程が増える。また、注入量の制御やアニールによるMgの拡散などが生じ、デバイス特性のばらつきが生じる可能性がある。
また、特開2001-85670号公報においてはエッチングにおいてRIEを用いなければならないので、前述したように、ゲート金属が積層されるAlGaN層部分にダメージが入り、ゲートリークが増大する恐れがある。また陽極酸化により絶縁膜を形成する方法においては電流パスをパターン中に残し、後に除去するなどパターンや工程が複雑になる。
また、特開2001-85670号公報においてはエッチングにおいてRIEを用いなければならないので、前述したように、ゲート金属が積層されるAlGaN層部分にダメージが入り、ゲートリークが増大する恐れがある。また陽極酸化により絶縁膜を形成する方法においては電流パスをパターン中に残し、後に除去するなどパターンや工程が複雑になる。
本発明は、Gaを含むIII-V族化合物半導体電界効果型トランジスタにおいて、製造工程を増やすことなく、ゲートリセス形成時のダメージを除去し、表面準位や界面準位の影響を受けない、性能の優れたゲートリセス電界効果型トランジスタを提供することを目的とする。
本発明者は、III-V族化合物半導体電界効果型トランジスタのリセス構造におけるコンタクト層に、n+GaNではなく、n型半導体層として導電性金属酸化物層を用いることで、容易にエッチングが可能であり、ゲート金属が積層されるAlGaN表面にダメージを導入することなくリセス構造が作製可能であることを知見し、本発明に至った。
本発明の電界効果型トランジスタは、サファイアなどからなる基板上にノンドープGaN層、その上にノンドープ及び/又はn型AlGaN層、さらにその上にキャップ層となるn型半導体層が形成され、該n型半導体層上にオーミック電極となる前記ソース電極、ドレイン電極が形成され、該n型半導体層の一部分が開口され、その開口部に前記AlGaN層に接触するゲート電極が形成されるリセスゲート構造を有し、前記n型半導体層が導電性金属酸化物層から成ることを特徴とするものである。
本発明の電界効果型トランジスタは、サファイアなどからなる基板上にノンドープGaN層、その上にノンドープ及び/又はn型AlGaN層、さらにその上にキャップ層となるn型半導体層が形成され、該n型半導体層上にオーミック電極となる前記ソース電極、ドレイン電極が形成され、該n型半導体層の一部分が開口され、その開口部に前記AlGaN層に接触するゲート電極が形成されるリセスゲート構造を有し、前記n型半導体層が導電性金属酸化物層から成ることを特徴とするものである。
前記導電性金属酸化物層の材質は、ZnO及び/又はIn2O3であることが好ましい。
ZnOの場合は、Al,Ga,InなどのIII族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることが好ましい。
In2O3の場合は、SnなどのIV族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることが好ましい。
ZnOの場合は、Al,Ga,InなどのIII族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることが好ましい。
In2O3の場合は、SnなどのIV族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることが好ましい。
通常、GaN系電界効果トランジスタのキャップ層にはGaNにSiをドープしたn+GaNが用いられるが、n+GaNの形成には高温成長が必要であり、またGaNはエッチングが非常に困難であるため、ゲート形成のための開口部を設けるには、RIEなどのドライエッチング法を用いる必要があった。その際のRIEによるダメージのためゲートリーク電流の増加など特性の劣化が問題になる。
これに対して本発明では、n+GaN層に代わり、ZnOやIn2O3のような導電性金属酸化物を用いることで、低温での膜形成が可能であり、しかもドーピングにより容易に1019/cm3以上のキャリア濃度を得ることが可能となる。また、導電性金属酸化物層上に積層するソース電極やドレイン電極は、当該導電性金属酸化物層が高濃度のキャリア濃度のため空乏層が十分に狭くなり、電子はトンネルにより容易に通過できるためコンタクト抵抗を十分に低くできる。さらにZnOなどの導電性金属酸化物の電子親和力とAlGaNの電子親和力は近いので障壁は低く、導電性金属酸化物層とAlGaN層とのコンタクト抵抗も低くなる。また導電性金属酸化物はエッチングも容易にできるためRIEのようなドライエッチングを行う必要がなく、ゲート形成部へのダメージをなくすことが可能となる。
また、抵抗率が10-3Ωcm以下であれば、ZnO層を1μmまで厚く積層した場合においても、その抵抗がコンタクト抵抗と比較して十分小さくなるのでその抵抗分を無視することができる。
