JP2005230944A - 基板吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
負圧発生装置12に吸気管13を介して連結され、内部にエア吸引路20および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッド15を備える。吸着ヘッド15は、エア吸引路20の上端側に吸気孔21を有するとともに、下端側に吸着口22を有し、弁機構は、吸着ヘッド15の上端側に設けられた弁座部24と、エア吸引路20に内装され上下方向に移動可能な弁体27を有する。エア吸引20路内に、弁体27を弁座部24側から吸着口22側に向って離間する方向に付勢するスプリング28を設ける。
【選択図】 図1
Description
図9は、この基板吸着装置の従来例を示したものである。
[第1実施形態](図1〜図6)
図1は、本発明の第1実施形態による基板吸着装置の全体構成を示す説明図である。図2は、図1に示した吸着装置のシリンダ部を拡大して示す縦断面図である。図3は、図2のA−A線断面図である。
図4は、基板吸着装置11によって基板9を吸着した後、天地逆の配置にまで姿勢を変更する場合の様子を、(イ)〜(ホ)までに分けて、順次に示している。
[第2実施形態](図7)
図7は、本発明の第2実施形態による基板吸着装置の全体構成を示す説明図である。
[第3実施形態](図8)
図8は、本発明の第3実施形態による基板吸着装置を示す説明図である。
12 負圧発生装置
13 吸気管
14 分岐管
15 吸着ヘッド
16 回転機構
17 管体
18 上キャップ
19 下キャップ
20 エア吸引路
21 吸気孔
22 吸着口
23 パッド
24 弁座部
25 筒体
26 オリフィス
27,127a 弁体
28 スプリング
29 保持具
30 保持具
31 フィルタ
32 角型パッド
Claims (6)
- 負圧発生装置に吸気管を介して連結され、内部にエア吸引路および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッドを備えた基板吸着装置であって、
前記吸着ヘッドは、前記エア吸引路の上端側に吸気孔を有するとともに、下端側に吸着口を有し、
前記弁機構は、前記吸着ヘッドの上端側に設けられた弁座部と、前記エア吸引路に内装され上下方向に移動可能な弁体を有し、
前記エア吸引路内に、前記弁体を前記弁座部側から前記吸着口側に向って離間する方向に付勢するスプリングを設けたことを特徴とする基板吸着装置。 - 前記弁体は、一定重量のボールであり、前記スプリングは、一端が前記弁座側に固定され他端が前記ボールの表面に接する圧縮コイルばねであることを特徴とする請求項1記載の基板吸着装置。
- 前記弁座部は、前記吸着ヘッドの上端側中心位置に突出し、前記ボールの径よりも小径な先端開口状の筒体により構成されていることを特徴とする請求項2記載の基板吸着装置。
- 前記弁座部は、先端のボール受け部にオリフィスが形成される構成とされていることを特徴とする請求項3記載の基板吸着装置。
- 前記エア吸引路内における吸引力(F1)は、および前記スプリングの弾性力(F2)および前記弁体の重量による力(F3)よりも大に設定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板吸着装置。
- 前記吸着ヘッドは、前記吸着口の向きが天地逆となる回動または傾動が可能とされていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の基板吸着装置。
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