JP2005212285A - 印刷パターン形成材およびそれを用いた電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】貫通孔に目詰りが生じることを抑制、防止して、印刷回数が増加しても、印刷図形の形状、面積の変化が少ない印刷パターン形成材およびそれを用いた電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を一つの印刷図形に対して複数個配設するとともに、印刷図形２の、スキージの移動方向に略平行な辺（移動方向平行辺）３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）の平面形状を多角形とし、該貫通孔１（１ａ）の移動方向平行辺３に最も近接した辺１１を、該移動方向平行辺３と略平行にするとともに、該辺１１とそれに接する辺１２，１３により形成される内角Ｘ，Ｙの角度を９０゜以上とし、他の貫通孔１（１ｂ）の平面形状を多角形にするとともに、貫通孔１（１ａ，１ｂ）を構成する各辺のうち、辺１１以外の辺がスキージの移動方向Ａに対して所定の角度を持つようにする。
【選択図】図１

Description

本願発明は印刷パターン形成材およびそれを用いた電子部品の製造方法に関し、詳しくは、スクリーン印刷法などに用いられる印刷パターン形成材およびそれを用いた電子部品の製造方法に関する。

積層セラミック電子部品の代表的なものの１つである積層セラミックコンデンサは、例えば、図８に示すように、セラミック素子１の内部に、セラミック層２を介して複数の内部電極３ａ，３ｂが互いに対向するように配設され、かつ、その一端側が交互にセラミック素子１の異なる側の端面５ａ，５ｂに引き出されているとともに、セラミック素子１の両端側に、内部電極３ａ，３ｂと導通するように一対の外部電極４ａ，４ｂが配設された構造を有している。

そして、この積層セラミックコンデンサは、通常、セラミックグリーンシートの表面に導電ペーストをスクリーン印刷することにより内部電極パターンを形成した電極印刷シートを積層するとともに、その上下両面側に内部電極パターンを形成していないセラミックグリーンシートを所定枚数積層し、圧着した後、所定の位置でカットして個々の素子に分割し、焼成した後、外部電極を形成することにより製造されている。

ところで、セラミックグリーンシートに導電ペーストをスクリーン印刷して内部電極パターンを形成するにあたっては、所定の印刷パターンに対応する領域に、導電ペーストが通過する複数個の貫通孔（開口部）を配設したスクリーン印刷用マスクが用いられている。

そして、従来のスクリーン印刷用マスクとしては、印刷図形部の耐久性が高く、印刷されたパターンを焼成することにより形成される厚膜電極の厚みの均一性を向上させるものとして、例えば、図９(ａ)（平面図），及び図９(ｂ)（図９(ａ)のｂ−ｂ線断面図）に示すように、ポリイミドまたはポリエステルシートからなる樹脂シート５１と金属層５２を積層した積層構造体からなり、樹脂シートに印刷パターンに対応する開口部５３が形成され、金属層５２にはメッシュ状またはドット状の開口部（三角形または略正方形の開口部）５４が複数個配設されたスクリーン印刷用マスク６０が提案されている（特許文献１）。

しかしながら、このスクリーン印刷用マスクにおいては、樹脂シート５１の開口部５３と金属層５２のドット状の開口部５４から形成される印刷開口部５５の一部に、三角形の開口部５４ａ（図９(ａ)）が含まれているため、印刷回数が増えてゆくと、三角形の開口部５４ａにおいて目詰りが発生する。なお、三角形の開口部５４ａの目詰りは、通常、図１０に示すように、三角形の開口部５４ａの角度の小さい角部６５を起点にして発生する。

そして、印刷開口部５５の外周縁に位置する三角形の開口部５４ａに目詰りが発生すると、例えば図１１(ａ)に示すような、目詰りが発生する前の印刷パターン６１に対して、図１１(ｂ)に模式的に示すように、印刷パターン６１の外周部の印刷ムラが大きくなるばかりでなく、印刷パターン６１の図形面積が小さくなる。

その結果、上記従来のスクリーン印刷用マスクを用いて内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積層する工程を経て製造される積層セラミックコンデンサにおいては、内部電極の有効面積が小さくなり、静電容量値が低下するという問題点がある。
特開平１１−４２８６７号公報

