JP2005197392A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】固体撮像素子のマイクロレンズの集光性を改善し、マイクロレンズ表面やマイクロレンズ間の非開口部からの反射光を低減して固体撮像素子のＳ／Ｎ比を改善すること。
【解決手段】マイクロレンズ１５の材料が１．３８〜１．４７の屈折率を有するフッ素系アクリル樹脂であり、マイクロレンズの位置がカラーフィルタ１４の直上で、そのアスペクト比（レンズ厚み／レンズ巾）が０．１４〜０．３８であり、マイクロレンズ間の非開口部１６に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出していること。
【選択図】図３

Description

本発明は、ＣＭＯＳやＣＣＤ等の受光素子に代表される固体撮像素子に関するものであり、特に、集光性、Ｓ／Ｎ比を改善し、画質を向上させた固体撮像素子に関する。

ＣＣＤなど固体撮像素子上の光電変換素子が光電変換に寄与する領域（開口部）は、固体撮像素子のサイズや画素数に依存するが、固体撮像素子の全面積に対し２０〜４０％程度に限られてしまう。開口部が小さいことは、そのまま感度低下につながるので、これを補うため光電変換素子上に集光用のマイクロレンズを形成することが一般的である。

しかしながら、近時、３００万画素を超える高精細な固体撮像素子がつよく要求されるようになり、この高精細な固体撮像素子に付随するマイクロレンズの開口率低下（すなわち感度低下）、及びフレア、スミアなどのノイズ増加による画質低下が、大きな問題となってきている。Ｃ−ＭＯＳやＣＣＤなどの撮像素子は、ほぼ十分な画素数に近づきつつあり、それらデバイスメーカーでの競争は画素数から画質の競争に変化しつつある。

マイクロレンズの形成技術に関する公知の技術としては、例えば、特開昭６０−５３０７３号公報に比較的詳細に示されている。この特開昭６０−５３０７３号公報には、レンズを丸く半球状に形成する技術として熱による樹脂の熱流動性（熱フロー）を用いた技術、また、いくつかのエッチング方法によりレンズを加工する技術も詳細に開示されている。

加えて、レンズ表面の光散乱による集光性能のロスの改善策として、レンズ表面にポリグリシジルメタクリレート（ＰＧＭＡ）などの有機膜や、ＯＣＤ（東京応化工業（株）製のＳｉＯ₂ 系被膜形成用塗布液）の無機膜を形成する技術なども開示されている。
また、マイクロレンズをドライエッチング加工する技術は、上記の技術以外に特開平１−１０６６６号公報に詳細な記載がある。また、マイクロレンズの表面にフッ素系樹脂、フッ素含有樹脂など低屈折率材料を形成する技術は、特開昭６１−４２６３０号公報、特開昭５８−４１０１号公報、特開昭６１−８７３６２号公報などで公知である。
特開昭６０−５３０７３号公報 特開平１−１０６６６号公報 特開昭６１−４２６３０号公報 特開昭５８−４１０１号公報 特開昭６１−８７３６２号公報

図５に、公知技術による固体撮像素子の断面図を示した。マイクロレンズ５６からの入射光の集光性をあげ、かつ、受光部でのＳ／Ｎ比を向上させる有力な手段は、レンズの半径を小さくし、レンズ下距離５８を小さく（薄く）することである。しかしながら、光電変換素子５２上には、第一平坦化層５３、カラーフィルタ５４、第二平坦化層５５、場合により層内レンズなどが形成され、一般的に５〜６μｍ程度の大きめの（厚めの）レンズ
下距離５８となっている。レンズの半径を小さくすることができるように、レンズ下距離を小さくすることは、固体撮像素子の集光効率の改善に重要な技術的課題である。本発明における第一の課題はマイクロレンズの集光性を改善することである。

また、固体撮像素子のピッチやサイズが３μｍないし２．５μｍ以下の素子の場合、マイクロレンズ間の非開口部、すなわち、図５に、非開口部５９として示すマイクロレンズ間ギャップからの反射光の影響が大きくなる。この反射光は、固体撮像素子の上面に配設されてれいるカバーガラスや、さらにその上の光学レンズ群からの再反射光となって隣接する他の光電変換素子に再入射して、画質低下に結びつくノイズ光となる。本発明の第二の課題は、マイクロレンズ表面やマイクロレンズ間の非開口部からの反射光を極力低減して、固体撮像素子のＳ／Ｎ比を改善することである。すなわち、上記集光性の改善と、Ｓ／Ｎ比の改善により固体撮像素子の画質向上を得ることにある。

