JP2005217374A - 化合物半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 AlxGa1−xN(0<x≦1)単結晶基板上に形成された窒化物系化合物半導体層を有する化合物半導体素子を製造する。加熱工程および成長工程が順次に実施される。加熱工程は、少なくともNH3ガスを含む雰囲気下で、基板を1100℃以上の温度で10分以上加熱する。成長工程は、加熱工程の後に、基板上に窒化物系化合物半導体層をエピタキシャル成長させる。加熱工程によって、基板表面の凹部において原子再配列が行われ、それにより基板表面が平坦化される。これに応じて、この基板表面上にエピタキシャル成長される窒化物系化合物半導体層の結晶状態および表面モフォロジーが改善される。
【選択図】 図1
Description
成長炉20を用いて加熱工程を行う場合、まず、基板製造工程で製造したAlGaN単結晶基板2をサセプタ22上に載置する。次いで、NH3ガスをガス供給口21aから成長炉20内に導入すると共に、ヒータ23を作動させて基板2の温度T1を所定温度以上に保つ。この加熱の間、サセプタ22はモータによって回転させられる。後述するように、別のガス供給口21aから成長炉20内にH2ガスをさらに導入することが好ましい。このような基板2の加熱は、所定時間P1にわたって行われる。
上記の加熱工程によって平坦化されたAlGaN単結晶基板2は、AlGaNと同種の材料、すなわちAlxGayIn1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表される2、3または4元の化合物半導体をその上に直接エピタキシャル成長するのに非常に適している。これは、基板2の表面が良好なストイキオメトリを有しており、したがって、基板2と格子定数の近い窒化物系化合物半導体層3であれば、基板2上で容易にステップフロー成長できるためである。
Claims (4)
- AlxGa1−xN(0<x≦1)単結晶基板上に形成された窒化物系化合物半導体層を有する化合物半導体素子を製造する方法であって、
少なくともNH3ガスを含むガス雰囲気下で、前記AlxGa1−xN単結晶基板を1100℃以上の基板温度で10分以上加熱する加熱工程と、
前記加熱工程の後に、前記AlxGa1−xN単結晶基板上に前記窒化物系化合物半導体層をエピタキシャル成長させる成長工程と
を備える化合物半導体素子の製造方法。 - 前記窒化物系化合物半導体は、AlxGayIn1−x−yN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦x+y≦1)から構成される、請求項1に記載の化合物半導体素子の製造方法。
- 前記加熱工程は、反応室内に前記AlxGa1−xN単結晶基板を配置し、前記反応室にNH3ガスおよびH2ガスを導入しながら前記AlxGa1−xN単結晶基板を加熱する、請求項1または2に記載の化合物半導体素子の製造方法。
- 前記加熱工程および前記成長工程が同じ反応室内で連続的に実施される請求項1〜3のいずれかに記載の化合物半導体素子の製造方法。
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