さらに本発明の電界効果型トランジスタでは、前記構造に加えて、前記導電性金属酸化物層の上に開口部を有する絶縁物層が積層され、該絶縁物層の開口部の存在領域は、前記導電性金属酸化物層の開口部の中に含まれ、かつ、該絶縁物層の開口部の大きさは、前記導電性金属酸化物層の開口部よりも小さく、前記AlGaN層に接続するゲート金属が前記導電性金属酸化物層に接触することなく、前記絶縁物層の開口部を通してその表面まで形成されているような構造を採用することができる。前記絶縁物層は、たとえばSiO2又はSi3N4からなる。
さらに本発明の電界効果型トランジスタでは、前記構造に加えて、前記導電性金属酸化物層の上に開口部を有する絶縁物層が積層され、該絶縁物層の開口部の存在領域は、前記導電性金属酸化物層の開口部の中に含まれ、かつ、該絶縁物層の開口部の大きさは、前記導電性金属酸化物層の開口部よりも小さく、前記AlGaN層に接続するゲート金属が前記導電性金属酸化物層に接触することなく、前記絶縁物層の開口部を通してその表面まで形成されているような構造を採用することができる。前記絶縁物層は、たとえばSiO2又はSi3N4からなる。
この絶縁物層を備えた構造であれば、ゲート電極とリセス部の接触を防ぐことができ容易にT型ゲート電極の形成が可能となる。
さらに本発明の電界効果型トランジスタの製造方法は、Gaを含むIII-V族化合物半導体層上に導電性金属酸化物層を形成する工程と、該導電性金属酸化物層上にソース電極、ドレイン電極を形成する工程と、該導電性金属酸化物層上にフォトレジストによりゲート電極形成パターンをパターニングし、このフォトレジストによりIII-V族化合物半導体層が露出するまで導電性金属酸化物層のエッチングを行う工程と、続いて同じフォトレジストを用いて自己整合的にゲート金属をIII-V族化合物半導体層の上に設けることによりリセスゲート構造を形成する工程とを含むことを特徴とする。
さらに本発明の電界効果型トランジスタの製造方法は、Gaを含むIII-V族化合物半導体層上に導電性金属酸化物層を形成する工程と、該導電性金属酸化物層上にソース電極、ドレイン電極を形成する工程と、該導電性金属酸化物層上にフォトレジストによりゲート電極形成パターンをパターニングし、このフォトレジストによりIII-V族化合物半導体層が露出するまで導電性金属酸化物層のエッチングを行う工程と、続いて同じフォトレジストを用いて自己整合的にゲート金属をIII-V族化合物半導体層の上に設けることによりリセスゲート構造を形成する工程とを含むことを特徴とする。
前記導電性金属酸化物層は、真空蒸着法、化学気相成長法、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法、分子線エピタキシー(MBE)法、ゾルゲル法、エアロゾル法、レーザーアブレーション法などの薄膜形成法により形成することができる。
また、前記導電性金属酸化物層のエッチングは、酸又はアルカリ水溶液によるウェットエッチングで行うことが可能であり、特に前記エッチング水溶液は酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液であることが好ましい。
また、前記導電性金属酸化物層のエッチングは、酸又はアルカリ水溶液によるウェットエッチングで行うことが可能であり、特に前記エッチング水溶液は酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液であることが好ましい。
以上のような本発明の工程では、導電性金属酸化物層をAlGaN/GaNの基板上に成膜し、次にその上にソース電極、ドレイン電極をパターニングし、さらにフォトレジストによりゲート電極形成パターンをパターニングした後に、酸又はアルカリ水溶液などによりフォトレジストに覆われていない部分の導電性金属酸化物層をエッチングすることで、容易にゲート部分の導電性金属酸化物層を除去することができる。
この場合、ウェットエッチングによれば、ゲート形成部のAlGaN表面にダメージが入ることなく、ゲート電極を形成してもゲートリーク等の問題が生じることがない。
さらにエッチングを制御することで、導電性金属酸化物層をサイドエッチングし、その後に同様のフォトレジストを用いてゲート金属を蒸着等により自己整合的に形成することも可能である。従って特性の劣化がなく容易なプロセスでリセス構造をもつ電界効果トランジスタの製造が可能になる。
さらにエッチングを制御することで、導電性金属酸化物層をサイドエッチングし、その後に同様のフォトレジストを用いてゲート金属を蒸着等により自己整合的に形成することも可能である。従って特性の劣化がなく容易なプロセスでリセス構造をもつ電界効果トランジスタの製造が可能になる。
また、前記導電性金属酸化物層の上に、開口部を有する絶縁物層を積層した場合、この絶縁物層により、ゲート電極とリセス部の接触を防ぐことができ容易にT型ゲート電極の形成が可能となる。
