JP2005201721A - Ic試験装置及びic試験方法、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ICの動作電圧検定試験における制御の流れを改善し、テスト時間の短縮が図れるIC試験装置及びIC試験方法、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 IC試験装置10は、試験プログラムが設定される主制御部11と、試験プログラムに応じて被試験IC(DUT)に試験信号を与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定する機能試験制御部12と、試験信号に関する複数種類の動作電圧が設定可能な電圧制御部15と、を含む。かつ、機能試験制御部12は、少なくとも試験プログラムに応じた電圧制御部15に対する動作電圧操作用の制御信号CSを保持し、電圧制御部15は、制御信号CSに応じて動作電圧が可変される。
【解決手段】 IC試験装置10は、試験プログラムが設定される主制御部11と、試験プログラムに応じて被試験IC(DUT)に試験信号を与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定する機能試験制御部12と、試験信号に関する複数種類の動作電圧が設定可能な電圧制御部15と、を含む。かつ、機能試験制御部12は、少なくとも試験プログラムに応じた電圧制御部15に対する動作電圧操作用の制御信号CSを保持し、電圧制御部15は、制御信号CSに応じて動作電圧が可変される。
Description
本発明は、半導体装置におけるICに対し、複数の電圧条件での機能試験を伴う動作電圧検定試験を実施するIC試験装置及びIC検査方法、半導体装置の製造方法に関する。
ICの動作電圧検定試験は、ICの動作電圧範囲、入力レベルの検定試験であって、IC試験装置(ICテスタ)により実施される。IC試験装置は、被試験ICに試験信号のパターンを入力し、期待値どおりの信号出力が得られるか否かを判定する。ICの動作電圧検定試験は、一般に複数の電圧条件にて機能試験いわゆるファンクション試験を行い、保証している。すなわち、IC試験装置内部の主制御手段(CPU:中央演算処理装置)でプログラムされたテストプラン(メインプログラム)にて電圧設定がなされ、所定の機能試験が実行される。従って、ICの動作電圧検定試験は、メインプログラムでの動作電圧設定と機能試験の繰り返し動作を伴う。
電圧設定を変更する毎にメインプログラムと機能試験のプログラムとの間で制御信号の伝達が行われる。このため、複数の電圧条件にて機能試験を行う際に、メインプログラムと機能試験との間の制御切替えのための時間がロスになる。大量生産を前提とした製品ICを試験することを考えると、テスト時間の増大を招き、検査コストが増大する懸念がある。
従来技術には、例えば主制御手段を介するメインプログラム側と、機能試験のパターン信号を扱う等の試験ユニット側の処理間で共に読み出し/書き込み可能な共有メモリを備える試験装置もある(例えば、特許文献1参照)。これにより、主制御手段を介するメインプログラム側は、共有メモリのデータの授受を介して機能試験の終了状況を把握できる。これは、メインプログラム側の容量が大きくなり、ポーリング周期が長くなったことへの対策である。主制御手段は、ポーリング周期に依存せず共有メモリのデータを確認することで、機能試験からDC試験に移行するときの指示命令をリアルタイムに試験ユニット側へ伝送することができる。
特開平6−230077号公報(図1、図2)
図8は、従来のICの動作電圧検定試験における制御の流れを表すイメージ図である。ICの動作電圧検定試験は、電圧設定を複数回変更し機能試験を繰り返す。主制御部側のメインプログラムと、その指示により動作する機能試験のパターン信号を扱う試験ユニット側との処理間で、制御切替えが繰り返される。問題は、メインプログラムを有する主制御部側と、試験ユニット側の機能試験の間でその都度、制御切替えが起こり、ロスが生じることである。これは上記[特許文献1]の技術を応用しようとしても、1回の機能試験終了毎に一旦はメインプログラム側の制御に移るので同様のロスが生じる。大量生産を前提とした製品ICを試験することを考えると、テスト時間の増大を招き、検査コストが増大する懸念がある。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、ICの動作電圧検定試験における制御の流れを改善し、テスト時間の短縮が図れるIC試験装置及びIC試験方法、半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係るIC試験装置は、試験プログラムが設定される主制御部と、前記試験プログラムに応じて被試験ICに試験信号を与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定する機能試験制御部と、前記試験信号に関する複数種類の動作電圧が設定可能な電圧制御部と、を含み、前記機能試験制御部は、少なくとも前記試験プログラムに応じた前記電圧制御部に対する動作電圧操作用の制御信号を保持し、前記電圧制御部は、前記制御信号に応じて動作電圧が可変される。
