JP2005213619A - 軟磁性材料およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】渦電流損を低下することができる軟磁性材料およびその製造方法を提供する。
【解決手段】軟磁性材料の製造方法は、金属磁性粒子10および金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜20を有する複合磁性粒子30を含む軟磁性材料の製造方法であって、以下の工程を備えている。アルミニウムイオンとリン酸イオンとを含み、絶縁被膜20を形成するための水溶液が金属磁性粒子10に塗布される。水溶液を塗布された金属磁性粒子10が150℃以下で乾燥される。乾燥後、水溶液を塗布された金属磁性粒子10が加圧成形される。
【選択図】図1

Description

本発明は、軟磁性材料およびその製造方法に関し、より特定的には、渦電流損を低下することができる軟磁性材料およびその製造方法に関する。
電磁弁、モータ、または電源回路などを有する電気機器には、軟磁性材料が使用されている。この軟磁性材料は、複数の複合磁性粒子よりなっており、複合磁性粒子は金属磁性粒子と、その表面を被覆するガラス状の絶縁被膜とを有している。軟磁性材料には、小さな磁場の印加で大きな磁束密度を得ることができ、外部からの磁界変化に対して敏感に反応できる磁気的特性が求められる。
この軟磁性材料を交流磁場で使用した場合、鉄損と呼ばれるエネルギー損失が生じる。この鉄損は、ヒステリシス損と渦電流損との和で表わされる。ヒステリシス損とは、軟磁性材料の磁束密度を変化させるために必要なエネルギーによって生じるエネルギー損失をいう。ヒステリシス損は作動周波数に比例するので、主に低周波領域において支配的になる。また、ここで言う渦電流損とは、主として軟磁性材料を構成する金属磁性粒子間を流れる渦電流によって生じるエネルギー損失をいう。渦電流損は作動周波数の2乗に比例するので、主に高周波領域において支配的になる。
軟磁性材料には、この鉄損の発生を小さくする磁気的特性が求められる。これを実現するためには、軟磁性材料の透磁率μ、飽和磁束密度Bsおよび電気抵抗率ρを大きくし、軟磁性材料の保磁力Hを小さくすることが必要となる。
軟磁性材料の鉄損のうち、ヒステリシス損を低下させるためには、金属磁性粒子内の歪や転位を除去して磁壁の移動を容易にすることで、軟磁性材料の保磁力Hcを小さくすればよい。金属磁性粒子内の歪や転位を十分に除去するためには、軟磁性材料を400℃以上の高温で熱処理する必要がある。
ところが、絶縁被膜の耐熱性は低いので、軟磁性材料を400℃以上の高温で熱処理しようとすると、絶縁被膜が熱により破壊されてしまう。このため、ヒステリシス損を低下させようとすると、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下し、渦電流損が大きくなってしまうという問題があった。特に、電気機器の小型化、効率化、および大出力化が近年要求されており、これらの要求を満たすためには、電気機器を高周波領域で使用することが必要である。高周波領域での渦電流損が大きくなれば、電気機器の小型化、効率化、および大出力化の妨げになってしまう。
そこで、絶縁被膜の耐熱性を向上しうる技術が、たとえば特開2003−272911号公報(特許文献1)に開示されている。上記特許文献1には、耐熱性の高いリン酸アルミニウム系の絶縁被膜を有する複合磁性粒子よりなる軟磁性材料が開示されている。上記特許文献1では、以下の方法により軟磁性材料が製造されている。まず、アルミニウムを含むリン酸塩と、たとえばカリウム等を含む重クロム塩とを含む絶縁被覆水溶液が鉄粉に噴射される。次に、絶縁被覆水溶液が噴射された鉄粉が300℃で30分間保持され、100℃で60分間保持される。これにより、鉄粉に形成された絶縁被膜が乾燥される。次に、絶縁被膜が形成された鉄粉が加圧成形され、加圧成形後に熱処理され、軟磁性材料が完成する。
特開2003−272911号公報
しかしながら、上記特許文献1に開示された技術には、リン酸アルミニウム系絶縁被膜の加工性が低いという欠点がある。このため、リン酸アルミニウム系絶縁被膜が形成された鉄粉を加圧成形すると、絶縁被膜が圧力を受けて破損しやすかった。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下し、渦電流損が大きくなってしまうという問題があった。
したがって、本発明の目的は、渦電流損を低下することができる軟磁性材料およびその製造方法を提供することである。
本発明の軟磁性材料の製造方法は、金属磁性粒子および金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜を有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、以下の工程を備えている。アルミニウムイオンとリン酸イオンとを含み、絶縁被膜を形成するための水溶液が金属磁性粒子に塗布される。水溶液を塗布された金属磁性粒子が150℃以下で乾燥される。乾燥後、水溶液を塗布された金属磁性粒子が加圧成形される。