以上詳述したように本発明によれば、サファイアなどからなる基板上にノンドープGaN層、ノンドープ及び/又はn型AlGaN層、さらにその上にキャップ層となる導電性金属酸化物層を形成し、該導電性金属酸化物層上にソース、ドレイン電極となる金属層を形成し、該導電性金属酸化物層の一部分を開口し、その開口部にゲート金属を形成している。導電性金属酸化物層の加工は、RIEを用いなくても容易であり、ゲート形成部へのダメージをなくすことができる。したがって、ゲートリークの増大を引き起こすことなく、化合物半導体系電界効果型トランジスタの性能の向上を実現することができる。
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明の電界効果型トランジスタは、Gaを含むIII-V族化合物半導体層と、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極とを有してなる電界効果型トランジスタに係るものであり、サファイアなどからなる基板上にノンドープ及び/又はn型のAlGaN層を形成し、さらにその上にキャップ層となるn型半導体層を形成し、該n型半導体層上に、ソース・ドレインとなるオーミック電極層が形成されている。さらにそのn型半導体層の一部分が開口され、その開口部にゲート金属が形成されている。
本発明の電界効果型トランジスタは、Gaを含むIII-V族化合物半導体層と、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極とを有してなる電界効果型トランジスタに係るものであり、サファイアなどからなる基板上にノンドープ及び/又はn型のAlGaN層を形成し、さらにその上にキャップ層となるn型半導体層を形成し、該n型半導体層上に、ソース・ドレインとなるオーミック電極層が形成されている。さらにそのn型半導体層の一部分が開口され、その開口部にゲート金属が形成されている。
本発明の電界効果型トランジスタは、このような、リセスゲート構造を有する電界効果型トランジスタにおいて、前記n型半導体層が導電性金属酸化物層から成ることを特徴とするものである。
<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1の実施形態における電界効果型トランジスタ1の構造を示す断面図である。この電界効果型トランジスタ1は、サファイア基板2上に半絶縁性GaN層3と、AlGaN層4とを順に形成している。その上に開口部5aを有するキャップ層である導電性金属酸化物層5を形成し、さらに導電性金属酸化物層5上にTi,Alからなるオーミックソース電極S、オーミックドレイン電極Dを設けている。そして、導電性金属酸化物層5の開口部5aには、Ni,Auの二重層からなるショットキーゲート電極Gを形成している。図1の符号「CH」は、チャンネル層を示している。
<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1の実施形態における電界効果型トランジスタ1の構造を示す断面図である。この電界効果型トランジスタ1は、サファイア基板2上に半絶縁性GaN層3と、AlGaN層4とを順に形成している。その上に開口部5aを有するキャップ層である導電性金属酸化物層5を形成し、さらに導電性金属酸化物層5上にTi,Alからなるオーミックソース電極S、オーミックドレイン電極Dを設けている。そして、導電性金属酸化物層5の開口部5aには、Ni,Auの二重層からなるショットキーゲート電極Gを形成している。図1の符号「CH」は、チャンネル層を示している。
この第1の実施の形態においては、導電性金属酸化物層5の材質として、ZnOを用いる。さらにZnOの導電率を高めるためにAlをドープする。
以下、この電界効果型トランジスタ1の製造方法の例を説明する。
最初に、有機金属気相成長(MOCVD)法などによりサファイア基板上に半絶縁性GaNと、Al0.25Ga0.75Nとをエピタキシャル成長させる。そしてこのエピ結晶をアセトン中で煮沸、表面の超音波洗浄を行い、その後メタノール、脱イオン水により洗浄し、表面の脱脂を行う。
以下、この電界効果型トランジスタ1の製造方法の例を説明する。
最初に、有機金属気相成長(MOCVD)法などによりサファイア基板上に半絶縁性GaNと、Al0.25Ga0.75Nとをエピタキシャル成長させる。そしてこのエピ結晶をアセトン中で煮沸、表面の超音波洗浄を行い、その後メタノール、脱イオン水により洗浄し、表面の脱脂を行う。
続いてこのウェハーをスパッタ装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を5×10-6Torr以下の真空度に排気する。排気と同時にウェハーの温度を300℃程度に加熱する。ウェハー温度を300℃に上げるのはスパッタ膜の結晶性を向上するためである。ただし加熱温度は特に限定されるものではなく、ZnO膜自体の抵抗率が10-3Ω・cm以下になる温度であれば特に限定されるものではない。
スパッタリングのターゲットは、ZnOに3重量%Al2O3を添加した焼結体を用いる。そして、Ar雰囲気中にてDCマグネトロンスパッタを行い、AlがドープされたZnO(ZnO:Al)膜5を形成する。膜厚は特に限定されるものではないが、あまり厚いと電極自身の抵抗分が大きくなるので、好ましくは1μm以下、さらに好ましくは0.1μm以下が望ましい。また、極端に薄いとアモルファスになることや、スパッタ時間やエッチング時間が短くなり、制御が困難になるので、好ましくは0.001μm以上、好ましくは0.01μm以上が望ましい。
