JP2005205525A

JP2005205525A - 円筒状ワークの端面研削装置

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Publication number: JP2005205525A
Application number: JP2004013784A
Authority: JP
Inventors: Gizaburo Kondo; 儀三郎近藤
Original assignee: Seibu Jido Kiki Co Ltd
Current assignee: Seibu Jido Kiki Co Ltd
Priority date: 2004-01-22
Filing date: 2004-01-22
Publication date: 2005-08-04
Anticipated expiration: 2024-01-22
Also published as: JP3893384B2

Abstract

【課題】極めて小さい推力で、推力の変動が小さく、精度の高い送り動作で、小径砥石を使った砥石寿命の長い研削加工を行う。
【解決手段】研削ヘッド４の当接部材５８は、その前進方向が速度制御機構５のストッパ５５に、後退方向が定圧切込機構６の前側ピストンロッド６３の前端に挟まれている。研削ヘッド４の前進方向の推力は、定圧切込機構６の前側ピストンロッド６３だけが付与し、研削ヘッド４の後退方向の推力は、速度制御機構５のストッパ５５だけが付与する。従って、前進方向に砥石ヘッド４を移動させる場合には、定圧切込機構６によって一定の小さい推力で砥石ヘッド４を移動させてフェルールＷを研削加工し、後退方向に砥石ヘッド４を移動させる場合には、速度制御機構５によって位置と速度の制御を行いながら、砥石ヘッド４を移動させる。
【選択図】図１

Description

本発明は円筒状ワークの端面研削装置、特に光ファイバー用コネクタに使用されるフェルールの端面を高精度に研削加工することができる円筒状ワークの端面研削装置に関する。

光ファイバーの接続は、二本のフェルールの中心孔に光ファイバーを挿通した後、このフェルールをスリーブに挿入し、フェルールの先端面同士を当接させることによって行っている。このため、フェルールの先端面は、光ファイバー同士の中心が正確に一致し、かつ光の接続損失が無いように、高精度の球面状に形成される必要がある。

フェルールの端面を研削加工する研削装置として、例えば特開平８−１４１８９５号に開示された研削装置がある。従来のフェルール端面の研削装置は、直径が１６ｍｍから３０ｍｍ程度の比較的大きな直径のカップ型砥石の先端面を使ってフェルールの先端面を研削加工している。従って、研削加工中のカップ型砥石の中心軸線とフェルールの中心軸線との間の傾斜角が２５度から４１．５度程度と大きくなるため、研削加工中の砥石推力によって、フェルールに作用するモーメント荷重が大きくなり、加工精度の低下や、フェルール外周の傷の発生が問題になっていた。

しかしながら、小径のカップ型砥石を使用するためには、安定した一定の小さな推力を砥石ヘッドに付与すると同時に、砥石ヘッドを高精度に案内しなければならず、従来の研削装置の構造では、精度的にも不十分で、砥石の寿命も短くなるという問題があった。更に、従来のフェルール端面等の円筒状ワークの研削装置では、送り速度を早送りから研削送りに変更する時期あるいは位置が十分な余裕をもって予め定められているため、砥石が摩耗したときには、研削送りに入ってから実際の研削に入るまでの時間（空研削時間）が非常に長くなり、加工効率の向上を妨げているという問題がある。

特開平８−１４１８９５号明細書

本発明は、極めて小さい推力で、推力の変動が小さく、精度の高い送り動作で、小径砥石を使った砥石寿命の長い研削加工を行うことができるとともに砥石の摩耗によっても空研削時間が増加しない円筒状ワークの端面研削装置を提供することを課題とする。

上記課題は以下の手段によって解決される。すなわち、第１番目の発明は、砥石ヘッドに回転可能に軸承され、前端に砥石を保持可能なスピンドル、上記スピンドルの中心軸線に平行な方向に上記砥石ヘッドを往復摺動可能に案内する案内面を有するベース、上記案内面に形成された空気静圧軸受、上記ベースに上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動可能に設けられ、上記砥石ヘッドの前端面に当接可能なスライダ、上記ベースに回転可能に軸承されたボールネジの回転で上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動するボールナットと上記ボールネジを回転駆動するサーボモータとからなり、上記スライダを往復駆動する駆動装置、上記駆動装置を制御し、上記スライダの位置と速度を制御する制御装置、及び、上記ベースに上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動可能に設けられ、上記砥石ヘッドの後端面に当接して上記砥石ヘッドを切り込み方向に押圧する空圧シリンダを備えており、上記スライダと上記砥石ヘッドの当接位置、及び上記空圧圧シリンダと上記砥石ヘッドの当接位置は、実質的に上記スピンドルの中心軸線と同一軸線上に設けられており、上記案内面は、上記スピンドルの中心軸線から同一距離だけ離間した対称位置に配置された２つの円形断面を備えていることを特徴とする円筒状ワークの端面研削装置である。

