JP2005222983A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

基板搬送装置および基板搬送方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005222983A
JP2005222983A JP2004026436A JP2004026436A JP2005222983A JP 2005222983 A JP2005222983 A JP 2005222983A JP 2004026436 A JP2004026436 A JP 2004026436A JP 2004026436 A JP2004026436 A JP 2004026436A JP 2005222983 A JP2005222983 A JP 2005222983A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
unit
carry
transport
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004026436A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4265425B2 (ja
Inventor
Toshiro Hirakawa
敏朗 平川
Yasuhiro Narisei
康浩 成清
Hitoshi Mukojima
仁 向島
Kazuhiko Noda
和彦 野田
Yoshimi Watanuki
義巳 綿貫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2004026436A priority Critical patent/JP4265425B2/ja
Publication of JP2005222983A publication Critical patent/JP2005222983A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4265425B2 publication Critical patent/JP4265425B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

【課題】簡易な機構を用い設備コストを低減させることができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上流側から直線状の搬送経路Lに沿って搬入された基板5を搬送経路L上の作業位置を経て下流側に搬出する基板搬送装置において、搬送経路L上に配置されそれぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入ステージ4および下流側へ搬出される基板を載置する搬出ステージ6の間に、移動テーブル2によって移動自在な作業ステージ3を配置する。搬入ステージ4上の基板5を第1基板搬送部11の搬送爪18Aによって作業ステージ3に搬送し、作業ステージ3上の基板5を、第1基板搬送部11と同一の駆動源によって同時駆動される第2基板搬送部12の搬送爪18Bによって搬出ステージ6に搬送する。
【選択図】図1