本発明の軟磁性材料の製造方法によれば、リン酸アルミニウム化合物の水和物を含む絶縁被膜で金属磁性粒子が被覆される。そして、乾燥時にリン酸アルミニウム化合物の水和物は分解されず、リン酸アルミニウム化合物から水は除去されない。このため、乾燥後もリン酸アルミニウム化合物の水和物を含む絶縁被膜で金属磁性粒子は被覆されている。リン酸アルミニウム化合物の水和物の加工性はリン酸アルミニウム化合物の加工性よりも優れている。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなる。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下しにくくなり、渦電流損を低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、乾燥工程において、金属磁性粒子は100℃以下で乾燥される。これにより、リン酸アルミニウム化合物の水和物の水が一層除去されにくくなるので、加圧成形の際に絶縁被膜が一層破損しにくくなる。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρが一層低下しにくくなり、渦電流損を一層低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、水溶液のpHは1.0以上3.0以下であり、より好ましくは、1.5以上2.5以下である。これにより、渦電流損を低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、水溶液は、カルシウムイオン、マンガンイオン、亜鉛イオン、マグネシウムイオンおよびスズイオンよりなる群から選ばれる1種以上をさらに含んでいる。
これにより、リン酸アルミニウム化合物のAl(アルミニウム)の一部がCa(カルシウム)、Mn(マンガン)、Zn(亜鉛)、Mg(マグネシウム)およびSn(スズ)に置換される。P(リン)−Ca系の化合物、P−Mn系の化合物、P−Zn系の化合物、P−Mg系の化合物およびP−Snの化合物の摩擦係数は、リン酸アルミニウム化合物の摩擦係数よりも小さいので、加圧成形の際に粉末同士のすべり性が向上する。その結果、同一圧力で加圧成形したときの成形体の密度を向上することができ、軟磁性材料の鉄損を低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、水溶液は、SiO2(酸化シリコン),Al23(酸化アルミニウム),TiO2(酸化チタン),およびZrO2(酸化ジルコニウム)よりなる群から選ばれる1種以上の絶縁性粒子をさらに含んでいる。
これにより、SiO2,Al23,TiO2およびZrO2の絶縁性粒子が絶縁被膜中に分散される。そして、これらの絶縁性粒子がスペーサとなり、隣り合う金属磁性粒子同士の接触が抑止される。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρの低下を抑止することができ、渦電流損を低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、絶縁被膜の平均厚みがTである場合、絶縁性粒子の平均粒径Rは、10nm≦R≦2Tの関係を満たしている。
絶縁性粒子の平均粒径Rが10nm以上である場合、絶縁性粒子の粒径が小さすぎないので、軟磁性材料の加圧成形時に隣り合う金属磁性粒子同士のスペーサとして絶縁性粒子を十分に機能させることができる。これにより、軟磁性材料の電気抵抗率ρの低下をより確実に抑止することができ、渦電流損をより確実に低下することができる。一方、絶縁性粒子の平均粒径Rが2T以下の場合、絶縁性粒子の粒径が絶縁被膜の厚みに対して大きすぎないので、絶縁性粒子を絶縁被膜に安定して担持することができる。これにより、絶縁性粒子が被膜から脱落するの抑止することができ、絶縁性粒子による効果を確実に得ることができる。また、軟磁性材料の加圧成形時に、絶縁性粒子が金属磁性粒子の塑性変形の妨げとならず、加圧成形後の成形体の密度を向上することができる。さらに、軟磁性材料の加圧成形時に、絶縁性粒子によって絶縁被膜が破壊されることを抑止でき、金属磁性粒子間の絶縁性の低下を抑止することができる。以上の理由から、成形体の比抵抗の低下や粒子間渦電流損の増大を抑えることができる。
上述のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法によって、圧粉成形体にした際の密度が7.5g/cm3以上であり、かつ渦電流損係数が0.1×10-3W・s2/kg以下である鉄を含む軟磁性材料を形成することができる。