第２番目の発明は、第１番目の発明の円筒状ワークの端面研削装置において、上記空圧シリンダはその摺動部にパッキンが無い空圧シリンダであることを特徴とする円筒状ワークの端面研削装置である。

第３番目の発明は、第１番目又は第２番目のいずれかの発明の円筒状ワークの端面研削装置において、上記砥石ヘッドの前端面とスライダとの間の距離を距離センサによって検出し、上記制御装置にフィードバックすることにより、空研削時間を一定値にすることを特徴とする円筒状ワークの端面研削装置である。

第４番目の発明は、第１番目から第３番目のいずれかの発明の円筒状ワークの端面研削装置において、上記砥石がカップ型砥石であることを特徴とする円筒状ワークの端面研削装置である。

第５番目の発明は、第１番目から第４番目のいずれかの発明の円筒状ワークの端面研削装置において、上記円筒状ワークは光ファイバー用のフェルールであることを特徴とする円筒状ワークの端面研削装置である。

本発明の円筒状ワークの端面研削装置では、空圧シリンダによって切り込み方向に一定の推力で砥石を円筒状のワーク、例えばフェルールに押圧するため、フェルール先端面を極めて高精度の表面粗さに仕上げることができる。また、パッキンレスの空圧シリンダのため、推力の変動が小さく、極めて小さい推力を発生させることができるため、小径砥石を使って寿命の長い研削加工を行うことができる。さらに、距離センサによって砥石ヘッドとスライダとの間の距離を検出し、砥石の摩耗が生じてもワークの極めて近傍まで砥石を早送りすることができ、空研削時間を短い一定値にすることができるので、効率的な生産をすることができる。

以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。図１から図３は、本発明の円筒状ワークの端面研削装置の砥石送り装置１を示し、円筒状ワークとしてフェルールの端面を加工する研削装置の実施例を示す。図１は砥石送り装置１の全体を示す縦断面図、図２は砥石送り装置１を図１のＡ方向から見た時の一部切欠き正面図、図３は砥石ヘッドのガイド機構を示す図２のＢ−Ｂ断面図である。

研削装置の図示しないベッドに固定されたベース３には、図１でベース３の右側の前壁３１と左側の後壁３２、及び、中間の中間壁３７との間に、断面が円形で丸棒状の二本のガイド軸３３、３４が水平（図１の左右方向）に張り渡され、ガイド軸３３、３４の左右両端は、前壁３１と後壁３２に固定されている。

ガイド軸３３、３４に案内されて、図１の左右方向（矢印Ｑ方向、矢印Ｐ方向）に摺動する砥石ヘッド４の貫通孔４２には、スピンドル４５を回転可能に軸承したスピンドルカートリッジ４１が挿入され、このスピンドルカートリッジ４１は砥石ヘッド４に固定されている。スピンドル４５の前端（右端）には、カップ型の砥石４３を装着した砥石ホルダ４４が取り付けられている。砥石４３としては、直径が８．５ｍｍ、または５．０ｍｍの小径のダイヤモンド砥石が使用される。矢印Ｐ方向が砥石４３の切り込み方向（前進方向）であり、矢印Ｑ方向が砥石４３の待避方向（後退方向）である。

図３に示すように、砥石ヘッド４の左右両端には、ガイド軸３３、３４の外周に若干の隙間を空けて嵌合するスリーブ４６Ａ、４６Ｂが取り付けられている。図３では、図２の右側のガイド軸３４側のスリーブ４６Ａ、４６Ｂだけを図示しているが、図２の左側のガイド軸３３側にも、右側と同様なスリーブ４６Ａ、４６Ｂが取り付けられている。

砥石ヘッド４側からスリーブ４６Ａ、４６Ｂに空気等の加圧流体を供給し、スリーブ４６Ａ、４６Ｂとガイド軸３３、３４との間の隙間から大気圧に開放することにより、スリーブ４６Ａ、４６Ｂの内周とガイド軸３３，３４の外周との間に、加圧流体の膜を形成して、砥石ヘッド４が摺動した時の摩擦抵抗が非常に小さい空気静圧軸受を構成している。