Description

本発明は、ダイボンディング装置やフリップチップボンディング装置などにおいて上流側から搬入された基板を下流側に搬出する基板搬送装置および基板搬送方法に関するものである。
ダイボンディング装置においては、リードフレームなどの基板を対象として半導体チップを実装するボンディング作業が、多数の基板を対象として反復実行される。このため、ダイボンディング装置は、上流側から供給される基板をボンディング位置に順次搬入し、またボンディング後の基板を下流側へ搬出する基板搬送機構を備えている(例えば特許文献1参照)。この特許文献例では、基板搬入用の搬送機構と、基板搬出用の搬送機構とを個別に備えた構成となっている。
特許第3287265号公報
しかしながら上記先行技術例においては、搬送機構として機構コストが高価なボールねじによる直動機構を採用し、さらにこのような高価な機構コストが高い搬送機構を複数備えた構成となっているため、ダイボンディング装置全体の設備コストの低減が困難であるという問題点があった。
そこで本発明は、簡易な機構を用い設備コストを低減させることができる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することを目的とする。
本発明の基板搬送装置は、上流側から搬入された基板を直線状の搬送経路に沿って移動させ前記搬送経路上の作業位置を経て下流側に搬出する基板搬送装置であって、前記搬送経路上に配置されそれぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入部および下流側へ搬出される基板を載置する搬出部と、前記搬入部と搬出部との間に前記搬送経路に沿って移動自在に配設され上面に載置した基板を前記作業位置に位置させる作業部と、この作業部を移動させて前記搬入部または搬出部と連結させる作業部移動機構と、前記搬送経路に沿って移動することにより搬入部上の基板を下流側へ搬送する第1基板搬送部と、前記搬送経路に沿って移動することにより上流側から前記搬出部へ基板を搬送する第2基板搬送部と、同一の駆動源によって駆動され前記第1基板搬送部と第2基板搬送部とを相互に移動中心点について対称方向に前記搬送経路に沿って往復移動させる基板搬送部移動機構と、前記作業部移動機構、第1基板搬送部、第2基板搬送部および基板搬送部移動機構を制御することにより、前記搬入部上の基板を前記作業部へ搬送するとともに前記作業部上の基板を前記搬出部へ搬送する基板搬送動作を実行させる搬送制御手段とを備えた。
本発明の基板搬送方法は、直線状の搬送経路上に配置されそれぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入部および下流側へ搬出される基板を載置する搬出部と、前記搬入部と搬出部との間に前記搬送経路に沿って移動自在に配設され上面に載置した基板を前記作業位置に位置させる作業部と、この作業部を移動させて前記搬入部または搬出部と連結させる作業部移動機構と、前記搬送経路に沿って移動することにより搬入部上の基板を下流側へ搬送する第1基板搬送部と、前記搬送経路に沿って移動することにより上流側から前記搬出部へ基板を搬送する第2基板搬送部と、同一の駆動源によって駆動され前記第1基板搬送部と第2基板搬送部とを相互に移動中心点について対称方向に前記搬送経路
に沿って往復移動させる基板搬送部移動機構とを備えた基板搬送装置を用い、上流側から搬入された基板を前記搬送経路に沿って移動させ前記搬送経路上の作業位置を経て下流側に搬出する基板搬送方法であって、前記作業部移動機構、第1基板搬送部、第2基板搬送部および基板搬送部移動機構を制御することにより、前記搬入部上の基板を前記作業部へ搬送するとともに前記作業部上の基板を前記搬出部へ搬送する基板搬送動作を実行させる。
本発明によれば、同一の駆動源によって第1基板搬送部と第2基板搬送部とを往復移動させて、搬入部上の基板を作業部へ搬送するとともに作業部上の基板を搬出部へ搬送する基板搬送動作を実行させる構成を採用することにより、簡易な機構を用い設備コストを低減させることができる。
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1、図2は本発明の一実施の形態の基板搬送装置の斜視図、図3は本発明の一実施の形態の基板搬送装置の部分平面図、図4は本発明の一実施の形態の基板搬送装置の部分断面図、図5は本発明の一実施の形態の基板搬送装置の制御系の構成を示すブロック図、図6,図7は本発明の一実施の形態の基板搬送装置の動作説明図である。
まず図1、図2を参照して基板搬送装置の構造を説明する。この基板搬送装置は、リードフレームなどの基板に半導体チップを搭載するダイボンディング装置やフリップチップボンディング装置において、上流側から搬入された基板を直線状の搬送経路に沿って移動させ、搬送経路上の作業位置を経て下流側に搬出する機能を有している。なお、基板として、複数の個片基板を載置したキャリアなどの搬送用治具を採用することもできる。
図1において、基台1上面の手前側には移動テーブル2が配設されている。移動テーブル2はXテーブル2X、Yテーブル2Yを積層して構成されており、Yテーブル2Y上には作業ステージ3が載置されている。移動テーブル2を駆動することにより、作業ステージ3はX方向に直線状に設定された搬送経路L上で移動可能となっている。