その後、所定のマスクパターンを用いてフォトリソグラフィを行い、ZnO:Al膜5上に、ソース電極S、ドレインD電極となるTi/Al金属層を電子ビーム蒸着により積層し、リフトオフ法により所定のパターンを形成する。このソース電極S、ドレイン電極DとなるTi/Al金属層のパターンを形成した状態を図2(a)に示す。
さらに素子分離のためのフォトリソグラフィを行い、そのレジストを用いて一部ZnO:Al膜5のエッチングを行う。エッチングはHCl水溶液で行ったが、その他アルカリ水溶液など用いてもよい。ここでのエッチングはあまり精度を必要とすることはないので比較的早いエッチングレートでエッチングしても良い。ZnO:Al膜を一部エッチングし、AlGaN層4の表面が突出した後に、RIEによりAlGaN層4をエッチングすることで素子分離を行う。この素子分離された状態を図2(b)に示す。
さらに素子分離のためのフォトリソグラフィを行い、そのレジストを用いて一部ZnO:Al膜5のエッチングを行う。エッチングはHCl水溶液で行ったが、その他アルカリ水溶液など用いてもよい。ここでのエッチングはあまり精度を必要とすることはないので比較的早いエッチングレートでエッチングしても良い。ZnO:Al膜を一部エッチングし、AlGaN層4の表面が突出した後に、RIEによりAlGaN層4をエッチングすることで素子分離を行う。この素子分離された状態を図2(b)に示す。
素子分離後、窒素雰囲気中RTA装置によりアニールを500℃で1分間行う。このアニールは、ゲート金属形成用のフォトリソグラフィを行う前であればいつ行ってもよく、特に順序は限定されるものではない。
次いでゲート金属形成用マスクによりフォトリソグラフィを行い、ゲート形成部が開口したパターンをレジスト6により形成し、そのパターン開口部よりZnO:Al膜5のエッチングを行った。積層されているZnO:Al膜5をAlGaN表面が突出するまでエッチングし、さらに僅かにレジスト6に覆われている部分までサイドエッチングされるようエッチャントに浸した。ここで、エッチャントとしてはウェットエッチングできれば、酸、アルカリ水溶液のいずれでも良いが、液の均一性や安定性を考えると酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液で行うことが好ましい。さらにエッチングレートは極端に速くなければ限定されるものではないが、好ましくは1000Å/min以下、さらには500Å/min以下であることが望ましい。本実施例においては酢酸と酢酸ナトリウムによる緩衝溶液によりエッチングを行い、エッチングレートは800Å/minにて制御する。図2(c)は、ゲート形成用の開口部5aが形成された状態を示す。
次いでゲート金属形成用マスクによりフォトリソグラフィを行い、ゲート形成部が開口したパターンをレジスト6により形成し、そのパターン開口部よりZnO:Al膜5のエッチングを行った。積層されているZnO:Al膜5をAlGaN表面が突出するまでエッチングし、さらに僅かにレジスト6に覆われている部分までサイドエッチングされるようエッチャントに浸した。ここで、エッチャントとしてはウェットエッチングできれば、酸、アルカリ水溶液のいずれでも良いが、液の均一性や安定性を考えると酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液で行うことが好ましい。さらにエッチングレートは極端に速くなければ限定されるものではないが、好ましくは1000Å/min以下、さらには500Å/min以下であることが望ましい。本実施例においては酢酸と酢酸ナトリウムによる緩衝溶液によりエッチングを行い、エッチングレートは800Å/minにて制御する。図2(c)は、ゲート形成用の開口部5aが形成された状態を示す。
エッチング後、このレジスト6をそのまま用いて、ゲート電極形成のため電子ビーム蒸着、又は抵抗加熱による蒸着によりNi/Auを積層し、リフトオフ法によりゲート電極Gを形成する。図2(d)は、ゲート電極8を形成した状態を示す。
このようにして、ZnO:Al膜5をキャップ層とし、リセス構造を有するAlGaN/GaN-HEMTを作製することができる。
このようにして、ZnO:Al膜5をキャップ層とし、リセス構造を有するAlGaN/GaN-HEMTを作製することができる。
図5は、図1の本発明の構造の電界効果型トランジスタ1を測定したドレイン電圧-ドレイン電流特性を示すグラフであり、図6は、従来の図7の構造の電界効果型トランジスタのドレイン電圧Vd-ドレイン電流Id特性を示すグラフである。これらのグラフから、本発明の構造の電界効果型トランジスタ1のほうが、ドレイン電流Idの立上りがシャープであり、トランジスタとしての性能が優っているといえる。