本発明は、２次元的に配置た光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルタと、該カラーフィルタ上に形成された複数のマイクロレンズを具備した固体撮像素子において、該マイクロレンズの材料が１．３８〜１．４７の屈折率を有する透明樹脂であり、マイクロレンズの位置がカラーフィルタの直上で、そのアスペクト比（レンズ厚み／レンズ巾）が０．１４〜０．３８であり、マイクロレンズ間の非開口部に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出していることを特徴とする固体撮像素子である。

また、本発明は、上記発明による固体撮像素子において、前記透明樹脂が、フッ素系アクリル樹脂であることを特徴とする固体撮像素子である。

また、本発明は、２次元的に配置た光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルタと、該カラーフィルタ上に形成された複数のマイクロレンズを具備した固体撮像素子の製造方法において、
１）色素により着色した複数のカラーレジストを用いて、複数回のフォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを形成する工程、
２）該カラーフィルタ上に、低屈折率の透明樹脂塗布液を用いて、透明樹脂層を形成する工程、
３）該透明樹脂層上に、マイクロレンズの熱フロー制御機能を付与する工程、
４）アルカリ可溶性で熱フロー性を有する感光性樹脂を用いて、レンズ母型を形成する工程、
５）ドライエッチングにより、透明樹脂層を転写レンズ（マイクロレンズ）に形成し、転写レンズ（マイクロレンズ）間の非開口部のカラーフィルタ表面に微小凹凸を形成する工程、
を具備することを特徴とする固体撮像素子の製造方法である。

また、本発明は、上記発明による固体撮像素子の製造方法において、前記透明樹脂層が、前記アルカリ可溶性で熱フロー性を有する感光性樹脂のエッチングレートより速いエッチングレートを有する透明樹脂層であることを特徴とする固体撮像素子の製造方法である。

また、本発明は、上記発明による固体撮像素子の製造方法において、前記透明樹脂層の透明樹脂が、フッ素系アクリル樹脂であることを特徴とする固体撮像素子の製造方法である。

本発明は、マイクロレンズがカラーフィルタの直上に設けられているので、レンズ下距離が小さくなり、レンズの半径を小さくすることができ、マイクロレンズの集光性が改善される。また、マイクロレンズの材料が低屈折率を有するフッ素系アクリル樹脂であるので、レンズの半径を小さくすることができ、マイクロレンズの集光性が改善される。
また、本発明は、マイクロレンズの材料が低屈折率を有するフッ素系アクリル樹脂であるので、レンズ厚を厚くすることができ、マイクロレンズの加工の容易さが確保できる。アスペクト比の適性なマイクロレンズを容易に得ることができる。
また、本発明は、マイクロレンズの材料が低屈折率を有するフッ素系アクリル樹脂であるので、マイクロレンズ表面からの反射光を低減して、固体撮像素子のＳ／Ｎ比を改善する。また、マイクロレンズ間の非開口部に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出しているので、非開口部からの反射光を低減して、固体撮像素子のＳ／Ｎ比を改善する。

以下に、本発明による固体撮像素子及びその製造方法を、その実施の形態に基づいて説明する。
図４は、本発明による固体撮像素子の一実施例の平面図である。図１は、図４のＡ−Ａ’線での断面図、図３は、図４のＢ−Ｂ’線での断面図である。
図４、図１、図３に示すように、本発明による固体撮像素子は、半導体基板１１上に、光電変換素子１２、平坦化層１３、カラーフィルタ１４、転写レンズ（マイクロレンズ）１５が形成されたものである。マイクロレンズ間の非開口部１６にはカラーフィルタ１４の表面が露出しており、この部分には微小凹凸が形成されている。

図１、図３に示すように、本発明による固体撮像素子は、前記図５における第二平坦化層を有しない構成となっている。すなわち、レンズ下距離を小さく（薄く）したものである。これにより、レンズの半径を小さくすることが可能となり、集光性の改善を行うことができる。

