JP2005221338A - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFTアレイ検査装置は、電子線照射によりTFT基板のピクセルから発生する二次電子を検出してTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、検査対象領域に二次電子を走査して得られる二次元配列データから低周波成分情報を抽出し、抽出した低周波成分情報を用いてTFT基板の欠陥情報を求めるデータ処理手段を備える。データ処理手段は、二次元配列データ101の配列要素102において、配列要素中の対象配列要素103を中心として直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素を領域要素104とし、この領域要素を統計処理して得られる統計値を中心の対象配列要素の値に置き換えることにより、検査対象領域の低周波成分情報を抽出する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- TFT基板に電子線を照射し、当該電子線照射によりTFT基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、
検査対象領域に前記二次電子を走査して得られる二次元配列データから低周波成分情報を抽出し、当該低周波成分情報を用いてTFT基板の欠陥情報を求めるデータ処理手段を備え、
前記データ処理手段は、前記二次元配列データの配列要素において、配列要素中の対象配列要素を中心として直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素を領域要素とし、当該領域要素を統計処理して得られる統計値を前記中心の対象配列要素の値に置き換えることにより、検査対象領域の低周波成分情報を抽出することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記二次元配列データの配列要素において、配列要素中の対象配列要素を中心として、前記直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素の内の一方の一次元方向の有限個の配列要素を領域要素とし、当該領域要素を統計処理して得られる統計値を前記中心の対象配列要素の値に置き換えることにより第1段の統計処理後の二次元配列データを形成し、
当該統計処理後の二次元配列データの配列要素において、配列要素中の対象配列要素を中心として、前記直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素の内の他方の一次元方向の有限個の配列要素を領域要素とし、当該領域要素を統計処理して得られる統計値を前記中心の対象配列要素の値に置き換えることにより第2段の統計処理後の二次元配列データを形成し、
当該第2段の統計処理後の二次元配列データを検査対象領域の低周波成分情報とすることを特徴とする請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素は、x方向及びy方向の有限個の配列要素、及び/又は、x方向及びy方向に対して所定角度の方向の有限個の配列要素であることを特徴とする請求項1又は2に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記領域要素は、前記直交する2つの一次元方向の有限個の配列要素の端部を外周部とする有限域の内部の任意の配列要素を含むことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1つに記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記統計処理は前記メディアンフィルタ処理又は移動平均処理であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1つに記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記二次元配列データは、測定データ及び/又は当該測定データから得られる派生データであることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1つに記載のTFTアレイ検査装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007333584A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 |
WO2011114449A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 |
KR101265953B1 (ko) * | 2011-10-05 | 2013-05-21 | (주)컴텍코리아 | 표면결함검출방법 |
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2004
- 2004-02-04 JP JP2004028414A patent/JP2005221338A/ja active Pending
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