上記本発明に係るIC試験装置によれば、電圧制御部は、機能試験制御部に保持された制御信号により動作電圧が可変される。これにより、機能試験制御部で出力される試験信号のパターンユニットは、動作電圧の異なる試験を、主制御部への切替え制御なく連続的に処理可能となる。
上記本発明に係るIC試験装置において、主制御部への切替え制御なしに動作電圧の異なる試験を行うより好ましい実施態様として次のような特徴を有する。
前記被試験ICに対する電源電圧の供給及び前記試験信号の授受を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される。
または、前記被試験ICに対する電源電圧の供給、前記試験信号の授受及び前記制御信号の伝達を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される。
前記被試験ICに対する電源電圧の供給及び前記試験信号の授受を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される。
または、前記被試験ICに対する電源電圧の供給、前記試験信号の授受及び前記制御信号の伝達を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される。
また、本発明に係る上記したいずれかのIC試験装置において、前記被試験ICの電源端子と電気的に接続される静止電源電流測定部をさらに具備したことを特徴とする。前記電圧制御部の電圧設定により、静止電源電流試験の最適化に寄与する。
また、本発明に係る上記したいずれかのIC試験装置において、制御信号の格納方法として2例を挙げる。
前記制御信号は、前記電圧制御部の複数種類の動作電圧それぞれに対応可能な複数ビットの記憶部が割り当てられている。
前記制御信号は、前記試験信号のパターンユニット分を計数するリセット・クロックカウンタにおける出力部が割り当てられている。
前記制御信号は、前記電圧制御部の複数種類の動作電圧それぞれに対応可能な複数ビットの記憶部が割り当てられている。
前記制御信号は、前記試験信号のパターンユニット分を計数するリセット・クロックカウンタにおける出力部が割り当てられている。
本発明に係るIC試験方法は、主制御部で設定される試験プログラムに応じ、機能試験制御部で出力される試験信号を被試験ICに与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定するIC試験方法であって、前記機能試験制御部側において前記試験プログラムに応じた動作電圧操作用の制御信号を予め保持しておき、前記制御信号に応じて前記試験信号に関し複数種類の動作電圧を設定して動作電圧検定試験を行う。
上記本発明に係るIC試験方法によれば、機能試験制御部側において、試験プログラムに応じた動作電圧操作用の制御信号を予め保持しておく。これにより、機能試験制御部側で出力される試験信号のパターンユニットは、主制御部への切替え制御なく、制御信号に応じて動作電圧の異なる試験を連続的に処理する。
なお、上記本発明に係るIC試験方法において、前記試験信号のパターンユニット中に静止電源電流試験を行うパターンを含み、前記被試験IC中、ハイインピーダンス状態の端子に対して前記動作電圧の中間レベルの電位を与え、前記被試験ICの電源電流量に応じた判定をすることを特徴とする。静止電源電流試験の最適化に寄与する。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、主制御部の命令に応じて各入力に試験信号が与えられ、各出力が期待値と比較される試験が行われる半導体集積回路を有し、前記半導体集積回路について、前記主制御部への制御切替えなしに前記試験信号に関し異なる動作電圧を設定する動作電圧検定試験をすることにより、正常な半導体集積回路のみを有する半導体装置を良品とする。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、半導体集積回路は、主制御部への制御切替えなしに、動作電圧検定試験を達成する。これにより、半導体装置は、信頼性を維持しつつ試験時間の短縮が図れる試験が可能となる。
図1は、本発明の一実施形態に係るIC試験装置の要部のブロック図である。IC試験装置10は、期待値に応じた試験信号(テストパターン)TSを被試験ICであるDUTに与え、その結果としての出力を期待値と比較することにより合否を判定する。