また、本発明におけるマイクロレンズは、その材料として、屈折率が１．３８〜１．４７の低屈折率のフッ素系アクリル樹脂からなるマイクロレンズである。一般に、マイクロレンズの材料としては、１．６〜１．７の範囲の屈折率を有する樹脂を用いるが、１．６〜１．７より低い屈折率を有する樹脂を用いることにより、レンズの半径を小さくすることが可能となり集光性の改善を行うことができる。換言すると、アスペクト比が適性なマイクロレンズとすることができる。
このことは、また、レンズ厚を厚くして、マイクロレンズとして形成する際の加工を容易にしたマイクロレンズとすることを意味している。

半径ｒのレンズの焦点距離ｆは数式（１）により表される。例えば、屈折率ｎ１＝１、６１のレンズは、空気（屈折率ｎ０＝１）媒質に対し、２．６４ｒの焦点距離ｆを有することになる。

数式（１）において、〔ｎ１／（ｎ１−ｎ０）〕の値は、ｎ１＝１、６１にては２．６４である。また、低屈折率、例えば、ｎ１＝１、４３にては３．３３である。３．３３／２．６４＝１．２６、すなわち、低屈折率、例えば、ｎ１＝１、４３の樹脂を用いることにより、同一焦点距離のレンズを得る際に、ｎ１＝１、４３の樹脂の際の半径は、ｎ１＝１、６１の樹脂における半径に対し１／１．２６（０．７９）倍の半径のものとなる。

これは、低屈折率ｎ１＝１、４３の透明樹脂であるフッ素系アクリル樹脂を用いることにより、レンズ厚、例えば、０．３５μｍ膜厚を１．２６倍である０．４４μｍ膜厚で形成できることを意味し、製造工程における加工の容易さが確保できる。換言すると、アス
ペクト比の適性なマイクロレンズを容易に得ることができる。
尚、透明樹脂の屈折率は、１．３７以下ではムラ、ハジキ、密着性など塗布膜を形成する際に問題が発生する。また、１．４８以上では通常のアクリル樹脂と大差なく、得られる効果が少ない。

また、本発明におけるマイクロレンズは、そのアスペクト比（レンズ厚み／レンズ巾）が０．１４〜０．３８である。アスペクト比が０．１３以下では、熱フローの際、レンズは円形状にならず、台形状になる。また、アスペクト比が０．３９以上では、熱フローの際、隣接するレンズが融着し、個々のレンズ形状を維持することができない。
すなわち、本発明においては、マイクロレンズは、カラーフィルタの直上に設け、低屈折率のフッ素系アクリル樹脂を用いることにより、隣接するレンズが融着することなく、所望する半径を得ることができる。

マイクロレンズの製造方法からして、０．３μｍ以下の薄いレンズは円形状に形成する事が極めて困難であることが本発明者らによって見いだされていた。すなわち、マイクロレンズは、熱フロー性・感光性・アルカリ可溶性のレンズ材料を公知のフォトリソグラフィ法でパターン形成し、この後、熱フローにより丸く半球状に加工するが、パターンの膜厚が薄すぎると熱処理をしても丸く半球状になりにくい。例えば、２．５μｍピッチの画素の場合、量産性を考慮したレンズ膜厚は、０．３５μｍが限界で０．３μｍでは、丸くならず台形状となってしまうといった問題があった。

しかし、屈折率を１．５以下、好ましくは１．４７〜１．３８の範囲の低屈折率の透明樹脂を用いて透明樹脂層を形成すれば半球状レンズを安定して形成できることになる。例えば、前記低屈折率ｎ１＝１、４３の透明樹脂であるフッ素系アクリル樹脂を用いることにより、０．３５μｍの膜厚を１．２６倍である０．４４μｍの膜厚で容易に形成できる。また、形成が困難であった０．３μｍの膜厚を１．２６倍である０．３８μｍの膜厚で形成することが可能となる。

上記のように、本発明によって、実質的なレンズ厚を０．３５μｍ〜０．４０μｍ以上として、２．５μｍ以下の画素ピッチの撮像素子上へのマイクロレンズ加工を容易にすることができた。