図２に示すように、ガイド軸３３、３４の中心軸線３５、３６と、スピンドル４５の中心軸線４７は、同一水平面（図２の左右方向で紙面に直交する平面）上にあり、ガイド軸３３の中心軸線３５とガイド軸３４の中心軸線３６との間の水平面上の距離の丁度中間位置に、スピンドル４５の中心軸線４７が配置されている。

砥石ヘッド４の上面には、ブラケット４８を介してモータ４９が取り付けられ、モータ
４９の出力軸には駆動プーリー４９１が取り付けられている。スピンドル４５の後端（左端）には従動プーリー４９２が取り付けられ、従動プーリー４９２と駆動プーリー４９１との間にはベルト４９３が張り渡されている。これによって、モータ４９の回転がスピンドル４５に伝達され、スピンドル４５、砥石４３を所望の回転数で回転させることができる。

ベース３には、砥石ヘッド４を図１の左右方向に送るための送り機構が二種類設けられている。すなわち、ボールネジで構成される速度制御機構５と、空圧シリンダで構成される定圧切込機構６である。

速度制御機構５は、ブラケット５１、ボールネジ５２、ボールナット５３、スライダ５４、ストッパ５５、サーボモータ５６、カップリング５７で構成されている。ベース３上に固定されたブラケット５１には、ボールネジ５２が回転可能に軸承されている。ベース３の後壁３２にはサーボモータ５６が取り付けられ、サーボモータ５６の出力軸とボールネジ５２の左端がカップリング５７によって結合されている。

ボールネジ５２に螺合するボールナット５３がスライダ５４に連結され、ボールネジ５２の回転により、スライダ５４はボールナット５３と共に、図１の左右方向（矢印Ｐ方向、矢印Ｑ方向）に移動可能である。サーボモータ５６は図示しない数値制御装置によって、その出力軸の回転位置と回転速度が制御される。

スライダ５４は、スピンドル４５の中心軸線４７を若干越えた高さ位置まで上方に延びており、スライダ５４の左側面には、スピンドル４５の中心軸線４７の高さと同じ高さ位置に、中心軸線４７と同一軸線上に、ストッパ５５が螺合されている。

砥石ヘッド４の左端近傍の下面には、Ｌ字型の当接部材５８が図示しないボルトにより固定され、当接部材５８の右側面がストッパ５５の左側面に対向している。当接部材５８の下方には、距離センサ５９が取り付けられ、スライダ５４の左側面と距離センサ５９の右側面（距離検出面）との間の隙間の大きさを検出している。当接部材５８の右側面がストッパ５５の左側面に当接した時、ライダ５４の左側面と距離センサ５９の右側面との間に若干の隙間が形成されるように、距離センサ５９の取り付け位置が調整されている。

定圧切込機構６は、空圧シリンダ６１と、空圧シリンダ６１内に往復摺動可能に挿入されたピストン６２で構成されている。空圧シリンダ６１は、ベース３の後壁３２に固定され、空圧シリンダ６１は、その中心軸線が、スピンドル４５の中心軸線４７の高さと同じ高さ位置に、中心軸線４７と同一軸線上に取り付けられている。

ピストン６２には、前側ピストンロッド６３、後側ピストンロッド６４が一体的に形成され、空圧シリンダ６１の前後端を覆う前側シリンダカバー６５、後側シリンダカバー６６を貫通して、各々前後に延びている。ピストン６２の外周、及び前側シリンダカバー６５、後側シリンダカバー６６の内周には、パッキンが無い構造を採用している。従って、ピストン６２、前側ピストンロッド６３、後側ピストンロッド６４の摺動抵抗が極めて少なく、極めて小さい推力（例えば空気圧が０．０２ＭＰａで、その時のピストン６２の推力が２．４Ｎ）でピストン６２を円滑に摺動させることが可能となる。

前側ピストンロッド６３が前進した時、前側ピストンロッド６３の右端（前端）が、当接部材５８の左側面に当接し、ピストン６２の推力により、当接部材５８を介して砥石ヘッド４を、砥石４３の切り込み方向（矢印Ｐ方向）に一定の推力で押すことができる。