本願発明は、上記問題点を解決するものであり、ペーストが供給される貫通孔に目詰りが生じることを抑制、防止して、印刷回数が増加しても、印刷パターンの形状および面積の変化が少なく、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能な印刷パターン形成材およびそれを用いた電子部品の製造方法を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の印刷パターン形成材は、
スクリーン印刷法により、所定の印刷パターンとなるようにペーストを印刷するための印刷パターン形成材であって、
ペーストが供給される貫通孔が一つの印刷図形に対して複数個配設されているとともに、
印刷図形の、スキージの移動方向に略平行な辺（以下、「移動方向平行辺」という）に近接して配置される貫通孔は、平面形状が多角形であり、該貫通孔の印刷図形の移動方向平行辺に最も近接した辺が、前記移動方向平行辺と略平行であるとともに、前記移動方向平行辺に略平行な辺と、それに接する辺とにより形成される内角の角度が９０゜以上であり、かつ、前記移動方向平行辺に略平行な辺以外の各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を有しており、
その他の貫通孔は、平面形状が多角形であり、かつ、各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を有していること
を特徴としている。

また、請求項２の印刷パターン形成材は、前記印刷図形の前記移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔が、他の貫通孔と同一の形状から、前記移動方向平行辺の近傍のマージン部にかかる部分が除かれた形状を有しており、その面積が他の貫通孔の面積よりも小さいことを特徴としている。

また、請求項３の印刷パターン形成材は、前記印刷図形の前記移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔の平面形状が五角形で、各内角の角度がいずれも９０゜以上であり、かつ、その他の貫通孔は平面形状が略正方形で、各内角の角度がいずれも略９０゜であることを特徴としている。

また、本願発明（請求項４）の印刷パターン形成材は、
スクリーン印刷法により、所定の印刷パターンとなるようにペーストを印刷するための印刷パターン形成材であって、
ペーストが供給される貫通孔が一つの印刷図形に対して複数個配設されているとともに、
前記貫通孔の平面形状は、各内角の角度が９０゜以上の多角形で、各貫通孔は同一形状を有しており、かつ、複数の貫通孔を結ぶ線が、スキージの移動方向に対して所定の角度を有していること
を特徴としている。

また、本願発明（請求項５）の電子部品の製造方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の印刷パターン形成材を用いて導電ペーストを印刷することにより所定の印刷パターンを形成する工程を含むことを特徴としている。

本願発明（請求項１）の印刷パターン形成材は、ペーストが供給される貫通孔を一つの印刷図形（ペーストが印刷されることにより所定の形状を有する一つの印刷パターンが形成されるようにするための領域）に対して複数個配設するとともに、印刷図形の、スキージの移動方向に略平行な辺（移動方向平行辺）に近接して配置される貫通孔の平面形状を多角形とし、該貫通孔の印刷図形の移動方向平行辺に最も近接した辺を、該移動方向平行辺と略平行にするとともに、移動方向平行辺に略平行な辺と、該辺と接する辺とにより形成される内角の角度を９０゜以上とし、かつ、移動方向平行辺に略平行な辺以外の各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を持つようにしているので、ペーストが供給される貫通孔（特に目詰りが問題になりやすい、移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔）に目詰りが生じることを抑制、防止して、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを抑制、防止することが可能になり、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。

また、移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔以外の、他の貫通孔については、平面形状を多角形にするとともに、各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を有するようにしているので、スキージを移動させてスクリーン印刷を行う場合に、安定した動作が行われることを妨げることがなく、安定したスクリーン印刷を行うことが可能になる。

すなわち、印刷図形の、移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔の平面形状を多角形とし、該貫通孔の移動方向平行辺に最も近接した辺を、該移動方向平行辺と略平行にするとともに、該平行な辺と、それに接する辺とにより形成される内角の角度を９０゜以上とすることにより、ペーストが印刷された場合に、印刷パターンの外周部となる部分に対応する、貫通孔の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止することが可能になり、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを効率よく、抑制、防止することが可能になる。

また、請求項２の印刷パターン形成材のように、印刷図形の移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔の平面形状を、他の貫通孔と同一の形状から、移動方向平行辺の近傍のマージン部にかかる部分が除かれた形状とし、その面積が他の貫通孔の面積よりも小さくするようにした場合、容易かつ、確実に、貫通孔の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止して、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを確実に抑制、防止することが可能になる。

