JP2005212007A - 筒状体の内径加工方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の筒状体の内径加工する際に、外周面を固定して加工するため、各筒状体の貫通孔の真円度がばらつきやすく、高精度な加工ができない。
【解決手段】軸方向に下孔1aを有する複数の筒状体1を、各下孔1aが連続するように固定具3で保持するとともに各筒状体1の下孔1aにワイヤを挿通して下孔1aを研磨することにより貫通孔を得る内径加工方法であって、各筒状体1の接触する端面1bを粗面とすることによって、複数の筒状体1を固定具3内で軸方向に連結固定し、各下孔1aにワイヤ2を挿通するとともに固定具3を回転することによって複数の筒状体1を軸を中心に回転させて下孔1aを研磨加工することから、高い真円度でばらつきの小さい貫通孔を形成でき、製造コストを低減させることができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、光通信等に使用される光コネクタ用フェルール等の筒状体の内径を加工するための内径加工方法に関する。
従来、光ファイバ同士を接続する光コネクタや、半導体レーザと光ファイバ等から構成される半導体レーザモジュール等において、光ファイバを挿通保持するために軸方向に貫通孔を有する筒状体からなるフェルールが用いられている。
光コネクタは、図3にその部分断面図を示すように、ジルコニアセラミックス等からなるフェルール4の貫通孔4aに石英からなるシングルモード光ファイバ5を挿通し接着固定した後、略凸球面状に研磨された先端面4b同士を当接させて光接続するようになっている。
上記フェルール4は、例えば、ジルコニアセラミックスから成る場合、セラミックス粉体を押出成形、射出成形、もしくはプレス成形によって中心に微細な下孔を有する円筒状のフェルール素材を成形し、この素材を脱脂、焼成した後、得られた筒状体の両端を研磨した後、さらに下孔を研磨して高精度の貫通孔4aに仕上げる。しかる後、フェルール4の外周面を貫通孔4aを基準にフェルール4を回転しながら研削加工することによりフェルール4の外周面に対する貫通孔4aの偏心を小さくする。
ここで、フェルール4の貫通孔4aの内径加工方法を図4(a)〜(c)を用いて説明する。なお、ここでは短尺フェルール素材である貫通孔4aとなる下孔41aを有する筒状体41の内径研磨方法について説明する。
先ず、図4(a)に示すように、予め下孔41aを設けた複数の筒状体41に連結用ワイヤ42を挿通し、これらの複数の筒状体41の整列体の両端にダミープラグ43を当てがい、全体に半田44を流し込んで複数の筒状体41を一体に固定し、連結用ワイヤ42を抜いて筒状体41を組立てた組立体40を形成する。
その後、この固定部40を図示していない加工装置にセットし、図4(b)に示すように、ダミープラグ43に形成されたワイヤ貫通孔43aから加工用のワイヤ45を挿通し、組立体40の各筒状体41の下孔41aに差し込む。加工用のワイヤ45は先端部45aをエッチング等によってテーパー状に加工した鋼線から成り、外周面にダイヤモンド等の砥粒を含んだ研磨材が塗布されている。
次に、図4(c)に示すように、組立体40を矢印で示す方向に回転させながら、加工用のワイヤ45をその細径部分から大径部分へと矢印bで示す方向に前後させながら、複数の筒状体41に順次進行させていく。このようにして、全ての筒状体41の下孔41aを加工用のワイヤ45で研磨加工して仕上げた後、加工装置から組立体40を取出し、半田44を溶かし、両端のダミープラグ43を取外して、個々の筒状体41を取出す。
しかる後、筒状体41の外周面を研削し、ラップ、面取り、丸み研磨等を行なって、図3に示すような貫通孔4a有するフェルール4を得る。
特開平5−66320号公報
上述のように、筒状体の内径を研磨加工した後、筒状体41の外周を研削加工する際にフェルール4の外周面に対する貫通孔4aの偏心を小さくするためにフェルール4の貫通孔4aを中心に回転することが要求され、貫通孔4aが高精度で形成されていないと、貫通孔4aの真円度が低下するとともに、外周面との同心度が低下することとなる。そのため、固定部40を形成する際に、個々の筒状体41が途中で撓むことがなく、下孔41aが一直線に整列して並べられていなければならない。