以上のようにして作製したHEMT構造のトランジスタ特性を測定した。その結果、[背景技術]の項で述べたようなRIEによるゲート形成部へのダメージといった問題が回避でき、ゲートリーク電流の増大なくリセス構造HEMTが作製できた。さらに露出したAlGaN表面部分が少ないため、表面準位、界面準位の問題が生じず電流コラプス現象を抑制することができた。
<第2の実施形態>
図3は、本発明の第2の実施の形態における電界効果型トランジスタ1′の構造を示す断面図である。
この第2の実施の形態における電界効果型トランジスタ1′は、サファイア基板2上に半絶縁性GaN層3と、AlGaN層4とを順に形成している。その上に開口部5aを有するキャップ層となる導電性金属酸化物5を形成し、さらに導電性金属酸化物層5上にTi,Alからなるオーミックソース電極S、オーミックドレイン電極Dを設けている。この第2の実施の形態においても導電性金属酸化物層5としてZnOを用いた。さらに導電率を高めるためにAlをドープしている。
図3は、本発明の第2の実施の形態における電界効果型トランジスタ1′の構造を示す断面図である。
この第2の実施の形態における電界効果型トランジスタ1′は、サファイア基板2上に半絶縁性GaN層3と、AlGaN層4とを順に形成している。その上に開口部5aを有するキャップ層となる導電性金属酸化物5を形成し、さらに導電性金属酸化物層5上にTi,Alからなるオーミックソース電極S、オーミックドレイン電極Dを設けている。この第2の実施の形態においても導電性金属酸化物層5としてZnOを用いた。さらに導電率を高めるためにAlをドープしている。
次に図1の電界効果型トランジスタ1との相違を説明する。この図3の電界効果型トランジスタ1′は、導電性金属酸化物層5上に、開口部7aを有するSiO2などからなる絶縁物層7が積層されている。この絶縁物層7の開口部7aは、導電性金属酸化物層5の開口部5aよりも小さく、その開口部7aの平面図示したときの開口部7aの存在位置は、開口部5aの中に含まれる。AlGaN層4の上に設けられたNi,Auの二重層からなるショットキーゲート電極Gは、この開口部7aの中を前記絶縁層7の上面まで貫通している。すなわち、ショットキーゲート電極Gは、導電性金属酸化物層5に接触することなく、絶縁層7の上面に到達するまで形成されている。
この電界効果型トランジスタ1′の製造方法を説明する。最初に、有機金属気相成長(MOCVD)法などによりサファイア基板上に半絶縁性GaN、続いてAl0.25Ga0.75Nをエピタキシャル成長させる。そしてこのエピ結晶の表面をアセトン中で煮沸、超音波洗浄を行い、その後メタノール、脱イオン水により洗浄し表面の脱脂を行う。
続いてウェハーをスパッタ装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を5×10-6Torr以下の真空度に排気する。排気と同時にウェハーの温度を300℃程度に加熱する。基板温度を300℃に上げるのはスパッタ膜の結晶性を向上するためである。ただしこの温度は300℃に限定されるものではなく、抵抗率が10-3Ω・cm以下になる温度であれば特に限定されるものではない。
続いてウェハーをスパッタ装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を5×10-6Torr以下の真空度に排気する。排気と同時にウェハーの温度を300℃程度に加熱する。基板温度を300℃に上げるのはスパッタ膜の結晶性を向上するためである。ただしこの温度は300℃に限定されるものではなく、抵抗率が10-3Ω・cm以下になる温度であれば特に限定されるものではない。
スパッタリングのターゲットは、ZnOに3重量%Al2O3を添加した焼結体を用い、Ar雰囲気中にてDCマグネトロンスパッタを行い、導電性金属酸化物層5となるZnO:Al膜を形成する。膜厚は特に限定されるものではないが、あまり厚いと電極自身の抵抗分が大きくなるので、好ましくは1μm以下、さらに好ましくは0.1μm以下が望ましい。また、極端に薄いとアモルファスになることや、スパッタ時間やエッチング時間が短くなり、制御が困難になるので、好ましくは0.001μm以上、好ましくは0.01μm以上がよい。
続いて再度アセトン中で煮沸し、超音波洗浄を行い、メタノール、脱イオン水により洗浄し表面の脱脂を行う。上面に、プラズマCVD法によりSiO2膜7を成膜し、フォトレジストでパターニングした後、ソース電極、ドレイン電極となる個所のSiO2膜7を沸酸で選択的にエッチングする。ZnO:Al層5が露出した後に、電子ビーム(EB)蒸着装置のチャンバー内にセットし、チャンバー内を5×10-5Torr以下の真空度に排気する。所定の真空度に到達後、Ti/Alの蒸着を行い、蒸着終了後リフトオフ法によりZnO:Al上にソース電極S、ドレイン電極Gを形成する。このソース電極S、ドレイン電極Gを形成した状態を図4(a)に示す。