移動テーブル2の上流側(図1において左側)および下流側には、搬送経路L上に位置して、搬入ステージ4、搬出ステージ6がそれぞれブラケット4a、ブラケット6aによって基台1に固着されている。すなわち、搬入ステージ4、搬出ステージ6は、直線状の搬送経路L上に配置され、それぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入部および下流側へ搬出される基板を載置する搬出部となっている。
搬入ステージ4には上流側装置から基板5が搬入される。そして作業ステージ3を移動テーブル2によって移動させて搬入ステージ4と連結させた状態で、後述する第1基板搬送部11を駆動することにより、搬入された基板5は作業ステージ3に搬送される。そして作業ステージ3に基板5を保持した移動テーブル2が移動することにより、基板5はボンディングヘッドによるボンディング位置(作業位置)に移動し、ここで基板5上に半導体チップを実装するボンディング作業が行われる。
図2に示すようにボンディング後の基板5を保持した作業ステージ3を移動テーブル2によって移動させて搬出ステージ6と連結させた状態で、後述する第2基板搬送部12を駆動することにより、作業ステージ3上の基板5は搬出ステージ6に搬送され、さらに搬出ステージ6上の基板5は下流側装置に搬出される。
すなわち上記構成において、作業ステージ3は、搬入部である搬入ステージ4と搬出部
である搬出ステージ6との間に搬送経路Lに沿って移動自在に配設され、上面に載置した基板5を作業位置に位置させる作業部であり、移動テーブル2はこの作業部を移動させて搬入部または搬出部と連結させる作業部移動機構を構成する。
図1に示すように、基台1において搬送経路Lの背後側にはサブ基台1aが配置されており、サブ基台1a上には第1基板搬送部11、第2基板搬送部12がX方向に移動可能に配設されている。第1基板搬送部11、第2基板搬送部12はいずれもサブ基台1a上にX方向に設けられたガイドレール13に沿って移動し、それぞれシリンダ17A、シリンダ17Bによって昇降する搬送爪18A、搬送爪18Bを備えている。第1基板搬送部11、第2基板搬送部12の移動は、モータ9によってベルト10を水平往復動させることによって行われる。
図3、図4を参照して、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12の構造を説明する。第1基板搬送部11、第2基板搬送部12はほぼ同一構造であり、ここでは第1基板搬送部11のみについて説明する。図4に示すように、サブ基台1a上のガイドレール13には、L字形状のブラケット15Aの下面に固着されたスライダ14AがX方向にスライド自在に嵌着されている。ブラケット15Aの立側面に垂直に配設されたガイドレール20には、スライダ21が上下方向にスライド自在に嵌着されている。
スライダ21にはL字形状のアーム部材19が固着されており、アーム部材19には先端部が下垂した形状の搬送爪18Aが装着されている。アーム部材19にはシリンダ17Aのロッド17aが結合されており、シリンダ17Aを駆動することにより搬送爪18Aが搬送経路L上において昇降する。
図3に示すように、ガイドレール13の背後側にはブラケット7A、7Bが立設されている。ブラケット7Aにはモータ9が横姿勢で配設されており、モータ9の回転軸にはプーリ8Aが結合されている。またブラケット7Bにはプーリ8Bが軸支されており、プーリ8Aとプーリ8Bにはベルト10が水平方向に調帯されている。
上下2条のベルト10のうち上側を走行するベルト10は、第1基板搬送部11のブラケット15Aに結合された連結ブロック16Aに固着されており、下側を走行するベルト10は、第1基板搬送部12のブラケット15Bに結合された連結ブロック16Bに固着されている。モータ9を回転駆動することにより、ベルト10は水平方向に駆動される。
このときベルト10の上側と下側とは反対方向に移動し、これにより、ベルト10によって水平方向に駆動される第1基板搬送部11、第2基板搬送部12は常に図3に示す中心線CLについて対称の逆方向に移動する。すなわち、モータ9をモータ9の筐体側から回転軸側を見て時計回りに回転させることにより、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12は相互に遠ざかる方向に移動する。またこれとは逆に、モータ9を反時計回りに回転させることにより、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12は相互に接近する方向に移動する。
搬送爪18A、搬送爪18Bは搬入ステージ4、作業ステージ3、搬出ステージ6を結んで構成される搬送経路L上に延出して設けられており、搬送爪18A、搬送爪18Bが下降した状態では、下垂部の先端は搬入ステージ4、作業ステージ3、搬出ステージ6上に載置された基板5の端面と同じ高さに位置する。したがって、図1に示すように、作業ステージ3が基板5を載置した搬入ステージ4の下流側に連結した状態で、搬送爪18Aを基板5の上流側の端面に当接させ、モータ9を駆動して第1基板搬送部11を下流側へ移動させることにより、搬入ステージ4上の基板5は搬送爪18Aに押送されて作業ステージ3上に移動する。すなわち第1基板搬送部11は、搬送経路Lに沿って移動すること
により搬入ステージ4上の基板5を下流側へ搬送する。