主制御部11は、CPU(中央演算処理装置)、CPUメモリ等を含み、試験プログラムが設定されている。すなわち、電気的特性検査に利用される信号の生成、解析に関係するテストシステムが構築され、テストシステムとして上記電気的特性検査に関る各テスト項目が記述された全プログラムを含む。もちろん所定数種類の動作電圧(電源電圧、入力電圧、出力電圧)の設定を伴う動作電圧検定試験のプログラムも含まれている。
主制御部11に対し試験ユニット側として、機能試験制御部12が設けられている。機能試験制御部12は、試験信号のパターンがプログラムされているパターンメモリ13、主制御部11における試験プログラムに応じて試験信号TSを出力しDUTからの結果を判定するパターンプロセッサ14を含む。その他に図示しないが、DC試験用のシステム、各種タイミング信号の発生、各種ラッチ、D/A(デジタル/アナログ)、A/D変換等の回路デバイスが含まれる。
試験ユニット側には、機能試験制御部12で利用される電圧制御部15が配備されている。電圧制御部15は、試験信号TSに関する複数種類の動作電圧が設定可能である。電圧制御部15は、少なくとも被試験ICであるDUTの電源電圧、試験信号TSの入力電圧、出力電圧の各レベルが設定できるように構成されている。
また、機能試験制御部12では、主制御部11の試験プログラムに応じた電圧制御部15に対する動作電圧操作用の制御信号CSを保持するようになっている。ここでは、電圧制御部15の複数種類の動作電圧それぞれに対応可能な複数ビットの記憶部16が割り当てられている。これにより、電圧制御部15は、この制御信号CSに応じて動作電圧が可変されるようになっている。すなわち、電圧制御部15は、主制御部11側の制御切替えを伴わずに操作可能となっている。
ピンエレクトロニクス17は、被測定ICであるDUTとの信号の授受を担う入出力部である。電圧制御部15は、信号レベルの調整機能を兼ねるピンエレクトロニクス17周辺に配備してもよい。
上記実施形態の構成によれば、電圧制御部15は、機能試験制御部12に保持された制御信号CSにより動作電圧が可変される。これにより、機能試験制御部12で出力される試験信号のパターンユニットは、動作電圧の異なる試験を、主制御部11への切替え制御なく連続的に処理可能となる。
図2は、図1の構成に関するIC試験方法について表した処理の流れ図である。主制御部11では、まず試験信号TSが与えられるべき被試験ICの各端子に対応した動作電圧(電源電圧、入力電圧、出力電圧)の設定が順次にプログラムされる(処理S11)。制御信号CSは、例えば、8状態の動作電圧切替えに各対応しようとすれば3ビット必要である。その後、制御信号CSに対応した動作電圧でもって試験信号TSのパターンユニットをプログラム通り実行させるよう命令する(処理S12)。
一方、試験ユニット側では、機能試験制御部12にて制御信号CSをシフトレジスタ等の記憶部(16)で順次に記憶しておく。これにより、試験信号TSのパターンユニット毎に制御信号CSが試験プログラム通り変わるようにする。これにより、電圧制御部15による第1の動作電圧条件で試験信号TSのパターンユニットを実行した後、続いて電圧制御部15による第2の動作電圧条件で試験信号TSのパターンユニットを実行する。続いて第3の動作電圧条件、第4の動作電圧条件…と、電圧制御部15は制御信号CSに応じて所定数分の動作電圧条件を変更する。その間、主制御部11の制御切替え無しに動作電圧設定を変えた機能試験を進めることができる(処理13)。
図3は、本発明の他の実施形態に係るIC試験装置の要部のブロック図である。図1と同様の箇所には同一の符号を付す。前記図1と同様に、機能試験制御部12では、主制御部11の試験プログラムに応じた電圧制御部15に対する動作電圧操作用の制御信号RSを保持するようになっている。この制御信号RSの記憶手段が図1に比べて次のように構成されている。電圧制御部15で制御される一つの動作電圧条件で実行される試験信号TSのパターンユニット分を計数するリセット・クロックカウンタ21を利用する。このリセット・クロックカウンタ21の出力ビット(例えば2ビット)が割り当てられている。これにより、電圧制御部15は、制御信号RS、つまりリセット信号とクロック信号に応じて動作電圧が変更されるようになっている。従って、前記実施形態と同様に電圧制御部15は、主制御部11側の制御切替えを伴わずに操作可能となっている。
上記実施形態の構成においても、電圧制御部15は、機能試験制御部12に保持された制御信号RSにより動作電圧が可変される。これにより、機能試験制御部12で出力される試験信号のパターンユニットは、動作電圧の異なる試験を、主制御部11への切替え制御なく連続的に処理可能となる。