当接部材５８は、その前進方向（切り込み方向）が速度制御機構５のストッパ５５に、後退方向（待避方向）が定圧切込機構６の前側ピストンロッド６３の前端に挟まれている。従って、速度制御機構５のストッパ５５は、当接部材５８の前進方向の推力の付与には関与せず、逆に、定圧切込機構６の前側ピストンロッド６３は、当接部材５８の後退方向の推力の付与には関与しない。

言い換えれば、当接部材５８の前進方向の推力は、定圧切込機構６の前側ピストンロッド６３だけが付与し、当接部材５８の後退方向の推力は、速度制御機構５のストッパ５５だけが付与する。従って、前進方向（切り込み方向）に砥石ヘッド４を移動させる場合には、定圧切込機構６によって一定の小さい推力で砥石ヘッド４を移動させ、後退方向（待避方向）に砥石ヘッド４を移動させる場合には、速度制御機構５によって位置と速度の制御を行いながら、砥石ヘッド４を移動させることになる。

このように、砥石ヘッド４の切り込み方向の移動時には、定圧切込機構６によって一定の小さい推力で砥石ヘッド４を移動させるため、砥石４３がフェルール先端面を研磨する際の砥石面圧は一定で、極めて低い面圧（例えば９８Ｎ／平方センチ）で研削することができるため、フェルール先端面を極めて高精度の表面粗さ（５ｎｍ以下）に仕上げることができる。また、空圧シリンダ６１はパッキンレス構造を採用しているため、定圧切込機構６の推力の変動が無く、研削抵抗が一定で、砥石寿命を長くすることができる。

上記したように、ガイド軸３３、３４の中心軸線３５、３６とスピンドル４５の中心軸線４７は、同一水平面上にあり、ガイド軸３３の中心軸線３５とガイド軸３４の中心軸線３６との間の水平面上の距離の丁度中間位置に、スピンドル４５の中心軸線４７が配置されている。また、空圧シリンダ６１は、その中心軸線が、スピンドル４５の中心軸線４７の高さと同じ高さ位置で、中心軸線４７と同一軸線上に取り付けられている。

従って、定圧切込機構６によって砥石ヘッド４に作用する切り込み時の推力の作用点と、砥石４３に作用する研削抵抗の作用点が同一位置になるため、これらの力によってガイド軸３３、３４に作用するモーメン荷重がゼロとなるため、砥石ヘッド４は極めて高精度（ローリング、ヨーイング、ピッチングがゼロ）の送り動作を行うことができ、フェルール等の円筒状ワークの加工精度が向上する。

図４から図５は、本発明の円筒状ワークの端面研削装置のフェルール保持装置（円筒状ワーク保持装置）２を示し、図４はフェルール保持装置２の前端部を示す一部切欠き側面図、図５はフェルール保持装置２を図４のＣ方向から見た時の正面図である。

研削装置のベッド７に立設して固定されたベース２１の側面には、下ハウジング２２が固定され、下ハウジング２２に回転可能に軸承された回転軸２２１の前端に、円盤状の下ローラー２２２が取り付けられている。下ハウジング２２の上部のベース２１の側面には、中間ハウジング２３が固定され、中間ハウジング２３の前端にバッキングプレート２３１が取り付けられている。バッキングプレート２３１は、その前端面でフェルールＷの後端面を支持している。

中間ハウジング２３の上部のベース２１の側面には、上ハウジング２４が上下方向に揺動可能に支持され、上ハウジング２４に回転可能に軸承された回転軸２４１の前端に、円盤状の上ローラー２４２が取り付けられている。上ハウジング２４とベッド７との間には、バネ２４３が張設され、上ハウジング２４を下方（下ローラー２２２に向かって）に常時付勢し、研削加工中には、下ローラー２２２と上ローラー２４２との間に、フェルールＷを一定の押圧力で挟持するようにしている。

ベース２１の前面には、中間ハウジング２３と略同一高さ位置に、平板状のシュー２５が取り付けられ、シュー２５の先端は先細に形成され、上ローラー２４２と下ローラー２２２との間を通って、バッキングプレート２３１に支持されたフェルールＷの外周に当接し、フェルールＷを支持している。

フェルールＷの搬出入は以下のように行われる。上ローラー２４２を図示しない駆動装置（例えば空圧シリンダ）により上方に待避させた後、図示しないローダーのアーム先端に保持した研削前のフェルールＷを、バッキングプレート２３１の中心軸線２３２と同一軸線上に搬入する。次に空圧シリンダの空気を排気すると、上ローラー２４２はバネ２４３の付勢力によって下方に揺動し、下ローラー２２２と上ローラー２４２との間に、フェルールＷを一定の押圧力で挟持する。