ＣＭＯＳ撮像素子は、その消費電力が小さく駆動回路をＣＭＯＳ撮像素子とともに一体化した省スペースの素子が造れることから、最近注目を集めている。しかし、ＣＭＯＳ撮像素子は、その構造から光電変換素子までの距離が大きくなる傾向にあり、前記レンズ下距離を小さくするためには、ＣＣＤと比較して、やや不利な構成といえる。また、低コスト化を目的に画素ピッチ（光電変換素子のピッチと同じ）を小さくする傾向にもあるが、小さな画素ピッチで、かつ、ＣＭＯＳ撮像素子の場合、レンズ下距離がかなり大きくなり、マイクロレンズ５６の厚みを０．５μｍ〜０．３μｍの薄いレンズにする必要がある。本発明によって、ＣＭＯＳ撮像素子におけるマイクロレンズも０．４μｍ程度で形成することが可能となる。

また、本発明においては、マイクロレンズを低屈折率樹脂であるフッ素系アクリル樹脂で形成することで、マイクロレンズの表面からの反射光を軽減することができる。マイクロレンズ間の非開口部は、０．０１μｍ〜０．１５μｍ前後の突起で構成される微小凹凸のあるカラーフィルタ面とするこことにより、若干の反射率の低減効果が得られる。カラーフィルタの凹凸は、軽いドライエッチング処理で、カラーフィルタ表面に形成することができる。

低屈折率樹脂のマイクロレンズによる反射率の低減効果は、通常のマイクロレンズ（屈
折率１．６程度）と比較して１〜２％の反射率の低減、また、微小凹凸を形成した非開口部は、微小凹凸のないものと比較して０．１〜０．５％の反射率の低減が得られる。
なお、マイクロレンズ間の非開口部に、例えば、０．３μｍ前後の突起をカラーフィルタ表面に形成するためには、構成に含まれるそれぞれカラーフィルタ、例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の膜厚を０．２μｍ以下の膜厚差、望むらくは０．１５μｍ以下の均一な膜厚に揃える必要がある。

本発明における透明樹脂に採用するフッ素系アクリル樹脂は、フェノールノボラック樹脂のようなフェノール系の感光性熱フロー性樹脂をレンズ材料として用いたときに、若干問題があった。一般に感光性熱フロー性樹脂を丸く半球状に形成するには、この感光性熱フロー性樹脂を、基板上に公知のフォトリソグラフィの技術で、例えば、２．５μｍピッチのマイクロレンズを０．３μｍ程度のレンズ間距離にて、露光・現像してパターンを形成し、更に、およそ１５０℃から２５０℃の範囲から選ばれる温度で熱フローさせて丸く半球状に加工している。

このときに、熱フロー性樹脂のフロー（流動化）で、当初、０．３μｍのレンズ間距離が、０．２μｍ程度と小さくなりマイクロレンズの開口率を向上させている。しかし、フッ素系アクリル樹脂表面では、熱フロー性樹脂が十分な熱フロー性を確保できず、レンズ間距離を小さくしにくい傾向がある。また、感光性熱フロー性樹脂を用いたレンズ母型のフォトリソグラフィ工程では、特に現像においてレンズ母型が剥がれやすいといった問題があった。
請求項２に関わる本発明では、フッ素系アクリル樹脂のような透明樹脂（レンズ下地樹脂）表面に熱フロー制御機能を付与する工程を加えている。

熱フロー制御機能を付与するには、界面活性剤、あるいは、界面活性剤を含むフェノール樹脂もしくは、界面活性剤を含むアクリル樹脂の薄膜を、フッ素系アクリル樹脂のような透明樹脂（レンズ下地樹脂）表面に塗布すればよい。あるいは、熱フロー性を良好にするような染料の類を、その必要量添加したフェノール樹脂、もしくはアクリル樹脂の薄膜を塗布形成しても良い。

あるいは、フッ素系アクリル樹脂のような透明樹脂（レンズ下地樹脂）表面に、軽いドライエッチング処理、プラズマ処理、紫外線照射などの表面処理を行っても良い。熱フロー制御機能を付与する工程は、これらの工程を含む。