しかしながら、上記従来の内径加工方法を用いた場合、各筒状体41の下孔41aの径が全て同一でないこと、連結用ワイヤ42の外径と下孔41aの径との隙間があるために、下孔41aが均一に整列していないために、特定の方向に対して余計な研削力がかかり、外周を加工して得られたフェルール4の貫通孔4aの真円度が低下するという問題があった。
また、加工用ワイヤ45を進行させる際、この加工用ワイヤ45に余計な振動や引張り方向のずれが付与されることがなく、加工用ワイヤ45を一直線に進行させなければならないが、加工用ワイヤ45に振動が付与されるために、得られた貫通孔4aの径に大きなばらつきが発生し、また引張り方向のずれがあるために、貫通孔4aの真円度が低下するという問題があった。
さらに、複数の筒状体41を両端から押圧固定するダミープラグ43は、筒状体41と接触する鍔部43bが筒状体41の端面に衝合しているだけであるため、筒状体41に接触する面積が小さく、筒状体41を両側から押え付ける力が不充分であって複数の筒状体41の貫通孔41aを完全に整列させることが難しかった。そのため、貫通孔4aの真円度が低下しやすく、各貫通孔4aの径がばらつきやすいという問題があった。
またさらに、筒状体41は半田44によって固定されているため、その半田44による固定と、その半田44を溶かして取出す作業に多大な時間を費やすことになり、内径の研磨加工にかかる製造コストを膨大なものとし、得られるフェルール4の低価格化を阻害する要因であった。
本発明の目的は、上記の欠点を回避し、高い真円度でばらつきの小さい貫通孔4aを有するとともに、製造コストを低減させたフェルールを製造することができる方法を提供することにある。
そこで本発明は、軸方向に下孔を有する複数の筒状体を、各下孔が連続するように固定具で保持するとともに各筒状体の下孔にワイヤを挿通して下孔を研磨することにより貫通孔を得る内径加工方法であって、各筒状体の接触する端面を粗面とすることによって、複数の筒状体を固定具内で軸方向に連結固定し、各下孔にワイヤを挿通するとともに固定具を回転することによって複数の筒状体を軸を中心に回転させて下孔を研磨加工することを特徴とする。
また、本発明は、上記ワイヤがテーパー状のワイヤであることを特徴とする。
さらに、本発明は、上記筒状体同士が接触する端面の表面粗さをRa1.0〜10.0μmとしたことを特徴とする。
またさらに、本発明は、上記筒状体が光通信用のフェルールであることを特徴とする。
本発明の内径加工方法によれば、各筒状体の接触する端面を粗面とすることによって、複数の筒状体を固定具内で軸方向に連結固定し、各下孔にワイヤを挿通するとともに固定具を回転することによって複数の筒状体を軸を中心に回転させて下孔を研磨加工することから、筒状体の下穴の径にばらつきがあっても筒状体の外周部を固定しておらず、ワイヤによって研磨加工するため、径の特定の方向に対して余計な研削力がかからず高精度な加工を行うことができる。
また、本発明の内径加工方法によれば、上記ワイヤがテーパー状であることから、ワイヤを下孔に挿通することでワイヤのテーパーによって下孔を押し広げようとする負荷が作用し、配列された複数の筒状体1の各々を上方部の筒状体1から下方部の筒状体1に向かって押つけ、ワイヤを中心にして真円度の高い研磨加工を行うことができる。
また、本発明の内径加工方法によれば、上記筒状体同士が接触する端面の表面粗さをRa1.0〜10.0μmとしたことから、筒状体同士は十分に連結させ接触する端面同士の摩擦力によって固定具を回転させることによって均一に回転するため、高精度な研磨加工を行うことができる。
さらに、本発明の内径加工方法によれば、上記筒状体が光通信用のフェルールであることから、上述の内径研磨方法によって貫通孔の径が非常に小さいフェルールを高精度な寸法で、バラツキなく得ることができる。
以下、本発明の実施形態について、図を用いて説明する。