下ローラー２２２及び上ローラー２４２を同一の回転方向に回転させると、シュー２５と下ローラー２２２及び上ローラー２４２との間に挟持された状態でフェルールＷは回転する。研削中は、フェルールＷの後端面はバッキングプレート２３１に当接して、砥石４３による研削中の切削力を支持する。

図６はフェルールＷの研削状態を示す平面図である。カップ型の砥石４３を保持して回転するスピンドル４５の中心軸線４７は、フェルールＷの中心軸線２３２（バッキングプレート２３１の中心軸線）に対して所定角度θだけ傾斜し、砥石４３の先端面でフェルールＷ先端の球面を研磨加工する。例えば、直径が２．５ｍｍのＳＣ型フェルールを研削するカップ型砥石４３の直径は８．５ｍｍで、傾斜角度θは１２．５度である。また、直径が１．２５ｍｍのＬＣ型フェルールを研削するカップ型砥石４３の場合は、その直径は５．０ｍｍで、傾斜角度θは１０度である。このように傾斜角度が小さいため、研削加工中にフェルールＷに作用するモーメント荷重が小さくて済むため、加工精度が高く、フェルールＷの外周への傷の発生を抑えることができる。

次に本発明の円筒状ワークの端面研削装置の動作を説明する。フェルール保持装置２に加工前のフェルールＷを搬入し、上ローラー２４２、下ローラー２２２を回転させて、フェルールＷを所定の回転数で回転させる。モータ４９を回転させて、スピンドル４５を所定の回転数で回転させる。この時、図示しない接触式の測定子をフェルールＷの先端面に押しつけ、加工前のフェルールＷの先端面の位置を測定し、数値制御装置にフィードバックする。

次に、定圧切込機構６の空圧シリンダ６１に所定の圧力の空気を供給し、ピストン６２を切り込み方向（矢印Ｐ方向）に押す。サーボモータ５６を回転させ、速度制御機構５のスライダ５４を切り込み方向（矢印Ｐ方向）に移動させる。スライダ５４は、最初は早送りで移動させ、上記測定子によるフェルールＷの先端面の測定結果のデータ及び後述の砥石の摩耗量に基づいて、砥石４３がフェルールＷに当接する手前の位置で所定の速度の研削送りに切り換え、所定の研削寸法（例えば２０μｍ）だけ研削送りでスライダ５４を切り込み方向（矢印Ｐ方向）に移動させる。

砥石ヘッド４の当接部材５８は、定圧切込機構６の前側ピストンロッド６５の前端によって常時切り込み方向（矢印Ｐ方向）に一定の推力で押圧されている。従って、砥石４３の先端面がフェルールＷの先端面に当接して研削が開始されると、当接部材５８は切り込み方向に一定の研削送りで移動するスライダ５４から離れるため、スライダ５４の左側面と距離センサ５９の距離検出面との間の隙間が急に大きくなる。

このように距離センサ５９が検出した隙間の大きさの変化から、砥石４３の先端面がフェルールＷの先端面に当接した研削開始点を検出することができる。従って、砥石４３が摩耗しても、この研削開始点から得られる砥石の摩耗量を数値制御装置にフィードバックする。これにより、次回の加工から砥石４３の摩耗を補正してスライダ５４の早送り位置を制御できるため、空研削時間を最小限の一定値にすることができ、効率的な研削サイクルを行うことができる。

研削加工中は、定圧切込機構６よって切り込み方向に一定の極めて小さな推力で砥石４３をフェルールＷに押圧するため、フェルール先端面を極めて高精度の表面粗さに仕上げることができる。

フェルールＷの研削加工が終了すると、空圧シリンダ６１の加圧空気を大気側に開放すると共に、スライド５４を早送りで待避方向（矢印Ｑ方向）に原点位置まで後退させる。当接部材５８がスライダ５４のストッパ５５に押されて、待避方向（矢印Ｑ方向）に移動し、砥石ヘッド４は後退端の原点位置まで後退して停止する。上ローラー２４２が上方に移動し、加工が終了したフェルールＷを図示しないローダーのアーム先端に保持して、機外に搬出する。