本発明の軟磁性材料およびその製造方法によれば、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下しにくくなり、渦電流損を低下することができる。
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における軟磁性材料を用いて作製された圧粉成形体を拡大して示した模式図である。
図1に示すように、本実施の形態における軟磁性材料を用いて作製された圧粉成形体は、金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10の表面を被覆する絶縁被膜20とを有する複数の複合磁性粒子30を含んでいる。複数の複合磁性粒子30の各々は、たとえば図示しない有機物や、複合磁性粒子30が有する凹凸の噛み合わせなどによって接合されている。
金属磁性粒子10は、たとえばFe(鉄)、Fe−Si(シリコン)系合金、Fe−N(窒素)系合金、Fe−Ni(ニッケル)系合金、Fe−C(炭素)系合金、Fe−B(ホウ素)系合金、Fe−Co(コバルト)系合金、Fe−P系合金、Fe−Ni−Co系合金あるいはFe−Al−Si系合金などから形成されている。金属磁性粒子10は、金属単体でも合金でもよい。
金属磁性粒子10の平均粒径は、5μm以上300μm以下であることが好ましい。金属磁性粒子10の平均粒径が5μm以上である場合、金属が酸化されにくくなるため、軟磁性材料の磁気的特性の低下を抑止できる。また、金属磁性粒子10の平均粒径が300μm以下である場合、後に続く成形工程時において混合粉末の圧縮性が低下することを抑止できる。これにより、成形工程によって得られた成形体の密度が低下せず、取り扱いが困難になることを防ぐことができる。
なお、平均粒径とは、ふるい法によって測定した粒径のヒストグラム中、粒径の小さいほうからの質量の和が総質量の50%に達する粒子の粒径、つまり50%粒径Dをいう。
絶縁被膜20は、たとえばリン酸アルミニウム化合物と、リン酸カルシウム化合物とを含む絶縁体よりなっている。絶縁被膜20は、金属磁性粒子10間の絶縁層として機能する。金属磁性粒子10を絶縁被膜20で覆うことによって、軟磁性材料の電気抵抗率ρを大きくすることができる。これにより、金属磁性粒子10間に渦電流が流れるのを抑制して、軟磁性材料の渦電流損に起因する鉄損を低減させることができる。
絶縁被膜20の厚みは、0.005μm以上20μm以下であることが好ましい。絶縁被膜20の厚みを0.005μm以上とすることによって、渦電流によるエネルギー損失を効果的に抑制することができる。また、絶縁被膜20の厚みを20μm以下とすることによって、軟磁性材料に占める絶縁被膜20の割合が大きくなりすぎない。このため、軟磁性材料の磁束密度が著しく低下することを防止できる。
続いて、軟磁性材料から図1に示す圧粉成形体を製造する方法について説明する。
まず、金属磁性粒子10が水溶液中に浸漬されることにより、金属磁性粒子10に水溶液が塗布される。本実施の形態で用いられる水溶液として、AlイオンとPO4(リン酸)イオンとCaイオンとを含む水溶液が用いられる。また、水溶液のpHは、たとえばNaOHを用いて調整されている。水溶液のpHは、1.0以上3.0以下に調整されていることが好ましく、1.5以上2.5以下に調整されていることがより好ましい。なお、金属磁性粒子10の浸漬時間は10分であり、浸漬中には金属磁性粒子10が底に沈殿しないように水溶液が攪拌され続ける。金属磁性粒子10に水溶液が塗布されることにより、リン酸アルミニウム化合物の水和物と、リン酸カルシウム化合物の水和物とよりなる絶縁被膜で金属磁性粒子10が被覆される。その後、上記絶縁被膜で被覆された金属磁性粒子10は、水およびアセトンを用いて洗浄される。
次に、上記絶縁被膜で被覆された金属磁性粒子10が乾燥される。乾燥は150℃以下の温度で行なわれ、好ましくは100℃以下の温度で行なわれる。また、乾燥はたとえば120分間行なわれる。本実施の形態においては、水和物よりなる絶縁被膜が150℃以下という低温で乾燥されるので、乾燥の際に水和物の水は除去されない。このため、乾燥後の金属磁性粒子10は、リン酸アルミニウム化合物の水和物と、リン酸カルシウム化合物の水和物とよりなる絶縁被膜で被覆されている。
次に、上記絶縁被膜で被覆された金属磁性粒子10の粉末を金型に入れ、たとえば390(MPa)から1500(MPa)までの圧力で加圧成形する。これにより、金属磁性粒子10の粉末が圧縮された圧粉成形体が得られる。ここで、リン酸カルシウム化合物の水和物の加工性はリン酸カルシウム化合物の加工性よりも優れている。このため、絶縁被膜が水和物でない場合と比較して、本実施の形態では加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなる。なお、加圧成形する雰囲気は、不活性ガス雰囲気または減圧雰囲気とすることが好ましい。この場合、大気中の酸素によって混合粉末が酸化されるのを抑制することができる。