図1(a)〜(c)は、本発明の筒状体の内径を加工する方法を示す断面図、および部分断面図である。
本発明の筒状体の内径加工方法は、予め、ジルコニアやアルミナ等のセラミックス、ステンレスなどの金属等からなり、軸方向に下孔1aを有する筒状体1を得、下孔1aの内径を研磨加工することで貫通孔を形成するものである。
この筒状体1の下孔1aの径は、研磨加工後に得られる貫通孔の径の0.8〜1.2%程度の削り代を残した寸法とすることが好ましい。
そして、図1に示すように、固定具3内に複数の筒状体1を各下孔1aが連続するように保持する。この際、各筒状体1が接触する端面1bを粗面とすることで複数の筒状体1を固定具3内で軸方向に連結固定する。
これによって、複数の筒状体1同士を接触する端面1bの摩擦により連結固定することができ、また固定具3の下方端と筒状体1の端面1bにおいても粗面とすることで固定具3と筒状体1も連結固定することができるため、筒状体1の外周は全く固定されない状態となり、これによって下孔1aを基準に筒状体1を固定することができるため、加工中の振動や引っ張り方向のズレを吸収できる程度に前後左右へ自由に動くことができることから高精度に加工することができる。
また、各筒状体1の接触する端面1bは、その表面粗さをRa1.0〜10.0μmとすることが好ましい。
端面1bの表面粗さがRa1.0未満となると、筒状体1同士の摩擦力が小さくなるため、固定力が低下し、連結が不十分となり加工中に外れる恐れがある。一方、表面粗さがRa10.0μmを越えると、例えば、筒状体1を光通信用フェルールとして用いる場合、端面1bを鏡面研磨によって加工するが、一般的な加工を2回以上行わないと所望の鏡面を得ることができず、加工の手間が増えるため好ましくない。また、上記表面粗さはRa1.8〜6.4μmとすることがより好ましい。
なお、筒状体1の端面1bを粗面とするには、予め長い筒状体を準備し、各筒状体1の長さ寸法に合わせて加工する際、その加工ツールの粗さを適宜選択することで容易に調整することができるため、特別な加工を要するものではない。
さらに、固定具3は、内部に筒状体1を配列できるよう、筒状体1の外径に対し、筒状体1の下孔1a径の半分以上の寸法のクリアランスをもった内孔を有し、また、長さ寸法は配列する筒状体1を支えらるよう複数の筒状体1の合計長さより10〜30%程度長い寸法とすることが好ましい。さらに、外径に関しては、回転運動に耐えられる強度をもった寸法とする。材質は筒状体1を配列させ回転運動を加えた時に保持できる強度を有するものなら問わないがステンレス等の金属からなることが好ましい。
また、固定具3の下方端3aは、中心に筒状体1の下孔1aの寸法以上の孔を有するとともに、筒状体1の端面1aを支持できるよう中心側に鍔部を有する形状となっており、筒状体1の端面1aと粗面によって連結固定するため、筒状体1の端面1aと同様な粗面としておく必要がある。また、この下方端3aには別体として蓋を設けることで容易に筒状体1と合致する粗面を形成できるため好ましい。
さらに、固定具3の上方は開放端とすることが好ましく、詳細を後述するように連結した筒状体1にワイヤを相通させて研磨する際に筒状体1がワイヤを中心に軸方向に自由に動くことができ、高精度な加工をすることができる。
またさらに、固定具3に保持する筒状体1は、例えば筒状体1が光通信用のフェルールとなる場合、材質がセラミックスであり研磨加工時のワイヤの効率を考慮し10〜20個とすることが好ましい。
次いで、各下孔1aにワイヤ2を挿通し、固定具3を回転することによって複数の筒状体1をその軸を中心に回転させてワイヤ2によって下孔1aを上方の筒状体から下方に向かって順に研磨加工する。
このワイヤ2は、ピアノ線などの金属製であり、その径は筒状体1の下孔1aに対して研磨加工できるダイヤ等の研磨粒子径を除した値とすることが好ましい。
ワイヤ2が一定の径を有するストレート状のものである場合、得られる貫通孔の径のワイヤ2を軸方向に移動させ、固定具3の回転とともに連結した複数の筒状体1を回転させることで下孔1aを研磨加工するものである。