また、請求項３の印刷パターン形成材のように、印刷図形の、移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔の平面形状を五角形とし、各内角の角度をいずれも９０゜以上とするとともに、その他の貫通孔は平面形状を略正方形とし、各内角の角度をいずれも略９０゜とすることにより、貫通孔の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止しつつ、平面面積あたりのペーストの供給量を十分に確保することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。

すなわち、例えば、図１に示すように、中央部の貫通孔１（１ｂ）の平面形状を四角形（略正方形）とし、かつ、各辺２１，２２，２３，２４のスキージの移動方向Ａに対する角度を４５゜とし、印刷図形２の両側の、スキージの移動方向に略平行な辺（移動方向平行辺）３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）については、基本形状が中央部の貫通孔１（１ｂ）の平面形状と同じで、移動方向平行辺３の近傍のマージン部４にかかる部分が除かれた形状として、マージン部４により規定される辺１１を、該移動方向平行辺３と略平行にした場合、五角形で、移動方向平行辺３に略平行な辺１１と、該辺１１と接する辺１２あるいは１３とにより形成される内角Ｘ，Ｙの角度が９０゜より大きく、他の内角の角度が略９０゜であるような印刷パターン形成材１０を構成することが可能になり、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止しつつ、平面面積あたりのペーストの供給量を十分に確保することが可能な、信頼性の高い印刷パターン形成材を得ることが可能になる。

また、本願発明（請求項４）の印刷パターン形成材のように、ペーストが供給される貫通孔を一つの印刷図形に対して複数個配設するとともに、貫通孔の平面形状を、各内角の角度が９０゜以上の多角形とし、各貫通孔を同一形状とするとともに、複数の貫通孔を結ぶ線が、スキージの移動方向に対して所定の角度を有するようにした場合にも、印刷パターンの外周部となる部分に対応する、貫通孔の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止することが可能になり、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを抑制、防止して、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。

また、本願発明（請求項５）の電子部品の製造方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の印刷パターン形成材を用いて導電ペーストを印刷することにより所定の印刷パターンを形成する工程を含んでおり、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することが抑制、防止される。したがって、例えば、印刷パターンが内部電極となる電極パターンであるような積層セラミックコンデンサの製造方法に本願発明を適用した場合、取得静電容量の変動が少なく、所望の特性を備えた積層セラミックコンデンサを安定して製造することが可能になる。したがって本願発明（請求項５）の電子部品の製造方法によれば、導電ペーストを印刷することにより所定の印刷パターンを形成する工程を経て製造される電子部品を、特性の変動を招くことなく効率よく製造することが可能になる。

以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。

図１は、本願発明の一実施例にかかる印刷パターン形成材１０の要部を示す平面図である。
この印刷パターン形成材１０は金属製のマスク（メタルマスク印刷パターン形成材）であり、ペーストが供給される貫通孔１が１つの印刷図形２に対して複数個配設されている。なお、図１では、一つの印刷図形のみを示しているが、実際の印刷パターン形成材１０には多数の印刷図形２がマトリックス状に形成されている。
そして、印刷図形２の両側の、スキージの移動方向Ａに平行な辺（以下、「移動方向平行辺」という）３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）は、平面形状が五角形で、かつ、移動方向平行辺３に最も近接した辺（この実施例１ではマージン部４により規定される辺）１１は、移動方向平行辺３と略平行に形成されている。また、移動方向平行辺３に略平行な辺１１と、該辺１１と接する辺１２、１３とにより形成される内角Ｘ，Ｙは、その角度が９０゜以上になるように構成されているとともに、移動方向平行辺３に略平行な辺１１以外の各辺１２，１３，１４，１５がスキージの移動方向Ａに対して所定の角度（この実施例では４５゜）を持つように構成されている。

また、移動方向平行辺３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）以外の、他の貫通孔（印刷図形２の中央部の貫通孔）１（１ｂ）は、平面形状が四角形（略正方形）で、各辺２１，２２，２３，２４がスキージの移動方向に対して所定の角度（この実施例では４５°）を持つように構成されている。