次に、加圧成形によって得られた圧粉成形体を温度400℃以上900℃以下で熱処理する。加圧成形の工程を経た圧粉成形体の内部には歪や転位が多数発生しているので、熱処理により、このような歪や転位を取り除くことができる。また、金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜において、リン酸アルミニウム化合物の水和物の水と、リン酸カルシウム化合物の水和物の水とが熱処理の際に除去される。したがって、熱処理後の金属磁性粒子10は、リン酸アルミニウム化合物と、リン酸カルシウム化合物とよりなる絶縁被膜20で被覆されている。以上に説明した工程により、図1に示す圧粉成形体が完成する。
ここで、特許文献1に開示された技術では、リン酸アルミニウムを含む絶縁被覆水溶液が噴射された鉄粉は、300℃で乾燥されている。このような高温下では、絶縁被覆水溶液に含まれているリン酸アルミニウムの水和物は全て分解され、リン酸アルミニウムの水和物から水が除去される。その結果、乾燥後の絶縁被膜にはリン酸アルミニウムの水和物は含まれておらず、加圧成形時に絶縁被膜が破損してしまうという問題が起こっていた。
一方、本実施の形態の製造方法によれば、リン酸アルミニウム化合物の水和物よりなる絶縁被膜で被覆された金属磁性粒子10は150℃以下の低温で乾燥される。このため、乾燥時にリン酸アルミニウム化合物の水和物は分解されず、リン酸アルミニウム化合物から水は除去されない。このため、乾燥後もリン酸アルミニウム化合物の水和物で金属磁性粒子10は被覆されている。リン酸アルミニウム化合物の水和物の加工性はリン酸アルミニウム化合物の加工性よりも優れている。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなる。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下しにくくなり、渦電流損を低下することができる。
上記製造方法においては、金属磁性粒子10は100℃以下で乾燥される。これにより、リン酸アルミニウム化合物の水和物の水が一層除去されにくくなるので、加圧成形の際に絶縁被膜が一層破損しにくくなる。その結果、軟磁性材料の電気抵抗率ρが一層低下しにくくなり、渦電流損を一層低下することができる。
上記製造方法においては、水溶液のpHは1.0以上3.0以下であり、より好ましくは、1.5以上2.5以下である。これにより、渦電流損を一層低下することができる。
上記製造方法において好ましくは、水溶液はカルシウムイオンをさらに含んでいる。
これにより、リン酸アルミニウム化合物のAlの一部がCaに置換される。P−Ca系の化合物の摩擦係数は、リン酸アルミニウム化合物の摩擦係数よりも小さいので、加圧成形の際に粉末同士のすべり性が向上する。その結果、同一圧力で加圧成形したときの成形体の密度を向上することができ、軟磁性材料の鉄損を低下することができる。
なお、本実施の形態においては、金属磁性粒子10が水溶液中に浸漬される場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、金属磁性粒子10が水溶液中に浸漬される代わりに、たとえば水溶液が金属磁性粒子10に噴射されてもよい。つまり、水溶液が金属磁性粒子に塗布されればよい。
また、本実施の形態においては、水溶液がCaイオンを含んでいる場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、Caイオンに代わって、Mnイオン、Znイオン、MgイオンおよびSnイオンが水溶液に含まれていてもよい。また、Caイオンが含まれていなくてもよい。
(実施の形態2)
本実施の形態における軟磁性材料の製造方法においては、SiO2よりなる絶縁性粒子が水溶液にさらに含まれている。これにより、SiO2の絶縁性粒子が分散した絶縁被膜で金属磁性粒子10が被覆される。また、完成した軟磁性材料に含まれている複合磁性粒子30の絶縁被膜20の平均厚みがTである場合、この絶縁性粒子の平均粒径Rは、10nm≦R≦2Tの関係を満たしている。
なお、これ以外の製造方法については、実施の形態1における軟磁性材料の製造方法とほぼ同様の工程を経る。したがって、重複する製造方法の説明については省略する。
本実施の形態の軟磁性材料の製造方法では、水溶液は、SiO2の絶縁性粒子をさらに含んでいる。
これにより、SiO2の絶縁性粒子が絶縁被膜20中に分散される。そして、この絶縁性粒子がスペーサとなり、隣り合う金属磁性粒子10同士の接触が抑止される。したがって、軟磁性材料の電気抵抗率ρの低下を抑止することができ、渦電流損を低下することができる。
上記製造方法においては、絶縁被膜20の平均厚みがTである場合、絶縁性粒子の平均粒径Rは、10nm≦R≦2Tの関係を満たしている。