図4は、図3の構成に関するIC試験方法について表した処理の流れ図である。主制御部11では、まず試験信号TSが与えられるべき被試験ICの各端子に対応した動作電圧(電源電圧、入力電圧、出力電圧)の設定が順次にプログラムされる(処理S21)。動作電圧の設定は、制御信号RSとしてのカウンタリセット信号出力により切り替わるよう命令される。割り当ての2ビット分に関し、例えばMSBがリセット信号、LSBがカウンタ信号とする。始めに制御信号RSのリセット信号にて初回の動作電圧に切替える。その後、制御信号RSのカウンタ信号毎に動作電圧を切替え、試験信号TSのパターンユニットをプログラム通り実行させるよう命令する(処理S22)。
一方、機能試験制御部12側では、制御信号RSとして、2ビットのリセット・クロックカウンタ21のリセット信号とカウンタ信号を準備している。リセット・クロックカウンタ21は、一つの動作電圧条件で実行される試験信号TSのパターンユニット分を計数後、制御信号RSを出力する。電圧制御部15はカウンタ21の制御信号RSにより動作電圧条件を試験プログラムに沿って変更する。すなわち、電圧制御部15による第1の動作電圧条件で試験信号TSのパターンユニットを実行した後、続いて電圧制御部15による第2の動作電圧条件で試験信号TSのパターンユニットを実行する。続いて第3の動作電圧条件、第4の動作電圧条件…と、電圧制御部15は制御信号RSに応じて動作電圧条件を可変する。その間、主制御部11の制御切替え無しに動作電圧設定を変えた機能試験を進めることができる(処理23)。
図5は、図1または図3中の本発明に係る電圧制御部15の構成の一部を示す第1回路図である。図1、図3に示す同様の箇所には同一の符号を付して説明する。入力バッファ31は、試験信号TSの一つを被試験ICであるDUTの所定の入力端子32に与える。その際、入力バッファ31の信号レベルが可変となるよう、複数種類の電源電圧がスイッチングによって選択できるようになっている。図では、機能試験制御部12における制御信号RSで制御される“H”レベル(ハイレベル)側、Lレベル(ローレベル)側の電源電圧切替え回路33,34が配備されている。また、図3中の制御信号RSを利用する場合も予め制御信号RSの切り替わりに応じて順次に電源電圧切替え回路33,34が所定の動作をするように信号が与えられるようになっている。
図6は、図1または図3中の本発明に係る電圧制御部15の構成の一部を示す第2回路図である。図1、図3に示す同様の箇所には同一の符号を付して説明する。出力コンパレータ41は、被試験ICであるDUTの所定の出力端子42からの結果出力を入力し、所定の電圧と比較する。その際、比較信号レベルが可変となるよう、複数種類の比較用電圧がスイッチングによって選択できるようになっている。図では、機能試験制御部12における制御信号CSで制御される“H”レベル(ハイレベル)側、Lレベル(ローレベル)側の電圧切替え回路43,44が配備されている。また、図3中の制御信号RSを利用する場合も予め制御信号RSの切り替わりに応じて順次に電圧切替え回路43,44が所定の動作をするように信号が与えられるようになっている。コンパレータ41における比較結果の出力は、例えばパターンプロセッサ14における判定回路45に入力される。すなわち、パターンプロセッサ14において相当する期待値と比較され合否が判定される。
図7は、図1または図3中の本発明に係る電圧制御部15の構成の一部を示す第3回路図である。図1、図3に示す同様の箇所には同一の符号を付して説明する。被試験ICであるDUTの所定の電源端子51は、電源電圧のレベルを可変とする。そのため、複数種類の電源電圧がスイッチングによって選択できるようになっている。図では、機能試験制御部12における制御信号CSにより制御される電源電圧切替え回路52が配備されている。また、図3中の制御信号RSを利用する場合も予め制御信号RSの切り替わりに応じて順次に電源電圧切替え回路52が所定の動作ができるよう信号が与えられるようになっている。
さらに、図7の構成において、静止電源電流測定部61が付加されている。相互スイッチング回路62により動作電圧検定試験(または機能試験)と静止電源電流試験を行えるようにした構成となっている。静止電源電流測定部61は、静止電源電流測定回路64と出力コンパレータ65を有する。静止電源電流測定回路64は、抵抗Rを介して電源線に流れる電流を増幅するオペアンプOPを含む。
