JP5538004B2 - 圧力制御装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。本実施の形態では、半導体装置等の薬液供給システムにて使用される圧力制御装置について具体化している。先ずは吐出ポンプに付与する圧力を制御するための圧力制御装置として設けられた電空レギュレータ10について図1に基づいて説明する。図1は電空レギュレータ10の所定の高さ位置における横断面図である。
本実施の形態では、電空レギュレータの構成が上記第1の実施の形態と異なっている。図3は、本実施の形態における電空レギュレータ80の所定の高さ位置における横断面図である。
パイロット室を利用して比例制御を行う電空レギュレータに対してエジェクタを利用する構成を、第3の実施の形態として説明する。図4は、本実施の形態における電空レギュレータ100の縦断面図である。なお、図4では説明の便宜上、給気用電磁弁125及び排気用電磁弁126を非断面の状態で示す。
本発明は上記各実施の形態の記載内容に限定されず例えば次のように実施しても良い。なお、以下の別形態の構成を、上記各実施の形態のうち例示しているものとは異なる実施の形態に適用してもよい。
Claims (4)
- 制御対象に作動気体を流通させることにより当該制御対象に付与する圧力を制御する圧力制御装置において、
供給源から供給された圧縮気体を正圧用通路により前記制御対象に向けて導くことで当該制御対象に正圧を付与する正圧付与手段と、
前記制御対象から作動気体を吸引することで当該制御対象に負圧を付与する負圧付与手段と、
を備え、
当該負圧付与手段は、前記供給源からの圧縮気体を前記正圧用通路による供給先とは異なる位置へと導く負圧用通路を有するとともに当該負圧用通路に設けられたノズルにより圧縮気体の流れを絞り当該圧縮気体の通過速度を高速化させることで当該負圧用通路内を減圧させ前記制御対象から作動気体を吸引するエジェクタを備えており、
制御対象に通じる出力ポートに連通させて設けられたフィードバック室に対して容積可変部材で仕切られるようにしてパイロット室が形成されており、
前記パイロット室内の作動気体の圧力を調整することで、当該パイロット室内の作動気体の圧力と前記フィードバック室内の作動気体の圧力との偏差に基づいて前記容積可変部材を駆動させて、前記正圧付与手段による前記出力ポートへの正圧の付与又は前記負圧付与手段による前記出力ポートへの負圧の付与を行わせる制御部と、
前記負圧用通路と前記出力ポートとを連通させるように設けられ、前記ノズルを前記圧縮気体が通過することにより生じる負圧を前記出力ポートに付与するための通路と、
前記負圧用通路と前記パイロット室とを連通させるように設けられ、前記ノズルを前記圧縮気体が通過することにより生じる負圧を前記パイロット室に付与するための通路と、を備えていることを特徴とする圧力制御装置。 - 前記正圧用通路が形成されたハウジングに前記エジェクタが設けられているとともに、前記ハウジングには前記エジェクタを通過した圧縮気体及び作動気体を当該ハウジングの外部に排出する排出ポートが設けられており、
当該排出ポートには排出音を消音させる消音手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧力制御装置。 - 前記正圧用通路が形成されたハウジングに前記エジェクタが設けられており、
前記正圧付与手段は、前記正圧用通路から前記制御対象への圧縮気体の供給を阻止又は許容する正圧用遮断弁を備えており、
前記供給源からの圧縮気体を前記ハウジング内に導く供給ポートから連続するハウジング内通路を、前記正圧用遮断弁よりも上流側の位置にて分岐させることで、前記正圧用通路と前記負圧用通路とが形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力制御装置。 - 前記ハウジングの第1の外周部に、前記供給ポートが設けられているとともに、前記ハウジングにおいて当該第1の外周部とは異なる方向を向く第2の外周部に、前記エジェクタを通過した作動気体を前記ハウジングの外部に排出する排出ポートが設けられており、
前記供給ポート及び前記排出ポートを繋ぐようにして前記負圧用通路が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力制御装置。
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