また、図2に示す拡大断面図のように、ワイヤ2はテーパー状であることが好ましく、研磨加工に使用する全長に対して2/3程度をエッチングや機械加工でテーパー状に加工されたものを用いることで、ワイヤ2を下孔1aに挿通することでワイヤ2のテーパーによって下孔1aを押し広げようとする負荷が作用するため、配列された複数の筒状体1の各々を上方部の筒状体1から下方部の筒状体1に向かって押つける負荷として作用する。
そして、このテーパー状のワイヤ2を用いて研磨加工する場合、固定具3を回転することによって複数の筒状体1をその軸を中心に回転させてワイヤ2によって下孔1aを上方の筒状体から下方に向かって順に研磨加工する。
ワイヤ2を下方に向かって移動させることで、ワイヤ2のテーパーによって下孔1aを押し広げようとする負荷が掛かると同時に、固定具3を回転することによって、最下方の筒状体1の端面と接する部分の摩擦により回転が上方部の筒状体1に伝わっていき全ての筒状体1を回転させ、固定具3内の複数の筒状体1がその軸を中心に回転させることができる。そのため、筒状体1の外周面は全く固定されていない状態で筒状体1の下孔1aに挿通され上下から引っ張り力を加えたワイヤ2により全ての筒状体1の下穴1aの中心が揃い、この下穴1aを中心に回転することから、均一に内径加工ができ、得られた貫通孔の真円度を高精度なものとすることができる。
また、光通信用のフェルールとなる筒状体1を加工する際には、毎分500から1500程度で回転させることが好ましく、微細な下孔1aを高精度に加工することができる。
さらに、上記筒状体1は光通信用のフェルールを加工する場合に有効に用いることができる。
光通信用のフェルールは、貫通孔の径が120μmと非常に小さく、また、この貫通孔には光ファイバが挿通保持され、光ファイバ同士を接続する光コネクタ等として用いられる。そのため、貫通孔には高精度な加工が要求される。上述の内径加工方法を用いた場合には、貫通孔自体を中心として均一に加工できるため、貫通孔の真円度を0.3μm以下と非常に高精度に加工することができ、さらには、貫通孔を加工した後に、この貫通孔を基準に外周面を加工してフェルールを得るため、外周面と貫通孔との同心度も優れたものとすることができ、得られたフェルールの外周をスリーブ等に挿通保持した場合においても接続損失の小さな光通信が可能となる。
なお、本発明の筒状体の内径加工方法は、上述の実施形態に限定されるものではなく、
本発明の請求範囲内であれば種々の変更が可能である。
次いで、本発明の実施例を説明する。
先ず、本発明の実施例として図1に示す方法にて研磨加工する。
筒状体1として、ジルコニアセラミックスからなり、外径φ2.5mm、下孔1aの径φ0.120mm、長さ10.5mmの円筒体を作製する。なお、長さを10.5mmに加工する際に加工ツールを適宜選択し筒状体1の両端面の表面粗さを表1に示す如く値とした。
固定具3は、図1に示すようにステンレス製の円筒体の中心に上記ジルコニアセラミックスの筒状体が10個スムーズに収められるよう長さ126mm、径2.65mmの孔を有し、固定具3の下端3aの筒状体1と接触する面は筒状体1の端面の粗面と同様な粗面とした。
この固定具3に10個の筒状体1を配置して外径φ0.110〜0.120mmのテーパー状のワイヤ2に、粒径1〜3μmのダイヤモンドのペーストを塗布して筒状体1の下孔1aに連続して挿通させると共に軸方向に沿って移動させ、同時に固定具3の外周部を回転させることで筒状体1も連結回転させることで加工した。
最後に、固定具3に配列した筒状体1からワイヤ2を抜き取り、筒状体試料を得る。
なお、この筒状体試料の貫通孔1aの内径のねらい値を0.1255mmとして研磨加工してそれぞれの端面の粗さで10個の筒状体試料を得た。
また、従来例として、図4に示すような装置を用いて、上記と同様な10個の筒状体41を連結用ワイヤ42を挿通し、半田で固定した後、同様な加工条件で研磨加工した後、半田を高温の半田層に入れ溶かして個々の筒状体試料を得た。
そして、それぞれ10個の筒状体試料の内径真円度と内径寸法を測定し、そのバラツキを算出した。
なお、内径真円度は光学式の測定器を用い測定をし、内径寸法はワイヤ製のゲージを用い測定した。