例えば、図示しないハイインピーダンス状態の端子に入力電圧として動作電圧の中間レベルの電位を与える。CMOS回路の場合、その検定端子に中間電位を与えることによって電源間にどれだけの電流が流れるか検出する。ハイインピーダンス状態であれば,電源間の電流はほとんどゼロである。それに対して入力状態では大電流が流れる。これにより、良、不良が判別できる。すなわち、出力コンパレータ65は、静止電源電流測定回路64からの結果出力を入力し、所定の電圧と比較する。その際、比較信号レベルが可変となるよう、複数種類の電源電圧がスイッチングによって選択できるようになっている。図では、機能試験制御部12における制御信号CSで制御される“H”レベル(ハイレベル)側、Lレベル(ローレベル)側の比較用電圧の電圧切替え回路66,67が配備されている。図3中の制御信号RSを利用する場合も予め制御信号RSの切り替わりに応じて順次に電源電圧切替え回路66,67が所定の動作をするように信号が与えられるようになっている。コンパレータ65における比較結果の出力は、例えばパターンプロセッサ14における判定回路45に入力される。すなわち、パターンプロセッサ14における相当する期待値と比較され合否が判定される。これにより、静止電源電流試験が容易になり、試験の最適化に寄与する。
以上説明したように、各実施形態及びその方法によれば、機能試験制御部側において、試験プログラムに応じた動作電圧操作用の制御信号を予め保持しておく。これにより、機能試験制御部側で出力される試験信号のパターンユニットは、主制御部への切替え制御なく、制御信号に応じて動作電圧の異なる試験を連続的に処理することが可能になる。この結果、ICの動作電圧検定試験における制御の流れを改善し、テスト時間の短縮が図れるIC試験装置及びIC試験方法、半導体装置の製造方法を提供することができる。
10…IC試験装置、11…主制御部、12…機能試験制御部、13…パターンメモリ、14…パターンプロセッサ、15…電圧制御部、16…記憶部、17…ピンエレクトロニクス、21…リセット・クロックカウンタ、31…入力バッファ、32…入力端子、33,34,52…電源電圧切替え回路、43,44,66,67…電圧切替え回路、41,65…出力コンパレータ、42…出力端子、45…判定回路、51…電源端子、61…静止電源電流測定部、62…相互スイッチング回路、64…静止電源電流測定回路、OP…オペアンプ、S11〜S13、S21〜S23…処理ステップ、CS…制御信号、TS…試験信号。
Claims (9)
- 試験プログラムが設定される主制御部と、
前記試験プログラムに応じて被試験ICに試験信号を与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定する機能試験制御部と、
前記試験信号に関する複数種類の動作電圧が設定可能な電圧制御部と、
を含み、
前記機能試験制御部は、少なくとも前記試験プログラムに応じた前記電圧制御部に対する動作電圧操作用の制御信号を保持し、前記電圧制御部は、前記制御信号に応じて動作電圧が可変されるIC試験装置。 - 前記被試験ICに対する電源電圧の供給及び前記試験信号の授受を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される請求項1記載のIC試験装置。
- 前記被試験ICに対する電源電圧の供給、前記試験信号の授受及び前記制御信号の伝達を担う信号伝達機構を備え、前記電圧制御部は、前記制御信号によって少なくとも前記電源電圧、前記試験信号の入力電圧、出力電圧の各レベルが設定される請求項1記載のIC試験装置。
- 前記被試験ICの電源端子と電気的に接続される静止電源電流測定部をさらに具備した請求項1〜3いずれか一つに記載のIC試験装置。
- 前記制御信号は、前記電圧制御部の複数種類の動作電圧それぞれに対応可能な複数ビットの記憶部が割り当てられている請求項1〜4いずれか一つに記載のIC試験装置。
- 前記制御信号は、前記試験信号のパターンユニット分を計数するリセット・クロックカウンタにおける出力部が割り当てられている請求項1〜4いずれか一つに記載のIC試験装置。
- 主制御部で設定される試験プログラムに応じ、機能試験制御部で出力される試験信号を被試験ICに与え、出力を期待値と比較することにより合否を判定するIC試験方法であって、
前記機能試験制御部側において前記試験プログラムに応じた動作電圧操作用の制御信号を予め保持しておき、前記制御信号に応じて前記試験信号に関し複数種類の動作電圧を設定して動作電圧検定試験を行うIC試験方法。 - 前記試験信号のパターンユニット中に静止電源電流試験を行うパターンを含み、前記被試験IC中、ハイインピーダンス状態の端子に対して前記動作電圧の中間レベルの電位を与え、前記被試験ICの電源電流量に応じた判定をする請求項7記載のIC試験方法。
- 主制御部の命令に応じて各入力に試験信号が与えられ、各出力が期待値と比較される試験が行われる半導体集積回路を有し、前記半導体集積回路について、前記主制御部への制御切替えなしに前記試験信号に関し異なる動作電圧を設定する動作電圧検定試験をすることにより、正常な半導体集積回路のみを有する半導体装置を良品とする半導体装置の製造方法。
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