また図2に示すように、基板5を載置した作業ステージ3が搬出ステージ6の上流側に連結した状態で、搬送爪18Bを基板5の上流側の端面に当接させ、モータ9を駆動して第2基板搬送部12を下流側へ移動させることにより、作業ステージ3上の基板5は搬送爪18Bに押圧されて搬出ステージ6上に移動する。すなわち第2基板搬送部12は、搬送経路Lに沿って移動することにより上流側から搬出ステージ6へ基板5を搬送する。そして、モータ9、プーリ8A、プーリ8B、ベルト10は、同一の駆動源であるモータ9によって駆動され第1基板搬送部11と第2基板搬送部12とを相互に移動中心である中心線CLについて対称方向に、搬送経路Lに沿って往復移動させる基板搬送部移動機構を構成する。
次に図5を参照して制御系の構成を説明する。図5において、制御部22はボンディング装置の制御装置の機能のうち基板搬送動作を制御処理する機能部分である。ボンディング作業において、制御部22は以下に説明する各部を制御する。すなわち制御部22は移動テーブル2のXテーブル2X、Yテーブル2Yの動作を制御し、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12のシリンダ17A、シリンダ17Bおよび基板搬送部移動機構23のモータ9を制御して、後述する基板搬送動作を行わせる。
したがって、制御部22は作業部移動機構である移動テーブル23、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12および基板搬送部移動機構23を制御することにより、搬入ステージ4上の基板5を作業ステージ3へ搬送するとともに、作業ステージ3上の基板5を搬出ステージ6へ搬送する基板搬送動作を実行させる搬送制御手段となっている。
この基板搬送装置は上記のように構成されており、次に図6、図7を参照して基板搬送動作について説明する。図6(a)は初期状態を示しており、搬送爪18A、搬送爪18Bはそれぞれ搬入ステージ4、搬出ステージ6の上流側に位置して、上昇状態にある。次に図6(b)に示すように、上流側の基板供給装置から搬入ステージ4上に基板5が供給される。そして搬送爪18Aを下降させた状態で、モータ9を駆動して搬送爪18Aを下流側へ移動させる。これにより、図6(c)に示すように、基板5は搬送爪18Aによって押送されて、搬入ステージ4から作業ステージ3へ搬送される。このとき、搬送爪18Bも同時に上流側へ移動する。
この後、ボンディング動作に移行する。すなわち移動テーブル2によって図6(d)に示すように、作業ステージ3を下流側の作業位置に移動させ、ここで基板5にボンディングヘッド(図示省略)によって半導体チップが実装される。ボンディング動作が完了したならば、図7(a)に示すように、作業ステージ3を下流側に移動させて搬出ステージ6の上流側に連結する。これにより、搬送爪18Bは作業ステージ3の上流側に位置する。
次いで搬送爪18Bを下降させて、図7(b)に示すように、搬送爪18Bを下流側へ移動させる。これにより基板5は搬送爪18Bによって押送されて作業ステージ3から搬出ステージ6へ搬送される。このとき搬送爪18Aは同時に上流側へ移動する。この後、図7(c)に示すように搬入ステージ4には上流側位置から新たな基板5が供給され、また搬出ステージ6上のボンディング後の基板5は下流側へ搬出される。
ボンディング装置への基板の搬入搬出動作を行う基板搬送装置として上記構成を採用することにより、基板の搬入と搬出とを同一の駆動源によって行わせることができ、簡易な機構を用いて設備コストを低減させることが可能となっている。また、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12が連係して効率よく移動するので、基板の搬送タクトタイムを短縮することも可能となっている。
なお、第1基板搬送部11、第2基板搬送部12の移動ストロークを大きく設定することにより、上流側装置からの基板5の搬入ステージ4上への搬入および搬出ステージ6からの基板5の下流側への搬出を搬送爪18A、搬送爪18Bによって行わせることも可能である。また、本実施の形態では、ベルト10を上下2条に走行させるレイアウトを示したが、これに限られるものではなく、ベルト10を前後2条に走行させるレイアウトを採用してもよい。
本発明の基板搬送装置は、簡易な機構を用い設備コストを低減させることができるという効果を有し、ダイボンディング装置やフリップチップボンディング装置などにおいて、直線状の搬送経路に沿って上流側から搬入された基板を下流側に搬出する形態の搬送用途に有用である。
本発明の一実施の形態の基板搬送装置の斜視図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の斜視図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の部分平面図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の部分断面図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態の基板搬送装置の動作説明図
符号の説明
2 移動テーブル
3 作業ステージ
4 搬入ステージ
5 基板
6 搬出ステージ
9 モータ
10 ベルト
11 第1基板搬送部
12 第2基板搬送部
18A、18B 搬送爪
22 制御部