その内径真円度、内径寸法の測定結果を表1に示す。
Figure 2005212007
この結果より、本発明の内径加工方法によって加工した試料(No.2〜8)は、真円度の平均値0.675μm以下、ばらつき0.2μm以下であり、内径寸法の平均値は0.1254〜0.1255μm、ばらつきは0.0003μm以下と寸法精度のよい貫通孔を形成することができた。
特に、筒状体の端面の表面粗さをRa1〜10μmとした試料(No.3〜7)は、真円度の平均値0.3μm以下、ばらつき0.085μm以下であり、内径寸法の平均値は0.1255μm、ばらつきは0.0002μm以下と非常に寸法精度のよい貫通孔を形成することができた。
さらに、筒状体の端面の表面粗さをRa5.0μmとした試料(No.5)は、真円度の平均値が0.205μm、ばらつきが0.0677μm、内径寸法の平均値は0.1255μm、ばらつきは0.0001μm以下と最も優れた精度で加工することができた。
これに対し、筒状体の端面を粗面としなかったものは、研磨加工中に筒状体の連結固定が外れてしまい加工することができなかった。
また、従来例である内径加工方法では、真円度の平均値が0.863μm、ばらつきが0.2406μmと悪く、内径寸法精度は平均値0.1256μm、ばらつき0.0005μmとばらつきが寸法精度が悪いことがわかった。
筒形体の内径加工方法に関するが、光コネクタ用フェルールの他、キャピラリ、ノズル、流体軸受のスリーブ等の微細孔を有する部品に用いることができ、材質はジルコニアやアルミナに限らずセラミックス全般とガラス、金属等にも応用することができる。
(a)〜(c)本発明の内径加工方法の一実施形態を示す断面図である。 本発明の内径加工方法の一部を拡大した断面図である。 一般的な光ファイバコネクタの接合部を示す概略図である。 (a)〜(c)は従来の光ファイバ用フェルールの内径加工方法を示す断面図である。
符号の説明
1:筒状体
1a:下孔
1b:端面
2:ワイヤ
3:固定具
3a:下方端
4:フェルール
4a:貫通孔
4b:先端面
5:光ファイバ
40:固定部
41:筒状体
41a:下孔
42:連結用ワイヤ
43:ダミープラグ
43a:ワイヤ貫通孔
43b:鍔
44:半田
45:加工用ワイヤ
45a:先端部

Claims (4)

  1. 軸方向に下孔を有する複数の筒状体を、各下孔が連続するように固定具で保持するとともに各筒状体の下孔にワイヤを挿通して下孔を研磨することにより貫通孔を得る内径加工方法であって、各筒状体の接触する端面を粗面とすることによって、複数の筒状体を固定具内で軸方向に連結固定し、各下孔にワイヤを挿通するとともに固定具を回転することによって複数の筒状体を軸を中心に回転させて下孔を研磨加工することを特徴とする筒状体の内径加工方法。
  2. 上記ワイヤがテーパー状であることを特徴とする請求項1に記載の筒状体の内径加工方法。
  3. 上記筒状体同士が接触する端面の表面粗さをRa1.0〜10.0μmとしたことを特徴とする請求項1または2に記載の筒状体の内径加工方法。
  4. 上記筒状体が光通信用のフェルールであることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の筒状体の内径加工方法。
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JP2020121393A (ja) * 2019-01-31 2020-08-13 シチズンファインデバイス株式会社 金属部品の製造方法および金属部品

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018171687A (ja) * 2017-03-31 2018-11-08 シチズンファインデバイス株式会社 ワークの製造方法
JP2020121393A (ja) * 2019-01-31 2020-08-13 シチズンファインデバイス株式会社 金属部品の製造方法および金属部品
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