JP2006222290A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された複数色のフィルターパターンからなるカラーフィルターを具備する固体撮像素子の製造方法であって、前記複数色のフィルターパターンは、所定の色フィルター層をドライエッチングによりパターニングする形成工法と、他の色フィルター層をフォトリソグラフィーによりパターニングする形成工法とによって形成され、前記複数色のフィルターパターンのうち少なくとも最初に形成される色フィルターパターンをドライエッチングにより、残りの色フィルターパターンをフォトリソグラフィーによりパターニングすることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
樹脂パターン23としては、例えば、アクリル系、エポキシ系、ポリイミド系、フェノールノボラック系、その他の感光性を有する樹脂を単独でもしくは複数混合あるいは共重合して用いることができる。感光性樹脂をパターニングするフォトリソグラフィープロセスに用いる露光機はステッパー、アライナー、ミラープロジェクションアライナーなどがあるが、高画素化、微細化の必要な固体撮像素子のカラーフィルターを形成するにあたっては通常ステッパーを用いるのが一般的である。
図2及び図3を参照して、本実施例に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。
Claims (7)
- 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された複数色のフィルターパターンからなるカラーフィルターを具備する固体撮像素子の製造方法であって、
前記複数色のフィルターパターンは、所定の色フィルター層をドライエッチングによりパターニングする形成工法と、他の色フィルター層をフォトリソグラフィーによりパターニングする形成工法とによって形成され、
前記複数色のフィルターパターンのうち少なくとも最初に形成される色フィルターパターンをドライエッチングにより、残りの色フィルターパターンをフォトリソグラフィーによりパターニングすることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された複数色のフィルターパターンからなるカラーフィルターを具備する固体撮像素子の製造方法であって、
前記複数色のフィルターパターンは、所定の色フィルター層をドライエッチングによりパターニングする形成工法と、他の色フィルター層をフォトリソグラフィーによりパターニングする形成工法とによって形成され、
前記複数色のフィルターパターンのうち最も面積の広い色フィルターパターンをドライエッチングによりパターニングすることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された複数色のフィルターパターンからなるカラーフィルターを具備する固体撮像素子において、
前記複数色のフィルターパターンは、熱硬化した樹脂を含む所定の色フィルターパターンと、光硬化した樹脂を含む他の色フィルターパターンを有することを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された複数色のフィルターパターンからなるカラーフィルターを具備する固体撮像素子において、
前記複数色のフィルターパターンのうち、最も面積の大きい色フィルターパターンは、熱硬化した樹脂を含む色フィルターパターンであり、他の色フィルターパターンは、光硬化した樹脂を含む色フィルターパターンであることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記複数色のフィルターパターンはグリーンフィルターパターンを含み、該グリーンフィルターパターンに含まれる樹脂は他の色フィルターパターンに含まれる樹脂よりも屈折率が高いことを特徴とする請求項3または4に記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルター上に平坦化層を具備することを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルター上に直接又は間接的に、前記光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたマイクロレンズを更に具備し、このマイクロレンズの周辺部は、前記カラーフィルターの一部により構成されていることを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の固体撮像素子。
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