絶縁性粒子の平均粒径Rが10nm以上である場合、絶縁性粒子の粒径が小さすぎないので、軟磁性材料の加圧成形時に隣り合う金属磁性粒子10同士のスペーサとして絶縁性粒子を十分に機能させることができる。これにより、軟磁性材料の電気抵抗率ρの低下をより確実に抑止することができ、渦電流損をより確実に低下することができる。一方、絶縁性粒子の平均粒径Rが2T以下の場合、絶縁性粒子の粒径が絶縁被膜20の厚みに対して大きすぎないので、絶縁性粒子を絶縁被膜20に安定して担持することができる。これにより、絶縁性粒子が被膜から脱落するの抑止することができ、絶縁性粒子による効果を確実に得ることができる。また、軟磁性材料の加圧成形時に、絶縁性粒子が金属磁性粒子10の塑性変形の妨げとならず、加圧成形後の成形体の密度を向上することができる。さらに、軟磁性材料の加圧成形時に、絶縁性粒子によって絶縁被膜20が破壊されることを抑止でき、金属磁性粒子10間の絶縁性の低下を抑止することができる。以上の理由から、成形体の比抵抗の増大や粒子間渦電流損の増大を抑えることができる。
なお、本実施の形態においては、SiO2よりなる絶縁性粒子が水溶液にさらに含まれている場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、SiO2の代わりに、Al23,TiO2,およびZrO2よりなる絶縁性粒子が水溶液に含まれていてもよい。また、本実施の形態においては、絶縁被膜20の平均厚みTに対してSiO2よりなる絶縁性粒子の平均粒径Rが、10nm≦R≦2Tの関係を満たしている場合について示した。しかし、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、絶縁性粒子の平均粒径Rがこの関係を満たしていなくてもよい。
実施の形態1および2に記載の製造方法によって得られた軟磁性材料は、チョークコイル、スイッチング電源素子および磁気ヘッドなどの電子部品、各種モータ部品、自動車用ソレノイド、各種磁気センサならびに各種電磁弁などに使用することができる。
本実施例では、絶縁被膜の乾燥温度を80℃〜400℃の範囲で変化させ、完成した圧粉成形体の渦電流損係数を測定した。具体的には、1mol/lのH3PO4(リン酸)と、0.2mol/lのHNO3(ホウ酸)と、0.1mol/lのAlと、1mol/lのH2NO3(硝酸)とを混合した水溶液を準備した。そして、この水溶液にNaOHを滴下することにより、水溶液のpHを2.0に調整した。また、金属磁性粒子10としてヘガネス社製の鉄粉(商品名「ABC100.30」)を準備した。次に、鉄粉に上記水溶液を塗布し、その後、水およびアセトンを用いて洗浄した。続いて、80℃〜400℃の範囲のそれぞれの温度で、絶縁体を被覆した鉄粉を乾燥した。次に、9tの荷重を加えて加圧成形を行ない、圧粉成形体とした。このとき、圧粉成形体の密度は7.5g/cm3以上となった。次に、得られた圧粉成形体を窒素雰囲気中において400℃または600℃で熱処理し、その後700℃でさらに1時間熱処理した。こうして得られた圧粉成形体の渦電流損係数の測定結果を表1および図2に示す。
Figure 2005213619
表1および図2に示すように、乾燥温度が200℃の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.035(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.078(×10-3W・s2/kg)となっている。乾燥温度が200℃以上では渦電流損係数は温度とともに大きく増加している。
一方、乾燥温度が150℃の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.024(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.032(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、乾燥温度が150℃以下の場合には、乾燥温度が150℃を越える場合と比較して渦電流損係数が低下している。
さらに、乾燥温度が100℃の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.022(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.024(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、乾燥温度が100℃以下の場合には渦電流損係数がさらに低下している。以上の結果から、乾燥温度を150℃以下、好ましくは100℃以下とすることにより、渦電流損を低下できることが分かる。また、乾燥温度を150℃以下とすることにより、圧粉成形体にした際の密度が7.5g/cm3以上であり、かつ渦電流損係数が0.1×10-3W・s2/kg以下である、軟磁性材料となることがわかる。