すなわち、この印刷パターン形成材１０においては、印刷図形２の両側の移動方向平行辺３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）が、他の貫通孔１（１ｂ）と同一の略正方形の形状から、マージン部４にかかる部分が除かれた五角形の形状を有しており、その分だけ、面積が他の貫通孔１（１ｂ）の面積よりも小さくなっている。

このように構成された印刷パターン形成材１０においては、移動方向平行辺３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）の平面形状を多角形とし、移動方向平行辺に最も近接した辺（マージン部４により規定される辺）１１を、移動方向平行辺３と略平行にするとともに、該平行な辺１１と、それに接する辺１２および１３とにより形成される内角Ｘ，Ｙの角度が９０゜以上となるようにしているので、ペーストが印刷された場合に、印刷パターンの外周部となる部分に対応する、貫通孔１（１ａ）の、移動方向平行辺３に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止することが可能になる。したがって、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを抑制、防止して、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。

なお、上記印刷パターン形成材１０を用いて、５万回のスクリーン印刷を行った場合における、印刷パターン形成材１０が新しいときの印刷パターン５と、５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターン５を図２(ａ)，図２(ｂ)に示す。
図２(ａ)，図２(ｂ)に示すように、印刷パターン形成材１０が新しいときの印刷パターン５（図２(ａ)）と、５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターン５（図２(ｂ)）には、ほとんど差異が認められなかった。

また、比較のため、印刷図形２の両側の、スキージの移動方向Ａに平行な辺（移動方向平行辺）３に近接して配置される貫通孔１（１ａ）を、図３に示すように、平面形状が三角形で、移動方向平行辺３に最も近接した辺（マージン部４により規定される）１１が、移動方向平行辺３に略平行であるような形状とし、他の形状は上記実施例１の印刷パターン形成材１０と同様とした比較例の印刷パターン形成材１０ａを作製し、この比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いて、５万回のスクリーン印刷を行い、新しい印刷パターン形成材１０ａを用いた場合の印刷パターンと、５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターンを調べた。なお、図３において、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示す図である。

図４(ａ)は新しい比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いた場合の印刷パターン５を示す図であり、図４(ｂ)は５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターン５を示す図である。
図４(ａ)，図４(ｂ)に示すように、印刷パターン形成材１０ａが新しいときの印刷パターン５（図４(ａ)）に比べて、５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターン５（図４(ｂ)）には、外周部５ａに顕著な印刷むらが認められ、かつ、印刷パターン５の面積も大幅に減少していることが確認された。

また、表１に、上記実施例１の印刷パターン形成材１０，および比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いて内部電極パターンを印刷した場合における、印刷初期と５万回のスクリーン印刷を行った後の内部電極パターン（印刷パターン）の面積の変化を示す。

さらに、実施例１の印刷パターン形成材１０、および比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いて内部電極パターンを印刷することにより内部電極パターンを形成した電極印刷シートを積層するとともに、その上下両面側に内部電極パターンを形成していないセラミックグリーンシートを所定枚数積層し、圧着した後、所定の位置でカットして個々の素子に分割し、焼成した後、外部電極を形成することにより作製した積層セラミックコンデンサ（内部電極の積層枚数：３０枚、取得静電容量の平均値：１５０ｐＦ）について調べた、印刷初期のセラミックグリーンシートを用いた場合と、５万回のスクリーン印刷を行った後に内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを用いた場合の、静電容量平均値および静電容量不良率の関係を表１に示す。

表１に示すように、上記比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いてスクリーン印刷を行った場合、印刷初期の印刷パターンと５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターンの面積が、０．１８２mm²から、０．１７６mm²に減少し、それに応じて、静電容量平均値が減少し、静電容量不良率が増加していることが確認された。

これに対して、実施例１の印刷パターン形成材１０を用いてスクリーン印刷を行った場合、印刷初期の印刷パターンと５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターンの面積が、いずれも０．１８０mm²で変化がなく、それに対応して、取得静電容量の平均値にも減少はわずかにしか認められず、また、静電容量不良率の増大もわずかにしか認められないことが確認された。