さらに素子分離のためのフォトリソグラフィを行う。前記レジストを用いてSiO2層7、ZnO:Al膜5のエッチングを行った。エッチングは沸酸又はHCl水溶液で行ったが、その他アルカリ水溶液など用いても良く、ここでのエッチングはあまり精度を必要とすることはないので比較的早いエッチングレートでエッチングしても良い。SiO2、ZnO:Al膜を一部エッチングし、AlGaN層4表面が突出した後にRIEによりAlGaN層4をエッチングすることで素子分離を行った。この素子を分離した状態を図4(b)に示す。
その後窒素雰囲気中RTA装置によりアニールを500℃で1分間行った。このアニールはゲート金属形成用のフォトリソグラフィを行う前であればいつでもよく、特に順序を限定されるものではない。
次いでゲート金属形成用マスクによりフォトリソグラフィを行い、ゲート形成部が開口したパターンをレジスト8により形成し、さらにフォトリソグラフィにより開口部のより大きいレジストパターンを、感光性の異なるレジスト9により形成した。このようにして、開口部の大きさの異なる2層のレジスト層8,9を形成した。この2層のレジスト層8,9を形成した状態を図4(c)に示す。図4(d)で開口部の大きさの異なる2層のレジスト層8,9を形成した理由は、ゲート抵抗低減のT型ゲートを形成するためである。
次いでゲート金属形成用マスクによりフォトリソグラフィを行い、ゲート形成部が開口したパターンをレジスト8により形成し、さらにフォトリソグラフィにより開口部のより大きいレジストパターンを、感光性の異なるレジスト9により形成した。このようにして、開口部の大きさの異なる2層のレジスト層8,9を形成した。この2層のレジスト層8,9を形成した状態を図4(c)に示す。図4(d)で開口部の大きさの異なる2層のレジスト層8,9を形成した理由は、ゲート抵抗低減のT型ゲートを形成するためである。
レジスト層8の狭い方の開口部により、まずSiO2層7のエッチングを沸酸により行った。
次いでエッチャントに浸すことにより、積層されているZnO:Al膜5を、AlGaN層4の表面が露出するまでエッチングした。この場合僅かに絶縁膜7より開口部が広くサイドエッチングされるようエッチャントに浸した。ここで、エッチャントとしてはウェットエッチングできれば酸、アルカリ水溶液のいずれでも良いが、液の均一性や安定性を考えると酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液で行うことが好ましい。さらにエッチングレートは極端に速くなければ限定されるものではないが好ましくは1000Å/min以下、さらには500Å/min以下であることが望ましい。本実施例においては酢酸と酢酸ナトリウムによる緩衝溶液によりエッチングを行い、エッチングレートは800Å/minにて制御した。
次いでエッチャントに浸すことにより、積層されているZnO:Al膜5を、AlGaN層4の表面が露出するまでエッチングした。この場合僅かに絶縁膜7より開口部が広くサイドエッチングされるようエッチャントに浸した。ここで、エッチャントとしてはウェットエッチングできれば酸、アルカリ水溶液のいずれでも良いが、液の均一性や安定性を考えると酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液で行うことが好ましい。さらにエッチングレートは極端に速くなければ限定されるものではないが好ましくは1000Å/min以下、さらには500Å/min以下であることが望ましい。本実施例においては酢酸と酢酸ナトリウムによる緩衝溶液によりエッチングを行い、エッチングレートは800Å/minにて制御した。
このようにしてSiO2層7の開口部7aと、それより広いZnO:Al層5の開口部5aとを形成した。このように開口部7aと開口部5aとが形成された状態を図4(d)に示す。
エッチング後、ゲート電極形成のため電子ビーム蒸着、抵抗加熱による蒸着によりNi/Auをセルフアラインメント法で積層し、リフトオフ法によりゲート電極Gを形成した。ゲート電極Gの形成された状態を図4(e)に示す。
エッチング後、ゲート電極形成のため電子ビーム蒸着、抵抗加熱による蒸着によりNi/Auをセルフアラインメント法で積層し、リフトオフ法によりゲート電極Gを形成した。ゲート電極Gの形成された状態を図4(e)に示す。
このようにして、ZnO:Al膜をキャップ層とし、リセス構造を有するAlGaN/GaN HEMTを作製した。
以上のようにして作製したHEMT構造のトランジスタの直流特性を同様に測定した。その結果第1の実施例と同様にRIEによるゲート形成部へのダメージといった問題が回避でき、ゲートリーク電流の増大なく、リセス構造HEMTが作製できた。さらに露出したAlGaN表面部分が少ないため、表面準位、界面準位の問題が生じず電流コラプス現象を抑制することができた。また、T型ゲートを形成したことでゲート幅増大によるゲート抵抗の増大を抑えることができた。