本実施例では、絶縁被膜を形成するための水溶液のpHを0.5〜4.0の範囲で変化させ、完成した圧粉成形体の渦電流損係数を測定した。具体的には、実施例1の水溶液にNaOHを滴下することにより、水溶液のpHを0.5〜4.0の範囲でそれぞれ調整した。また、絶縁体の乾燥温度は80℃とした。なお、これ以外の軟磁性材料の製造方法は実施例1の製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。こうして得られた圧粉成形体の渦電流損係数の測定結果を表2および図3に示す。
Figure 2005213619
表2及び図3に示すように、水溶液のpHが0.5である場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.033(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.036(×10-3W・s2/kg)となっている。一方、水溶液のpHが1.0である場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.028(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.031(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、水溶液のpHが1.0以上の場合には、水溶液のpHが1.0より小さい場合と比較して渦電流損係数が低下している。
また、水溶液のpHが1.5の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.024(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.027(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、水溶液のpHが1.5以上の場合には渦電流損係数がさらに低下している。
また、水溶液のpHが3.5である場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.035(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.037(×10-3W・s2/kg)となっている。一方、水溶液のpHが3.0である場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.030(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.032(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、水溶液のpHが3.0以下の場合には、水溶液のpHが3.0より大きい場合と比較して渦電流損係数が低下している。
さらに、水溶液のpHが2.5の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.023(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.026(×10-3W・s2/kg)となっている。このように、水溶液のpHが2.5以下の場合には渦電流損係数がさらに低下している。以上の結果から、水溶液のpHを1.0以上3.0以下、好ましくは1.5以上2.5以下とすることにより、渦電流損を低下できることが分かる。
本実施例では、絶縁被膜を形成するための水溶液にさらにCaCO3を混合し、絶縁被膜を形成するための水溶液に含まれるAlおよびCaのモル数の和に対するCaのモル数(以下、Ca分率)を0.00〜0.70の範囲で変化させ、完成した圧粉成形体の渦電流損係数を測定した。水溶液のpHは2.0に調整した。また、絶縁体の乾燥温度は80℃とした。なお、これ以外の軟磁性材料の製造方法は実施例1の製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。こうして得られた圧粉成形体の渦電流損係数の測定結果を表3および図4に示す。
Figure 2005213619
表3および図4に示すように、Ca分率が0.00の場合、すなわち水溶液にCaが含まれていない場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.022(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.025(×10-3W・s2/kg)となっている。一方、Ca分率の増加に従って渦電流損係数も低下し、Ca分率が0.20の場合、400℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.020(×10-3W・s2/kg)となっており、600℃の熱処理温度での渦電流損係数は0.023(×10-3W・s2/kg)となっている。Ca分率が0.40以下の場合にこのような渦電流損係数の低下が見られた。以上の結果から、水溶液がCaイオンをさらに含んでいることにより、渦電流損を一層低下できることが分かる。