また、上記実施例１の印刷パターン形成材１０を用いてスクリーン印刷を行った場合の、印刷初期の印刷パターン（内部電極パターン）５の断面図を図５に、上記比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いてスクリーン印刷を行った場合の、印刷初期の印刷パターン（内部電極パターン）５の断面図を図６にそれぞれ示す。
図６に示すように、比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いてスクリーン印刷を行った場合、印刷パターン５の両端部が盛り上ってサドル状になる現象が発生したが、本願発明の実施例１の印刷パターン形成材１０を用いた場合には、両端部に大きな盛り上がりは形成されず、ほぼ平坦な印刷パターン５が得られることが確認された。

また、比較例の印刷パターン形成材１０ａを用いてスクリーン印刷を行った場合、印刷パターン５の両端部が盛り上がってサドル状になる現象が発生するため、印刷パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層、圧着した場合、耐圧不良率は８．６％と高かったが、実施例１の印刷パターン形成材１０を用いてスクリーン印刷を行った場合、両端部に大きな盛り上がりは形成されず、ほぼ平坦な印刷パターン５が得られるため、印刷パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層、圧着した場合の耐圧不良率は０．８％と低く、良好な結果が得られることが確認されている。

図７は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる印刷パターン形成材２０の要部を示す平面図である。
この実施例２の印刷パターン形成材２０も、上記実施例１と同様の金属製のマスク（メタルマスク印刷パターン形成材）であり、この印刷パターン形成材２０においても、ペーストが供給される貫通孔１が一つの印刷図形２に対して複数個配設されている。なお、図７では、一つの印刷図形２のみを示しているが、実際の印刷パターン形成材２０には多数の印刷図形２がマトリックス状に形成されている。

また、貫通孔１の平面形状は、各内角の角度が略９０゜の多角形（この実施例では略正方形）で、各貫通孔１はそれぞれ同一形状を有しているとともに、複数の貫通孔１を結ぶ線Ｌが、スキージの移動方向Ａに対して所定の角度（この実施例では４５゜）を有している。

このように構成された実施例２の印刷パターン形成材２０は、ペーストが供給される貫通孔１を一つの印刷図形２に対して複数個配設するとともに、貫通孔１の平面形状を、各内角の角度が略９０゜の略正方形とし、各貫通孔１を同一形状とするとともに、複数の貫通孔１を結ぶ線Ｌが、スキージの移動方向Ａに対して４５°の角度を持つようにしているので、印刷パターンの外周部となる部分に対応する、貫通孔１の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止して、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを抑制、防止することが可能になり、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。
なお、この実施例２の印刷パターン形成材においても、上記実施例１の印刷パターン形成材に準じる作用効果が得られることは実験的にも確認されている。

上述のように、本願発明の印刷パターン形成材を用いることにより、ペーストが供給される貫通孔（特に目詰りが問題になりやすい、移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔）に目詰りが生じることを抑制、防止して、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積に変化が少なく、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。

したがって、本願発明の印刷パターン形成材を用いることにより、特性の安定した電子部品を効率よく製造することが可能になり、例えば、印刷パターンが内部電極となる電極パターンであるような積層セラミックコンデンサの製造方法に本願発明を適用した場合、取得静電容量の変動が少なく、所望の特性を備えた積層セラミックコンデンサを安定して製造することが可能になる。

なお、上記実施例では、金属層のみからなるメタルマスク印刷パターン形成材を用いて説明したが、本願発明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば、特許文献１のように金属層と樹脂シートを組み合わせた印刷パターン形成材にも適用することが可能である。
本願発明はさらにその他の点においても、上記実施例に限定されるものではなく、具体的な貫通孔の形状、配設態様、配設数、印刷パターン形成材の具体的な形状、印刷すべきペーストの種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

上述のように、本願発明によれば、印刷パターンの外周部となる部分に対応する、貫通孔の、移動方向平行辺に近い部分に、ペーストの目詰りが生じやすい、鋭角の内角が形成されることを防止して、印刷回数が増加した場合にも、印刷パターンの形状および面積が変化することを抑制、防止して、長期間にわたって安定した印刷を行うことが可能になる。
したがって、本願発明は、内部電極などをスクリーン印刷法により印刷する工程を経て製造される種々の電子部品に関する産業分野に広く利用することが可能である。

