JP2005216954A - 半導体光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体光素子1では、光検出器3は、基体7上に設けられた光吸収層9および半導体層11をする。光導波路5は、第1の端面5aと、第2の端面5bと、活性層13とを有しており、活性層13は、基体7上に設けられている。光導波路5は、活性層13に加えて半導体層15、17を含む。活性層13からの光の一部は、第1の端面5aによって反射されて光検知器3に向かう光になる。また、活性層13からの光の一部は、第1の端面5aを透過して、出射光になる。光導波路5の活性層13および半導体層15、17は、第1の端面5aと第2の端面5bとの間に設けられている。光導波路5は、第1の端面5aと第2の端面5bとの間において所定の軸Axに沿って伸びている。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体光素子を示す図面である。図2(A)は、図1に示されたI−I線に沿ってとられた断面図である。図2(B)は、図1に示されたII−II線に沿ってとられた断面図である。図3は、図1に示されたIII−III線に沿ってとられた断面図である。
基体7:InP基板
光吸収層9:アンドープGaInAs半導体
半導体層11:亜鉛ドープInGaAs半導体
活性層13:InGaAsP半導体
n型クラッド層15:n型InP半導体
p型クラッド層17:p型InP半導体
p型クラッド層33:p型InP半導体
p型コンタクト層35:p型InGaAs半導体
第1の半導体層31a:p型InP半導体
第2の半導体層31b:n型InP半導体
である。埋め込み領域は、鉄添加のInP半導体から成ることもできる。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体光素子を示す図面である。図6は、図5に示されたIV−IV線に沿ってとられた断面図である。図7は、本実施の形態に係る半導体光素子を示す平面図である。
基体7:InP基板
光吸収層59、活性層13:InGaAsP半導体
カソード層60、n型クラッド層65:n型InP半導体
アノード層61、p型クラッド層67:p型InP半導体
p型クラッド層83:p型InP半導体
p型コンタクト層85:p型InGaAs半導体
第1の半導体層81a:p型InP半導体
第2の半導体層81b:n型InP半導体
である。
図8は、本発明に係る第3の実施の形態を示す図面である。図9は、図8に示されたVII−VII線に沿ってとられた断面を示す図面である。
図12(A)および図12(B)は、上記の実施の形態において説明された半導体光素子を用いる光信号発生装置を示す概略図である。
Claims (10)
- 基体上に設けられた光吸収層を含む光検出器と、
前記基体上に設けられた第1の活性層および一または複数の半導体層と、前記第1の活性層からの光の一部を前記光検知器に向けて反射する第1の端面と、第2の端面とを有しており所定の軸に沿って伸びる光導波路と
を備えており、
前記光導波路の前記第1の活性層および前記半導体層は、前記第1の端面と前記第2の端面との間に設けられている、半導体光素子。 - 前記第1の活性層は、前記所定の軸に沿って伸びており、
前記第1の端面は、前記第1の端面と前記所定の軸との交点おいて前記所定の軸に直交する第1の基準面と3度以上の角度を成す、請求項1に記載された半導体光素子。 - 前記基体は、前記所定の軸に沿って配列された第1および第2の領域を有しており、
前記第1の活性層および前記半導体層は前記第1および第2の領域の少なくとも一方に設けられており、
前記光検出器の前記光吸収層は、前記基体の前記第1の領域上に設けられている、請求項1または請求項2に記載された半導体光素子。 - 前記基体は、第1、第2および第3の領域を有しており、前記第3の領域は、前記第1の領域と前記第2の領域との間に設けられており、
前記光導波路は、前記所定の軸に沿って配列された第1および第2の部分を有しており、
前記光導波路の前記第1の部分は、前記光導波路の前記第2の部分と前記第1の端面との間に位置しており、
前記光導波路の前記第2の部分は、前記第3の領域に設けられた前記光導波路の前記第1の活性層および前記半導体層を含んでおり、
前記光検出器の前記光吸収層は、前記基体の前記第1の領域上に設けられており、
前記光導波路は、前記第2の領域上に設けられた第2の活性層および一または複数の半導体層を更に含んでおり、
前記第1の活性層のフォトルミッネセンス波長は前記第2の活性層のフォトルミネッセンス波長と異なる、請求項1または請求項2に記載された半導体光素子。 - 前記基体は、前記所定の軸に交差する基準面に沿って伸びる側面を有しており、
前記第1の端面と前記基準面との間隔は、前記所定の軸に交差する別の軸に沿って変化している、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載された半導体光素子。 - 前記光導波路の前記第1の部分は、前記第1の端面が前記所定の軸に対して傾斜するように前記第1の領域において曲がっている、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載された半導体光素子。
- 前記第1の活性層の半導体材料の構成元素は、前記光吸収層の半導体材料の構成元素と実質的に同じである、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載された半導体光素子。
- 前記光吸収層は、前記第1の活性層のフォトルミネッセンス波長より長いフォトルミネッセンス波長を有している、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載された半導体光素子。
- 前記光検出器の前記光吸収層は、第1のメサ内に設けられており、
前記光導波路の前記第1の活性層および前記半導体層は、第2のメサ内に設けられている、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載された半導体光素子。 - 前記光検出器と前記光導波路との間に設けられたアイソレーション領域を更に備え、
前記アイソレーション領域はプロトンイオン注入により形成される、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載された半導体光素子。
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