JP2005238246A - 切断装置及び切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成形体13を切断する切断装置に、成形体13が有する異種材料を各々切断する目的に適した波長を有するレーザ光基本波3とレーザ光第2高調波4とを発生させるレーザ光発生手段5と、成形体13に対してレーザ光9を照射する照射手段12と、成形体13が固定される吸着台18と、成形体13と照射手段12とを相対的に移動させる移動手段とを備える。成形体13は、基板14と、基板14の複数の領域15に各々装着されたチップ16と、チップ16を一括して樹脂封止する封止樹脂17とを有し、基板14を照射手段12に対向させて固定されている。レーザ光第2高調波4により基板14を照射してこれを切断した後に、レーザ光基本波3により封止樹脂17を照射する。
【選択図】図1
Description
2 第2の発振器
3,23 レーザ光基本波(第1の波長を有するレーザ光,第2の波長を有するレーザ光)
4,28 レーザ光第2高調波(第1の波長を有するレーザ光,第2の波長を有するレーザ光)
5,29,35 レーザ光発生手段
6 ベンディングミラー
7,33,34 ダイクロイックミラー
8 集光レンズ
9 レーザ光
10 ノズル
11 アシストガス
12,36 照射手段
13 成形体(部材)
14 基板
15 領域
16 チップ(チップ状素子)
17 封止樹脂
18 吸着台(固定手段)
19 超音波振動テーブル(振動手段)
20 ステージ(移動手段)
21 ダイシングライン
22 発振器
23 レーザ光基本波
24 ビームスプリッター
25 透過光
26 反射光
27,30 高調波発生装置
31 レーザ光第3高調波(第1の波長を有するレーザ光,第2の波長を有するレーザ光)
32 レーザ光第4高調波(第1の波長を有するレーザ光,第2の波長を有するレーザ光)
S シャッター
Claims (8)
- 異種材料からなる部材にレーザ光を照射することにより前記部材を切断する切断装置であって、
前記部材に含まれる材料を各々切断する目的に適した1又は複数の波長を有するレーザ光を発生させるレーザ光発生手段と、
前記部材に対して前記1又は複数の波長を有するレーザ光を照射する照射手段と、
前記部材が固定される固定手段と、
前記部材と前記照射手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記部材は、基板と、該基板に設けられている複数の領域に各々装着されたチップ状素子と、該チップ状素子を一括して樹脂封止する封止樹脂とを有しており、
前記部材は前記照射手段と前記基板とが対向するようにして固定されており、
前記1又は複数の波長を有するレーザ光のうち前記封止樹脂を切断する目的に適した第1の波長を有するレーザ光によって前記封止樹脂が照射され、
前記1又は複数の波長を有するレーザ光のうち前記基板を切断する目的に適した第2の波長を有するレーザ光によって前記基板が照射されるとともに、
前記第1の波長と前記第2の波長とは同一であること、又は、前記第2の波長は前記第1の波長よりも短いことを特徴とする切断装置。 - 請求項2に記載された切断装置において、
前記第2の波長を有するレーザ光は前記第1の波長を有するレーザ光の高次高調波からなることを特徴とする切断装置。 - 請求項1−3のいずれかに記載された切断装置において、
前記固定手段を高い周波数によって微小振動させる振動手段を備えることを特徴とする切断装置。 - 異種材料からなる部材に対して照射手段を使用してレーザ光を照射することにより前記部材を切断する切断方法であって、
前記部材を固定する工程と、
前記部材と前記照射手段とを相対的に移動させる工程と、
前記部材に含まれる材料を各々切断する目的に適した1又は複数の波長を有するレーザ光を前記部材に照射して該部材を切断する工程とを備えることを特徴とする切断方法。 - 請求項5に記載された切断方法において、
前記部材は、基板と、該基板に設けられている複数の領域に各々装着されたチップ状素子と、該チップ状素子を一括して樹脂封止する封止樹脂とを有しており、
前記固定する工程では、前記照射手段と前記基板とが対向するようにして前記部材を固定し、
前記切断する工程では、前記1又は複数の波長を有するレーザ光のうち前記封止樹脂を切断する目的に適した第1の波長を有するレーザ光と前記基板を切断する目的に適した第2の波長を有するレーザ光とを使用して、前記第2の波長を有するレーザ光によって前記基板を照射した後に前記第1の波長を有するレーザ光によって前記封止樹脂を照射するとともに、
前記第1の波長と前記第2の波長とは同一であること、又は、前記第2の波長は前記第1の波長よりも短いことを特徴とする切断方法。 - 請求項6に記載された切断方法において、
前記第2の波長を有するレーザ光は前記第1の波長を有するレーザ光の高次高調波からなることを特徴とする切断方法。 - 請求項5−7のいずれかに記載された切断方法において、
前記固定手段を高い周波数によって微小振動させる工程を備えることを特徴とする切断方法。
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