本願発明の一実施例にかかる印刷パターン形成材の要部を示す平面図である。 (ａ)は本願発明の一実施例にかかる新しい印刷パターン形成材を用いてスクリーン印刷を行った場合に得られる印刷パターンを模式的に示す図であり、(ｂ)は５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターンを模式的に示す図である。 比較例の印刷パターン形成材の要部を示す平面図である。 (ａ)は比較例の新しい印刷パターン形成材を用いてスクリーン印刷を行った場合に得られる印刷パターンを模式的に示す図であり、(ｂ)は５万回のスクリーン印刷を行った後の印刷パターンを模式的に示す図である。 実施例１の印刷パターン形成材を用いてスクリーン印刷を行った場合に得られる印刷初期の印刷パターンを示す断面図である。 比較例の印刷パターン形成材を用いてスクリーン印刷を行った場合に得られる印刷初期の印刷パターンを示す断面図である。 本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる印刷パターン形成材の要部を示す平面図である。 積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図である。 (ａ)は従来のスクリーン印刷用マスクを示す平面図，(ｂ)は従来のスクリーン印刷用マスクの断面を示す、(ａ)のｂ−ｂ線断面図である。 図９のスクリーン印刷用マスクの三角形の開口部における目詰りの発生状態を説明するための図である。 (ａ)は目詰りが発生する前の印刷パターンを模式的に示す図、(ｂ)は目詰りが発生した後の印刷パターンを模式的に示す図である。

符号の説明

１（１ａ） 移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔
１（１ｂ） 中央部の貫通孔
２ 印刷図形
３ 移動方向平行辺
４ マージン部
５ 印刷パターン
５ａ 印刷パターンの外周部
１０，２０ 印刷パターン形成材
１０ａ 比較例の印刷パターン形成材
１１ 移動方向平行辺に最も近接した辺
１２，１３ 移動方向平行辺に略平行な辺と接する辺
１４，１５ 移動方向平行辺に略平行な辺以外の辺
２１，２２，２３，２４ 中央部の貫通孔の各辺
Ａ スキージの移動方向
Ｘ，Ｙ 貫通孔の内角
Ｌ 貫通孔を結ぶ線

Claims (5)

1. スクリーン印刷法により、所定の印刷パターンとなるようにペーストを印刷するための印刷パターン形成材であって、
   ペーストが供給される貫通孔が一つの印刷図形に対して複数個配設されているとともに、
   印刷図形の、スキージの移動方向に略平行な辺（以下、「移動方向平行辺」という）に近接して配置される貫通孔は、平面形状が多角形であり、該貫通孔の印刷図形の移動方向平行辺に最も近接した辺が、前記移動方向平行辺と略平行であるとともに、前記移動方向平行辺に略平行な辺と、それに接する辺とにより形成される内角の角度が９０゜以上であり、かつ、前記移動方向平行辺に略平行な辺以外の各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を有しており、
   その他の貫通孔は、平面形状が多角形であり、かつ、各辺がスキージの移動方向に対して所定の角度を有していること
   を特徴とする印刷パターン形成材。
2. 前記印刷図形の前記移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔が、他の貫通孔と同一の形状から、前記移動方向平行辺の近傍のマージン部にかかる部分が除かれた形状を有しており、その面積が他の貫通孔の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の印刷パターン形成材。
3. 前記印刷図形の前記移動方向平行辺に近接して配置される貫通孔の平面形状が五角形で、各内角の角度がいずれも９０゜以上であり、かつ、その他の貫通孔は平面形状が略正方形で、各内角の角度がいずれも略９０゜であることを特徴とする請求項１または２記載の印刷パターン形成材。
4. スクリーン印刷法により、所定の印刷パターンとなるようにペーストを印刷するための印刷パターン形成材であって、
   ペーストが供給される貫通孔が一つの印刷図形に対して複数個配設されているとともに、
   前記貫通孔の平面形状は、各内角の角度が９０゜以上の多角形で、各貫通孔は同一形状を有しており、かつ、複数の貫通孔を結ぶ線が、スキージの移動方向に対して所定の角度を有していること
   を特徴とする印刷パターン形成材。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の印刷パターン形成材を用いて導電ペーストを印刷することにより所定の印刷パターンを形成する工程を含むことを特徴とする電子部品の製造方法。

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