JP2005240762A - 薬液供給システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1切換弁14及び第2切換弁53の位置切換によりポンプ13の作動室にレジスト液R吐出のための圧縮空気が供給されたり、ポンプ13の作動室が大気圧に保持されたり、レジスト液R吸入のための真空圧とされたりする。第1切換弁14が開位置に切り換えられてから若干遅延して遮断弁45が開位置に切り換えられることで滴下開始時のオーバーシュート現象が低減され、第1切換弁14が閉位置に切り換えられてから若干遅延して遮断弁45が閉位置に切り換えられることで滴下終了時のウォーターハンマ現象が低減される。各第1切換弁14、第2切換弁53及び遮断弁45はいずれも2位置切換の簡素なバルブで構成でき、全ての切換が単一のコントローラ56によって制御される。
【選択図】 図3
Description
前記作動室に設定圧の圧縮気体を供給する状態、前記作動室内を大気に開放する状態、又は前記作動室を真空引きする状態のいずれかに切り換える切換手段(第1切換弁14及び第2切換弁53)と、
前記ポンプと薬液滴下位置(吐出配管43の先端ノズル位置)との間に設けられた開閉式の遮断弁(遮断弁45)と、
前記作動室が大気に開放された状態から前記切換手段により前記作動室に圧縮気体を供給する状態に切り換え、その後第1設定時間(時間T1)が経過した時点で前記遮断弁を開位置に切り換え、その一方、前記作動室が前記設定圧とされた状態から前記切換手段により前記作動室を大気に開放する状態に切り換え、その後第2設定時間(時間T2)が経過した時点で前記遮断弁を閉位置に切り換えるべく、前記切換手段及び遮断弁を駆動制御する制御手段(コントローラ56)と
を備えたことを特徴とする薬液供給システム。
Claims (5)
- 可撓性膜によってポンプ室と作動室とに仕切られ、該作動室に圧縮気体が供給され又は該作動室が真空引きされることによって前記ポンプ室の容積が変化されることにより、薬液を吐出又は吸入するポンプと、
前記作動室に設定圧の圧縮気体を供給する状態、前記作動室内を大気に開放する状態、又は前記作動室を真空引きする状態のいずれかに切り換える切換手段と、
前記ポンプと薬液滴下位置との間に設けられた開閉式の遮断弁と、
前記作動室が大気に開放された状態から前記切換手段により前記作動室に圧縮気体を供給する状態に切り換え、その後第1設定時間が経過した時点で前記遮断弁を開位置に切り換え、その一方、前記作動室が前記設定圧とされた状態から前記切換手段により前記作動室を大気に開放する状態に切り換え、その後第2設定時間が経過した時点で前記遮断弁を閉位置に切り換えるべく、前記切換手段及び遮断弁を駆動制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする薬液供給システム。 - 前記作動室に圧縮気体が供給される場合及び前記作動室から圧縮気体が排出される場合において、前記圧縮気体を絞る絞り通路を備えたことを特徴とする請求項1記載の薬液供給システム。
- 前記絞り通路はオリフィスによって構成されるものであることを特徴とする請求項2記載の薬液供給システム。
- 前記絞り通路には絞り量を調整するニードルを備えたことを特徴とする請求項2記載の薬液供給システム。
- 前記第1設定時間及び第2設定時間を設定操作する設定操作手段を備え、該設定操作手段により設定操作された第1設定時間及び第2設定時間が前記制御手段に記憶保持されるものであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の薬液供給システム。
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