以上のようにして作製したHEMT構造のトランジスタの直流特性を同様に測定した。その結果第1の実施例と同様にRIEによるゲート形成部へのダメージといった問題が回避でき、ゲートリーク電流の増大なく、リセス構造HEMTが作製できた。さらに露出したAlGaN表面部分が少ないため、表面準位、界面準位の問題が生じず電流コラプス現象を抑制することができた。また、T型ゲートを形成したことでゲート幅増大によるゲート抵抗の増大を抑えることができた。
以上で、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の実施は、前記の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。。
1 電界効果型トランジスタ
2 サファイア基板
3 半絶縁性GaN層
4 AlGaN層
5 導電性金属酸化物層
5a 開口部
S オーミックソース電極
D オーミックドレイン電極
G ショットキーゲート電極
CH チャンネル層
6 レジスト層
7 絶縁物層
7a 開口部
8 レジスト層
9 レジスト層
2 サファイア基板
3 半絶縁性GaN層
4 AlGaN層
5 導電性金属酸化物層
5a 開口部
S オーミックソース電極
D オーミックドレイン電極
G ショットキーゲート電極
CH チャンネル層
6 レジスト層
7 絶縁物層
7a 開口部
8 レジスト層
9 レジスト層
Claims (16)
- Gaを含むIII-V族化合物半導体層と、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極とを有してなり、
サファイアなどからなる基板上にノンドープGaN層、その上にノンドープ及び/又はn型AlGaN層、さらにその上にキャップ層となるn型半導体層が形成され、該n型半導体層上にオーミック電極となる前記ソース電極とドレイン電極が形成され、該n型半導体層の一部分が開口され、その開口部に前記AlGaN層に接触するゲート電極が形成され、前記n型半導体層が導電性金属酸化物層から成ることを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 前記導電性金属酸化物層の材質がZnO及び/又はIn2O3であることを特徴とする請求項1記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記導電性金属酸化物層は、Al,Ga,InなどのIII族元素がドープされたZnOからなり、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることを特徴とする請求項2記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記導電性金属酸化物層は、SnなどのIV族元素がドープされたIn2O3からなり、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10--3Ωcm以下であることを特徴とする請求項2記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記導電性金属酸化物層の上に、開口部を有する絶縁物層が積層され、該絶縁物層の開口部の存在領域は、前記導電性金属酸化物層の開口部の中に含まれ、かつ、該絶縁物層の開口部の大きさは、前記導電性金属酸化物層の開口部よりも小さく、前記n型AlGaN層に接続するゲート金属が前記導電性金属酸化物層に接触することなく、前記絶縁物層の開口部を通してその表面まで形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに電界効果型トランジスタ。
- 前記絶縁物層がSiO2又はSi3N4からなることを特徴とする請求項5記載の電界効果型トランジスタ。
- Gaを含むIII-V族化合物半導体層からなる電界効果型トランジスタの製造方法であって、
Gaを含むIII-V族化合物半導体層上に導電性金属酸化物層を形成する工程と、
該導電性金属酸化物層上にソース電極、ドレイン電極を形成する工程と、
該導電性金属酸化物層上にフォトレジストによりゲート電極形成パターンをパターニングし、このフォトレジストによりIII-V族化合物半導体層が露出するまで導電性金属酸化物層のエッチングを行う工程と、
続いて同じフォトレジストを用いて自己整合的にゲート金属をIII-V族化合物半導体層の上に設けることにより、リセスゲート構造を形成する工程とを含むことを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記導電性金属酸化物層の形成を、真空蒸着法、化学気相成長法、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法、分子線エピタキシー(MBE)法、ゾル-ゲル法、エアロゾル法から選ばれるいずれかの薄膜形成法により行うことを特徴とする請求項7記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層のエッチングを酸又はアルカリ溶液によるウェットエッチングによって行うことを特徴とする請求項7又は請求項8記