Claims (2)

  1. 上流側から搬入された基板を直線状の搬送経路に沿って移動させ前記搬送経路上の作業位置を経て下流側に搬出する基板搬送装置であって、前記搬送経路上に配置されそれぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入部および下流側へ搬出される基板を載置する搬出部と、前記搬入部と搬出部との間に前記搬送経路に沿って移動自在に配設され上面に載置した基板を前記作業位置に位置させる作業部と、この作業部を移動させて前記搬入部または搬出部と連結させる作業部移動機構と、前記搬送経路に沿って移動することにより搬入部上の基板を下流側へ搬送する第1基板搬送部と、前記搬送経路に沿って移動することにより上流側から前記搬出部へ基板を搬送する第2基板搬送部と、同一の駆動源によって駆動され前記第1基板搬送部と第2基板搬送部とを相互に移動中心点について対称方向に前記搬送経路に沿って往復移動させる基板搬送部移動機構と、前記作業部移動機構、第1基板搬送部、第2基板搬送部および基板搬送部移動機構を制御することにより、前記搬入部上の基板を前記作業部へ搬送するとともに前記作業部上の基板を前記搬出部へ搬送する基板搬送動作を実行させる搬送制御手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
  2. 直線状の搬送経路上に配置されそれぞれ上面に上流側から搬入された基板を載置する搬入部および下流側へ搬出される基板を載置する搬出部と、前記搬入部と搬出部との間に前記搬送経路に沿って移動自在に配設され上面に載置した基板を前記作業位置に位置させる作業部と、この作業部を移動させて前記搬入部または搬出部と連結させる作業部移動機構と、前記搬送経路に沿って移動することにより搬入部上の基板を下流側へ搬送する第1基板搬送部と、前記搬送経路に沿って移動することにより上流側から前記搬出部へ基板を搬送する第2基板搬送部と、同一の駆動源によって駆動され前記第1基板搬送部と第2基板搬送部とを相互に移動中心点について対称方向に前記搬送経路に沿って往復移動させる基板搬送部移動機構とを備えた基板搬送装置を用い、上流側から搬入された基板を前記搬送経路に沿って移動させ前記搬送経路上の作業位置を経て下流側に搬出する基板搬送方法であって、前記作業部移動機構、第1基板搬送部、第2基板搬送部および基板搬送部移動機構を制御することにより、前記搬入部上の基板を前記作業部へ搬送するとともに前記作業部上の基板を前記搬出部へ搬送する基板搬送動作を実行させることを特徴とする基板搬送方法。
JP2004026436A 2004-02-03 2004-02-03 基板搬送装置および基板搬送方法 Expired - Fee Related JP4265425B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004026436A JP4265425B2 (ja) 2004-02-03 2004-02-03 基板搬送装置および基板搬送方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004026436A JP4265425B2 (ja) 2004-02-03 2004-02-03 基板搬送装置および基板搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005222983A true JP2005222983A (ja) 2005-08-18
JP4265425B2 JP4265425B2 (ja) 2009-05-20

Family

ID=34998412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004026436A Expired - Fee Related JP4265425B2 (ja) 2004-02-03 2004-02-03 基板搬送装置および基板搬送方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4265425B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200452846Y1 (ko) 2008-10-21 2011-03-22 한복우 인쇄회로기판 비전검사장치
JP2018203534A (ja) * 2017-06-06 2018-12-27 昭立電気工業株式会社 搬送装置及びそれを用いた作業システム並びに半田付けシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200452846Y1 (ko) 2008-10-21 2011-03-22 한복우 인쇄회로기판 비전검사장치
JP2018203534A (ja) * 2017-06-06 2018-12-27 昭立電気工業株式会社 搬送装置及びそれを用いた作業システム並びに半田付けシステム

Also Published As

Publication number Publication date
JP4265425B2 (ja) 2009-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100921232B1 (ko) 전자부품 실장장치 및 방법
CN108780762B (zh) 电子零件安装装置
CN108701620B (zh) 电子零件处理单元
JP6280332B2 (ja) 基板反転搬送装置
JP2016040203A (ja) 基板反転搬送装置
JP2012059798A (ja) 部品実装装置
JP3497078B2 (ja) ダイボンダ
JPH06211347A (ja) 部品搬送装置
JP4354845B2 (ja) 電子部品搭載装置
JP2008251771A (ja) 部品実装装置
JP4265425B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送方法
JP2016058561A (ja) 部品実装装置
JPWO2009119193A1 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP4901683B2 (ja) 部品供給装置
JP4989384B2 (ja) 部品実装装置
JPH0761556A (ja) コンベア
JP2006080158A (ja) 表面実装装置
JP4585496B2 (ja) 半導体チップの実装装置
JP2004296808A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP2008024496A (ja) ワーク搬送装置
JP4602838B2 (ja) 半導体チップの実装装置
JP2012248657A (ja) ダイボンダ及びボンディング方法
JP2005093589A (ja) 電子部品実装装置
JP4130041B2 (ja) 部品実装機
JP4969977B2 (ja) 部品実装装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051222

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081111

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081224

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090127

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090209

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees