JP2005211946A - 半田合金および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高い接続信頼性を得ることができる鉛フリー半田合金、並びに、接続信頼性の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ1の集積回路面に形成された内部電極9と、パッケージ基板2の上面に形成されたボンディングパッド10とが、半田バンプ11を介して接続されることにより、半導体チップ1はパッケージ基板2上に実装される。半田バンプ11は、Ag:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金により形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】 半導体チップ1の集積回路面に形成された内部電極9と、パッケージ基板2の上面に形成されたボンディングパッド10とが、半田バンプ11を介して接続されることにより、半導体チップ1はパッケージ基板2上に実装される。半田バンプ11は、Ag:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金により形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は鉛フリー半田、並びに鉛フリー半田で形成されたバンプを備える半導体装置に関するものである。
半導体装置の組立技術の1つとして、フリップチップボンディングが知られている。このボンディング方法は、半導体素子(半導体チップ)の下面に設けられた電極と、配線基板(パッケージ基板)上面に設けられた接続パッドとを密着させ、熱および圧力を加えて接合する方式である。その際、半導体チップの電極上およびパッケージ基板の接続パッド上には、予め半田バンプが形成されている。
従来、半田バンプに使用される半田としては、Sn(錫)−Pb(鉛)共晶半田が使用されていた。しかし近年では、電子部品を廃棄処理する際の環境への悪影響を抑制するために、半田合金としてPbを含まない、いわゆる鉛フリー半田が広く使用されている。
半田バンプに使用される鉛フリー半田としては、従来、Ag(銀):3〜4質量%、Cu(銅):0.5〜1.0質量%、残部はSnからなる半田合金が一般的であった。また、原材料価格的に高価なAgをさほど使用せず(2質量%以下)、接合信頼性、耐落下衝撃性に優れた半田バンプ用の半田合金も提案されている(例えば特許文献1)。
近年の半導体装置の小型化、高集積化に伴い、半導体チップの電極の狭ピッチ化に進んでいる。それに伴い、当該電極上に形成される半田バンプの体積も、急速に小さくなっている。鉛フリー半田は比較的延性が悪く、小さい半田バンプではその影響が顕著に現れる。そのため、従来評価されてきた半田合金の組成では、充分な接続信頼性を得ることが困難になってきている。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、高い接続信頼性を得ることができる鉛フリー半田合金、並びに、接続信頼性の高い半導体装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の局面によれば、半田合金は、Ag:1.0質量%以下、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る。
第2の局面によれば、半田合金は、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る。
第3の局面によれば、半導体装置は、Ag:1.0質量%以下、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金で形成されたバンプを備える。
第4の局面によれば、半導体装置は、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金で形成されたバンプを備える。
本発明の半田合金によれば、高い接続信頼性が得られる。また半導体装置が、当該半田合金により形成されたバンプを備えることで、動作信頼性が向上する。
本発明者は、接続信頼性の高い半田合金の組成を得るための実験を行なった。図1は本発明の実施の形態に係る半導体装置を示す図であり、実験では、この構成の半導体装置について、温度変化の繰返しに対する耐久試験(温度サイクル試験)が行われた。以下、その実験について説明する。
まず、図1の半導体装置の構成について説明する。当該半導体装置は、ボールグリッドアレイ構造により構成されており、半導体チップ1と、半導体チップ1を実装する基板(パッケージ基板)2とを備えている。半導体チップ1は、フェイスダウン方式によりパッケージ基板2に装着されており、集積回路面を当該パッケージ基板2に向けて搭載される。即ち、半導体チップ1の集積回路面に形成された内部電極9と、パッケージ基板2の上面に形成されたボンディングパッド10とが、半田バンプ11を介して電気的且つ機械的に接続される。
上で述べたように、半導体チップ1の電極の狭ピッチ化が進むと、従来の半田バンプでは、充分な接続信頼性を得ることが困難になる。また通常、半導体装置内部の半導体チップ1とパッケージ基板2の間には比較的大きな応力がかかるので、当該半導体チップ1とパッケージ基板2との間の半田バンプ11は、特に高い接続信頼性を得ることができるものである必要性が高い。