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層のエッチング溶液は、酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液であることを特徴とする請求項9記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層がZnO及び/又はIn2O3であることを特徴とする請求項7記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層は、ZnOにAl,Ga,InなどのIII族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10-3Ωcm以下であることを特徴とする請求項11記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層は、In2O3にSnなどのIV族元素がドープされ、キャリア濃度が1019/cm3以上、抵抗率が10--3Ωcm以下であることを特徴とする請求項11記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- Gaを含むIII-V族化合物半導体層からなる電界効果型トランジスタの製造方法であって、
Gaを含むIII-V族化合物半導体層上に導電性金属酸化物層を形成する工程と、
該導電性金属酸化物上に絶縁物層を形成する工程と、
該導電性金属酸化物層上にソース電極、ドレイン電極を形成する工程と、
前記絶縁物層上にフォトレジストによりゲート電極形成パターンをパターニングし、このフォトレジストによりまず、絶縁物層のエッチングを行い開口部を形成する工程と、
次いでIII-V族化合物半導体層が露出するまで前記導電性金属酸化物層のエッチングを行い、前記導電性金属酸化物層に、前記絶縁物層の開口部より広い開口部を形成する工程と、
続いて同じフォトレジストを用いて自己整合的に、かつ導電性金属酸化物層に接触することなく、III-V族化合物半導体層上に接触するゲート金属を前記絶縁層の表面に達するまで形成することにより、リセスゲート構造を形成する工程とを含むことを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記導電性金属酸化物層のエッチングを酸又はアルカリ溶液によるウェットエッチングによって行うことを特徴とする請求項14記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記導電性金属酸化物層のエッチング溶液は酢酸と酢酸ナトリウム、アンモニアと塩化アンモニウムなどの緩衝溶液であることを特徴とする請求項15記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
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JP2004048275A JP2005243719A (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008010781A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Toyota Motor Corp | Iii族窒化物半導体装置とその製造方法 |
US20090194157A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
US7928446B2 (en) | 2007-07-19 | 2011-04-19 | Mitsubishi Chemical Corporation | Group III nitride semiconductor substrate and method for cleaning the same |
US20110168252A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-07-14 | Guardian Industries Corp. | Textured coating with etching-blocking layer for thin-film solar cells and/or methods of making the same |
JP2015156454A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | パナソニック株式会社 | 電界効果トランジスタ |
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-
2004
- 2004-02-24 JP JP2004048275A patent/JP2005243719A/ja active Pending
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