本実施例では、絶縁被膜を形成するための水溶液にさらにCaCO3と、平均粒径Rがそれぞれ10nm、20nm、50nm、および100nmであるSiO粒子とを混合し、完成した圧粉成形体の渦電流損係数を測定した。水溶液のpHは2.0に調整した。また、Ca分率を0.20(誘導結合プラズマ質量分析法(ICP−MS)による測定値)とした。また、絶縁体の乾燥温度は80℃とした。さらに、熱処理温度は400℃とした。完成した圧粉成形体の絶縁被膜の厚みTは40nm(TEM(transmission electron microscope)による測定値)であった。なお、これ以外の軟磁性材料の製造方法は実施例1の製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。こうして得られた圧粉成形体の渦電流損係数の測定結果を表4に示す。表4には比較のためにSiO2粒子を混合しなかった場合の渦電流損係数の測定結果も示した。
Figure 2005213619
表4に示すように、SiO2の平均粒径Rが10nmの場合、渦電流損係数は0.021(×10-3W・s2/kg)となっている。また、SiO2の平均粒径Rが20nmの場合、渦電流損係数は0.014(×10-3W・s2/kg)となっている。さらに、SiO2の平均粒径Rが50nmの場合、渦電流損係数は0.017(×10-3W・s2/kg)となっている。一方、SiO2の平均粒径Rが100nmの場合、渦電流損係数は0.058(×10-3W・s2/kg)となっている。なお、SiO2粒子を混合しない場合、渦電流損係数は0.019(×10-3W・s2/kg)となっている。以上の結果から、絶縁被膜の平均厚みをT(=40nm)とすると、SiO2の平均粒径Rが10nm≦R≦2T(=80nm)の関係を満たす場合に、渦電流損を一層低下できることが分かる。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の実施の形態1における軟磁性材料を用いて作製された圧粉成形体を拡大して示した模式図である。 絶縁被膜の乾燥温度と渦電流損係数との関係を示す図である。 絶縁被膜を形成するための水溶液と渦電流損係数との関係を示す図である。 Ca分率と渦電流損係数との関係を示す図である。
符号の説明
10 金属磁性粒子、20 絶縁被膜、30 複合磁性粒子。

Claims (8)

  1. 金属磁性粒子および前記金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜を有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、
    アルミニウムイオンとリン酸イオンとを含み、前記絶縁被膜を形成するための水溶液を前記金属磁性粒子に塗布する工程と、
    前記水溶液が塗布された前記金属磁性粒子を150℃以下で乾燥する乾燥工程と、
    前記乾燥工程後、前記水溶液が塗布された前記金属磁性粒子を加圧成形する工程とを備える、軟磁性材料の製造方法。
  2. 前記乾燥工程において、前記金属磁性粒子は100℃以下で乾燥される、請求項1に記載の軟磁性材料の製造方法。
  3. 前記水溶液のpHは1.0以上3.0以下である、請求項1または2に記載の軟磁性材料の製造方法。
  4. 前記水溶液のpHは1.5以上2.5以下である、請求項3に記載の軟磁性材料の製造方法。
  5. 前記水溶液は、カルシウムイオン、マンガンイオン、亜鉛イオン、マグネシウムイオンおよびスズイオンよりなる群から選ばれる1種以上をさらに含む、請求項1〜4のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
  6. 前記水溶液は、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、および酸化ジルコニウムよりなる群から選ばれる1種以上の絶縁性粒子をさらに含む、請求項1〜5のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法。
  7. 前記絶縁被膜の平均厚みがTである場合、前記絶縁性粒子の平均粒径Rは、10nm≦R≦2Tの関係を満たす、請求項6に記載の軟磁性材料の製造方法。
  8. 請求項1〜7のいずれかに記載の軟磁性材料の製造方法により製造された鉄を含む軟磁性材料であって、圧粉成形体にした際の密度が7.5g/cm3以上であり、かつ渦電流損係数が0.1×10-3W・s2/kg以下である、軟磁性材料。
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