加えて、フッ素系アクリル樹脂表面に直接、感光性熱フロー性樹脂によるレンズ母型を形成する場合、これらの樹脂の密着性が良くないため、レンズ母型が現像時に剥がれる、あるいは、レンズ母型のパターンエッヂがギザツクなどの形状不良があったが、上記のような熱フロー制御機能を付与する工程を加えることにより、低密着性に起因する不良発生をなくすことができる。

また、本発明者らは、レンズ母型に用いる樹脂のエッチングレートより速いエッチングレートを持つ透明樹脂をカラーフィルタ上に直接形成される透明樹脂層に用いることにより、開口率の大きいマイクロレンズ（あるいは、厚み・大きさの大きめのマイクロレンズ）を加工することが可能であることを見いだした。
アクリル樹脂はフェノール樹脂（フェノールノボラック樹脂含む）と比較して１．１倍から１．５倍の範囲でドライエッチングのエッチングレートが高い傾向にある。レンズ母型をフェノール樹脂とし、レンズの下地樹脂（透明樹脂層）をアクリル樹脂として、透明樹脂層にマイクロレンズを転写すると転写されたレンズ間距離が小さくできる技術を見いだした。転写レンズ（マイクロレンズ）は、もとのレンズ母型より、やや大きくなり実効的なレンズ開口率を増やすことができる。

本発明では、カラーフィルタの色素に染料や有機顔料を用いることが可能である。特に耐熱性に富む有機顔料を用いた場合、カラーフィルタ表面を軽くドライエッチングすることにより、カラーフィルタ表面に０．０１μｍ〜０．１５μｍ前後の微小凹凸を形成しやすい。この微小凹凸形成は、前記したように、わずかではあるが反射率の低減に効果がある。

以下、図２（ａ）〜（ｄ）を用いて、実施例１により本発明による固体撮像素子の製造方法を詳細に説明する。

実施例１により得られた固体撮像素子の断面を図１及び図３に示す。当実施例において、カラーフィルタ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）１４は、有機顔料を分散させたアクリル樹脂にて、それぞれ０．９μｍ膜厚にて形成している。当アクリル樹脂単体の屈折率は、およそ１．５５である。転写レンズ（マイクロレンズ）１５は、屈折率およそ１．４５のフッ素系アクリル樹脂でレンズ高さ０．８μｍとした。
また、図３に示した転写レンズ（マイクロレンズ）１５間の非開口部１６には、０．０１μｍ〜０．１μｍの高さの微小凹凸を形成してある。

図２（ａ）〜（ｂ）に示すように、光電変換素子１２や遮光膜、パッシベーションを形成した半導体基板１１上に、熱硬化性のアクリル樹脂塗布液を用いてスピンコートにて平坦化層１３を形成した。

次に、図２（ｃ）に示すように、カラーフィルタ１４を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色にて３回のフォトリソグラフィ法で、それぞれ形成した。

Ｇレジストは、色材としてＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を色材として、さらにシクロヘキサノン、ＰＧＭＡなどの有機溶剤、ポリマーワニス、モノマー、開始剤を添加した構成のカラーレジストを用いた。

Ｂレジストは、色材としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を色材として、さらにシクロヘキサノン、ＰＧＭＡなどの有機溶剤、ポリマーワニス、モノマー、開始剤を添加した構成のカラーレジストを用いた。

Ｒレジストの色材は、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９とした。他の組成はＧレジストと同様とした。

次に、図２（ｄ）に示すように、 カラーフィルタ１４上にフッ素系アクリル樹脂の塗布液（日本化薬（株）製）にて０．９μｍ膜厚の透明樹脂層１５’をフェノール系樹脂であるレンズ材料を有機溶剤で希釈した塗布液を用いて、０．３μｍ膜厚の熱フロー制御機能をもつ制御層２６を、さらにアルカリ可溶性・感光性・熱フロー性をもつフェノール樹脂であるレンズ材料を用いて、公知のフォトリソグラフィ法にて、レンズ母型２７を高さ０．６μｍにて形成した。

レンズ母型２７は、２００℃の熱処理にてフローさせて丸く半球状に形成したものである。レンズ母型２７は、その下地が親和性の良い同じレンズ材料からなる制御層２６であるので、熱フロー時にその界面でハジキを生じることなく、片側０．１μｍのほぼ適正なフロー量で、レンズ母型間のギャップ０．２４μｍでスムースな半球状レンズが形成でき
た。