半導体チップ1とパッケージ基板2との間隙には、アンダーフィル樹脂3が設けられている。アンダーフィル樹脂3によって、半田バンプ11の接合部分にかかる外部からの応力を緩和させることができ、半導体チップ1とパッケージ基板2との接続信頼を高めている。パッケージ基板2上面には、スティフナー(補強材)4が接着テープ5を介して設けられている。スティフナー4は、応力の発生を抑制するためにパッケージ基板2と線膨張率が近いものが望ましく、例えば銅で構成される。また接着テープ5は、例えば接着性の高いエポキシ系の樹脂により形成される。
さらに、半導体装置の放熱性向上と半導体チップ1の保護を目的として、ヒートスプレッダ7が放熱樹脂8を介して半導体チップ1上に搭載される。ヒートスプレッダ7は接着テープ6を介してスティフナー4にも固定される。接着テープ6は、例えば接着性の高いエポキシ系の樹脂により形成される。放熱樹脂8は、ヒートスプレッダ7と半導体チップ1とが熱的に接続するよう、例えば熱伝導性の高い銀ペーストにより形成される。
そして、パッケージ基板2の裏面においては、複数個の外部電極12が配置されており、この複数個の外部電極12のそれぞれには、この半導体装置をマザーボード等に実装させるための半田ボール13が形成されている。
実験では、図1の構成を有する半導体装置のサンプルについて、半田バンプ11の組成を変化させて、温度サイクル試験を行なった。熱サイクル試験としては、半導体装置単体での試験と、半導体装置をマザーボード基板に実装した状態での試験を行なった。また、半田バンプ11は、Ag,Cu、Snから成る鉛フリー半田を使用した。
その結果、半田バンプ11として、Ag:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金を使用した場合に、特に良好な結果が得られた。具体的には、半導体装置単体での温度サイクル試験において、低温−55℃、高温125℃のサイクルを1000サイクル経ても、この組成の半田バンプ11を有する半導体装置では、全サンプルについて当該半田バンプ11における接続不良は生じなかった。また、半導体装置単体をマザーボード基板に実装した状態での温度サイクル試験では、低温0℃、高温100℃のサイクルを5000サイクル経ても、この組成の半田バンプ11を有する半導体装置では、全サンプルについて半田バンプ11における接続不良は生じなかった。なお、「Ag:0質量%」とは、Agを含んでいない(CuとSnのみから成る)ことを指している。
つまり、上記実験により、Ag:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金を半田バンプとして使用することによって、高い接続信頼性が得られることが分かった。即ち、図1に示す半導体装置において、半田バンプ11として、この組成の鉛フリー半田を使用すると半導体装置の動作信頼性が向上する。
半田ボール13に関しては、一般的に、外部電極12のピッチは半田バンプ11よりも広いので半田ボール13の堆積を確保することが可能であり、また半導体装置の実装時に半田ボール13にかかる応力は比較的小さいので、従来の半田合金(例えばAg:3〜4質量%、Cu:0.5〜1.0質量%、残部Sn)を使用しても充分な接続信頼性を得ることができる。もちろん、さらに高い接続信頼性を得る目的で、半田バンプ11と同様にAg:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、残部はSnから成る半田合金を使用してもよい。
なお、本実施の形態においては、図1のようにスティフナー4およびヒートスプレッダ7を有する半導体装置について説明したが、本発明の適用はこの構成に限定されるものではない。例えば、図1の構成に対し、ヒートスプレッダ7を有しないタイプ(図2)、スティフナー4を有しないタイプ(図3)、スティフナー4およびヒートスプレッダ7を有しないタイプ(図4)、スティフナー4およびヒートスプレッダ7に代えて上面をモールド樹脂14で覆ったタイプ(図5)の半導体装置に対しても適用可能である。その場合にも、本発明に係るAg:0〜1.0質量%、Cu:0.2〜1.0質量%、残部はSnの半田合金による半田バンプ11および半田ボール13を使用することにより高い接続信頼性が得られる。
1 半導体チップ、2 パッケージ基板、3 アンダーフィル樹脂、4 スティフナー、5,6 接着テープ、7 ヒートスプレッダ、8 放熱樹脂、9 内部電極、10 ボンディングパッド、11 半田バンプ、12 外部電極、13 半田ボール、14 モールド樹脂。
Claims (4)
- Ag:1.0質量%以下、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、
残部はSnから成る半田合金。 - Cu:0.2〜1.0質量%を含み、
残部はSnから成る半田合金。 - Ag:1.0質量%以下、Cu:0.2〜1.0質量%を含み、
残部はSnから成る半田合金で形成されたバンプを備える半導体装置。 - Cu:0.2〜1.0質量%を含み、
残部はSnから成る半田合金で形成されたバンプを備える半導体装置。
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