以上説明した実施形態によれば、定圧切込機構６よって切り込み方向に一定の推力で砥石を円筒状ワークに押圧するため、円筒状ワークの先端面を極めて高精度の表面粗さに仕上げることができる。また、定圧切込機構６はパッキンレスのため、推力の変動が小さく、極めて小さい推力を発生させることができるため、研削量が一定で、小径砥石を使った寿命の長い研削加工を行うことができる。さらに、距離センサ５９によって砥石ヘッド４とスライダ５４との間の距離を検出し、数値制御装置にフィードバックすることにより、砥石摩耗にかかわらず空研削時間を最小限の一定値とした効率的な加工をすることができる。

砥石送り装置１の全体を示す縦断面図である。砥石送り装置１を図１のＡ方向から見た時の一部切欠き正面図である。砥石ヘッドのガイド機構を示す図２のＢ−Ｂ断面図である。フェルール保持装置２の前端部を示す一部切欠き側面図である。フェルール保持装置２を図４のＣ方向から見た時の正面図である。フェルールＷの研削状態を示す平面図である。

符号の説明

１砥石送り装置
２フェルール保持装置
２１ベース
２２下ハウジング
２２１回転軸
２２２下ローラー
２３中間ハウジング
２３１バッキングプレート
２３２中心軸線
２４上ハウジング
２４１回転軸
２４２上ローラー
２４３バネ
２５シュー
３ベース
３１前壁
３２後壁
３３、３４ガイド軸
３５、３６中心軸線
３７中間壁
４砥石ヘッド
４１スピンドルカートリッジ
４２貫通孔
４３砥石
４４砥石ホルダ
４５スピンドル
４６Ａ、４６Ｂスリーブ
４７中心軸線
４８ブラケット
４９モータ
４９１駆動プーリー
４９２従動プーリー
４９３ベルト
５速度制御機構
５１ブラケット
５２ボールネジ
５３ボールナット
５４スライダ
５５ストッパ
５６サーボモータ
５７カップリング
５８当接部材
５９距離センサ
６定圧切込機構
６１空圧シリンダ
６２ピストン
６３前側ピストンロッド
６４後側ピストンロッド
６５前側シリンダカバー
６６後側シリンダカバー
７ベッド
Ｗフェルール

Claims

砥石ヘッドに回転可能に軸承され、前端に砥石を保持可能なスピンドル、
上記スピンドルの中心軸線に平行な方向に上記砥石ヘッドを往復摺動可能に案内する案内面を有するベース、
上記案内面に形成された空気静圧軸受、
上記ベースに上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動可能に設けられ、上記砥石ヘッドの前端面に当接可能なスライダ、
上記ベースに回転可能に軸承されたボールネジの回転で上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動するボールナットと上記ボールネジを回転駆動するサーボモータとからなり、上記スライダを往復駆動する駆動装置、
上記駆動装置を制御し、上記スライダの位置と速度を制御する制御装置、及び、
上記ベースに上記砥石ヘッドの移動方向に平行に往復移動可能に設けられ、上記砥石ヘッドの後端面に当接して上記砥石ヘッドを切り込み方向に押圧する空圧シリンダ
を備えており、
上記スライダと上記砥石ヘッドの当接位置、及び上記空圧圧シリンダと上記砥石ヘッドの当接位置は、実質的に上記スピンドルの中心軸線と同一軸線上に設けられており、
上記案内面は、上記スピンドルの中心軸線から同一距離だけ離間した対称位置に配置された２つの円形断面を備えていること
を特徴とする円筒状ワークの端面研削装置。
請求項１に記載された円筒状ワークの端面研削装置において、
上記空圧シリンダはその摺動部にパッキンが無い空圧シリンダであること
を特徴とする円筒状ワークの端面研削装置。
請求項１又は請求項２のいずれかに記載された円筒状ワークの端面研削装置において、
上記砥石ヘッドの前端面とスライダとの間の距離を距離センサによって検出し、上記制御装置にフィードバックすることにより、空研削時間を一定値にすること
を特徴とする円筒状ワークの端面研削装置。
請求項１から請求項３のいずれかに記載された円筒状ワークの端面研削装置において、
上記砥石がカップ型砥石であること
を特徴とする円筒状ワークの端面研削装置。
請求項１から請求項４のいずれかに記載された円筒状ワークの端面研削装置において、
上記円筒状ワークは光ファイバー用のフェルールであること
を特徴とする円筒状ワークの端面研削装置。