ドライエッチング装置にて、フロン系ガスＣＦ₄、ＣＦ₈の混合ガスを用い、レンズ母型をマスクとしエッチング処理し、図１及び図３に示した転写レンズ（マイクロレンズ）１５を形成した。転写レンズ（マイクロレンズ）１５の高さは、０．８μｍであった。転写レンズ間のギャップは、０．０２μｍと、ほぼ「ゼロギャップ」と呼ぶにふさわしい狭いギャップに加工できた。用いたフッ素系アクリル樹脂の硬膜後の屈折率は１．４５である。

なお、当実施例に用いたフッ素系アクリル樹脂のエッチングレートは、レンズ母型のフェノール樹脂と比較して、１．６倍と速いエッチングレートを示す。レンズ母型に用いる下地樹脂である透明樹脂層のエッチングレートが、高い場合、転写レンズ（マイクロレンズ）間のギャップを狭く加工し、転写レンズの開口率を向上できる傾向にある。

レンズ母型樹脂のエッチングレートとその下地樹脂のエッチングレートを同一とすると、転写レンズ形状は、レンズ母型とほぼ同じ大きさ、形状に加工できる。また、用いるフロン系ガスについては、カーボンリッチなガスを用いることでこの傾向（ギャップを狭く加工する）を若干、増長させることができる。

なお、当実施例において、カラーフィルタ１４上に、パーフルオロ溶剤に溶解させた屈折率１．３４のフッ素樹脂液をスピンコートで塗布したところ、ハジキが大きく、また、塗膜の密着力が低く、レンズ母型の形成に進められる塗膜ではなかった。

図４のＡ−Ａ’線の断面図である。 本発明による固体撮像素子の製造方法の実施例の説明図である。 図４のＢ−Ｂ’線の断面面である。 本発明による固体撮像素子の一実施例の平面図である。 公知技術による固体撮像素子の一例の断面図である。

符号の説明

１１、５１…半導体基板
１２、５２…光電変換素子
１３…平坦化層
１４、５４…カラーフィルタ
１５、５６…転写レンズ（マイクロレンズ）
１５’…透明樹脂層
１６、５９…非開口部
２６…熱フロー制御機能をもつ制御層
２７…レンズ母型
５３…第一平坦化層
５５…第二平坦化層
５８…レンズ下距離
５９…非開口部

Claims (5)

1. ２次元的に配置た光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルタと、該カラーフィルタ上に形成された複数のマイクロレンズを具備した固体撮像素子において、該マイクロレンズの材料が１．３８〜１．４７の屈折率を有する透明樹脂であり、マイクロレンズの位置がカラーフィルタの直上で、そのアスペクト比（レンズ厚み／レンズ巾）が０．１４〜０．３８であり、マイクロレンズ間の非開口部に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出していることを特徴とする固体撮像素子。
2. 前記透明樹脂が、フッ素系アクリル樹脂であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子。
3. ２次元的に配置た光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルタと、該カラーフィルタ上に形成された複数のマイクロレンズを具備した固体撮像素子の製造方法において、
   １）色素により着色した複数のカラーレジストを用いて、複数回のフォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを形成する工程、
   ２）該カラーフィルタ上に、低屈折率の透明樹脂塗布液を用いて、透明樹脂層を形成する工程、
   ３）該透明樹脂層上に、マイクロレンズの熱フロー制御機能を付与する工程、
   ４）アルカリ可溶性で熱フロー性を有する感光性樹脂を用いて、レンズ母型を形成する工程、
   ５）ドライエッチングにより、透明樹脂層を転写レンズ（マイクロレンズ）に形成し、転写レンズ（マイクロレンズ）間の非開口部のカラーフィルタ表面に微小凹凸を形成する工程、
   を具備することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
4. 前記透明樹脂層が、前記アルカリ可溶性で熱フロー性を有する感光性樹脂のエッチングレートより速いエッチングレートを有する透明樹脂層であることを特徴とする請求項３記載の固体撮像素子の製造方法。
5. 前記透明樹脂層の透明樹脂が、フッ素系アクリル樹脂であることを特徴とする請求項４記載の固体撮像素子の製造方法。

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